CN106995915A - 一种旋转式多位阻蒸设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台(1)，分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2)，与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3)，以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘等组成。本发明所设置的多位阻蒸盘能同时放置多个靶材，并且本发明设置在多位阻蒸盘上的旋转式电极杆2在驱动电机3的带动下能进行360°的旋转，使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转，很好的实现了对加热的蒸发舟6的转换。从而确保了本发明能同时放置多个靶材，并能对靶材进行连续的镀膜的要求，有效的缩短了基片的镀膜时间，很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种阻蒸设备，具体是指一种旋转式多位阻蒸设备。
背景技术
阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。我们在对基片镀膜时，常常会对基片采用相同或不同的靶材进行多次镀膜，以确保基片的镀膜质量。
然而，现有的阻蒸镀膜设备多为一位式固定阻蒸镀膜设备，该设备在蒸镀时只能放置一种靶材，不能同时放置多个靶材，当需要对基片进行多次镀膜时，则需关闭阻蒸镀膜设备后通过人工进行添加或更换靶材，导致基片的镀膜时间过长，从而严重的影响了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
发明内容
本发明的目的在于克服现有的阻蒸镀膜设备的不能同时放置多个靶材，因此不能对基片进行连续的镀膜的缺陷，提供一种旋转式多位阻蒸设备。
本发明的目的通过下述技术方案现实：一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台，分别设置在安装台上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆，与旋转式电极杆电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆相连接的驱动电机，以及设置在旋转式电极杆上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟，所述旋转式电极杆通过同步带连接在驱动电机上。
所述多位阻蒸盘包括电极盘，与蒸发舟一一对应设置并与蒸发舟电连接的从电极耳，设置在从电极耳上并与电极盘相连接的弹性组件；所述从电极耳与从电极锁紧装置电连接。
所述弹性组件包括与从电极耳相连接的绝缘垫，设置在绝缘垫上的安装板，以及一端与安装板相连接、另一端通过加强筋连接在电极盘上的弹性件。
所述旋转式电极杆通过拉紧连接座连接在安装台上，所述旋转式电极杆上分别设置有支持筒和水冷管以及旋转装置，所述旋转装置还分别与支持筒和拉紧连接座相连接，所述旋转式电极杆上还设置有的环形电极盘，所述环形电极盘通过电极抱箍连接在旋转式电极杆上并与电极锁紧装置。
所述旋转装置包括一端与支持筒相连接、另一端与拉紧连接座相连接的旋转真空密封外套，一端通过上轴承安装在旋转真空密封外套上、另一端通过下轴承安装在支持筒上的旋转内轴，以及通过同步带固定键条连接在旋转内轴上且位于下轴承下方的同步带轮：所述旋转式电极杆贯穿旋转内轴，且该旋转式电极杆一端通过静密封与旋转内轴相连接、另一端通过内轴固定键条与旋转内轴相连接，所述同步带轮通过同步带与驱动电机相连接。
所述电极锁紧装置包括与环形电极盘电连接的电极夹紧板，设置在电极夹紧板下方且用于夹紧环形电极盘的压头，以及设置在压头上的第一气缸；所述压头连接在第一气缸的第一伸缩杆上；所述电极夹紧板上设有安装基板，所述第一气缸安装在安装基板上；所述安装基板上设有保持座，所述电极夹紧板通过绝缘板连接在保持座上并位于保持座的下方，所述第一伸缩杆贯穿安装基板与保持座；所述旋转式电极杆贯穿安装基板并通过支持筒连接在安装基板上。
所述从电极锁紧装置包括与从电极耳电连接的从电极座，设置在从电极座上方且用于夹紧从电极耳的夹头，以及设置在夹头上的第二气缸；所述夹头连接在第二气缸的第二伸缩杆上，所述从电极座上设置有导电座，所述导电座通过下绝缘块连接在安装台上并位于安装台的下方，所述安装台上设置有与下绝缘块相匹配的上绝缘块，所述导电座上还设置有安装筒，所述第二伸缩杆贯穿安装筒与导电座，所述第二伸缩杆通过伸缩杆固定座连接在导电座上。
所述蒸发舟的一端通过电极压块连接在电极盘上、其另一端通过从电极压块连接在从电极耳上。
所述驱动电机设置在安装基板上，所述的驱动电机的转轴上设置有用于调节驱动电机转速的变速器，所述变速器的传动轴上设置有通过同步带连接在同步带轮上的传动同步带轮，所述传动同步带轮的下方设置有编码器，所述编码器通过转轴连接套连接在变速器的传动轴上。
所述旋转式电极杆的下端设置有旋转式水接头，所述水冷管贯穿旋转式水接头的安装头后连接在贯穿旋转式水接头的进水接头上。
本发明与现有技术相比具有以下优点及有益效果：
(1)本发明设置的多位阻蒸盘上设有多个蒸发舟能同时放置多个靶材，并且本发明还在多位阻蒸盘上设置了旋转式电极杆，该旋转式电极杆在相连接的驱动电机的带动下能进行360°的旋转，使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转。同时，本发明设置的从电极锁紧装置和电极锁紧装置能实现对多位阻蒸盘上的从电极和电极的自动导通与关闭，从而确保了本发明能同时放置多个靶材，并能对靶材进行连续的镀膜的要求，有效的缩短了基片的镀膜时间，很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
(2)本发明在从电极耳与阻蒸盘之间设置了弹性组件，该弹性组件能使从电极耳快速的复位，防止了蒸发舟在受热后出现变形或断裂，从而有效的提高了蒸发舟的使用寿命。
(3)本发明的旋转式电极杆上设置了水冷管，该水冷管能使旋转式电极杆实现快速的冷却，使旋转式电极杆的温度能保持在25℃左右，从而确保了本发明的旋转式电极杆不会变形，同时确保了与旋转式电极杆相配合的绝缘和密封部件不会被高温损坏，从而极大的延长了电极装置的使用寿命。
(4)本发明的拉紧连接座能使旋转式电极杆牢牢的固定在安装台上，本发明设置的旋转装置能使旋转式电极杆在驱动电机的带动下实现自由的旋转。
(5)本发明的驱动电机和编码器相配合，能使电极杆进行定位转动，很好的解决了现有的电极杆的供电控制装置不能使电极杆进行定位转动的问题。
(6)本发明的电极锁紧装置的压头在第一气缸的第一伸缩杆的带动下能实现电极夹紧板与旋转式电极杆的环形电极盘的自动连接与断开，并且电极锁紧装置能使旋转式电极杆的环形电极盘与电极夹紧板的接触更紧密，从而确保了本发明旋转式电极杆的电极能自动导通或断开，同时确保了为蒸发舟提供一个稳定的电极，有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度。
(7)本发明的从电极锁紧装置的夹头在第二气缸的第二伸缩杆的带动下能实现从电极座与从电极耳的自动连接与断开，并且从电极锁紧装置能使从电极耳与从电极座的接触更紧密，从而确保了本发明从电极耳的从电极能自动导通或断开，同时确保了为蒸发舟提供一个稳定的电极，有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度。
附图说明
图1为本发明的整体示意图。
图2为本发明的旋转式电极杆的剖视图。
图3为本发明的多位阻蒸盘的俯视图。
图4为本发明的多位阻蒸盘的剖视图。
图5为本发明的电极锁紧装置的局部剖视图。
图6为本发明的电极夹紧板的结构示意图。
图7为本发明的从电极锁紧装置的剖视图。
图8为本发明的从电极座的结构示意图。
上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：
1—安装台，2—旋转式电极杆，3—驱动电机，4—同步带，5—电极盘，6—蒸发舟，7—从电极耳，8—绝缘垫，9—安装板，10—加强筋，11—弹性件，12—从电极压块，13—电极压块，14—拉紧连接座，15—支持筒，16—环形电极盘，17—电极抱箍，18—旋转真空密封外套，19—上轴承，20—下轴承，21—旋转内轴，22—同步带轮，23—同步带固定键条，24—静密封，25—内轴固定键条，26—水冷管，27—电极夹紧板，28—压头，29—第一气缸，30—第一伸缩杆，31—安装基板，32—保持座，33—绝缘板，34—从电极座，35—夹头，36—第二气缸，37—第二伸缩杆，38—导电座，39—下绝缘块，40—上绝缘块，41—安装筒，42—伸缩杆固定座，43—变速器，44—传动轴，45—传动同步带轮，46—编码器，47—转轴连接套，48—下绝缘垫，49—上绝缘垫，50—旋转式水接头，51—安装头，52—进水接头，53—出水接头，54—编码器安装板，55—张紧轮，101—安装槽，102—电极压块安装孔，103—安装凹槽，104—弹性件安装孔，105—加强筋安装孔，106—槽孔，201—丝孔，301—旋转密封圈，302—同步带垫圈，303—带轮锁紧螺母，304—衬套，305—室体密封圈，306—锁紧螺母，307—垫板，308—拉紧密封圈，309—气缸轴保持环，501—并紧螺母，502—水密封圈。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式并不限于此。
实施例
如图1～8所示，本发明公开了一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台1，分别设置在安装台1上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆2，与旋转式电极杆2电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆2相连接的驱动电机3，以及设置在旋转式电极杆2上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成。所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟6，所述旋转式电极杆2通过同步带4连接在驱动电机3上。其中，所述的多位阻蒸盘如图3、4所示。其包括电极盘5，从电极耳7，以及弹性组件；所述弹性组件包括绝缘垫8，安装板9，以及弹性件11。所述电极锁紧装置如图5、6所示，其包括电极夹紧板27，压头28，以及第一气缸29。所述从电极锁紧装置如图7、8所示，其包括从电极座34，夹头35，第二气缸36。
实施时，所述的安装台1上预设置有安装阻蒸设备的各部件的安装孔。如图3、4所示，所述的电极盘5优先采用了耐高温、导电性能强的钢盘来实现，本发明将电极盘5设置为圆形，如图3～4所示，在电极盘5上设置了与蒸发舟6一一配合的安装槽101，该安装槽101的数量可根据蒸发舟6的数量进行调整。电极盘5上还设置了多个电极压块安装孔102、弹性件安装孔104和加强筋安装孔105。该电极盘5上还设置有用于安装旋转式电极杆2的安装凹槽103，在该安装凹槽103的底部设有用于安装固定螺钉的槽孔106，该槽孔106用于安装对旋转式电极杆2进行固定的螺钉，旋转式电极杆2则通过螺钉固定在安装凹槽103内。所述的蒸发舟6优先采用了耐高温的钨舟，该蒸发舟6安装在电极盘5的安装槽101内，蒸发舟6的一端通过电极压块13连接在电极盘5上，其而另一端则通过从电极压块12连接在与电极盘5相配合的从电极耳7上，电极压块13通过与电极盘5上的电极压块安装孔102相配合的螺钉固定在电极盘5上，从电极压块12同样通过螺钉固定在从电极耳7上，这样便于蒸发舟6的安装或更换。
所述电极盘5长期在高温下工作其硬度容易降低，为了防止电极盘5的硬度降低后使整个阻蒸台出现变形的问题，本发明在电极盘5的底部设置了多条加强筋10，该加强筋10通过与电极盘5的加强筋安装孔105螺纹相连接的螺钉固定在电极盘5上。所述加强筋10本发明优先设置为六条，该六条连接在一起，加强筋10的数量可根据需要进行调整，该加强筋10上设置了与电极盘5的安装槽103相配合使用的穿心孔，并且该加强筋10上还设有与电极盘5上的弹性件安装孔104相对应的通孔。外部的电极输入杆则贯穿加强筋10上的通孔后安装在电极盘5的安装槽103上，并通过螺钉贯穿安装槽103上的槽孔106后将外部的电极输入杆固定在安装槽103内。
所述从电极耳7与从电极锁紧装置电连接，而从电极锁紧装置的在夹紧从电极耳7时会使从电极耳7的位置发生变化，如果从电极锁紧装置张开时从电极耳7不能及时复位，与从电极耳7相连接的蒸发舟6便容易出现变形或断裂。本发明为了防止蒸发舟6变形或断裂，在从电极耳7与电极盘5之间设置了弹性组件。该弹性组件能在从电极锁紧装置张开时，使从电极耳7快速的复位，从而有效的防止了蒸发舟6出现变形或断裂。
所述弹性组件如图3、4所示，其包括绝缘垫8，安装板9，以及弹性件11。其中，所述的绝缘垫8优先采用了陶瓷材料制成的绝缘垫，该绝缘垫8通过螺钉固定设置在从电极耳7的底部，安装板9则通过螺钉固定设置在绝缘垫8上。安装板9本发明采用了金属材料制成的安装板，该安装板9则用于安装弹性件11，弹性件11通过螺钉安装在安装板9上，且该弹性件11的一端通过螺钉安装在安装板9上，而另一端通过贯穿强筋10上的通孔后与电极盘5上的弹性件安装孔104螺纹连接的螺钉固定设置在加强筋10上。所述弹性件11本发明优先采用了具有较强的弹性的弹簧钢片制成。该弹性件11能在从电极锁紧装置张开时，通过弹性件11所具有的弹性使与从电极耳7相连接的蒸发舟6快速的复位，从而防止了蒸发舟6在受热后出现变形，并且有效的提高了蒸发舟6的使用寿命。
如图2所示，所述的旋转式电极杆2本发明优先采用了空心旋转式电极杆2，该旋转式电极杆2能很好的提高旋转式电极杆2的散热效果，旋转式电极杆2的上端设置有用于安装与阻蒸盘5连接螺钉的丝孔201，该旋转式电极杆2安装在阻蒸盘5的安装凹槽103内并通过与丝孔201相匹配的螺钉进行固定。为了实现对旋转式电极杆2自动冷却，本发明在旋转式电极杆2的空心体内设置了水冷管26，该水冷管26优先采用了不锈钢管，该水冷管26的出水接头与旋转式电极杆2顶部距离为1㎝，使水冷管26流出的冷却水能充分的与旋转式电极杆2的顶部相接触，从而使旋转式电极杆2的冷却效果更好。本发明中所说的水冷管26的出水接头与旋转式电极杆2顶部距离可根据需要进行调整。而流入旋转式电极杆2内的冷却水在吸收旋转式电极杆2的热量后通过连接在旋转式电极杆2下端旋转式水接头50流出，该旋转式水接头50的安装头51则通过螺纹连接在旋转式电极杆2下端开口处，并通过设置在旋转式电极杆2上的并紧螺母501对过渡座16进行固定，该并紧螺母501与旋转式电极杆2则通过螺纹连接，在旋转式电极杆2的开口与安装头51的接触面上还设置了用于防止水溢出的水密封圈502。
所述的安装头51内设置有通心过孔，水冷管26则贯穿于该通心过孔连接到旋转式水接头50上，该旋转式水接头50优先采用了双孔旋转式水接头，且该旋转式水接头50上设置有进水接头52和出水接头53，该旋转式水接头50与安装头51活动连接后能在安装头51上进行360°旋转。其水冷管26与旋转式水接头50的进水接头52相连接，而安装头51的过水孔通过密封圈活动连接在旋转式水接头50的出水接头53上，从而确保了旋转式电极杆2内的冷却水能保持循环状态，使旋转式电极杆2在工作中的温度保持稳定在25℃左右。
实施时，本发明还设置了与旋转式电极杆2相配合的旋转装置，该旋转装置能使旋转式电极杆2自由的转动。该旋转装置如图2所示，其包括旋转真空密封外套18，旋转内轴21，以及同步带轮22。所述的旋转真空密封外套18的一端与支持筒15相连接、另一端与拉紧连接座14相连接，且该旋转真空密封外套18上设置有贯穿其上下端的安装孔，本发明的安装孔优先设置为4个，该旋转真空密封外套18与拉紧连接座14和支持筒15连接后形成一个真空体，使旋转真空密封外套18内的其它部件不会被高温度损坏，旋转真空密封外套18内还设置有旋转内轴21。
该旋转内轴21的一端通过上轴承19安装在旋转真空密封外套18内，另一端则通过下轴承20安装在支持筒15上，为了确保旋转真空密封外套18与旋转内轴21的密封效果，在旋转内轴21与旋转真空密封外套18之间本发明设置了旋转密封圈301，该旋转密封圈301采用赖高温的橡胶材料制成。而旋转内轴21为空心轴，旋转式电极杆2则贯穿于旋转内轴21，旋转式电极杆2位于旋转真空密封外套18内的一端与旋转内轴21之间设置了防止空气进入旋转真空密封外套18内的静密封24，另一端则通过内轴固定键条25与旋转内轴21相连接，该内轴固定键条25能使旋转内轴21与旋转式电极杆2保持同速同相转动。
同时，在旋转内轴21位于下轴承20下方的一端上还设置了用于与外部的传动电机相配合的同步带轮22，该同步带轮22则通过同步带固定键条23连接在旋转内轴21上，该同步带固定键条23能使旋转内轴21与同步带轮22保持同速同相转动。为对同步带轮22在旋转内轴21上的安装位置相限定，在同步带轮22与下轴承20之间设置了同步带垫圈302，并通过与旋转式电极杆2螺纹连接的带轮锁紧螺母303对同步带轮22进行固定。而在下轴承20与上轴承19之间也设置了用于限位的衬套304，该衬套304位于支持筒15与旋转内轴21之间。本发明的同步带轮22在使用时通过同部带4与驱动电机3的转轴相连接，通过驱动电机3的转动则可带动旋转式电极杆2进行转动。
本发明的电极杆2通过拉紧连接座14连接在安装台1上，所述的拉紧连接座14优先采用了不锈钢制成的圆形空心体，所述旋转式电极杆2贯穿于拉紧连接座14，该拉紧连接座14上设置了与旋转真空密封外套18上的安装孔相对应的4个通孔，安装时通过螺钉从上至下贯穿拉紧连接座14的通孔和旋转真空密封外套18的安装孔后将拉紧连接座14固定在支持筒15上。本发明在拉紧连接座14上设置了室体密封圈305，该室体密封圈305可使拉紧连接座14与安装台1上安装孔接触更紧密，以防止空气进入阻蒸设备的阻蒸室内。所述的下绝缘垫48安装在室体密封圈305上，该下绝缘垫48与设置在拉紧连接座14上的上绝缘垫49相配合后能有效的防止安装台1带电，很好的确保了操作者的安全，本发明的下绝缘垫48和上绝缘垫49均优先采用了绝缘效果良好的陶瓷制成的绝缘垫。
所述的拉紧连接座14则优先通过锁紧螺母306固定在安装台1上，为了确保锁紧螺母306在锁紧时不会损坏上绝缘垫49，本发明在锁紧螺母306与上绝缘垫49之间设置了垫板307，为了确保拉紧连接座14与旋转真空密封外套18连接处的密封效果，在拉紧连接座14与旋转真空密封外套18的连接处之间还设置了拉紧密封圈308。
为了防止旋转式电极杆2的接电装置在加电时被高电流损坏，本发明如图2所示，在旋转式电极杆2上设置了环形电极盘16，该环形电极盘16通过电极抱箍17连接在旋转式电极杆2上，该电极抱箍17能将环形电极盘16牢牢的固定在旋转式电极杆2上。环形电极盘16则通过焊接或螺钉固定在电极抱箍17上，该环形电极盘16无接口，在旋转式电极杆2转动时环形电极盘16能很好的与电极锁紧装置相连接，有效的降低了电流损耗，从而很好的节约了电力资源。
同时，所述的电极锁紧装置如图5、6所示，主要由电极夹紧板27，压头28，以及第一气缸29组成，并且还设置了与上述背景相配合使用的安装基板31，保持座32，绝缘板33。所述的安装基板31优先采用了不锈钢板来实现，本发明在该安装基板31上设置了用于安装旋转电极杆2的安装通孔，旋转电极杆2贯穿安装基板31后通过螺钉固定在安装基板31上。所述的第一气缸29通过螺钉固定安装在安装基板31上，本发明所述的第一气缸29优先采用了DNC系列的直线往复运动的气缸，该第一气缸29与外部的压缩机通过气管相连接。所述的保持座32本发明则通过螺钉固定设置在安装基板31上，且该保持座32位于第一气缸29的下方。所述的第一气缸29的第一伸缩杆30贯穿保持座32后连接在第一气缸29上，该第一气缸29的第一伸缩杆30通过气缸轴保持环309连接在保持座32上，在外部的压缩机的作用下第一气缸29的第一伸缩杆30进行直线往复运动。所述的压头28设置第一气缸29的第一伸缩杆30位于保持座32外的一端上，该压头28通过锁紧螺母固定在第一气缸29的第一伸缩杆30上，压头28能与第一伸缩杆30保持同向同速运动。
其中，在所述的保持座32上设置有与电极杆2上的环形电极盘16电连接的电极夹紧板27，该电极夹紧板27通过螺钉固定在保持座32上，电极夹紧板27上设置了用于连接外部电极的连接孔，外部电极通过螺钉固定在电极夹紧板27的连接孔上。电极夹紧板27与压头28相配合后形成一个夹具，压头28在第一气缸29的第一伸缩杆30的带动下将环形电极盘16牢牢的压在电极夹紧板27上，有效的确保了电极夹紧板27与环形电极盘16的电极传输的稳定性。为了防止电极夹紧板27与外部电极连接时保持座32带电，本发明在电极夹紧板27与保持座32之间还设置了绝缘板33。该绝缘板33优先采用了陶瓷绝缘板来实现。
本发明的驱动电机3如图5、6所示安装时采用螺钉固定在安装基板31上，且该驱动电机3通过同步带4与旋转式电极杆2相连接。使用时驱动电机3的电极输入端与外部控制系统相连接。为了能对驱动电机3的转速进行调节，在驱动电机3的转轴上设置了变速器43，该变速器43通过螺钉固定安装在安装基板31上。该变速器43的传动轴44上设置有编码器46，该编码器46则通过测角轴通过转轴连接器47连接在变速器43的传动轴44上，编码器6的测角轴便能与变速器43的传动轴44保持同向同速转动。所述的安装基板31上还设置有编码器安装板54，所述编码器46通过螺钉安装在编码器安装板54上，其编码器46的信号输出端与外部控制系统相连接。编码器46通过测角轴对驱动电机3的转动角度进行采集，编码器46并将采集的驱动电机3的转动信息转换为电信号传输给外部连接的控制系统，外部控制系统则根据接收的信息来控制电机的转动与停止。本发明的外部控制系统分别对驱动电机3和第一气缸29相连接的外部压缩机的工作状态进行控制。
进一步地，所述的变速器43的传动轴44上还设置有传动传动带轮45，该传动带轮45位于转轴连接器47与安装基板31之间，且该同步带轮45与变速器43的传动轴44保持同相同速转动。传动带轮45在使用时通过同步带4与旋转式电极杆2上的同步带轮22相连接，以实现驱动电机3带动旋转式电极杆2进行转动的目的。为了使连接传动带轮45和旋转式电极杆2的同步带4与传动带轮45和同步带轮22接触更紧密，本发明在位于传动带轮45与旋转式电极杆2之间的安装基板31上设置了张紧轮55，该张紧轮55与同步带4相配合后使同步带4与同步带轮8和同步带轮22接触更紧密，从而使旋转式电极杆2的转速与传动带轮45的转速保持一致，有效的提高了本发明工作的准确性。
如图7、8所示，所述从电极锁紧装置包括从电极座34，夹头35，第二气缸36；并且从电极锁紧装置还设置了与上述部件相配合的导电座38，下绝缘块39，上绝缘块40，安装筒41，伸缩杆固定座42。
进一步地，所述的导电座38通过下绝缘块39连接在安装台1上，而在安装台1上也设置有与下绝缘块39相匹配的上绝缘块40，上绝缘块40还与导电座38相连接，导电座38上设置有用于将导电座38固定在安装台1上螺母，拧紧螺母便能将导电座38固定在安装台1上。同时，导电座38通过螺钉与外部的从电极电连接。所述的导电座38上设置有安装筒41，该安装筒41的一端通过螺钉的在导电座38的下方，而另一端上则设置有第二气缸36。所述的第二气缸36的第二伸缩杆37依次贯穿安装筒41和导电座38，且该第二伸缩杆37通过伸缩杆固定座42连接在导电座38上。所述的从电极座34则设置在导电座38上，本发明优先采用螺钉固定的方式将从电极座34固定在导电座38上，该从电极座34与从电极耳7电连接。
为了能确保从电极座34与从电极耳7的接触更紧密，本发明在第二气缸36的第二伸缩杆37上设置了夹头35，该夹头35通过螺钉固定在第二气缸36的第二伸缩杆37上，夹头35能与第二气缸36的第二伸缩杆37保持同步同向运动，所述的夹头35与从电极座34相配合后形成一个夹具，从电极座34与从电极耳7电连接后夹头35在第二气缸36的作用下能将从电极耳7牢牢的固定压在从电极座34上，有效的确保了从电极耳7能为蒸发舟6提供一个稳定的从电极，是使蒸发舟6的发热更稳定。
本发明的多位阻蒸盘上对蒸发舟6都进行了编号，每一个蒸发舟6多有相对应的编号，外部控制系统并对相应编号的蒸发舟6在多位阻蒸盘上的位置进行了锁定，外部控制系统内存储了每个编号的蒸发舟6都有固定的转动角度值，以便于我们通过与本发明相连接的外部控制系统准确选择所需加热的蒸发舟6。本发明所采用的外部控制系统为现有的控制系统，本发明因此并未对其进行详细的说明。
本发明的第一气缸29和第二气缸36连接在同一个外部压缩机上。运行时，外部压缩机同时对第一气缸29和第二气缸36进行吸气做工，使第一伸缩杆30和第二伸缩杆37收缩。此时，第一伸缩杆30上的压头28将电极杆2上的环形电极盘16牢牢的压在电极夹紧板27上，旋转式电极杆2得电后将电极传输给电极盘5；同时，第二伸缩杆37上的夹头35将从电极耳7牢牢的压在从电极座34上，从电极耳7得电，蒸发舟6开始对靶材进行加热。同时，旋转式电极杆2内的水冷管26开始对旋转式电极杆2进行冷却。
当我们需要对多位阻蒸盘上别的蒸发舟6内的靶材进行加热时，我们只需在本发明所连接的外部控制系统上输入相应的蒸发舟6的位数，外部控制系统便会控制外部压缩机对第一气缸29和第二气缸36进行放气做工，压头28将环形电极盘16松开，旋转式电极杆2能自由自动；夹头35将从电极耳7松开，从电极耳7能跟随旋转式电极杆2进行同向同速的转动。同时，外部控制系统控制驱动电机3进行转动，驱动电机3带动旋转式电极杆2转动，编码器46则对驱动电机3转轴的转动角度进行检测，编码器46并将检测到的信息转换为电信号后传输给外部控制系统，外部控制系统对接收的电信号进行分析处理后得到驱动电机3的转动角度，外部控制系统将得到的驱动电机3的转动角度与设定的蒸发舟6的位数所对应的驱动电机3转轴的转动角度进行比对，外部控制系统将得到的驱动电机3的转动角度与设定的蒸发舟6的位数所对应的驱动电机3转轴的转动角度一致时，外部控制系统控制驱动电机3停止转动3，旋转式电极杆2也停止转动；外部控制系统控制外部压缩机对第一气缸29和第二气缸36进行吸气做工，压头28将环形电极盘16牢牢的压在电极夹紧板27上，旋转式电极杆2得到电极；夹头35将从电极耳7牢牢的压在从电极座34上，从电极耳7得到从电极，此时蒸发舟6开始对靶材进行加热。
当我们需要再次更需加热的换蒸发舟6时，只需重复上面所述的工作程序，便能实现对所需位数的蒸发舟6进行加热。因此，本发明所设置的多位阻蒸盘能同时放置多个靶材，并且本发明设置在多位阻蒸盘上的旋转式电极杆2在驱动电机3的带动下能进行360°的旋转，使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转，很好的实现了对加热的蒸发舟6的转换。同时，本发明还通过从电极锁紧装置和电极锁紧装置实现了对多位阻蒸盘上的从电极和电极的自动导通与关闭，从而确保了本发明能同时放置多个靶材，并能对靶材进行连续的镀膜的要求，有效的缩短了基片的镀膜时间，很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
如上所述，便可很好的实现本发明。
Claims (10)
1.一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：主要由安装台(1)，分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2)，与旋转式电极杆(2)电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3)，以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟(6)，所述旋转式电极杆(2)通过同步带(4)连接在驱动电机(3)上。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述多位阻蒸盘包括电极盘(5)，与蒸发舟(6)一一对应设置并与蒸发舟(6)电连接的从电极耳(7)，设置在从电极耳(3)上并与电极盘(5)相连接的弹性组件；所述从电极耳(7)与从电极锁紧装置电连接。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述弹性组件包括与从电极耳(7)相连接的绝缘垫(8)，设置在绝缘垫(8)上的安装板(9)，以及一端与安装板(9)相连接、另一端通过加强筋(10)连接在电极盘(5)上的弹性件(11)。
4.根据权利要求3所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述旋转式电极杆(2)通过拉紧连接座(14)连接在安装台(1)上，所述旋转式电极杆(2)上分别设置有支持筒(15)和水冷管(26)以及旋转装置，所述旋转装置还分别与支持筒(15)和拉紧连接座(14)相连接，所述旋转式电极杆(2)上还设置有的环形电极盘(16)，所述环形电极盘(16)通过电极抱箍(17)连接在旋转式电极杆(2)上并与电极锁紧装置。
5.根据权利要求4所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述旋转装置包括一端与支持筒(15)相连接、另一端与拉紧连接座(14)相连接的旋转真空密封外套(18)，一端通过上轴承(19)安装在旋转真空密封外套(18)上、另一端通过下轴承(20)安装在支持筒(15)上的旋转内轴(21)，以及通过同步带固定键条(23)连接在旋转内轴(21)上且位于下轴承(20)下方的同步带轮(22)：所述旋转式电极杆(2)贯穿旋转内轴(21)，且该旋转式电极杆(2)一端通过静密封(24)与旋转内轴(21)相连接、另一端通过内轴固定键条(25)与旋转内轴(21)相连接，所述同步带轮(22)通过同步带(4)与驱动电机(3)相连接。
6.根据权利要求5述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述电极锁紧装置包括与环形电极盘(16)电连接的电极夹紧板(27)，设置在电极夹紧板(27)下方且用于夹紧环形电极盘(16)的压头(28)，以及设置在压头(28)上的第一气缸(29)；所述压头(28)连接在第一气缸(29)的第一伸缩杆(30)上；所述电极夹紧板(27)上设有安装基板(31)，所述第一气缸(29)安装在安装基板(31)上；所述安装基板(31)上设有保持座(32)，所述电极夹紧板(27)通过绝缘板(33)连接在保持座(32)上并位于保持座(32)的下方，所述第一伸缩杆(30)贯穿安装基板(31)与保持座(32)；所述旋转式电极杆(2)贯穿安装基板(31)并通过支持筒(15)连接在安装基板(31)上。
7.根据权利要求6所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述从电极锁紧装置包括与从电极耳(7)电连接的从电极座(34)，设置在从电极座(34)上方且用于夹紧从电极耳(7)的夹头(35)，以及设置在夹头(35)上的第二气缸(36)；所述夹头(35)连接在第二气缸(36)的第二伸缩杆(37)上，所述从电极座(34)上设置有导电座(38)，所述导电座(38)通过下绝缘块(39)连接在安装台(1)上并位于安装台(1)的下方，所述安装台(1)上设置有与下绝缘块(39)相匹配的上绝缘块(40)，所述导电座(38)上还设置有安装筒(41)，所述第二伸缩杆(37)贯穿安装筒(41)与导电座(38)，所述第二伸缩杆(37)通过伸缩杆固定座(42)连接在导电座(38)上。
8.根据权利要求7所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述蒸发舟(6)的一端通过电极压块(13)连接在电极盘(5)上、其另一端通过从电极压块(12)连接在从电极耳(7)上。
9.根据权利要求1～8任一项所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述驱动电机(3)设置在安装基板(31)上，所述的驱动电机(3)的转轴上设置有用于调节驱动电机(3)转速的变速器(43)，所述变速器(43)的传动轴(44)上设置有通过同步带(4)连接在同步带轮(22)上的传动同步带轮(45)，所述传动同步带轮(45)的下方设置有编码器(46)，所述编码器(46)通过转轴连接套(47)连接在变速器(43)的传动轴(44)上。
10.根据权利要求9所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述旋转式电极杆(2)的下端设置有旋转式水接头(50)，所述水冷管(26)贯穿旋转式水接头(50)的安装头(51)后连接在贯穿旋转式水接头(50)的进水接头(52)上。
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