JP2007314877A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 蒸発源を保持した電極を覆う電極カバーであって、
   前記電極カバーは、少なくとも前記電極の蒸発源側の面を覆い、かつ前記電極に接しない面を有することを特徴とする電極カバー。
2. 蒸発源を保持した電極を覆う電極カバーであって、
   前記電極カバーは、少なくとも前記電極の蒸発源側の面を覆い、かつ前記電極に接しない斜めの面を有することを特徴とする電極カバー。
3. 蒸発源を保持した電極を覆う電極カバーであって、
   前記電極カバーは、少なくとも前記電極の蒸発源側の面を覆い、かつ前記電極への前記蒸発源からの材料の付着を防ぐように前記電極に接しない斜めの面を有することを特徴とする電極カバー。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記電極は複数の部位からなることを特徴とする電極カバー。
5. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記電極は上部、中部、及び下部を有し、
   前記電極カバーは、前記中部に設けられていることを特徴とする電極カバー。
6. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記電極はねじによって電気的に接続された上部、中部、及び下部を有し、
   前記電極カバーは、前記中部に設けられ、
   前記電極カバーは、前記中部に設けられた前記ねじの穴以外の上面を覆っていることを特徴とする電極カバー。
7. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記電極は上部、中部、及び下部を有し、
   前記電極カバーは、前記上部に設けられていることを特徴とする電極カバー。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれか一において、
   前記電極カバーは、前記蒸発源の蒸着温度よりも耐熱温度の高い材料で構成されていることを特徴とする電極カバー。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
   前記電極カバーは、取り外せることを特徴とする電極カバー。
10. 請求項１乃至９のいずれか一に記載の電極カバーを備えた蒸着装置。