JPH04165073A - 真空蒸着装置用治具 - Google Patents
真空蒸着装置用治具Info
- Publication number
- JPH04165073A JPH04165073A JP28959190A JP28959190A JPH04165073A JP H04165073 A JPH04165073 A JP H04165073A JP 28959190 A JP28959190 A JP 28959190A JP 28959190 A JP28959190 A JP 28959190A JP H04165073 A JPH04165073 A JP H04165073A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- vapor deposition
- holders
- gear
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title abstract description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 10
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空蒸着装置用治具に関し、特に被蒸着物への
蒸着効率が良好であり、しかも、均一に蒸着することが
できるようにした真空蒸着装置用治具に関するものであ
る。
蒸着効率が良好であり、しかも、均一に蒸着することが
できるようにした真空蒸着装置用治具に関するものであ
る。
従来、真空蒸着装置用治具としては、真空容器の内部に
蒸発電源に接続された蒸発電極を設け、この電極間に蒸
着物が取付けられたフィラメントが複数接続される。そ
して上記蒸発電極には自転しつつその周囲を公転する被
蒸着物のホルダーを複数設けたものが提供されている。
蒸発電源に接続された蒸発電極を設け、この電極間に蒸
着物が取付けられたフィラメントが複数接続される。そ
して上記蒸発電極には自転しつつその周囲を公転する被
蒸着物のホルダーを複数設けたものが提供されている。
この治具においては、真空容器内部を真空にして蒸発電
源から蒸発電極に通電することにより。
源から蒸発電極に通電することにより。
上記フィラメントが赤熱し、蒸着物が周囲に蒸発する。
このとき上記ホルダーに係止された被蒸着物は、自転し
つつ上記蒸発電極の周囲を公転しているために、均一な
蒸着が行なわれるようになされたものである。
つつ上記蒸発電極の周囲を公転しているために、均一な
蒸着が行なわれるようになされたものである。
上記の真空蒸着装置用治具にあっては、電極間に接続さ
れたフィラメントに垂直な方向には蒸着物が多く飛び出
して被蒸着物に付着するが、フィラメントと水平な方向
には蒸発電極が障害となり、蒸着物が被蒸着物に到達し
ない、そのためにホルダーの両面に被蒸着物を係止した
場合、従来の治具のようにホルダーが自転及び公転する
だけでは、両面とも均一に蒸着することができず、蒸着
効率も劣るという問題点を有していた。
れたフィラメントに垂直な方向には蒸着物が多く飛び出
して被蒸着物に付着するが、フィラメントと水平な方向
には蒸発電極が障害となり、蒸着物が被蒸着物に到達し
ない、そのためにホルダーの両面に被蒸着物を係止した
場合、従来の治具のようにホルダーが自転及び公転する
だけでは、両面とも均一に蒸着することができず、蒸着
効率も劣るという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
、ホルダーがフィラメントと水平方向の位置に公転して
きたとき急速に１８０度反転するように構成することに
よって、被蒸着物に対して極めて効率よく、しかも均一
に蒸着を行なうことのできる真空蒸着装置用治具を提供
するものである。
、ホルダーがフィラメントと水平方向の位置に公転して
きたとき急速に１８０度反転するように構成することに
よって、被蒸着物に対して極めて効率よく、しかも均一
に蒸着を行なうことのできる真空蒸着装置用治具を提供
するものである。
本発明に係る真空蒸着装置用治具は、真空容器の内部に
蒸発電源に接続された蒸発電極を設け、この蒸発電極に
蒸着物が取付けられたフィラメントが複数接続されると
共に、上記蒸発電極の周囲を公転する被蒸着物のホルダ
ーを複数設けられている。そして上記ホルダーが上記フ
ィラメントと略水平方向の位置まで公転したところで急
速に１８０度反転するように構成してあることを特徴と
している。
蒸発電源に接続された蒸発電極を設け、この蒸発電極に
蒸着物が取付けられたフィラメントが複数接続されると
共に、上記蒸発電極の周囲を公転する被蒸着物のホルダ
ーを複数設けられている。そして上記ホルダーが上記フ
ィラメントと略水平方向の位置まで公転したところで急
速に１８０度反転するように構成してあることを特徴と
している。
本発明の真空蒸着装置用治具においては、蒸着物が被蒸
着物に到達しない位置にホルダーが公転してきたとき、
換言すれば、ホルダーがフィラメントと略水平方向の位
置に達すると、それが急速に１８０度反転するので、ホ
ルダー面がフィラメントと水平状態になるのは瞬時であ
る。したがって、公転中ホルダーはその面がフィラメン
トに対して垂直状態に向くようになる。
着物に到達しない位置にホルダーが公転してきたとき、
換言すれば、ホルダーがフィラメントと略水平方向の位
置に達すると、それが急速に１８０度反転するので、ホ
ルダー面がフィラメントと水平状態になるのは瞬時であ
る。したがって、公転中ホルダーはその面がフィラメン
トに対して垂直状態に向くようになる。
次に本発明の実施例を添附の図面において説明する。
第１図は概略正面断面図、第２図は説明図である。
本発明に係る真空蒸着装置用治具は、第１図に示す如く
、真空容器１の内部中央に２本の棒状の墓発電極２が一
定の間隔をもって立設され、その上端部は両慕発電極２
の接触を防ぐため絶縁バー３で連結されている。この蒸
発電極２の下端部は上記真空容器ｌの外部においてそれ
ぞれ蒸発電源４に接続されている。更に、蒸発電極２に
は複数のフィラメント５が一定間隔をもって縦方向に接
続され、図示していないが、蒸着物はこのフィラメント
５に取付けられる。また、真空容器１の底部には間欠歯
車６が設けられている。この間欠歯＊６は上記蒸発電極
２を中心として環状を呈しており、その外周で上記フィ
ラメント５と略水平方向の位置にだけ歯６が刻設されて
いる。この間欠歯車６の上方には該歯車６の上面に設け
られたベアリング７に載置されて環状の公転歯車８が設
けられ、真空容器１の下面外部に設置されたモータ９に
接続される公転駆動歯車ｌＯと公転歯車８とがかみ合う
ようになっている。また、公転歯車８の下方には複数の
反転用歯車１１を設けである。
、真空容器１の内部中央に２本の棒状の墓発電極２が一
定の間隔をもって立設され、その上端部は両慕発電極２
の接触を防ぐため絶縁バー３で連結されている。この蒸
発電極２の下端部は上記真空容器ｌの外部においてそれ
ぞれ蒸発電源４に接続されている。更に、蒸発電極２に
は複数のフィラメント５が一定間隔をもって縦方向に接
続され、図示していないが、蒸着物はこのフィラメント
５に取付けられる。また、真空容器１の底部には間欠歯
車６が設けられている。この間欠歯＊６は上記蒸発電極
２を中心として環状を呈しており、その外周で上記フィ
ラメント５と略水平方向の位置にだけ歯６が刻設されて
いる。この間欠歯車６の上方には該歯車６の上面に設け
られたベアリング７に載置されて環状の公転歯車８が設
けられ、真空容器１の下面外部に設置されたモータ９に
接続される公転駆動歯車ｌＯと公転歯車８とがかみ合う
ようになっている。また、公転歯車８の下方には複数の
反転用歯車１１を設けである。
この反転用歯車１１は上記間欠歯車６の歯６′とかみ合
い２分の１回転するようになっている。更に１反転用歯
車１１の中心には上記公転歯車８を貫通して真空容器１
の上方部に設けられた軸受１２に回転可能に軸支された
ー１３が設けられ、この軸１３に平板状のホルダー１４
が固着されているものである。
い２分の１回転するようになっている。更に１反転用歯
車１１の中心には上記公転歯車８を貫通して真空容器１
の上方部に設けられた軸受１２に回転可能に軸支された
ー１３が設けられ、この軸１３に平板状のホルダー１４
が固着されているものである。
以上のような本発明においては、第２図に示す如く、例
えば、レーザーディスク等の被蒸着物１５をホルダー１
４の両面に設けられた突起（図示せず）に、片面４枚づ
つ係止させる。このときホルダー１４はその面がフィラ
メント５に対して垂直状態に向くようにしておく（第２
図Ａ）、また、フィラメント５にはアルミニウム等の蒸
着物を取付ける。そして蒸発電源２に電通を行なうこと
によりフィラメント５が赤熱し、蒸着物が蒸発する。こ
のとき、真空容器ｌ内は真空排気され、モータ９が駆動
されて公転駆動歯車ｌＯが回転する。そうすると、公転
歯車８が矢印方向に回転すると共に、ホルダー１４及び
軸１３が蒸発電極２の周囲を公転し始める。ホルダー１
４と軸１３が公転し、それらがフィラメント５と略水平
方向の位置に到達すると、軸１３に設けられた反転用歯
車１１と間欠駆動歯車６の歯６とがかみ合い、軸１３及
びホルダー１４が１８０度反転する。即ち、ホルダー１
４がＡの位置から公転してＣの位置にさしかかったとき
、反転用歯車１１が間欠歯車６の歯６とかみ合ってり、
Ｈの位置までの間で急速に１８０度回転する。更に、ホ
ルダー１４が公転してそれがＩの位置に達したときも、
Ｋの位置までの間に上記と同様に反転するものであ。
えば、レーザーディスク等の被蒸着物１５をホルダー１
４の両面に設けられた突起（図示せず）に、片面４枚づ
つ係止させる。このときホルダー１４はその面がフィラ
メント５に対して垂直状態に向くようにしておく（第２
図Ａ）、また、フィラメント５にはアルミニウム等の蒸
着物を取付ける。そして蒸発電源２に電通を行なうこと
によりフィラメント５が赤熱し、蒸着物が蒸発する。こ
のとき、真空容器ｌ内は真空排気され、モータ９が駆動
されて公転駆動歯車ｌＯが回転する。そうすると、公転
歯車８が矢印方向に回転すると共に、ホルダー１４及び
軸１３が蒸発電極２の周囲を公転し始める。ホルダー１
４と軸１３が公転し、それらがフィラメント５と略水平
方向の位置に到達すると、軸１３に設けられた反転用歯
車１１と間欠駆動歯車６の歯６とがかみ合い、軸１３及
びホルダー１４が１８０度反転する。即ち、ホルダー１
４がＡの位置から公転してＣの位置にさしかかったとき
、反転用歯車１１が間欠歯車６の歯６とかみ合ってり、
Ｈの位置までの間で急速に１８０度回転する。更に、ホ
ルダー１４が公転してそれがＩの位置に達したときも、
Ｋの位置までの間に上記と同様に反転するものであ。
なお、ホルダー１４の反転手段として反転用歯車１１等
を用いた場合を説明したが、これに限定されない０図示
していないが、ロール、その他の手段によってホルダー
を反転するようにしてもよい。
を用いた場合を説明したが、これに限定されない０図示
していないが、ロール、その他の手段によってホルダー
を反転するようにしてもよい。
以上のように本発明の真空基若装置用治具によれば、ホ
ルダーが茂発電極の周囲を公転するに際・し、その面が
蒸着物が被蒸着物に到達しないフィラメントと略水平方
向の位置になるのは瞬時であり、ホルダーの面はフィラ
メントに対し常に垂直状態に向いて公転するから、被蒸
着物への蒸着が均一に行なわれると共に、蒸着効率に極
めて良好である。
ルダーが茂発電極の周囲を公転するに際・し、その面が
蒸着物が被蒸着物に到達しないフィラメントと略水平方
向の位置になるのは瞬時であり、ホルダーの面はフィラ
メントに対し常に垂直状態に向いて公転するから、被蒸
着物への蒸着が均一に行なわれると共に、蒸着効率に極
めて良好である。
第１図は概略正面断面図、第２図は説明図である。
図中１は真空容器、２は蒸発電極、４は蒸発電源、５は
フィラメント、６は間欠歯車、６は間欠歯車の歯、８は
公転歯車、１０は公転駆動歯車、１１は反転用歯車、１
４はホルダー、１５は被蒸着物を示す。
フィラメント、６は間欠歯車、６は間欠歯車の歯、８は
公転歯車、１０は公転駆動歯車、１１は反転用歯車、１
４はホルダー、１５は被蒸着物を示す。
Claims (1)
- 真空容器の内部に蒸発電源に接続された蒸発電極を設
け、この蒸発電極に蒸着物が取付けられたフイラメント
が複数接続されると共に、上記蒸発電極の周囲を公転す
る被蒸着物のホルダーを複数設けてなる真空蒸着装置用
治具において、該ホルダーが上記フイラメントと略水平
方向の位置まで公転したところで急速に１８０度反転す
るように構成してあることを特徴とする真空蒸着装置用
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28959190A JPH04165073A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 真空蒸着装置用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28959190A JPH04165073A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 真空蒸着装置用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04165073A true JPH04165073A (ja) | 1992-06-10 |
Family
ID=17745221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28959190A Pending JPH04165073A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 真空蒸着装置用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04165073A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0741945A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-10 | Nippon Piston Ring Co Ltd | 回転式コンプレッサ用ベーンの物理蒸着膜形成方法および装置 |
| US6280792B1 (en) | 1998-10-02 | 2001-08-28 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface-treating process using support member having plate-like elements |
| JP2012172263A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Samsung Electronics Co Ltd | 表面コーティング方法及びその装置 |
| CN106995915A (zh) * | 2017-05-11 | 2017-08-01 | 成都西沃克真空科技有限公司 | 一种旋转式多位阻蒸设备 |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP28959190A patent/JPH04165073A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0741945A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-10 | Nippon Piston Ring Co Ltd | 回転式コンプレッサ用ベーンの物理蒸着膜形成方法および装置 |
| US6280792B1 (en) | 1998-10-02 | 2001-08-28 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface-treating process using support member having plate-like elements |
| US6821560B2 (en) | 1998-10-02 | 2004-11-23 | Neomax Co. Ltd. | Surface-treating support member and method using the same |
| US6878210B2 (en) | 1998-10-02 | 2005-04-12 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface-treating holder having tubular structure and method using the same |
| JP2012172263A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Samsung Electronics Co Ltd | 表面コーティング方法及びその装置 |
| CN106995915A (zh) * | 2017-05-11 | 2017-08-01 | 成都西沃克真空科技有限公司 | 一种旋转式多位阻蒸设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4284033A (en) | Means to orbit and rotate target wafers supported on planet member | |
| US3799110A (en) | Device for vacuum coating | |
| JPH04165073A (ja) | 真空蒸着装置用治具 | |
| US3749058A (en) | Rotary substrate holder assembly | |
| JP2010095745A (ja) | 成膜方法及び成膜装置 | |
| JPS57207570A (en) | Article holding jig | |
| JP4555638B2 (ja) | 薄膜蒸着装置 | |
| JPH11323550A (ja) | 真空成膜装置用回転テーブル | |
| JPS63312969A (ja) | 粉末粒子の真空蒸着法 | |
| JPS58117874A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0226935Y2 (ja) | ||
| JPS5852282Y2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| CN219363775U (zh) | 一种镀膜材料蒸发装置 | |
| JPH0526755Y2 (ja) | ||
| JPH09118589A (ja) | 酸化物薄膜生成法 | |
| KR0123917Y1 (ko) | 진공증착 및 이온플레이팅용 시편 공,자전장치 | |
| JPS61124569A (ja) | 回転式基板支持装置 | |
| JPH0548299B2 (ja) | ||
| JP2530982Y2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH05148622A (ja) | レーザ蒸着装置 | |
| JPH06240444A (ja) | バレル式アークイオンプレーティング装置 | |
| JPH0428859A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| KR100250211B1 (ko) | 증착용 다목적 진공챔버 | |
| JPS6296670A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0373630B2 (ja) |