JP2019534937A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 被加熱材料を収納するための収納室を含む坩堝であって、
   前記収納室中に位置する収集器をさらに含み、かつ前記収集器の開口が前記収納室の頂部に向かう、坩堝。
2. 前記収納室上に設けられ少なくとも１つの穴を有する坩堝蓋をさらに含み、前記穴は、前記収納室から離れた側の頂面の面積が前記収納室に向かう側の底面の面積よりも小さい、請求項１に記載の坩堝。
3. 前記頂面及び前記底面は円形形状を有し、かつ、前記頂面の直径の範囲が０．５〜２ｍｍであり、前記底面の直径の範囲が２〜４ｍｍである、請求項２に記載の坩堝。
4. 前記穴は、前記頂面に垂直である平面における断面形状が等脚台形形状である、請求項３に記載の坩堝。
5. 前記収納室の底部に設けられた導熱板をさらに含む、請求項２〜４のいずれかに記載の坩堝。
6. 前記導熱板は、前記頂面に平行である平面における断面形状がハニカム形状を有するように配置されている、請求項５に記載の坩堝。
7. 前記収集器の形状は、漏斗形、楕円体形又は板形である、請求項１〜６のいずれかに記載の坩堝。
8. 加熱源と、請求項１〜７のいずれかに記載の坩堝とを含む蒸着装置であって、
   前記加熱源が前記坩堝を加熱する、蒸着装置。
9. 前記加熱源は前記坩堝の側面に設けられ、かつ前記加熱源は前記坩堝の底部から前記坩堝蓋への方向に沿って設けられた第１の加熱部分及び第２の加熱部分を含み、前記第２の加熱部分は前記第１の加熱部分の上に位置し、
   前記第２の加熱部分は前記第１の加熱部分による第１の加熱温度よりも高い第２の加熱温度を提供する、請求項８に記載の蒸着装置。
10. 請求項８又は９に記載の蒸着装置を含む蒸着システム。