CN105296935A - 滤光片真空蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种滤光片真空蒸镀设备，包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟，转位机构穿过安装板并挂设在安装板上，穿过安装板的转位机构的一端与水冷盘机构驱动连接，安装板上设置有第一电极和第二电极，沿水冷盘机构的外圈和内圈上分别插接有12根外电极和4根内电极，外电极与第一电极相配合布置，4根内电极通过圆环相连通设置，且与第二电极相配合布置，第一电极和第二电极均通过连接线与蒸发电极机构相连通，蒸发舟设置在水冷盘机构的正上方，蒸发舟上设置有蒸发片，呈径向设置。本发明通过转位机构与水冷盘机构及水冷盘机构与蒸发舟相互之间配合使用，使其能提高工作效率，同时也能延长工作时间，从而提高产量。

Description

滤光片真空蒸镀设备

技术领域

本发明涉及一种滤光片真空蒸镀设备。

背景技术

水冷装置在工、农业的各领域应用十分广泛，在人民生活中冷却设备也随处可见，是不可缺少的工艺设备之一。尤其在工业中水冷装置的研究倍受重视，在工业中其装置都会产生热量，而这些热量过大时都需要将这些热量进行排出或者进行冷却而不会对这些装置造成影响，否则可能这些装置会出现损坏，导致装置无法工作，同时也加大了成本，一般的装置都是采用放热装置将装置产生的热量进行排出就能达到持续长久的工作，但对于滤光片真空蒸镀设备，该设备需要连续的不间断的进行工作，其设备内电极棒产生的热量急需排出，而采用一般的散热器不能达到长时间的工作，且也只能是相对减缓其热量的增大，从根本上也不能快速的进行降温，从而导致工作效率不高。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的滤光片真空蒸镀设备，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种滤光片真空蒸镀设备。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

滤光片真空蒸镀设备，包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟，所述转位机构穿过安装板并挂设在安装板上，穿过安装板的所述转位机构的一端与水冷盘机构驱动连接，所述安装板上设置有第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极分设在转位机构的左右两侧，沿所述水冷盘机构的外圈和内圈上分别插接有12根外电极和4根内电极，相邻的所述外电极之间呈30°布置，且相邻的所述内电极呈90°布置，所述外电极与第一电极相配合布置，4根内电极通过圆环相连通设置，且与第二电极相配合布置，所述第一电极和第二电极均通过连接线与蒸发电极机构相连通，所述蒸发舟设置在水冷盘机构的正上方，所述蒸发舟上设置有蒸发片，呈径向设置，所述蒸发片的一端与外电极相连，所述蒸发片的另一端与内电极相连布置。

进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述水冷盘机构由真空水冷盘和隔板组成，所述真空水冷盘的内腔通过隔板分隔为上腔层和下腔层，所述隔板上开设有孔洞，使上腔层与下腔层相通布置，所述真空水冷盘的中轴线处开设有进水口和出水口，进水口布置在下腔层上，出水口布置在隔板上。

再进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述转位机构包括旋转轴，所述旋转轴的内腔中插接有出水管，所述出水管的一端与出水口相连，并与上腔层相连通布置，所述出水管的另一端连通至出水管出水口，所述旋转轴上套装有进水管，所述进水管的一端与进水口相连，并与下腔层相连通布置，所述进水管的另一端连通至进水管进水口。

更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述第一电极和第二电极为相同的结构布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述第一电极和第二电极都包括气缸，所述气缸挂设在安装板的底端上，所述气缸的活塞杆穿过安装板布置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰，所述固定法兰上从下往上依次固设有下绝缘板、连接板、上绝缘板及触动块，所述下绝缘板与上绝缘板之间与连接板的一端夹装布置，所述触动块的底端穿过上绝缘板与连接板相碰接布置，所述连接板的另一端上与连接线相连。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述蒸发电极机构包括水冷电极棒，所述水冷电极棒的一端穿过并挂设在安装板上，所述水冷电极棒的轴心处开设有一圆孔，所述圆孔内安装有冷却进水管，所述冷却进水管的直径小于圆孔的直径，所述水冷电极棒上还开设有一蒸发出水口，所述蒸发出水口与圆孔相连通，所述水冷电极棒凸出安装板的一端与蒸发连接片的一端相连，所述蒸发连接片的另一端与连接线的相连。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述连接线为铜编织带的连接线，且呈舒张布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，插接在所述水冷盘机构的外电极和内电极的上下两端都凸出于水冷盘机构的上端面和下端面布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，凸出于所述水冷盘机构的外电极和内电极的下端处于同一平面布置。

再更进一步的，所述的滤光片真空蒸镀设备，所述蒸发片呈长条形，其中间部位呈半圆形与前后两段相连。

借由上述方案，本发明至少具有以下优点：

本发明通过转位机构与水冷盘机构相连，并通过转位机构将带动水冷盘机构一同转动，而在水冷盘机构上插接上12根外电极和4根内电极使其水冷盘机构在转动时一同带动12根外电极和4根内电极与水冷盘机构同步转动，同时外电极和内电极分别配合于第一电极和第二电极，使外电极和内电极通电，而外电极和内电极上连接蒸发舟，使蒸发舟上的蒸发片进行加热处理，而蒸发舟上的蒸发片采用径向布置的方式，可以增加其蒸发片的数量从而提高工作效率；该设置采用分段式进行组装而成，便于安装和维护，降低操作人员的操作难度；同时该设备采用水冷盘机构及蒸发电极机构能有效降低对外电极和内电极自身的温度，从而延长工作时间，达到提高产量，并且还能提高工作效率的目的。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明的结构示意图；

图2是水冷盘机构的结构示意图；

图3是转位机构的结构示意图；

图4是第一电极和第二电极的结构示意图；

图5是蒸发电极机构的结构示意图；

图6是蒸发舟的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1、图6所示，滤光片真空蒸镀设备，包括安装板1、转位机构2、水冷盘机构3及蒸发舟4，所述转位机构2穿过安装板1并挂设在安装板1上，穿过安装板1的所述转位机构2的一端与水冷盘机构3驱动连接，所述安装板1上设置有第一电极5和第二电极6，所述第一电极5和第二电极6分设在转位机构2的左右两侧，沿所述水冷盘机构3的外圈和内圈上分别插接有12根外电极7和4根内电极8，相邻的所述外电极7之间呈30°布置，且相邻的所述内电极8呈90°布置，所述外电极7与第一电极5相配合布置，4根内电极8通过圆环相连通设置，且与第二电极6相配合布置，所述第一电极5和第二电极6均通过连接线9与蒸发电极机构10相连通，所述蒸发舟4设置在水冷盘机构3的正上方，所述蒸发舟4上设置有蒸发片11，呈径向设置，所述蒸发片11的一端与外电极7相连，所述蒸发片的另一端与内电极8相连布置。通过转位机构2与水冷盘机构3之间驱动连接，并且在水冷盘机构2的外圈和内圈上分别插接外电极7和内电极8，且外电极7与内电极8分别与第一电极5和第二电极6进行配合，使蒸发舟4上的径向布置的蒸发片11逐一进行快速加热处理，增加蒸发片11的数量，从而达到提高工作效率的目的。

如图2所示，进一步的，所述水冷盘机构3由真空水冷盘31和隔板32组成，所述真空水冷盘31的内腔通过隔板32分隔为上腔层33和下腔层34，所述隔板32上开设有孔洞，使上腔层33与下腔层34相通布置，所述真空水冷盘31的中轴线处开设有进水口和出水口，进水口布置在下腔层34上，出水口布置在隔板32上，通过上腔层33和下腔层34之间的配合使用，能使冷水进行循环往复的流动，从而使在水冷盘机构3插接的外电极7和内电极8延长工作的时间，从而提高产品的产量，提高工作效率，并且还有助于保护设备不受损坏。

如图3所示，再进一步的，所述转位机构2包括旋转轴21，所述旋转轴21的内腔中插接有出水管22，所述出水管22的一端与出水口相连，并与上腔层33相连通布置，所述出水管22的另一端连通至出水管出水口24，所述旋转轴21上套装有进水管23，所述进水管23的一端与进水口相连，并与下腔层34相连通布置，所述进水管23的另一端连通至进水管进水口25，通过在转位机构2上安装有出水管22和进水管23，既能对水冷盘机构3进行转动，又能实现对水冷盘机构3进行注入冷水和排出热水的循环，保证了外电极7和内电极8的温度。

如图4所示，在更进一步的，所述第一电极5和第二电极6为相同的结构布置，所述第一电极5和第二电极6都包括气缸12，所述气缸12挂设在安装板1的底端上，所述气缸12的活塞杆穿过安装板1布置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰13，所述固定法兰13上从下往上依次固设有下绝缘板14、连接板15、上绝缘板16及触动块17，所述下绝缘板14与上绝缘板16之间与连接板15的一端夹装布置，所述触动块17的底端穿过上绝缘板16与连接板15相碰接布置，所述连接板15的另一端上与连接线9相连，通过气缸12能将第一电极5和第二电极6进行上升和下降来分别与外电极7和内电极8进行断开或闭合工作，同时也保证水冷盘机构3在转动时，第一电极5和第二电极6能与所有的外电极7和所有的内电极8碰触。

如图5所示，在更进一步的，所述蒸发电极机构10包括水冷电极棒101，所述水冷电极棒101的一端穿过并挂设在安装板1上，所述水冷电极棒101的轴心处开设有一圆孔102，所述圆孔102内安装有冷却进水管103，所述冷却进水管103的直径小于圆孔102的直径，所述水冷电极棒101上还开设有一蒸发出水口104，所述蒸发出水口104与圆孔102相连通，所述水冷电极棒101凸出安装板1的一端与蒸发连接片105的一端相连，所述蒸发连接片105的另一端与连接线9的相连，通过额外增加的蒸发电极机构10来对第一电极5和第二电极6通电，保证第一电极5和第二电极6的通电正常外，还能保证蒸发电极机构10也能延长其工作时间，从而保证其工作效率。

所述连接线5为铜编织带的连接线，且呈舒张布置，保证连接线9在受到气缸11不停上升或下降后，使其连接线9不会出现损坏或者断裂。

插接在所述水冷盘机构3的外电极7和内电极8的上下两端都凸出于水冷盘机构3的上端面和下端面布置且凸出于所述水冷盘机构3的外电极7和内电极8的下端处于同一平面布置，保证第一电极5和第二电极6在工作时不会与外电极7或内电极8碰触，保证水冷盘机构3能正常的旋转。

所述蒸发片11呈长条形，其中间部位呈半圆形与前后两段相连，呈半圆形的中间部位能适应不同产品，从而提高对不同产品的使用。

本发明的工作原理如下：

在该设备启动后，蒸发电极机构10中的水冷电极棒101通电，同时其内的冷却进水管103也跟着启动对其圆孔102进行注水，与蒸发电极机构10通过连接线9连接的第一电极5和第二电极6也处于通电状态，同时转位机构2内的进水管23通过进水机输送冷水浸入至水冷盘机构3中，此时气缸12启动，将第一电极5和第二电极6向上升起，使第一电极5和第二电极6分别与水冷盘机构2插接的第一对外电极7和内电极8上的圆环相碰触，使其也通电，受到外电极7和内电极8通电的作用，将与蒸发舟4上的对应第一对外电极7和内电极8的蒸发片11进行加热，在加热指定时间后，气缸12下降，带动第一电极5和第二电极6也跟随下降，在气缸12将第一电极7和第二电极8复位后，转位机构2中的旋转轴21在电机的驱动下转动，从而将水冷盘机构3也跟着转动，水冷盘机构3的转动将第一对外电极7和内电极8转过，从而将下一外电极7转动至于第一电极5的正下方，而内电极8上设置有圆环，第二电极6只要上升就能与内电极8相连通，然后气缸12启动，重复上述的工作过程，直至将蒸发片11上的产品全部加热后，将其蒸发片11上的所有加热后的产品取下，紧接着放置新产品，然后重复上述中的工序。

其中，水冷盘机构3的转动方向与转位机构2中旋转轴21的转动有关，一般情况下，水冷盘机构3的转动方向为顺时针的转动，除非本文中另有说明。

本发明通过转位机构与水冷盘机构相连，并通过转位机构将带动水冷盘机构一同转动，而在水冷盘机构上插接上12根外电极和4根内电极使其水冷盘机构在转动时一同带动12根外电极和4根内电极与水冷盘机构同步转动，同时外电极和内电极分别配合于第一电极和第二电极，使外电极和内电极通电，而外电极和内电极上连接蒸发舟，使蒸发舟上的蒸发片进行加热处理，而蒸发舟上的蒸发片采用径向布置的方式，可以增加其蒸发片的数量从而提高工作效率；该设置采用分段式进行组装而成，便于安装和维护，降低操作人员的操作难度；同时该设备采用水冷盘机构及蒸发电极机构能有效降低对外电极和内电极自身的温度，从而延长工作时间，达到提高产量，并且还能提高工作效率的目的。

在包含以上内容的基础上，以下具体举例说明本发明的内容。

实施例一

在实施例一中，本发明提供了滤光片真空蒸镀设备，包括：安装板1、转位机构2、水冷盘机构3及蒸发舟4，所述转位机构2穿过安装板1并挂设在安装板1上，穿过安装板1的所述转位机构2的一端与水冷盘机构3驱动连接，所述安装板1上设置有第一电极5和第二电极6，所述第一电极5和第二电极6分设在转位机构2的左右两侧，沿所述水冷盘机构3的外圈和内圈上分别插接有12根外电极7和4根内电极8，相邻的所述外电极7之间呈30°布置，且相邻的所述内电极8呈90°布置，所述外电极7与第一电极5相配合布置，4根内电极8通过圆环相连通设置，且与第二电极6相配合布置，所述第一电极5和第二电极6均通过连接线9与蒸发电极机构10相连通，所述蒸发舟4设置在水冷盘机构3的正上方，所述蒸发舟4上设置有蒸发片11，呈径向设置，所述蒸发片11的一端与外电极7相连，所述蒸发片的另一端与内电极8相连布置。通过转位机构2与水冷盘机构3之间的配合，并通过第一电极5和第二电极6与外电极7和内电极8之间的配合后，使蒸发舟4上的产品逐一进行自动加热处理，提高工作效率。

实施例二

在实施例一的基础上，本发明提出了实施例二。实施例二中针对水冷盘机构3的改进，所述水冷盘机构3由真空水冷盘31和隔板32组成，所述真空水冷盘31的内腔通过隔板32分隔为上腔层33和下腔层34，所述隔板32上开设有孔洞，使上腔层33与下腔层34相通布置，所述真空水冷盘31的中轴线处开设有进水口和出水口，进水口布置在下腔层34上，出水口布置在隔板32上，且插接在所述水冷盘机构3的外电极7和内电极8的上下两端都凸出于水冷盘机构3的上端面和下端面布置且凸出于所述水冷盘机构3的外电极7和内电极8的下端处于同一平面布置，保证第一电极5和第二电极6在工作时不会与外电极7或内电极8碰触，保证水冷盘机构3能正常的旋转。

实施例三

在实施例一的基础上，本发明提出了实施例三。实施例三中针对转位机构2的改进，所述转位机构2包括旋转轴21，所述旋转轴21的内腔中插接有出水管22，所述出水管22的一端与出水口相连，并与上腔层33相连通布置，所述出水管22的另一端连通至出水管出水口24，所述旋转轴21上套装有进水管23，所述进水管23的一端与进水口相连，并与下腔层34相连通布置，所述进水管23的另一端连通至进水管进水口25。通过对转位机构2的改进可以使达到与水冷盘机构3中冷水的循环使用，保证了外电极7和内电极8的温度。

实施例四

在实施例一的基础上，本发明提出了实施例四。实施例四中针对电第一电极5和第二电极6的改进，而第一电极5和第二电极6为相同结构布置，所述第一电极5和第二电极6都包括气缸12，所述气缸12挂设在安装板1的底端上，所述气缸12的活塞杆穿过安装板1布置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰13，所述固定法兰13上从下往上依次固设有下绝缘板14、连接板15、上绝缘板16及触动块17，所述下绝缘板14与上绝缘板16之间与连接板15的一端夹装布置，所述触动块17的底端穿过上绝缘板16与连接板15相碰接布置，所述连接板15的另一端上与连接线9相连。既能对水冷盘机构3进行转动，又能实现对水冷盘机构3进行注入冷水和排出热水的循环，保证了外电极7和内电极8的温度。通过气缸12能将第一电极5和第二电极6进行上升和下降来分别与外电极7和内电极8进行断开或闭合工作，同时也保证水冷盘机构3在转动时，第一电极5和第二电极6能与所有的外电极7和所有的内电极8碰触。

实施例五

在实施例一的基础上，本发明提出了实施例五。实施例五中针对蒸发电极机构10的改进，所述蒸发电极机构10包括水冷电极棒101，所述水冷电极棒101的一端穿过并挂设在安装板1上，所述水冷电极棒101的轴心处开设有一圆孔102，所述圆孔102内安装有冷却进水管103，所述冷却进水管103的直径小于圆孔102的直径，所述水冷电极棒101上还开设有一蒸发出水口104，所述蒸发出水口104与圆孔102相连通，所述水冷电极棒101凸出安装板1的一端与蒸发连接片105的一端相连，所述蒸发连接片105的另一端与连接线9的相连。通过在水冷电极棒101上增加冷却进水管103，可以有效的提高其工作时间，从而达到提高工作效率的目的。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：包括安装板(1)、转位机构(2)、水冷盘机构(3)及蒸发舟(4)，所述转位机构(2)穿过安装板(1)并挂设在安装板(1)上，穿过安装板(1)的所述转位机构(2)的一端与水冷盘机构(3)驱动连接，所述安装板(1)上设置有第一电极(5)和第二电极(6)，所述第一电极(5)和第二电极(6)分设在转位机构(2)的左右两侧，沿所述水冷盘机构(3)的外圈和内圈上分别插接有12根外电极(7)和4根内电极(8)，相邻的所述外电极(7)之间呈30°布置，且相邻的所述内电极(8)呈90°布置，所述外电极(7)与第一电极(5)相配合布置，4根内电极(8)通过圆环相连通设置，且与第二电极(6)相配合布置，所述第一电极(5)和第二电极(6)均通过连接线(9)与蒸发电极机构(10)相连通，所述蒸发舟(4)设置在水冷盘机构(3)的正上方，所述蒸发舟(4)上设置有蒸发片(11)，呈径向设置，所述蒸发片(11)的一端与外电极(7)相连，所述蒸发片的另一端与内电极(8)相连布置。

2.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述水冷盘机构(3)由真空水冷盘(31)和隔板(32)组成，所述真空水冷盘(31)的内腔通过隔板(32)分隔为上腔层(33)和下腔层(34)，所述隔板(32)上开设有孔洞，使上腔层(33)与下腔层(34)相通布置，所述真空水冷盘(31)的中轴线处开设有进水口和出水口，进水口布置在下腔层(34)上，出水口布置在隔板(32)上。

3.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述转位机构(2)包括旋转轴(21)，所述旋转轴(21)的内腔中插接有出水管(22)，所述出水管(22)的一端与出水口相连，并与上腔层(33)相连通布置，所述出水管(22)的另一端连通至出水管出水口(24)，所述旋转轴(21)上套装有进水管(23)，所述进水管(23)的一端与进水口相连，并与下腔层(34)相连通布置，所述进水管(23)的另一端连通至进水管进水口(25)。

4.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一电极(5)和第二电极(6)为相同的结构布置。

5.根据权利要求1或4所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一电极(5)和第二电极(6)都包括气缸(12)，所述气缸(12)挂设在安装板(1)的底端上，所述气缸(12)的活塞杆穿过安装板(1)布置，且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰(13)，所述固定法兰(13)上从下往上依次固设有下绝缘板(14)、连接板(15)、上绝缘板(16)及触动块(17)，所述下绝缘板(14)与上绝缘板(16)之间与连接板(15)的一端夹装布置，所述触动块(17)的底端穿过上绝缘板(16)与连接板(15)相碰接布置，所述连接板(15)的另一端上与连接线(9)相连。

6.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸发电极机构(10)包括水冷电极棒(101)，所述水冷电极棒(101)的一端穿过并挂设在安装板(1)上，所述水冷电极棒(101)的轴心处开设有一圆孔(102)，所述圆孔(102)内安装有冷却进水管(103)，所述冷却进水管(103)的直径小于圆孔(102)的直径，所述水冷电极棒(101)上还开设有一蒸发出水口(104)，所述蒸发出水口(104)与圆孔(102)相连通，所述水冷电极棒(101)凸出安装板(1)的一端与蒸发连接片(105)的一端相连，所述蒸发连接片(105)的另一端与连接线(9)的相连。

7.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述连接线(9)为铜编织带的连接线，且呈舒张布置。

8.根据权利要求1或2所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：插接在所述水冷盘机构(3)的外电极(7)和内电极(8)的上下两端都凸出于水冷盘机构(3)的上端面和下端面布置。

9.根据权利要求8所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：凸出于所述水冷盘机构(3)的外电极(7)和内电极(8)的下端处于同一平面布置。

10.根据权利要求1所述的滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸发片(11)呈长条形，其中间部位呈半圆形与前后两段相连。