JP2019514222A - 排気冷却用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、当技術分野で必要とされているのは、半導体プロセスにおいて生成される化合物を軽減するための軽減システムの改善である。
別の実施形態では、排気冷却装置は、入口および出口を有する本体と、この本体の中に配置された複数の中空円筒とを含む。この複数の中空円筒は同心である。
別の実施形態では、排気冷却装置は、入口および出口を有する本体と、この本体の中に配置された冷却板と、この冷却板の上に配置されたデバイスとを含む。このデバイスは壁と、壁に結合された板とを含む。
本開示の特徴が上記に列挙された手法が細部にわたり理解できるように、上で簡潔に要約された本開示についてのより具体的な説明が、添付の図面にその一部が示されている実施形態を参照することによって得られよう。しかし、本開示ではその他の同様に効果的な実施形態も認めることができるので、添付の図面は本開示の典型的な実施形態を示すにすぎず、したがって、本発明の範囲を限定するものとみなされるべきでないことに留意されたい。
図1は、軽減システム193に利用されている排気冷却装置117を有する真空処理システム170の概略側面図である。真空処理システム170は、少なくとも真空処理チャンバ190、プラズマ源100、および排気冷却装置117を含む。軽減システム193は、少なくともプラズマ源100および排気冷却装置を含む。真空処理チャンバ190は一般に、堆積プロセス、エッチプロセス、プラズマ処理プロセス、前清浄プロセス、イオン注入プロセス、または他の集積回路製造プロセスなど、少なくとも1つの集積回路製造プロセスを実行するように構成される。真空処理チャンバ190内で実行されるプロセスは、プラズマ支援とすることができる。たとえば、真空処理チャンバ190内で実行されるプロセスは、シリコンベースの材料を堆積するためのプラズマ堆積プロセス、またはシリコンベースの材料を除去するためのプラズマエッチプロセスとすることができる。
排気冷却装置117は、プラズマ源100から出てくる排気の温度を下げるために、またプラズマ源100内で形成される粒子を集めるために、プラズマ源100と排気導管194の間に結合される。1つの例では、排気冷却装置117は軽減システム193の一部になっている。
図2Bは、本明細書に記載の別の実施形態による排気冷却装置117の概略断面図である。図2Bに示されるように、排気冷却装置117は、入口232と、出口234と、第1の壁236と、第1の壁236に対向する第2の壁238とを有する本体230を含む。複数の円筒240、242、244を排気冷却装置117の本体230の中に設置することができる。円筒240、242、244は、円筒244が円筒242の中に配置され、円筒242が円筒240の中に配置されるように、中空および同心とすることができる。排気冷却装置117の本体230は、図2Bに示されるように超長方形とすることができ、あるいは本体230は、複数の円筒240、242、244と同心である中空円筒とすることができる。
Claims (15)
- 入口および出口を有する本体と、
前記本体の中に配置された複数の冷却板とを備える排気冷却装置であって、前記複数の冷却板が蛇行通路を形成する排気冷却装置。 - 前記複数の冷却板のうちの1つの冷却板がステンレス鋼、アルミニウム、またはニッケル被覆アルミニウムを含む、請求項1に記載の排気冷却装置。
- 前記本体が第1の壁と、前記第1の壁に対向する第2の壁とをさらに備え、前記排気冷却装置の幅が前記入口と前記出口の間にあり、前記排気冷却装置の長さが前記第1の壁と前記第2の壁の間にある、請求項1に記載の排気冷却装置。
- 前記複数の冷却板が、前記排気冷却装置の幅に沿って前記第1および/または第2の壁に結合される、請求項3に記載の排気冷却装置。
- 前記複数の冷却板のそれぞれの長さが前記排気冷却装置の長さよりも短い、請求項4に記載の排気冷却装置。
- 入口および出口を有する本体と、
前記本体の中に配置された複数の中空円筒とを備える排気冷却装置であって、前記複数の中空円筒が同心である排気冷却装置。 - 前記複数の中空円筒のうちの1つの中空円筒がステンレス鋼、アルミニウム、またはニッケル被覆アルミニウムを含む、請求項6に記載の排気冷却装置。
- 前記本体が第1の壁と、前記第1の壁に対向する第2の壁とをさらに備える、請求項6に記載の排気冷却装置。
- 前記複数の中空円筒を前記第1および第2の壁に結合するための複数の結合部材をさらに備える、請求項8に記載の排気冷却装置。
- 入口および出口を有する本体と、
前記本体の中に配置された冷却板と、
前記冷却板の上に配置されたデバイスとを備える排気冷却装置であって、前記デバイスが
壁と、
前記壁に結合された板と
を含む、排気冷却装置。 - 前記壁が前記板に対して鋭角を成す、請求項10に記載の排気冷却装置。
- 前記板が、前記壁によって画定された第1の部分、および第2の部分を備える、請求項10に記載の排気冷却装置。
- 前記板の前記第2の部分が複数の貫通孔を含む、請求項12に記載の排気冷却装置。
- 前記壁が複数のスリット開口を備える、請求項10に記載の排気冷却装置。
- 前記冷却板の下に配置されたライナをさらに備える請求項10に記載の排気冷却装置であって、前記ライナが、第1の端部および第2の端部を有する円筒形壁を含み、前記第1の端部が前記冷却板に隣接し、前記第2の端部が前記出口に隣接する、排気冷却装置。
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