KR101284682B1 - 기판 세정장비의 배기장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 세정장비의 배기장치에 관한 것으로, 상면에 기판 세정장비에서 배기되는 세정수 미스트 및 파티클이 포함된 공기가 유입되는 배기공기유입관과, 저면에 정화된 공기가 배출되는 공기유출관을 구비하는 본체와, 상기 본체의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관으로 유입된 공기를 다단계로 응축시켜 배기공기의 진행방향의 역방향으로 세정수와 파티클을 분리제거하는 다수의 미스트거름판과, 상기 미스트거름판에 의해 걸러진 세정수와 파티클을 세정수배출구를 통해 유입받아 수용하며, 저면에 배출구를 통해 배출하는 세정수수용부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 기계적인 구조에 의해 기판 세정장비에서 배기되는 배기공기로부터 세정수와 파티클을 제거하여, 각각 다른 경로를 통해 배출할 수 있도록 구성함으로써, 필터를 사용하지 않음에 따라 관리비용을 절감함과 아울러 필터 교환에 따른 세정공정의 중단을 방지하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

기판 세정장비의 배기장치{Air exhauster for substrate cleaning apparatus}

도 1은 종래 기판 세정장비의 배기장치 단면 구성도이다.

도 2는 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예의 단면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100:본체 110:배기공기유입관

120:공기유출관 130:세정수배출구

200:미스트거름판 300:세정수수용부

본 발명은 기판 세정장비의 배기장치에 관한 것으로, 특히 대면적의 기판을 세정하는 장비에서 배기되는 공기에서 세정수 및 파티클을 분리제거하는 기판 세정장비의 배기장치에 관한 것이다.

일반적으로, 기판 세정장비는 대면적 기판에 세정수 또는 세정수와 공기가 혼합된 이류체를 분사하여 세정하는 장비이다. 이때 사용된 세정수는 대부분 기판 세정장비의 저면 측에 마련된 유출관을 통해 탱크에 집수되며, 그 일부는 미스트(mist)화 되어 그 기판 세정장비의 배기구를 통해 배기된다.

상기 배기구를 통해 배기되는 공기는 이류체 생성에 재이용되거나 외부로 배기되며, 그 재이용 및 외부로 배기되는 공기에는 세정수 미스트 및 파티클이 포함되어 있지 않은 상태이어야 한다.

이와 같이 기판 세정장비에서 배기되는 공기에서 세정수 및 파티클을 분리하기 위하여 종래에는 공기만 투과되는 필터를 사용하여 공기와 파티클을 포함하는 세정수를 분리하였으며, 이와 같은 종래 기판 세정장비의 배기장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기판 세정장비의 배기장치 단면 구성도이다.

도 1에 도시한 바와 같이 종래 기판 세정장비의 배기장치는, 상면에 공기유입구(11)를 구비함과 아울러 저면부에는 세정수와 파티클을 배출하는 세정수배출구(12)를 구비하고, 그 측면부에는 정화된 공기를 배출하는 공기배출구(13)를 포함하는 본체(10)와, 상기 본체(10)를 사선 방향으로 분할하되 상기 본체(10)의 공기유입구(11) 측을 상기 세정수배출구(12) 및 공기배출구(13) 측으로부터 분리하는 격벽(20)과, 상기 격벽(20)에 마련된 다수의 통공(21)과, 사이 격벽(20)에 의해 분할된 영역 중 상기 공기유입구(11)를 통해 공기가 유입되는 영역에 마련되어 유입된 공기로부터 세정수 및 파티클을 필터링하는 필터(30)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 기판 세정장비의 배기장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래 기판 세정장비의 배기장치는 필터(30)를 사용하여 그 기판 세정장치로부터 배기되는 공기를 필터링하여 세정수 및 파티클을 제거한 정화 공기를 배출하는 구성이다.

이를 위하여 상기 본체(10)에는 기판 세정장비로부터 배출되는 공기가 유입되는 공기유입구(11)가 상면에 위치한다. 그 공기유입구(11)를 통해 유입된 공기는 상기 격벽(20)에 의해 지지되는 필터(30)를 지나면서 세정수 미스트와 파티클이 필터링된다.

이와 같은 필터링에 의하여 상기 격벽(20)의 통공(21)을 통해서 공기가 배출되며, 그 배출된 공기는 상기 본체(10) 측면의 공기배출구(13)를 통해 배출된다.

상기 필터(30)에는 세정수와 파티클이 잔존하게 되며, 그 세정수의 무게에 의해 일부 세정수는 상기 격벽(20)의 통공(21)을 통해 그 격벽(20)의 저면을 따라 이동하여 상기 본체(10)의 바닥면으로 흐르게 되며, 이는 세정수배출구(12)를 통해 외부로 배출된다.

따라서, 기판 세정장비에서 배기되는 공기와 그 공기중에 포함된 세정수 미스트 및 파티클을 제거할 수 있게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 기판 세정장비의 배기장치는, 필터(30)에 파티클이 잔존하게 되며, 그 파티클에 의해 필터(30)의 수명이 제한됨에 따라 주기적으로 필터(30)를 교환해야 하기 때문에, 그 필터(30)의 유지 관리 비용이 증가하며, 필터(30)를 교환하는 동안에는 기판 세정장비 또한 운전이 정지되어야 하기 때문에 대면적 기판의 세정이 지연되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 필터를 사용하지 않고도 기판 세정장비에서 배기되는 공기로부터 세정수 및 파티클을 분리할 수 있는 기판 세정장비 의 배기장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상면에 기판 세정장비에서 배기되는 세정수 미스트 및 파티클이 포함된 공기가 유입되는 배기공기유입관과, 저면에 정화된 공기가 배출되는 공기유출관을 구비하는 본체와, 상기 본체의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관으로 유입된 공기를 다단계로 응축시켜 배기공기의 진행방향의 역방향으로 세정수와 파티클을 분리제거하는 다수의 미스트거름판과, 상기 미스트거름판에 의해 걸러진 세정수와 파티클을 세정수배출구를 통해 유입받아 수용하며, 저면에 배출구를 통해 배출하는 세정수수용부를 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 2는 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예의 단면 구성도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예는 기 판 세정장비에서 배기되는 공기가 유입되는 배기공기유입관(110)이 상면에 마련되며, 저면에 세정수 미스트와 파티클이 제거된 공기가 유출되는 공기유출관(120)이 마련되며, 측면에 다수의 세정수배출구(130)를 구비하는 본체(100)와, 상기 본체(100)의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관(110)을 통해 유입된 배기공기를 세정수 미스트 및 파티클과, 정화공기로 분리하여 정화공기를 상기 공기유출관(120)을 통해 배기하고, 상기 세정수 미스트 및 파티클을 세정수배출구(130)를 통해 배출하는 다수의 미스트거름판(200)과, 상기 본체(100)의 측면 외측에 마련되어 상기 세정수배출구(130)를 통해 배출되는 세정수 및 파티클을 집수하여 배출하는 세정수수용부(300)를 포함한다.

상기 미스트거름판(200)은 일단이 상기 본체(100)의 내측면에 마련된 세정수배출구(130)의 하단측에 접하며, 타단이 그 일단으로부터 상향 경사지게 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 세정장비의 배기장치의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 본체(100)의 구조는 상부에 기판 세정장비(도면 미도시)로부터 배기된 배기공기가 유입되는 배기공기유입관(110)을 구비하며, 저면에는 공기유출관(120)이 마련되어 세정수 및 파티클이 제거된 공기가 외부로 배출되도록 한다.

상기 본체(100)의 측면에는 다수의 세정수배출구(130)가 마련된다.

상기 세정수배출구(130)는 원형, 타원형, 슬릿형 등 그 구조에 의해 본 발명 이 제한되지 않으며, 그 세정수배출구(130)는 그 본체(100)의 높이 방향으로 측면에 소정간격 이격되어 위치한다.

상기 세정수배출구(130)는 본체(100)의 일측면 또는 양측면에 위치할 수 있다.

상기 세정수배출구(130)가 위치하는 본체(100)의 측면에는 세정수수용부(300)가 구비되어 있으며, 상기 세정수수용부(300)의 저면에는 유입된 세정수 및 파티클을 외부로 배출할 수 있는 배출구(310)가 구비된다.

상기 본체(100)의 내측에는 다수의 미스트거름판(200)이 구비되어 있다. 상기 미스트거름판(200)은 본체(100)의 내측면 일측에 일측단이 결합되어 있으며, 타측단은 그 일측단에 비해 높은 위치에 위치하도록 경사져 있다.

상기 미스트거름판(200)의 본체(100) 내측면과 접하는 위치는 상기 세정수배출구(130)의 바로 하단부이며, 미스트거름판(200)에서 공기와 분리된 세정수 및 파티클이 그 미스트거름판(200)을 따라 흘러내려 그 세정수배출구(130)를 통해 상기 세정수수용부(300)로 유입되도록 한다.

상기 다수의 미스트거름판(200) 중 최상층에 위치하는 미스트거름판(200)은 그 본체(200)의 내측상면과 근접해 있으며, 그 하부측에 위치하는 미스트거름판(200)은 각각의 상부측에 위치하는 미스트거름판(200)의 저면에 근접하도록 상향 경사져 있다.

이와 같은 구조에서 상기 배기공기유입관(110)을 통해 유입된 기판 세정장비의 배기공기가 유입되면 그 배기공기는 다수의 미스트거름판(200) 중 최상층의 미스트거름판(200)의 상면인 경사면을 지나면서 응축되고, 그 응축의 결과물인 세정수와 파티클은 그 미스트거름판(200)의 경사면을 따라 하향 이동하여 상기 본체(100)의 측면에 마련된 세정수배출구(130)를 통해 세정수수용부(300)로 유입된다.

또한, 상기 최상층의 미스트거름판(200)을 지난 공기는 그 하부측에 다수로 마련된 미스트거름판(200)들을 차례로 지나면서 응축되어 그 공기로부터 세정수와 파티클이 분리되어 세정수수용부(300)의 내측으로 유입된다.

따라서, 상기 미스트거름판(200)들을 모두 지나면서 세정수와 파티클이 제거된 정화공기는 본체(100)의 저면에 마련된 공기유출관(120)을 통해 배기된다.

그 정화공기는 상기 기판 세정장비로 다시 유입되어 이류체 형성 등에 사용될 수 있다.

상기 세정수수용부(300)의 내측으로 유입된 세정수와 파티클은 그 세정수수용부(300)의 저면에 마련된 배출구(310)를 통해 배출되어 정화장치 등에 의해 정화처리 된다.

이와 같이 본 발명에 따른 기판 세정장비의 배기장치는 필터를 사용하지 않고 기계적으로 배기공기를 응축하여 그 배기공기로부터 세정수와 미스트를 그 배기공기의 배기방향의 역방향으로 수거하여 제거한다.

따라서, 필터 교환이 필요 없이 반영구적으로 사용이 가능하며, 필터 교환에 따른 기판 세정공정의 중단이 발생하지 않게 된다.

상기 미스트거름판(200)은 배기공기가 진행하는 방향측으로 다수의 골이 마련된 판으로 하여, 그 배기공기로부터 분리된 세정수 및 파티클이 상기 세정수배출구(130)로 용이하게 이동할 수 있도록 구성할 수 있다.

이때 상기 세정수배출구(130)는 그 미스트거름판(200)을 따라 요철형상으로 할 수 있으며, 그 미스트거름판(200)의 홈 부분에 대응하도록 각각 분리된 다수의 홀 형상으로 마련될 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명은, 기계적인 구조에 의해 기판 세정장비에서 배기되는 배기공기로부터 세정수와 파티클을 제거하여, 각각 다른 경로를 통해 배출할 수 있도록 구성함으로써, 필터를 사용하지 않음에 따라 관리비용을 절감함과 아울러 필터 교환에 따른 세정공정의 중단을 방지하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 상면에 기판 세정장비에서 배기되는 세정수 미스트 및 파티클이 포함된 공기가 유입되는 배기공기유입관과, 저면에 정화된 공기가 배출되는 공기유출관을 구비하는 본체;

   상기 본체의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관으로 유입된 공기를 다단계로 응축시켜 배기공기의 진행방향의 역방향으로 상기 세정수 미스트 및 파티클을 분리제거하도록, 상기 본체의 상면 또는 각각의 상부에 위치하며 상호간의 간격이 상기 공기의 흐름 방향으로 좁아지도록 구성하여 다수의 미스트거름판; 및

   상기 미스트거름판에 의해 걸러진 상기 세정수 미스트 및 파티클을 세정수배출구를 통해 유입받아 수용하며, 저면에 배출구를 통해 배출하는 세정수수용부를 포함하는 기판 세정장비의 배기장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 다수의 미스트거름판 각각은,

   일측이 상기 본체의 양측면에 교번하여 고정되고, 타측이 배기공기의 흐름방향으로 상향경사진 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 다수의 미스트거름판 각각은,

   세정수 및 파티클을 상기 세정수 배출구로 유도하는 다수의 홈이 마련된 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 세정수배출구는,

   상기 다수의 미스트거름판과 본체의 결합부분에 각각 마련되는 다수의 천공, 슬릿형 통공 또는 요철형 통공인 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.

Images