CN209836291U - 用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机，工件转架安装在镀膜机内，工件转架包括主固定盘、主转盘、副固定盘、副转盘、第一绝缘支撑机构、第二绝缘支撑机构、传动机构和油缸组件，主转盘转动支承在主固定盘的上面，副转盘转动支承在副固定盘的上面，第一绝缘支撑机构安装在主转盘上，第二绝缘支撑机构安装在副转盘上，传动机构与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动，油缸组件的活塞杆与副固定盘连接，通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件，本实用新型的镀膜机设有上边圆型阴极电弧源、下边圆型阴极电弧源和侧边圆型阴极电弧源，以实现了对半球壳状工件的进行全方位镀膜。

Description

用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，还涉及一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。

背景技术

根据需求，现需对半球壳状工件进行镀膜，半球壳状工件的外形为厚壁半球冠状，且尺寸较大，为一种特殊的工件，要求对其内表面、外表面、半球冠的端口表面都要实施离子镀膜。

历年来，这种半球壳状工件在离子镀膜行业都未出现过，因而没有现成的合适的离子镀膜机和工件转架可以借鉴，需要按工件镀膜部位的要求，设计全新靶位布局的离子镀膜机及全新的工件转架机构。

实用新型内容

本实用新型所要解决的第一个技术问题，就是提供一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架。

本实用新型所要解决的第二个技术问题，就是提供一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。

本实用新型实现了对半球壳状工件的进行全面镀膜。

解决上述第一个技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：

主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；

主转盘，转动支承在主固定盘的上面；

副固定盘，水平设置在主转盘的上方，且可升降；

副转盘，转动支承在副固定盘的上面；

第一绝缘支撑机构，安装在主转盘上，用于支撑工件；

第二绝缘支撑机构，安装在副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；

传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动；

油缸组件，其活塞杆与副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件。

所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件，第一绝缘支撑组件分别安装在主转盘上，并按圆周方向均匀分布，第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板，副转盘上对应第一支撑杆开有支撑杆穿孔，第一支撑杆活动穿过支撑杆穿孔，第一支撑杆的下端绝缘固定在主转盘上，第一支撑板固定在第一支撑杆的上端。

所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件，第二绝缘支撑组件分别安装在副转盘上，并按圆周方向均匀分布，第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板，第二支撑杆的下端绝缘固定在副转盘上，第二支撑板固定在第二支撑杆的上端。

所述工件转架还包括偏压盘、偏压弹簧、炉内电极头和炉外电极头，偏压盘绝缘固定在副转盘上方，炉外电极头绝缘安装在镀膜室的炉壁上，且炉外电极头的一电连接端露出在镀膜室的外边，炉内电极头绝缘安装在镀膜室内，炉内电极头的一电连接端与炉外电极头的另一电连接端电性连接，偏压弹簧固定安装在炉内电极头的另一电连接端上，偏压弹簧的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆，导电杆通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘上，偏压盘分别通过导电线与第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构连接，以将工件与外部的偏压电源电性连接。

所述工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳转动的主转盘限位组件和至少两组用于使得副转盘更平稳转动的副转盘限位组件。

所述主转盘为环形板状，所述主转盘限位组件包括主转盘限位支座、竖向轴、横向限位轴承、第一横向轴和第一竖向限位轴承，主转盘限位支座固定安装在主固定盘上，竖向轴竖向安装在主转盘限位支座中部，横向限位轴承套装在竖向轴上，且横向限位轴承的侧面抵靠在主转盘的内环面上，第一横向轴横向安装在主转盘限位支座的上部，第一竖向限位轴承套装在第一横向轴上，且第一竖向限位轴承的侧面抵靠在主转盘的上面。

所述副转盘限位组件包括副转盘限位支座、第二横向轴和第二竖向限位轴承，副转盘限位支座固定安装在副固定盘上，第二横向轴横向安装在副转盘限位支座的上部，第二竖向限位轴承套装在第二横向轴上，且第二竖向限位轴承的侧面抵靠在副转盘的上面。

所述主转盘的外侧面为齿面，所述传动机构包括齿轮、传动磁流体密封件和同步带轮，传动磁流体密封件固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，传动磁流体密封件的输出轴伸入镀膜室内，齿轮固定安装在传动磁流体密封件的输出轴上，并与主转盘的齿面啮合，同步带轮固定安装在传动磁流体密封件的输入轴上，用于与外部的动力装置连接。

所述油缸组件包括油缸、油缸安装架、油缸连接头、延伸杆、限位垫和焊接波纹管，油缸通过油缸安装架固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，延伸杆通过油缸连接头与油缸的活塞杆连接，延伸杆延伸入镀膜室内，并与副固定盘连接，以带动副固定盘升降，限位垫活动套在延伸杆上，并位于镀膜室内，当副固定盘下降至最低点时，副固定盘抵靠在限位垫上，焊接波纹管活动套在延伸杆上，焊接波纹管的一端焊接在安装板上，一端焊接在油缸连接头上。

解决上述第二个技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机，其特征是，所述工件转架安装在镀膜机的镀膜室的下炉壁上，在镀膜室内安装有上边圆型阴极电弧源、至少一个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源，上边圆型阴极电弧源对应安装在工件的上方，用于对工件的顶面进行镀膜，下边圆型阴极电弧源对应安装在工件的下方，用于对工件的内表面及端口表面进行镀膜，侧边圆型阴极电弧源分布安装在工件的周边，用于对工件的侧表面进行镀膜。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

在镀膜过程中，本实用新型的工件转架能通过第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件，且支撑位置相互错开，从而能避免支撑位置无法镀膜的情况。本实用新型的镀膜机通过上边圆型阴极电弧源、多个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源对半球壳状工件进行镀膜。可见，本实用新型实现了对半球壳状工件的进行全方位镀膜。

附图说明

图1是本实用新型的工件转架的剖视示意图；

图2是本实用新型的工件转架的第一绝缘支撑机构的结构示意图之一；

图3是本实用新型的工件转架的第一绝缘支撑机构的结构示意图之二；

图4是本实用新型的工件转架的第二绝缘支撑机构的结构示意图之一；

图5是本实用新型的工件转架的第二绝缘支撑机构的结构示意图之二；

图6是图3中A处的放大示意图；

图7是本实用新型的工件转架的部分部件装配示意图之一；

图8是本实用新型的工件转架的偏压弹簧和炉内电极头的安装示意图；

图9是本实用新型的工件转架的偏压弹簧的安装示意图；

图10是图7中B处的放大示意图；

图11是本实用新型的工件转架的部分部件装配示意图之二；

图12是本实用新型的工件转架的副转盘限位组件的安装示意图；

图13是本实用新型的工件转架的主转盘限位组件的安装示意图；

图14是本实用新型的工件转架的传动机构的安装示意图。

图中附图标记含义：

1、半球壳状工件；2、第一绝缘支撑机构；2-1、第一支撑板；2-2、第一支撑杆；2-3、钢珠座保护罩；2-4、第一屏蔽罩；3、第二绝缘支撑机构；3-1、第二支撑板；3-2、第二支撑杆；3-3、第二屏蔽罩；5、副转盘；5-1、支撑杆穿孔；6、炉内电极头；6-1、偏压固定板；6-2、炉内电极头陶瓷绝缘套；6-3、炉内电极头固定螺栓；7、主转盘；7-1、齿面；8、炉外电极头；8-1、炉外电极头陶瓷绝缘套；8-2、炉外电极头固定螺栓；8-3、炉外电极头密封圈；9、传动机构；9-1、同步带轮；9-2、传动磁流体密封件；9-3、外密封圈；9-4、齿轮；10、主固定盘；11、油缸组件；11-1、油缸；11-2、油缸固定板；11-3、固定柱；11-4、焊接波纹管；11-5、安装板密封圈；11-6、安装板；11-7、延伸杆；11-8、限位垫；11-9、油缸连接头；12、偏压盘；12-1、限位槽；13、导电线；14、外保护罩；15、钨钢珠；16、偏压盘绝缘固定组件；16-1、螺纹柱保护帽；16-2、偏压盘固定螺母；16-4、偏压盘陶瓷绝缘套；16-5、偏压盘陶瓷绝缘垫；16-6、绝缘垫保护罩；16-7、偏压盘固定柱；16-8、螺纹柱；17、偏压弹簧；17-1、导电杆；17-2、弹簧固定螺钉；17-3、弹簧压圈；18、螺栓绝缘固定组件；18-1、绝缘固定螺栓；18-2、螺栓陶瓷绝缘套；18-3、陶瓷绝缘垫片；19、连接筒；20、钢珠座；21、钢珠；22、垫圈；23、压盖；24、紫铜编织带；25、副固定盘；26、副转盘限位组件；26-1、副转盘限位支座；26-2、第二横向轴；26-3、第二竖向限位轴承；26-4、第二轴套；27、主转盘限位组件；27-1、主转盘限位支座；27-2、横向限位轴承；27-3、竖向轴；27-4、第一横向轴；27-5、第一竖向限位轴承；27-6、第一轴套；28、转盘保护盖；100、镀膜室的炉壁。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型进一步描述。

如图1所示为一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其包括主固定盘10、主转盘7、副固定盘25、副转盘5、第一绝缘支撑机构2、第二绝缘支撑机构3、传动机构9和油缸组件11。

主固定盘10水平固定安装在镀膜机的镀膜室内，主转盘7转动支承在主固定盘10的上面，副固定盘25水平设置在主转盘的上方，且副固定盘25隨同油缸延伸杆11-7运动可升降，副转盘5转动支承在副固定盘25的上面，副转盘5跟随副固定盘25升降，第一绝缘支撑机构2安装在主转盘7上，用于支撑工件1，第一绝缘支撑机构2跟随主转盘7转动。第二绝缘支撑机构3安装在副转盘5上，也用于支撑工件1，且工件的与第二绝缘支撑机构3接触的支撑位置和工件的与第一绝缘支撑机构2接触的支撑位置相互错开，这样在镀膜时，第一绝缘支撑机构2和第二绝缘支撑机构3可交替支撑工件1，且支撑位置不同，也就能实现对支撑位置进行镀膜。传动机构9与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘7和副转盘5转动。油缸组件11的活塞杆与副固定盘25连接，通过油缸带动副固定盘25升降，以实现第一绝缘支撑机构2和第二绝缘支撑机构3交替支撑工件1。

如图1所示，作业时，半球壳状工件1倒扣，其端面支撑在第一绝缘支撑机构2或第二绝缘支撑机构3上，通过副固定盘25升降，实现第一绝缘支撑机构2和第二绝缘支撑机构3交替支撑工件，不存在镀膜盲点。

本实施例在主转盘7与主固定盘10之间和副转盘5与副固定盘25之间分别设置钨钢珠15，以实现主转盘转动支承在主固定盘的上面和副转盘转动支承在副固定盘的上面。

第一绝缘支撑机构2包括至少三组第一绝缘支撑组件，从而实现对工件的平稳支撑。本实施例的第一绝缘支撑机构包括三组第一绝缘支撑组件，三组第一绝缘支撑组件按圆周方向以120度角均匀分布。第一绝缘支撑组件分别安装在主转盘7上，并按圆周方向均匀分布。如图2和图3所示，第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆2-2和用于支撑工件的第一支撑板2-1，副转盘5上对应第一支撑杆开有支撑杆穿孔5-1，第一支撑杆2-2活动穿过支撑杆穿孔5-1，第一支撑杆2-2的下端绝缘固定在主转盘7上，第一支撑板2-1固定在第一支撑杆2-2的上端。具体的，第一支撑杆2-2通过螺栓绝缘固定组件18固定在主转盘7上。

更好的，在第一支撑杆2-2与主转盘7的连接处安装有第一屏蔽罩2-4。

如图6所示，本实施例在对应支撑杆穿孔的5-1位置分别设有钢珠座20，钢珠座20绝缘固定在副转盘5上，在钢珠座20的中部设有与支撑杆穿孔5-1对应的中孔，在中孔的侧壁上设有若干个按圆周方向分布的钢珠21，第一支撑杆2-2穿过中孔，第一支撑杆2-2的侧壁与钢珠21接触，从而使得第一支撑杆2-2在升降运动的过程中更稳定顺滑。在钢珠座20的外围盖有钢珠座保护罩2-3。

优选的，在中孔的侧壁上设有两层钢珠21，两层钢珠21之间通过垫圈22隔开，在中孔的端部设置有压盖23，压盖压于钢珠21上，从而将钢珠21限制在中孔的侧壁上。

具体的，钢珠座20通过螺栓绝缘固定组件18固定在副转盘5上。

第二绝缘支撑机构3包括至少三组第二绝缘支撑组件，从而实现对工件的平稳支撑。本实施例的第二绝缘支撑机构包括三组第二绝缘支撑组件，三组第二绝缘支撑组件按圆周方向以120度角均匀分布。第二绝缘支撑组件分别安装在副转盘5上，并按圆周方向均匀分布。如图4和图5所示，第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆3-2和用于支撑工件的第二支撑板3-1，第二支撑杆3-2的下端绝缘固定在副转盘5上，第二支撑板3-1固定在第二支撑杆3-2的上端。第一支撑板2-1和第二支撑板3-1彼此相隔60度错开。

更好的，在第二支撑杆3-2与副转盘5的连接处安装有第二屏蔽罩3-3。

具体的，第二支撑杆3-2通过螺栓绝缘固定组件18固定在副转盘5上。

第一支撑板2-1固定在第一支撑杆2-2的上端的结构和第二支撑板3-1固定在第二支撑杆3-2的上端的结构相同，均在支撑板上设置连接筒19，连接筒19套在支撑杆的上端，连接筒还通过连接螺栓固定在支撑杆的上端。

如图7和图8所示，本实施例的工件转架还包括偏压盘12、偏压弹簧17、炉内电极头6和炉外电极头8，偏压盘12绝缘固定在副转盘5上方，炉外电极头8绝缘安装在镀膜室的炉壁100上，且炉外电极头8的一电连接端露出在镀膜室的外边，炉内电极头6绝缘安装在镀膜室内，炉内电极头6的一电连接端与炉外电极头8的另一电连接端电性连接，偏压弹簧17固定安装在炉内电极头6的另一电连接端上，偏压弹簧17的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆17-1，本实施例为在偏压弹簧17的两端设置有导电杆17-1，导电杆17-1通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘12上，偏压盘12分别通过导电线13与第一绝缘支撑机构2和第二绝缘支撑机构3连接，以将工件1与外部的偏压电源电性连接。在外部设有偏压电源，炉外电极头的露出在镀膜室外边的电连接端与偏压电源的负极电性连接，偏压电源的正极与镀膜室的炉壁电性连接。

具体的，偏压弹簧17正对位于偏压盘12的侧边，在偏压盘12的侧面上设有一圈限位槽12-1，导电杆17-1的外端压在限位槽12-1中。偏压弹簧17是用弹簧钢粗丝绕制成的八字型向内压紧的弹簧叉。

具体的，炉内电极头6绝缘安装在副固定盘25上。

如图8和图9所示，炉内电极头6的具体安装结构为：在副固定盘25的侧边固定有偏压固定板6-1，在偏压固定板6-1上设有炉内电极头安装孔，炉内电极头6的绝缘法兰通过炉内电极头固定螺栓6-3固定在偏压固定板6-1上，从而将炉内电极头6固定在偏压固定板6-1上，炉内电极头6的一电连接端穿过炉内电极头安装孔，在炉内电极头6与炉内电极头安装孔之间设有炉内电极头陶瓷绝缘套6-2，以实现绝缘。

优选的，炉内电极头6的一电连接端与炉外电极头的另一电连接端通过紫铜编织带24实现电性连接。

如图8所示，偏压弹簧17的安装结构为：偏压弹簧17通过弹簧固定螺钉17-2固定在炉内电极头6的上端，在弹簧固定螺钉17-2的头部与偏压弹簧17之间设置有弹簧压圈17-3。

炉外电极头8的安装结构为：在镀膜室的炉壁100上设有炉外电极头安装孔，炉外电极头8的绝缘法兰通过炉外电极头固定螺栓8-2固定在炉壁100上，从而将炉外电极头8固定在炉壁100上，炉外电极头8的一电连接端穿过炉外电极头安装孔，在炉外电极头8与炉外电极头安装孔之间设有炉外电极头陶瓷绝缘套8-1，以实现绝缘，在炉外电极头的绝缘法兰与炉壁之间设有炉外电极头密封圈8-3，以达到密封。在炉壁100的外面对应炉外电极头设有外保护罩14，外保护罩14罩住炉外电极头8的露出在炉壁外面的部分。

偏压盘12通过偏压盘绝缘固定组件16绝缘固定在副转盘5上方的结构为：本实施例的工件转架还包括多组偏压盘绝缘固定组件16，如图10所示，偏压盘绝缘固定组件16包括偏压盘固定柱16-7，偏压盘固定柱16-7的下端插装在副转盘5上，偏压盘固定柱16-7的上部设有螺纹柱16-8，在螺纹柱16-8上套装有偏压盘陶瓷绝缘垫16-5和绝缘垫保护罩16-6，绝缘垫保护罩16-6罩住偏压盘陶瓷绝缘垫16-5外围，偏压盘12对应螺纹柱设有固定柱穿孔，螺纹柱16-8穿过固定柱穿孔，偏压盘12支撑在偏压盘陶瓷绝缘垫16-5上，在螺纹柱16-8与固定柱穿孔之间设有偏压盘陶瓷绝缘套16-4，在螺纹柱16-8的上端螺纹连接有偏压盘固定螺母16-2，在螺纹柱16-8的从偏压盘上面露出的端部上罩有螺纹柱保护帽16-1。

如图11所示，本实施例的工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳转动的主转盘限位组件27和至少两组用于使得副转盘更平稳转动的副转盘限位组件26。

主转盘限位组件27的结构为：主转盘7为环形板状，如图13所示，主转盘限位组件27包括主转盘限位支座27-1、竖向轴27-3、横向限位轴承27-2、第一横向轴27-4和第一竖向限位轴承27-5，主转盘限位支座27-1固定安装在主固定盘10上，竖向轴27-3竖向安装在主转盘限位支座27-1中部，横向限位轴承27-2套装在竖向轴27-3上，且横向限位轴承27-2的侧面抵靠在主转盘7的内环面上，从而对主转盘7的水平位置进行限制，第一横向轴27-4横向安装在主转盘限位支座27-1的上部，第一竖向限位轴承27-5套装在第一横向轴27-4上，且第一竖向限位轴承27-5的侧面抵靠在主转盘7的上面，从而对主转盘7的竖向位置进行限制，可限制主转盘跳动。

更具体的，在第一横向轴27-4上设置有第一轴套27-6，第一轴套27-6位于第一竖向限位轴承27-5与主转盘限位支座27-1之间。本实施例的竖向轴27-3是特殊形状的铣制工件，其中部是圆柱体，两端对称铣出呈扁平状的连接部，且在连接部上各钻一个通孔，通过通孔和螺栓的配合固定在主转盘限位支座的中部。

如图12所示，副转盘限位组件26的结构为：副转盘限位组件26包括副转盘限位支座16-1、第二横向轴16-2和第二竖向限位轴承16-3，副转盘限位支座16-1固定安装在副固定盘25上，第二横向轴26-2横向安装在副转盘限位支座26-1的上部，第二竖向限位轴承26-3套装在第二横向轴26-2上，且第二竖向限位轴承26-3的侧面抵靠在副转盘5的上面，从而对副转盘5的竖向位置进行限制，可限制副转盘跳动。

更具体的，在第二横向轴26-2上设置有第二轴套26-4，第二轴套26-4位于第二竖向限位轴承与副转盘限位支座之间。

如图14所示，动力传递的具体结构为：主转盘7的外侧面为齿面7-1，传动机构9包括齿轮9-4、传动磁流体密封件9-2和同步带轮9-1，传动磁流体密封件9-2固定安装在镀膜室的炉壁100的外表面，传动磁流体密封件9-2的输出轴伸入镀膜室内，齿轮9-4固定安装在传动磁流体密封件9-2的输出轴上，并与主转盘7的齿面7-1啮合，以带动主转盘7转动，同步带轮9-1固定安装在传动磁流体密封件9-2的输入轴上，用于与外部的动力装置连接。运转时，外部的动力装置带动同步带轮9-1转动，通过传动磁流体密封件9-2带动齿轮9-4转动，齿轮9-4带动主转盘7转动，再通过第一支撑杆2-2带动副转盘5同时转动。传动机构9通过传动磁流体密封件9-2实现转动传递时的密封。

更具体的，在传动磁流体密封件9-2与炉壁100的外表面之间设有外密封圈9-3。

如图7所示，本实施例的油缸组件11包括油缸11-1、油缸安装架、油缸连接头11-9、延伸杆11-7和限位垫11-8，油缸11-1通过油缸安装架固定安装在镀膜室的炉壁100的外表面，延伸杆11-7通过油缸连接头11-9与油缸11-1的活塞杆连接，延伸杆11-7延伸入镀膜室内，并与副固定盘25连接，以带动副固定盘25升降，限位垫11-8活动套在延伸杆11-7上，并位于镀膜室内，当副固定盘25下降至最低点时，副固定盘25抵靠在限位垫11-8上。

本实施例设有三套油缸组件11，三套油缸组件11均布于副固定盘周边，通过延伸杆平衡地支承着副固定盘，且三只油缸延伸杆11-7相互用连杆连接以保证运动同步。

本实施例的油缸安装架包括油缸固定板11-2、安装板11-6和多条固定柱11-3，安装板11-6固定在炉壁100的外表面，油缸固定板11-2通过固定柱11-3对应固定在安装板11-6的下方，油缸11-1固定安装在油缸固定板11-2的下面，油缸11-1的活塞杆竖直向上，在安装板11-6与炉壁100的外表面之间设有安装板密封圈11-5。

本实施例的油缸组件11还包括焊接波纹管11-4，焊接波纹管11-4活动套在延伸杆11-7上，焊接波纹管11-4的一端焊接在安装板11-6上，一端焊接在油缸连接头11-9上。

如图6所示，本实施例的螺栓绝缘固定组件18包括绝缘固定螺栓18-1、陶瓷绝缘垫片18-3和螺栓陶瓷绝缘套18-2，陶瓷绝缘垫片18-3垫在两个被连接的部件之间，螺栓陶瓷绝缘套18-2套在绝缘固定螺栓18-1上，以达到绝缘固定连接。

如图1所示，本实施例的工件转架还包括转盘保护盖28，转盘保护盖28盖住工件转架的上部，第一支撑杆2-2和第二支撑杆3-2分别穿过转盘保护盖28，第一支撑板2-1和第二支撑板3-1位于转盘保护盖28的上方，转盘保护盖28跟随副转盘5转动，转盘保护盖28可阻挡杂物和镀料进入转盘结构内部。

本实施例的一种包含有上述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机的结构为：工件转架安装在镀膜机的镀膜室的下炉壁上，在镀膜室内安装有上边圆型阴极电弧源、至少一个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源(图中未示出上边圆型阴极电弧源、下边圆型阴极电弧源和侧边圆型阴极电弧源)，上边圆型阴极电弧源对应安装在工件的上方，用于对工件的顶面进行镀膜，下边圆型阴极电弧源对应安装在工件的下方，用于对工件的内表面及端口表面进行镀膜，侧边圆型阴极电弧源分布安装在工件的周边，用于对工件的侧表面进行镀膜，从而对半球壳状工件进行全方位镀膜。

本实用新型的镀膜机在正式运行前先试运转，试运转的具体过程可以为：打开镀膜机的炉门观察各部件运行状况。先由高度不变的第一绝缘支撑机构2支承半球壳状工件1，启动外部的动力装置，带动主转盘7和副转盘5同时转动，半球壳状工件1也随之转动，观察工件1转动正常后，启动油缸组件11的油缸，油缸有节律地伸缩其活塞杆，带动副固定盘25升降，当油缸活塞杆带动副固定盘25上升至高点时，则转由第二绝缘支撑机构3将工件1支承起来，当油缸带动副固定盘25下降后，则再转换由第一绝缘支撑机构2支承工件1，而第二绝缘支撑机3构脱离工件1，并降到原定位高度。观察工件转动正常后，再进行偏压测试，先观察偏压盘12是否正常转动，偏压弹簧17的导电杆是否紧压着偏压盘12的限位槽上，并在切断偏压电源后，用万用表进行测量，正常为炉外电极头与工件导通，而炉外电极头与各转盘和炉壳不导通，必要时通入低偏压测量电压值，当一切正常时，可关炉门进入镀膜程序。

Claims (10)

1.一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：

主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；

主转盘，转动支承在所述主固定盘的上面；

副固定盘，水平设置在所述主转盘的上方，且可升降；

副转盘，转动支承在所述副固定盘的上面；

第一绝缘支撑机构，安装在所述主转盘上，用于支撑工件；

第二绝缘支撑机构，安装在所述副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与所述第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与所述第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；

传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动所述主转盘和所述副转盘转动；

油缸组件，其活塞杆与所述副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构交替支撑工件。

2.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件，所述第一绝缘支撑组件分别安装在所述主转盘上，并按圆周方向均匀分布，所述第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板，所述副转盘上对应所述第一支撑杆开有支撑杆穿孔，所述第一支撑杆活动穿过所述支撑杆穿孔，所述第一支撑杆的下端绝缘固定在所述主转盘上，所述第一支撑板固定在所述第一支撑杆的上端。

3.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件，所述第二绝缘支撑组件分别安装在所述副转盘上，并按圆周方向均匀分布，所述第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板，所述第二支撑杆的下端绝缘固定在所述副转盘上，所述第二支撑板固定在所述第二支撑杆的上端。

4.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述工件转架还包括偏压盘、偏压弹簧、炉内电极头和炉外电极头，所述偏压盘绝缘固定在所述副转盘上方，所述炉外电极头绝缘安装在镀膜室的炉壁上，且所述炉外电极头的一电连接端露出在镀膜室的外边，所述炉内电极头绝缘安装在镀膜室内，所述炉内电极头的一电连接端与所述炉外电极头的另一电连接端电性连接，所述偏压弹簧固定安装在炉内电极头的另一电连接端上，所述偏压弹簧的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆，所述导电杆通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘上，所述偏压盘分别通过导电线与所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构连接，以将工件与外部的偏压电源电性连接。

5.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳转动的主转盘限位组件和至少两组用于使得副转盘更平稳转动的副转盘限位组件。

6.根据权利要求5所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述主转盘为环形板状，所述主转盘限位组件包括主转盘限位支座、竖向轴、横向限位轴承、第一横向轴和第一竖向限位轴承，所述主转盘限位支座固定安装在所述主固定盘上，所述竖向轴竖向安装在所述主转盘限位支座中部，所述横向限位轴承套装在所述竖向轴上，且所述横向限位轴承的侧面抵靠在所述主转盘的内环面上，所述第一横向轴横向安装在所述主转盘限位支座的上部，所述第一竖向限位轴承套装在所述第一横向轴上，且所述第一竖向限位轴承的侧面抵靠在所述主转盘的上面。

7.根据权利要求5所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述副转盘限位组件包括副转盘限位支座、第二横向轴和第二竖向限位轴承，所述副转盘限位支座固定安装在所述副固定盘上，所述第二横向轴横向安装在所述副转盘限位支座的上部，所述第二竖向限位轴承套装在所述第二横向轴上，且所述第二竖向限位轴承的侧面抵靠在所述副转盘的上面。

8.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述主转盘的外侧面为齿面，所述传动机构包括齿轮、传动磁流体密封件和同步带轮，所述传动磁流体密封件固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，所述传动磁流体密封件的输出轴伸入镀膜室内，所述齿轮固定安装在传动磁流体密封件的输出轴上，并与所述主转盘的齿面啮合，所述同步带轮固定安装在传动磁流体密封件的输入轴上，用于与外部的动力装置连接。

9.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述油缸组件包括油缸、油缸安装架、油缸连接头、延伸杆和限位垫，所述油缸通过油缸安装架固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，所述延伸杆通过所述油缸连接头与所述油缸的活塞杆连接，所述延伸杆延伸入镀膜室内，并与所述副固定盘连接，以带动所述副固定盘升降，所述限位垫活动套在所述延伸杆上，并位于镀膜室内，当所述副固定盘下降至最低点时，所述副固定盘抵靠在所述限位垫上。

10.一种包含有权利要求1至9任意一项所述的工件转架的镀膜机，其特征是，所述工件转架安装在镀膜机的镀膜室的下炉壁上，在镀膜室内安装有上边圆型阴极电弧源、至少一个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源，所述上边圆型阴极电弧源对应安装在工件的上方，用于对工件的顶面进行镀膜，所述下边圆型阴极电弧源对应安装在工件的下方，用于对工件的内表面及端口表面进行镀膜，所述侧边圆型阴极电弧源分布安装在工件的周边，用于对工件的侧表面进行镀膜。