JP2018027511A - 排気トラップ - Google Patents
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Abstract
【課題】トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止できるようにする。
【解決手段】ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレート2と、バッフルプレート2を内部に備えるトラップ室3と、を備える排気トラップ1であって、バッフルプレート2は、ガス通過孔21が形成されており、ガス通過孔21は、トラップ室3の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、トラップ室3の外壁側には冷却装置4が配置されている。
【選択図】図2
【解決手段】ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレート2と、バッフルプレート2を内部に備えるトラップ室3と、を備える排気トラップ1であって、バッフルプレート2は、ガス通過孔21が形成されており、ガス通過孔21は、トラップ室3の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、トラップ室3の外壁側には冷却装置4が配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、排気トラップに関する。
ハウジングに設けられたガス導入口からガス導出口に至る間において、ガスをトラップする端面板(バッフルプレート)の間隔が漸減傾向に設定されたトラップが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、主にバッフルプレートの表面に固形物が捕集されるため、バッフルプレートが少ないと、トラップ全体の捕集率が不足する。また、バッフルプレートの数を多くすると、流路の閉塞が起こりやすくなる。
また、固体成分を捕集するための従来のトラップによると、捕集した固体物による閉塞や捕集量の不足が問題となる場合がある。例えば、特開2007−307545号に開示された発明においては、フィルターでの捕集の際に詰まりが発生することがある。また、特開2006−5258号に開示された発明においては、トラップ下部のような捕集量が多い場所では、特開2006−5258号の図6に示されている斜線部のように堆積による流路の閉塞が発生することがある。また、特開2007−250696号に開示された発明においては、邪魔板と整流板のみの捕集を狙っているため、トラップ全体としての捕集量が不足する。
そこで、本発明は、トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止できるようにした排気トラップを提供することを目的とする。
かかる課題を解決するべく、本発明は、
ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレートと、
前記バッフルプレートを内部に備えるトラップ室と、
を備える排気トラップであって、
前記バッフルプレートは、ガス通過孔が形成されており、
前記ガス通過孔は、前記トラップ室の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、
前記トラップ室の外壁側には冷却装置が配置されている、排気トラップである。
ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレートと、
前記バッフルプレートを内部に備えるトラップ室と、
を備える排気トラップであって、
前記バッフルプレートは、ガス通過孔が形成されており、
前記ガス通過孔は、前記トラップ室の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、
前記トラップ室の外壁側には冷却装置が配置されている、排気トラップである。
このように、トラップ室の外壁に冷却装置を設け、トラップ室の壁を冷却することで、トラップ室の内壁に固形成分が捕集されるため、バッフルプレートに加えトラップ室内壁にも捕集容量が確保され、捕集率が向上する。また、ガス通過孔はトラップ室内壁からは離れた位置に存在するため、内壁に固形物が堆積しても流路の閉塞を抑制できる。
本発明によれば、トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止することができる。
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
図1〜図6に、排気トラップ1の一実施形態を示す。本実施形態では、図1に示す排気流路にあるトラップを下記の構造とする。なお、アルファベット記号は、図中に記載されたものと対応する。
図1は、排気トラップ1およびその周辺の排気流れを示す図である。ドライポンプ5からの排気ガス(例えば、ピリジン(ガス))は、排気トラップ1のトラップ室3を通過後、排気ダクトから排出される(図1参照)。
A:捕集量に合ったバッフルプレート2の配置にし、かつ1段目の閉塞を防止する(図2参照)。例えば、バッフルプレート2の1段目を広くし、2段目以降を徐々に狭く配置する。こうした場合、適正捕集量と1段目の閉塞防止の配置とすることができる。ガス入口側のバッフルプレート2の間隔よりガス出口側のバッフルプレート2の間隔が狭いことで、適正捕集量に合った間隔となり、流路の閉塞を抑制できる。
なお、複数のバッフルプレート2は、排気トラップ1内に設けられた主軸6に、スペーサー7を介在させて取り付けられる。また、主軸6には、バッフルプレート2を主軸6に沿って一方側に押圧するスプリング8が取り付けられる。複数のバッフルプレート2には、排気トラップ1内での流路が長くなるよう、次段には前段と異なる位置にガス通過孔21が設けられている(図2参照)。
C:ウォータージャケット(冷却装置)4により排気トラップ1の内部のガスを冷却して固体化させ、Dの部分(壁面付着板31)へ付着させる(図2参照)。これにより、壁面に直接堆積するのを防止する。このように壁面付着板31を設けることで、メンテナンス時にバッフルプレート2と一緒に引き抜けるため、メンテナンス性に優れる。
D:排気トラップ1のトラップ室3ノ壁面への直接堆積によるメンテナンス効率悪化を防止するために壁面付着板31が設置されている(図2参照)。
B:Dの部分(壁面付着板31)への付着物によるガス通過孔21の閉塞を防止するため、Bを設定、すなわち、ガス通過孔21を外周部(トラップ室3の内壁)から離して配置する(図2、図3参照)。
続いて、排気トラップ1におけるフィルター詰まりと流路閉塞の解決手段について説明する。図4に、バッフルプレート2の配置例を示した排気トラップ1の内部構造を示す。
ドライポンプ5から出てすぐのガスは濃度、温度が高いため、1段目を広くすることで、図4中に符号aで示すように多くの捕集を行う。また、1段目を広くすることで、堆積による閉塞防止にも効果がある。2段目以降は濃度が徐々に下がるので、バッフルプレート2の間隔を狭めるようにする。これにより、配置可能なバッフルプレート2の数が増え、ガス経路を長くして、濃度が下がった場所でも下がった温度によって捕集効率を変えることなく、どのエリアでも均一に捕集することが可能となる。
続いて、排気トラップ1における捕集不足の解決手段について説明する。図5に、排気トラップ1におけるウォータージャケット4と壁面付着板31の構成例を示す。
ウォータージャケット4に水を流すことで、ガスを冷却し、固体成分を排気トラップ1内の壁面で捕集する。その際、バッフルプレート2のガス通過孔21(図6参照)の閉塞を抑制するため、当該バッフルプレート2の外周から適宜距離cをとる(図6参照)。
また、メンテナンス性を考慮し、排気トラップ1の壁面への直接捕集を避けるために壁面付着板31を設け、メンテナンス時にバッフルプレート2とともに例えば上方へ引き抜ける構造としてもよい(図5参照)。
本実施形態の排気トラップ1によれば、排気トラップ1内のバッフルプレート2の配置・形状およびトラップ室3の壁面への冷却により、メンテナンス性を維持したまま捕集率を向上させることができる。これによれば、トラップ全体の捕集率が向上し、流路の閉塞を抑止することができる。
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
本発明は、ガスをトラップする排気トラップに適用して好適である。
1…排気トラップ
2…バッフルプレート
3…トラップ室
4…ウォータージャケット(冷却装置)
21…ガス通過孔
31…壁面付着板
2…バッフルプレート
3…トラップ室
4…ウォータージャケット(冷却装置)
21…ガス通過孔
31…壁面付着板
Claims (1)
- ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレートと、
前記バッフルプレートを内部に備えるトラップ室と、
を備える排気トラップであって、
前記バッフルプレートは、ガス通過孔が形成されており、
前記ガス通過孔は、前記トラップ室の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、
前記トラップ室の外壁側には冷却装置が配置されている、排気トラップ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016159331A JP2018027511A (ja) | 2016-08-15 | 2016-08-15 | 排気トラップ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016159331A JP2018027511A (ja) | 2016-08-15 | 2016-08-15 | 排気トラップ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018027511A true JP2018027511A (ja) | 2018-02-22 |
Family
ID=61248200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016159331A Pending JP2018027511A (ja) | 2016-08-15 | 2016-08-15 | 排気トラップ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018027511A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021064665A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | ミラエボ カンパニー リミテッド | 冷却流路を備えた半導体プロセスの反応副産物捕集装置 |
-
2016
- 2016-08-15 JP JP2016159331A patent/JP2018027511A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021064665A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | ミラエボ カンパニー リミテッド | 冷却流路を備えた半導体プロセスの反応副産物捕集装置 |
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