CN203582959U - 一种蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，涉及显示技术领域；可改善蒸镀源加热和降温过程中，蒸发出来的材料沉积到腔体内部引起腔体污染的问题。该蒸镀装置，包括腔体，设置在所述腔体内的蒸镀源、待镀基板以及蒸镀遮挡装置，所述蒸镀遮挡装置包括：中空的遮挡主体和与所述遮挡主体匹配且固定的遮挡盖；所述遮挡盖设置在所述遮挡主体靠近所述待镀基板的上表面；所述遮挡主体的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源的面积；在所述蒸镀源的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置设置在所述蒸镀源与所述待镀基板之间，且靠近所述蒸镀源设置。用于需要蒸镀沉积薄膜的显示技术领域中，所述蒸镀装置的制造。

Description

一种蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

目前，蒸镀工艺被广泛应用于电子器件的镀膜生产过程中，其原理是将待成膜的源材料放置于真空环境中，通过电阻加热或电子束加热使源材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的源材料凝结沉积在待成膜的基板表面而完成镀膜。

例如，在有机电致发光显示器(简称OLED)的制备工艺中，需要在蒸镀装置01的腔体10内蒸镀多层有机薄膜，从而在待镀基板30上形成各个有机发光单元。如图1所示，在蒸镀前，需要通过加热器50对蒸镀源20进行加热以使其达到设定的温度，在此过程中，蒸镀源20中的一部分蒸镀材料受热会蒸发出来，由于这部分蒸镀材料没有被加热到预设温度，蒸汽携带的能量不足以使蒸镀材料到达待镀基板30的蒸镀区30a，因而会沉积在靠近蒸镀源20的腔体10内部；在蒸镀源20达到预设温度后，通过设置在待镀基板30与蒸镀源20之间的挡板60，对待镀基板30的蒸镀区30a进行选择性蒸镀；当待镀基板30完成蒸镀后，蒸镀源20停止加热，然而，在蒸镀源20的降温过程中，仍然会有一部分材料受热继续蒸发出来；这样，在蒸镀源20的加热和降温过程中，已经蒸发出来但未参与蒸镀的材料会沉积到腔体10内部对腔体10造成污染，影响下一次蒸镀，从而使得蒸镀质量下降。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种蒸镀装置，可以改善在蒸镀源的加热和降温过程中，蒸镀源蒸发出来的蒸镀材料沉积到腔体内部引起污染的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括腔体，设置在所述腔体内的蒸镀源和待镀基板，所述蒸镀装置还包括设置在所述腔体内的蒸镀遮挡装置，所述蒸镀遮挡装置包括：中空的遮挡主体和与所述遮挡主体匹配且固定的遮挡盖；其中，所述遮挡盖设置在所述遮挡主体靠近所述待镀基板的上表面；所述遮挡主体的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源的面积；在所述蒸镀源的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置设置在所述蒸镀源与所述待镀基板之间，且靠近所述蒸镀源设置。

优选的，所述蒸镀装置还包括冷凝装置、以及设置在所述遮挡主体外表面的加热丝；其中，所述冷凝装置包括设置在所述遮挡盖靠近所述待镀基板的上表面的冷却水管路、与所述冷却水管路相连的冷却水进水管和冷却水出水管、以及与所述冷却水进水管和所述冷却水出水管连接的供水装置。

优选的，所述冷却水管路以盘旋方式均匀的平铺在所述遮挡盖的上表面。

进一步优选的，所述遮挡主体的中空部分的形状为圆柱体；所述遮挡盖包括：一个底面以及与所述底面连接的侧面，且所述底面的面积大于等于所述遮挡主体的截面面积，所述侧面具有外螺纹；其中，所述遮挡主体靠近所述遮挡盖的一侧具有内螺纹，所述遮挡主体上的内螺纹与所述遮挡盖的所述侧面的外螺纹相吻合。

在此基础上优选的，所述冷却水管路固定在所述遮挡盖的上表面。

优选的，所述冷却水管路固定在一个金属板上，所述金属板与所述遮挡盖的上表面固定在一起；其中，所述金属板上包括至少两个均匀分布的固定螺丝孔，与所述金属板对应的所述遮挡盖的上表面上具有相应的固定螺丝孔，所述金属板与所述遮挡盖的上表面通过与所述固定螺丝孔相匹配的螺丝固定。

优选的，所述蒸镀装置还包括：与冷却水进水管和/或冷却水出水管连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。

进一步优选的，所述驱动装置设置在所述蒸镀装置腔体的外部；其中，所述传动丝杠的一部分位于所述腔体内，另一部分位于所述腔体外；所述驱动装置通过与所述驱动装置连接的连接杆与位于所述腔体外的所述传动丝杠连接。

在此基础上优选的，所述冷却水进水管和所述冷却水出水管设置在所述腔体内侧，所述供水装置设置在所述腔体外部；其中，所述供水装置通过穿过所述腔体的第一供水管与所述冷却水进水管相连，通过穿过所述腔体的第二供水管与所述冷却水出水管相连。

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括腔体，设置在所述腔体内的蒸镀源和待镀基板，所述蒸镀装置还包括设置在所述腔体内的蒸镀遮挡装置，所述蒸镀遮挡装置包括：中空的遮挡主体和与所述遮挡主体匹配且固定的遮挡盖；其中，所述遮挡盖设置在所述遮挡主体靠近所述待镀基板的上表面；所述遮挡主体的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源的面积；在所述蒸镀源的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置设置在所述蒸镀源与所述待镀基板之间，且靠近所述蒸镀源设置。可以改善在蒸镀源的加热和降温过程中，蒸镀源蒸发出来的蒸镀材料沉积到腔体内部引起污染的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中蒸镀装置的腔体内部剖面结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的腔体内部剖面结构示意图；

图3a为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的冷凝装置的俯视结构示意图一；

图3b为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的冷凝装置的俯视结构示意图二；

图4为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的遮挡盖的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置中冷却水管路与遮挡盖的可拆卸固定方式示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置的蒸镀遮挡装置与驱动装置连接方式示意图。

附图标记：

01-蒸镀装置；10-腔体；20-蒸镀源；30-待镀基板；30a-蒸镀区；40-蒸镀遮挡装置；401-遮挡主体；402-遮挡盖；4021-底面；4022-侧面；403-加热丝；404-冷却水管路；405-冷却水进水管；406-冷却水出水管；50-加热器；60-挡板；70-供水装置；701-第一供水管；702-第二供水管；80-金属板；801-固定螺丝孔；90-传动丝杠；91-连接杆；92-驱动装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置01，如图2所示，包括腔体10，设置在所述腔体10内的蒸镀源20、待镀基板30以及蒸镀遮挡装置40，所述蒸镀遮挡装置40包括：中空的遮挡主体401和与所述遮挡主体401匹配且固定的遮挡盖402。

其中，所述遮挡盖402设置在所述遮挡主体401靠近所述待镀基板30的上表面；所述遮挡主体401的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源20的面积。

在所述蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源20的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置40设置在所述蒸镀源20与所述待镀30基板之间，且靠近所述蒸镀源20设置。

当然，参考图2所示，所述蒸镀装置01还包括：用于对所述蒸镀源20进行加热的加热器50，以及用于对待镀基板30的蒸镀区30a进行选择的挡板60。

这里，为了更好的阐述本实用新型实施例提供的所述蒸镀装置01，首先解释一下上述蒸镀装置01中的所述蒸镀遮挡装置40的使用目的：

在所述蒸镀装置01的使用中，根据所述蒸镀源20所采用的蒸镀材料的不同，所述蒸镀源20的预蒸镀温度也不相同，例如，在所述蒸镀源20所采用的蒸镀材料为有机材料的情况下，所述预蒸镀温度通常为100～200℃，而在所述蒸镀源20所采用的蒸镀材料为无机以及金属单质或金属合金材料的情况下，所述预蒸镀温度可达200～2500℃；因此，在所述蒸镀装置01中，需要对所述蒸镀源20进行一定时间的预加热来达到预蒸镀温度，以使在蒸镀开始后，所述蒸镀源20中的蒸镀材料能够均匀气化，从而保持凝固到所述待镀基板30上的蒸镀区30a的薄膜组分均一。

然而，在上述的预加热过程中，所述蒸镀源20中的一部分蒸镀材料会蒸发出来，而这部分蒸发出来的蒸镀材料不能到达待镀基板30，而沉积到所述腔体10的内部，对所述腔体10造成污染，影响蒸镀质量。

同样的，当对所述待镀基板30的蒸镀完成后，所述腔体10内的加热器50就停止了对所述蒸镀源20的加热，然而由于所述蒸镀源20具有较高的蒸镀温度，降温的过程需要一定的时间，在此过程中，所述蒸镀源20中的一部分蒸镀材料仍会继续蒸发；这部分蒸发出来的蒸镀材料不能到达待镀基板30，也会沉积到所述腔体10的内部对所述腔体10造成污染。

因此，当在上述两个过程中，即蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度的过程中，以及所述待镀基板30蒸镀完成后蒸镀源20的降温过程中，通过在所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间并且靠近所述蒸镀源20的正上方设置所述蒸镀遮挡装置40，可以将这两个过程中蒸发出来的蒸镀材料吸收到蒸镀遮挡装置40中，从而可以改善在蒸镀源的加热和降温过程中，蒸镀源20蒸发出来的蒸镀材料沉积到腔体内部引起污染的问题。

需要说明的是，第一，不对所述遮挡主体401与所述遮挡盖402的固定方式进行限定，优选为可拆卸固定方式。

第二，所述遮挡主体401具有中空结构是指，沿垂直所述遮挡主体401的上表面的方向看过去，视线能穿过该遮挡主体401的中空部分而看到所述遮挡主体401以外的画面。

第三，当所述蒸镀遮挡装置40设置在所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间时，所述遮挡主体401的中空部分正对所述蒸镀源20设置，以能最大化的吸收蒸镀材料。

第四，在所述蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度开始蒸镀到蒸镀结束这一过程中，为了不影响对所述待镀基板30的蒸镀，所述蒸镀遮挡装置40并未设置在所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间；而只在所述蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源20的降温过程中，将所述蒸镀遮挡装置40设置在所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间。

其中，为了实现整个蒸镀过程中所述蒸镀遮挡装置40的移动，本领域技术人员在未做出创造性的条件下应该明白，可以通过设置与所述蒸镀遮挡装置40连接的驱动装置，来使蒸镀遮挡装置40根据不同蒸镀阶段的需求进行相应的移动。这里，不对所述驱动装置，以及驱动装置与所述蒸镀遮挡装置40的连接方式进行限制。

基于上述描述，可选的，所述遮挡主体401的形状为圆柱体，相应的，所述中空部分的形状也为圆柱体。当然，所述遮挡主体401的形状也可以为长方体，相应的，所述中空部分的形状也为长方体；为了使所述遮挡主体401的制作工艺复杂程度最小化，优选的，所述遮挡主体401的形状为圆柱体，相对应的，与所述遮挡主体401匹配的遮挡盖402的横截面的图形也为圆形。

进一步地，参考图2所示，所述蒸镀装置01还包括冷凝装置、以及设置在所述遮挡主体401外表面的加热丝403；其中，所述冷凝装置包括设置在所述遮挡盖402靠近所述待镀基板30上表面的冷却水管路404、与所述冷却水管路404相连的冷却水进水管405和冷却水出水管406、以及与所述冷却水进水管404和所述冷却水出水管406连接的供水装置70。

其中，所述供水装置70用来给所述冷凝装置提供稳定的冷却水，其工作原理如下：在所述供水装置70中存储有一定体积的水，通过设置在所述供水装置70中的制冷装置将这些水维持在一个较低的恒定温度内，从而使得这部分温度较低的冷凝水进入所述冷却水进水管405，来给与所述冷却水管路404相接触的所述遮挡盖402的上表面降温，由于热交换效应，完成冷却作用的这部分冷凝水温度会升高，再通过所述冷却水出水管406回到所述供水装置70中，所述供水装置70中的所述制冷装置能将这部分具有较高温度的冷凝水降温，再进入所述冷却水进水管405中，从而完成对所述遮挡盖402的上表面的循环冷凝过程。

需要说明的是，图2中仅示意性的画出了冷却水进水管405、冷却水出水管406以及供水装置70的相对位置，但本实用新型实施例并不限于此，所述冷却水进水管405、所述冷却水出水管406以及所述供水装置70可以均设置在所述腔体10中，或者可以按图2的方式，将所述供水装置70设置在所述腔体10外，将所述冷却水进水管405以及所述冷却水出水管406设置在所述腔体10内，并通过额外设置的连接管将所述供水装置70与所述冷却水进水管405、所述冷却水出水管406连接。

进一步优选的，如图3a所示，所述冷却水管路404以盘旋方式平铺在所述遮挡盖402的上表面，这样可以最大限度地增加所述冷却水管路404与所述遮挡盖402的接触面积，提高冷却效果；当然，所述冷却水管路404也可按照如图3b所示的方式平铺在所述遮挡盖402的上表面。

然而，本实用新型实施例提供的所述冷却水管路404并不限于上述两种排布方式，以能够实现使所述冷却水管路404与所述遮挡盖402的充分接触，并给所述遮挡盖402降温为准。

对于所述加热丝403的设置，优选为均匀地缠绕在所述遮挡主体401的外表面。

其中，设置所述加热丝403是用来保持所述遮挡主体401具有较高的温度，设置所述冷凝装置是用来保持所述遮挡盖402具有较低的温度；这样，当蒸镀材料通过该蒸镀遮挡装置40时，由于所述遮挡主体401具有较高的温度，蒸镀材料从遮挡主体401经过时，不会凝结在所述遮挡主体401的内壁上，而会继续向上蒸发，并到达遮挡盖402，由于设置在所述遮挡盖402上表面的所述冷却水管路404的冷却作用，相对于所述遮挡主体401，所述遮挡盖402具有较低的温度，上述的蒸镀材料会在所述遮挡盖402的内侧凝结，然后可以通过例如刮取、剥离等方式回收该蒸镀材料，这样就可以将这部分蒸镀材料收集起来，从而提高了所述蒸镀源20的利用率。

需要说明的是，首先，由于所述遮挡主体401需要通过加热丝403来进行加热，因此，所述遮挡主体401所采用的材料应该是具有导热性且在受热过程中不会分解或者释放出其他物质的材料，本实用新型实施例中不对所述遮挡主体401所采用的材料以及所述加热丝401的加热方式进行限制，以能够实现上述目的为准。

其次，不对所述加热丝403的加热温度进行限制，以蒸镀材料经过所述遮挡主体401时，不凝结在所述遮挡主体401上为准。

进一步地，考虑到需要对凝结在所述遮挡盖402的内侧的蒸镀材料进行回收，若将所述遮挡盖402和所述遮挡主体401采用不可拆卸的方式固定在一起，则不利于该回收过程；因此，为实现所述遮挡盖402与所述遮挡主体401的可拆卸固定，优选的，可以将所述遮挡主体401的中空部分的形状设置为圆柱体，并将所述遮挡盖402设置为如下的结构：

如图4所示，所述遮挡盖402可以包括：一个底面4021，与所述底面4021连接的侧面4022，且所述侧面4022具有外螺纹；其中，所述底面4021的面积大于等于所述遮挡主体401的截面面积，所述侧面4022围成的截面面积略小于所述遮挡主体401的中空部分的面积；在此基础上，可以在所述遮挡主体401靠近所述遮挡盖402的一侧具有与所述外螺纹相吻合的内螺纹，这样，所述遮挡盖402便可以通过旋转方式将其侧面4022旋入所述遮挡主体401内部，实现二者的固定。

基于上述描述，考虑到在不同蒸镀阶段内，需要将所述蒸镀遮挡装置40移动到不同的位置，为了实现在移动过程中使遮挡主体401、遮挡盖402、以及冷凝装置可稳定地同步移动，优选的，可以将所述冷却水管路404固定在所述遮挡盖402的上表面。

进一步地，考虑到后续对凝结在所述遮挡盖402内侧的蒸镀材料要进行回收，虽然遮挡盖402和遮挡主体401可进行分离，从而在一定程度上方便操作，但是若将所述冷却水管路404以不可拆卸方式固定在所述遮挡盖402的上表面，在对蒸镀材料进行回收时，还是会影响回收操作。

因此，优选的，所述冷却水管路404与所述遮挡盖402以可拆卸固定方式固定，如图5所示，二者之间的固定方式为：

将所述冷却水管路404采用例如焊接的方式固定在一个金属板80上，所述金属板80与所述遮挡盖402的上表面固定在一起；其中，所述金属板80上包括至少两个均匀分布的固定螺丝孔801，与所述金属板80对应的所述遮挡盖402的上表面上具有相应的固定螺丝孔801，所述金属板80与所述遮挡盖402的上表面通过与所述固定螺丝孔801相匹配的螺丝固定。

这里，为了在所述金属板80上设置固定螺丝孔801，所述金属板80的面积应略大于所述冷却水管路404的底面面积；此外，为了不影响所述冷却水管路404对所述遮挡盖402的冷却作用，所述金属板80的厚度应尽可能的小。

通过上述描述可知，当不需要对凝结在所述遮挡盖402上的蒸镀材料进行回收时，所述蒸镀遮挡装置40与所述冷凝装置固定在一起，在此基础上，为实现所述蒸镀遮挡装置40与所述冷凝装置整体的移动，所述蒸镀装置01还可以包括：与所述冷却水进水管405和/或所述冷却水出水管406连接的传动丝杠90，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置92。

此处，所述传动丝杠90可以与所述冷却水进水管405或所述冷却水出水管406连接，来实现对所述蒸镀遮挡装置40的移动；考虑到所述传动丝杠90移动的稳定性，所述传动丝杠90也可以与所述冷却水进水管405和所述冷却水出水管406均连接，从而使所述冷凝装置能够更稳定地移动。

需要说明的是，此处不对所述驱动装置92进行限定，例如可以是马达、直流电机等。

进一步地，如图6所示，考虑到所述驱动装置92往往具有较大的体积，若放置在所述腔体10内必然会导致腔体10的体积增大，优选的，所述驱动装置92设置在所述蒸镀装置01腔体的外部。

其中，可以将所述传动丝杠90的一部分设置在所述腔体10内，另一部分设置在所述腔体10外；所述驱动装置92通过与所述驱动装置92连接的连接杆91与位于所述腔体10外的所述传动丝杠90连接。

这里，在所述腔体10上设置有穿孔，用来使所述传动丝杠90穿过所述腔体10的一侧，进而与所述连接杆91相连，以实现所述驱动装置92对所述传动丝杠90的移动控制。

此外，对于所述冷凝装置的供水装置70，由于其体积一般比较大，若放置在所述腔体10内也必然会导致腔体10的体积增大，因此，参考图2或图6所示，优选的，所述冷却水进水管405和所述冷却水出水管406设置在所述腔体10内侧，所述供水装置70设置在所述腔体10外部。

其中，所述供水装置70可以通过穿过所述腔体10的第一供水管701与所述冷却水进水管405相连，通过穿过所述腔体10的第二供水管702与所述冷却水出水管406相连。

下面提供一个具体的实施例，用来详细描述上述的蒸镀装置01：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置01，参考图6所示，包括腔体10，设置在所述腔体10内的蒸镀源20、待镀基板30以及蒸镀遮挡装置40，所述蒸镀遮挡装置40包括：中空的遮挡主体401和与所述遮挡主体401匹配且固定的遮挡盖402。

其中，所述遮挡主体401的形状为圆柱体，相应的，遮挡主体401的中空部分也为圆柱体，与所述遮挡主体401匹配的遮挡盖402的横截面的图形为圆形。此外，为了充分保证在所述蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源20的降温过程中，蒸发出来的材料能够尽量多的进入所述遮挡主体401的内部，所述遮挡主体401的中空部分的截面面积大于所述蒸镀源20的面积，且所述遮挡盖402设置在所述遮挡主体401靠近所述待镀基板30的上表面。

在此基础上，所述蒸镀装置01还可以包括冷凝装置、以及均匀地缠绕在在所述遮挡主体401外表面的加热丝403；其中，所述冷凝装置包括设置在所述遮挡盖402靠近所述待镀基板30上表面的冷却水管路404、与所述冷却水管路404相连的冷却水进水管405和冷却水出水管406、以及与所述冷却水进水管404和所述冷却水出水管406连接的供水装置70。

其中，冷却水管路404固定在所述遮挡盖402的上表面；所述冷却水进水管405和冷却水出水管406设置在所述腔体10内部；所述供水装置70设置在所述腔体10外部，并通过穿过所述腔体10的第一供水管701与所述冷却水进水管405相连，以及通过穿过所述腔体10的第二供水管702与所述冷却水出水管相连406。

此外，为了最大限度地增加所述冷却水管路404与所述遮挡盖402的接触面积，提高冷却效果，所述冷却水管路404可以以图3a所示的盘旋方式平铺在所述遮挡盖402的上表面。

通过上述结构，当在所述蒸镀源20的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源20的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置40设置在所述蒸镀源20与所述待镀30基板之间，且靠近所述蒸镀源20设置时，便将蒸镀材料收集在所述遮挡盖402的内侧，以便进行回收利用。

基于上述的描述可知，考虑到后续工艺需要对凝结在所述遮挡盖402的内侧的蒸镀材料进行回收，参考图4所示，所述遮挡盖402与所述遮挡主体401采用以下的可拆卸的方式固定在一起：所述遮挡盖402包括：一个底面4021，与所述底面4021连接的侧面4022，且所述侧面4022具有外螺纹；其中，所述底面4021的面积大于等于所述遮挡主体401的截面面积，所述侧面4022围成的截面面积略小于所述遮挡主体401的中空部分的面积；在此基础上，可以在所述遮挡主体401靠近所述遮挡盖402的一侧具有与所述外螺纹相吻合的内螺纹。这样，所述遮挡盖402便可以通过旋转方式将其侧面4022旋入所述遮挡主体401内部，实现二者的固定。

进一步地，参考图5所示，所述冷却水管路404与所述遮挡盖402可以采用以下的可拆卸固定方式固定：所述冷却水管路404焊接在一个金属板80上，所述金属板80与所述遮挡盖402的上表面固定在一起；其中，所述金属板80上包括四个均匀分布的固定螺丝孔801，与所述金属板80对应的所述遮挡盖402的上表面上具有相应的固定螺丝孔801，所述金属板80与所述遮挡盖402的上表面通过与所述固定螺丝孔801相匹配的螺丝固定。这样，通过所述螺丝与所述固定螺丝孔801的连接和分离，便可以灵活地实现所述冷却水管路404与所述遮挡盖402的固定和分离。

基于上述描述，当不需要对凝结在所述遮挡盖402上的蒸镀材料进行回收时，可以将所述遮挡主体401、遮挡盖402以及冷凝装置固定成一体结构，这样可以实现不同阶段整体的移动。

在此基础上，所述蒸镀装置01还包括：与所述冷却水进水管405和所述冷却水出水管406均连接的传动丝杠90，以及与所述传动丝杠90连接的驱动装置92。

其中，所述驱动装置92设置在所述蒸镀装置01腔体的外部，且所述传动丝杠90的一部分位于所述腔体10内，另一部分位于所述腔体10外；所述驱动装置92通过与所述驱动装置92连接的连接杆91与位于所述腔体10外的所述传动丝杠90连接。

基于上述描述的蒸镀装置01，现提供一个具体的操作过程：

步骤1、在蒸镀开始前，通过所述驱动装置92控制所述传动丝杆90的移动，即，将与所述传动丝杆90连接的蒸镀遮挡装置40和冷凝装置移动至所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间、且靠近所述蒸镀源20的位置，并将所述遮挡主体401的中空部分正对着所述蒸镀源20。

步骤2、通过所述供水装置70，先给所述冷却水进水管405通入冷却水，再给所述加热丝403加热使所述遮挡主体401具有较高的温度；通过所述加热器50给所述蒸镀源20加热，使得蒸发出的材料能够进入所述遮挡主体401的内部。

步骤3、当所述蒸镀源20加热到预设温度后，同样的，通过所述驱动装置92控制所述传动丝杆90的移动，即，将与所述传动丝杆90连接的蒸镀遮挡装置40移动至除所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间的其他位置，停止对所述加热丝403的加热以及停止给所述冷却水管路404通入冷却水；通过所述挡板60将蒸发出的材料选择性地蒸镀到所述待镀基板30的所述蒸镀区30a。

此处，当不需要对凝结在所述遮挡盖402上的蒸镀材料进行回收时，所述蒸镀遮挡装置40移动的位置以不影响所述待镀基板30的蒸镀为准。

步骤4、完成蒸镀后，停止所述加热器50给所述蒸镀源20的加热，再次通过所述驱动装置92控制所述传动丝杆90的移动，即，将与所述传动丝杆90连接的蒸镀遮挡装置40移动至所述蒸镀源20与所述待镀基板30之间、且靠近所述蒸镀源20的位置，并将所述遮挡主体401的中空部分正对着所述蒸镀源20，以使由于所述蒸镀源20的高温作用而仍然继续蒸发的材料进入所述遮挡主体401的内部；并在移动过程中同时给所述冷却水管路404通入冷却水以及对所述加热丝403进行加热，以使上述的材料凝结在所述遮挡盖402的内部。

步骤5、在所述蒸镀源20降温至室温后，将所述遮挡主体401与所述遮挡盖402、遮挡盖402与冷凝器装置分离开来，通过刮取的方式获得凝结在所述底面4021上的材料，便于这部分未参与蒸镀的原材料的回收和再利用。

需要说明的是，本实用新型所有附图是蒸镀装置的简略的示意图，只为清楚描述本方案体现了与发明点相关的结构，对于其他的与发明点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种蒸镀装置，包括腔体，设置在所述腔体内的蒸镀源和待镀基板，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置在所述腔体内的蒸镀遮挡装置，所述蒸镀遮挡装置包括：中空的遮挡主体和与所述遮挡主体匹配且固定的遮挡盖；

其中，所述遮挡盖设置在所述遮挡主体靠近所述待镀基板的上表面；所述遮挡主体的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源的面积；

在所述蒸镀源的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置设置在所述蒸镀源与所述待镀基板之间，且靠近所述蒸镀源设置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括冷凝装置、以及设置在所述遮挡主体外表面的加热丝；

其中，所述冷凝装置包括设置在所述遮挡盖靠近所述待镀基板的上表面的冷却水管路、与所述冷却水管路相连的冷却水进水管和冷却水出水管、以及与所述冷却水进水管和所述冷却水出水管连接的供水装置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路以盘旋方式均匀的平铺在所述遮挡盖的上表面。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述遮挡主体的中空部分的形状为圆柱体；

所述遮挡盖包括：一个底面以及与所述底面连接的侧面，且所述底面的面积大于等于所述遮挡主体的截面面积，所述侧面具有外螺纹；

其中，所述遮挡主体靠近所述遮挡盖的一侧具有内螺纹，所述遮挡主体上的内螺纹与所述遮挡盖的所述侧面的外螺纹相吻合。

5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路固定在所述遮挡盖的上表面。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路固定在一个金属板上，所述金属板与所述遮挡盖的上表面固定在一起；

其中，所述金属板上包括至少两个均匀分布的固定螺丝孔，与所述金属板对应的所述遮挡盖的上表面上具有相应的固定螺丝孔，所述金属板与所述遮挡盖的上表面通过与所述固定螺丝孔相匹配的螺丝固定。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：与冷却水进水管和/或冷却水出水管连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置设置在所述蒸镀装置腔体的外部；

其中，所述传动丝杠的一部分位于所述腔体内，另一部分位于所述腔体外；所述驱动装置通过与所述驱动装置连接的连接杆与位于所述腔体外的所述传动丝杠连接。

9.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水进水管和所述冷却水出水管设置在所述腔体内侧，所述供水装置设置在所述腔体外部；

其中，所述供水装置通过穿过所述腔体的第一供水管与所述冷却水进水管相连，通过穿过所述腔体的第二供水管与所述冷却水出水管相连。

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