CN105755432B - 一种蒸镀罩和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。本发明实施例的蒸镀罩能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。

Description

一种蒸镀罩和蒸镀设备

技术领域

本发明实施例涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀罩和蒸镀设备。

背景技术

在诸多蒸镀工艺例如OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管又称为有机电激光显示)蒸镀工艺过程中，OLED蒸镀材料利用率较低，其中有一部分材料被浪费在了材料预热和蒸镀结束后材料降温过程中，而这部分浪费的材料被凝结在了蒸镀腔内的蒸镀罩上，造成了OLED器件成本较高。

发明实施例内容

针对现有技术中的缺陷，本发明实施例提供一种蒸镀罩和蒸镀设备，能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接。

进一步地，所述罩体上设有至少一个螺纹孔，所述收集器与所述螺纹孔一一对应设置，所述收集器的开口处设有外螺纹，所述收集器与所述螺纹孔螺纹连接。

优选地，所述罩体上设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔均布在所述罩体上。

优选地，所述收集器为坩埚。

进一步地，所述罩体的正下方设有隔网。

进一步地，所述隔网与所述罩体通过连接件连接。

另外，所述罩体的周向连接有传动杆，所述罩体通过所述传动杆与外部驱动装置相连。

第二方面，本发明实施例还提供一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。

由上述技术方案可知，本发明实施例基于对蒸镀罩的结构改进，采用在蒸镀罩的罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，在材料预热和蒸镀结束后材料降温过程中，蒸镀材料通过蒸镀通道被收集到收集器内，回收了现有技术下被浪费掉的蒸镀材料，进而提高了蒸镀材料的利用率，达到降低制造成本的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明实施例的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例一种蒸镀设备的侧视图；

图2是本发明实施例一种蒸镀设备的俯视图；

图3是本发明实施例一种蒸镀设备未安装收集器的俯视图。

图1-3中：1：罩体；2：螺纹孔；3：收集器；4：隔网；5：传动杆；6：蒸镀坩埚。

具体实施方式

为使本发明实施例实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例实施例中的附图，对本发明实施例实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明实施例保护的范围。

如图1所示，为本发明实施例提供的一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚6和蒸镀罩，其中蒸镀罩包括罩体1，所述罩体1上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器3，这样，当蒸镀罩盖住蒸镀坩埚6后，蒸镀坩埚6内的蒸镀材料若有蒸出就会进入蒸镀罩上的收集器3内，待蒸镀实验完成后，可将收集器3内的蒸镀材料提取重复使用，从而回收被浪费掉的蒸镀材料，提高了蒸镀材料的利用率，节约了成本；所述收集器3与所述蒸镀通道采用可拆卸连接，从而方便取下所述收集器3，进行蒸镀材料回收。

所述罩体1上设有至少一个螺纹孔2，如图2所示，优选设有多个螺纹孔2，多个所述螺纹孔2均布在所述罩体1上，具体根据蒸镀罩的空间布置螺纹孔2的具体数量，所述收集器3与所述螺纹孔2一一对应设置，所述收集器3的开口处设有外螺纹，所述收集器3与所述螺纹孔2螺纹连接，从而实现收集器3与蒸镀通道的可拆卸连接，连接方式可靠，拆卸方便。

所述收集器3可以为坩埚，优选为蒸镀坩埚6，这样，当收集好蒸镀材料后，可以直接取下该蒸镀坩埚6进行蒸镀使用，省去了将蒸镀材料转移的步骤；当然收集器3也可以为其他收集工具。

为防止蒸镀材料从收集器3内脱落，掉入蒸镀坩埚6内，造成蒸镀速率异常，如图1所示，所述罩体1的正下方设有隔网4，如铁丝网或铜丝网，当然也可以选择其他材质的丝网。所述隔网4的外周通过螺栓或螺钉等紧固连接件与所述罩体1的外周连接，也可以定期取下隔网4进行清洗。

为了实现蒸镀罩的自动工作，如图1-3所示，所述罩体1的周向连接有传动杆5，所述罩体1通过所述传动杆5与外部驱动装置如驱动电机相连，所述蒸镀罩水平可转动地设于蒸镀坩埚6的上方，当需要蒸镀时，通过驱动电机驱动蒸镀罩离开蒸镀坩埚6上方，进行蒸镀工作；当蒸镀结束后，通过驱动电机驱动蒸镀罩反方向转动设在蒸镀坩埚6上方，进行蒸镀材料的收集工作。

由此可以看出，本发明实施例结构设置巧妙，能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率，节约制造成本。

在本发明实施例的描述中需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

本发明实施例的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明实施例的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本发明实施例公开并帮助理解各个发明实施例方面中的一个或多个，在上面对本发明实施例的示例性实施例的描述中，本发明实施例的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释呈反映如下意图：即所要求保护的本发明实施例要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如权利要求书所反映的那样，发明实施例方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明实施例的单独实施例。

应该注意的是上述实施例对本发明实施例进行说明而不是对本发明实施例进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明实施例的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明实施例的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (7)

1.一种蒸镀工艺，其特征在于，包括：

收集步骤：在蒸镀步骤结束后，通过驱动电机驱动蒸镀罩移至蒸镀坩埚的上方，进行蒸镀材料的收集工作，其中，所述蒸镀罩包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；

蒸镀步骤：需要蒸镀时，通过驱动电机驱动所述蒸镀罩离开蒸镀坩埚的上方，进行蒸镀工作。

2.根据权利要求1所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述罩体上设有至少一个螺纹孔，所述收集器与所述螺纹孔一一对应设置，所述收集器的开口处设有外螺纹，所述收集器与所述螺纹孔螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述罩体上设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔均布在所述罩体上。

4.根据权利要求1-3任一项所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述收集器为坩埚。

5.根据权利要求4所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述罩体的正下方设有隔网。

6.根据权利要求5所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述隔网与所述罩体通过连接件连接。

7.根据权利要求1所述的蒸镀工艺，其特征在于，所述罩体的周向连接有传动杆，所述罩体通过所述传动杆与外部驱动装置相连。