JP2019501415A - レンズをコーティングするための真空コーティングシステム - Google Patents

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Abstract

レンズをコーティングするための真空コーティングシステムは、真空チャンバと、1つまたは複数の電極(16)を有する電極ホルダ(14)と、1つのレンズ(19)をそれぞれ収容するための1つまたは複数のレンズホルダ(17)を有するレンズホルダレセプタクル(18)とを備える。別個の電極(16)は、各レンズ(19)に割当てられる。レンズ(19)に向く電極(16)の表面は湾曲表面である。外側エリア(8)において、電極(16)の表面の曲率は、内側エリア(9)におけるよりも大きい可能性がある。電極(16)と関連するレンズ(19)との距離は調整可能である。【選択図】図8

Description

本発明は、レンズをコーティングするための真空コーティングシステムに関する。
2つの型シェル及びシールによって境界付けられたキャビティ内にモノマーが注がれ、例えば、UV放射によって硬化される鋳造プロセスを使用してレンズを生産することが知られている。シールは、その後、取除かれ、レンズは、2つの型シェルから分離される。こうした製造プロセスは、例えば、特許文献1及び特許文献2から知られている。ブランクを研磨することによるレンズの生産もまた知られている。レンズは、その後、浸漬バスまたは真空コーティングシステムにおいて光学層、例えば、反射防止層、スクラッチ防止層等を提供され得る。
こうしたレンズは、半製品であり、後に半製品から、例えば、レンズが、眼鏡技師によって切出され、フレームにはめ込まれる。こうしたレンズは、めがねレンズとも呼ばれる。
欧州特許出願公開第0015202号明細書 国際公開第02/087861号
本発明は、レンズをコーティングするための真空コーティングシステムを提供するという目的に基づき、真空コーティングシステムは、均一屈折率及び一様な厚さを有する層を生産する。
先に述べた目的は、請求項1の特徴による本発明によって解決される。有利な実施形態は、従属請求項から得られる。
本発明は、幾つかのレンズを同時にコーティングするための真空コーティングシステムに関する。真空コーティングシステムは、真空チャンバを備え、真空チャンバ内で、数Nのレンズホルダ及び等しい数Nの電極が、別個の電極が各レンズに割当てられるように配置される。レンズ及び電極は、互いに対向して位置する。本発明によれば、レンズに向く電極の表面は湾曲表面である。湾曲表面は、内側エリア及び外側エリアを備え、両方のエリアは、隣接するまたは中間エリアによって互いから分離され得る。外側エリアにおける表面の曲率は、内側エリアの曲率に少なくとも等しいが、好ましくは内側エリアの曲率より大きい。
電極の表面は、内側エリア、及び、内側エリアに隣接する複数の円形リングであって、前記電極の対称軸に同心に延在する、複数の円形リングを有することができ、電極の表面の曲率は、中心から、円形リングから円形リングへ外方に離散的ステップでまたは連続して増加し、一番外の円形リングは、電極の縁まで延在することができるが、そうする必要はない。
好ましくは、電極と対向して位置するレンズとの距離は調整可能であり得る。
真空コーティングシステムは、特に、PECVDまたはPACVDシステムであり得る。
この文脈で、2つのタイプのレンズ、すなわち、マイナスレンズとプラスレンズとの間の区別が行われる。マイナスレンズは、中央が最も薄くかつその厚さが増加するレンズである。プラスレンズは、中央が最も厚くかつその厚さが縁に向かって連続して減少するレンズである。
本発明を理解するために必要とされる真空コーティングシステムの部分は、例示的な実施形態及び図面によって以下でより詳細に説明される。図面を明瞭にするため、図は、一定比例尺に従って描かれていない。
電極及びレンズの断面図である。 電極及びレンズの断面図である。 図1の電極を示す図である。 電極及びレンズの断面図である。 電極及びレンズの断面図である。 図4の電極を示す図である。 電極を受取るための窪みを有する板を示す図である。 図7のラインI−Iに沿う切断図である。
本発明の第1の態様は、電極の曲率に関する。これは、図1〜6を使用して説明される。本発明の第2の態様は、電極とレンズとの距離の調整に関する。これは、図7及び8を使用して説明される。
図1及び2は、電極1及び電極1に対向して位置するレンズ2またはレンズ3を示す。レンズ2及び3は、凸表面4及び凹表面5を有し、凸表面4は、矢印で示すようにコーティングされる。電極1は凸表面6を有する。凸表面6は、電極1の縁まで延在し得るが、そうする必要はない。レンズ2またはレンズ3の凹表面5は、電極1の凸表面6に向く。レンズ2はマイナスレンズであり、レンズ3はプラスレンズである。
図3は、電極1だけを示す。電極1は、対称軸7を有し、通常、対称軸7に関して回転対称である。電極1の凸表面6は湾曲表面である。第1の実施形態において、曲率は一様である、すなわち、表面6は球表面であり、その曲率半径は値rを有する。第2の実施形態において、表面6の曲率は内側エリア9よりも外側エリア8において大きい。曲率は、中心、すなわち、対称軸7から縁に向かって連続してまたは離散的ステップで増加する。例えば、内側エリア9は、球表面であることができ、その曲率半径は値rを有し、外側エリア8は、内側エリア9に隣接して球表面であることができ、その曲率半径は値rを有し、r<rである。しかし、表面6は、同様に、内側エリア9、及び、内側エリア9に隣接する幾つかの円形リングであって、対称軸7に同心に延びる、幾つかの円形リングを有し得、それにより、表面6の曲率は、中心から、すなわち、対称軸7から、円形リングから円形リングへ外方に増加する。一番外の円形リングは、電極1の縁まで延在し得るが、そうする必要はない。
図4及び5は、電極10、及び、電極10に対向して位置するレンズ11またはレンズ12を断面で示す。レンズ11及び12は、凸表面4及び凹表面5を有し、それにより、ここで、凹表面5は、矢印で示すようにコーティングされる。
電極10は、凹表面13を有し、凹表面13は、電極10の縁まで延在し得るが、そうする必要はない。レンズ11及び12の凸表面4は、電極10の凹表面13に向く。レンズ11はマイナスレンズである。レンズ12はプラスレンズである。
図6は、電極10だけを示す。電極10は、対称軸7を有し、通常、対称軸7に関して回転対称である。電極10の凹表面13は湾曲表面である。第1の実施形態において、曲率は一様である、すなわち、表面13は球表面であり、その曲率半径は値rを有する。第2の実施形態において、表面13の曲率は内側エリア9よりも外側エリア8において大きい。曲率は、中心、すなわち、対称軸7から縁に向かって連続してまたは離散的ステップで増加する。例えば、内側エリア9は、球表面であることができ、その曲率半径は値rを有し、外側エリア8は、内側エリア9に隣接して球表面であることができ、その曲率半径は値rを有し、r<rである。しかし、表面13は、同様に、内側エリア9、及び、内側エリア9に隣接する幾つかの円形リングであって、対称軸7に同心に延びる、幾つかの円形リングを有し得、それにより、表面13の曲率は、中心から、すなわち、対称軸7から、円形リングから円形リングへ外方に増加する。一番外の円形リングは、電極10の縁まで延在し得るが、そうする必要はない。
湾曲表面6または13であって、表面6または13の外側エリア8の曲率が、それぞれ表面6または13の内側エリア9より大きい、湾曲表面6または13をそれぞれ有する電極1及び10の形成は、電極と対向するレンズとの距離が、レンズが薄い場合に大きく、レンズが厚い場合に小さくなることをもたらす。更に、電極と対向するレンズとの距離は調整可能である。これは、各レンズについて最適距離Dを設定することを可能にする。各レンズについての最適距離は、実験的にまたはこのためにプログラムされたコンピュータプログラムを使用して前もって1回決定される。
2つの異なるタイプの電極だけ、すなわち、同じ凸表面6を有する電極1及び同じ凹表面13を有する電極10によって、凸表面6または凹表面13が、種々の異なるレンズ幾何形状を考慮する湾曲表面設計を有する場合、異なる幾何形状及び厚さの多数のレンズが、所望の光学特性を有する層でコーティングされ得る。曲率の予め決定され最適化されたコースを有する電極の表面の形成、及び、レンズと電極との間の距離についての個々に最適化可能な調整は、真空チャンバ内で同じプロセスでコーティングされる個々のレンズに関して見られると共に、全てのレンズにわたって見られる塗布済み層の屈折率及び厚さが、電極1または10の表面6または13のこの特定の形成がない場合でかつ前記距離の調整機能がない場合に達成され得る場合より大きな均一性及び一様性を有するという結果をもたらす。
生産されるレンズが半製品であること、及び、例えば、めがねレンズ等の光学要素が更なる処理中にレンズから切出されることが留意されるべきである。このため、電極1、10の縁に隣接するエリアは、対向して存在するレンズのエリアがいずれにしても廃棄物になるため、上記条件を満たす必要はない。これは、電極1または10の表面6または13の述べた外側エリア8が、電極1または10の縁まで延在し得るが、そうする必要がないことを意味する。
図7は、ねじ山を備える所定の数Mの窪み15を有する電極ホルダ14を斜視図で示す。例においてM=7である。電極ホルダ14は導電性板である。各窪みは、1つの電極を収容するように構成される。電極は、同様に、窪み15にねじ込まれるようにねじ山を有する。図面を明瞭にするため、4つの窪み15は、電極なしで示され、一方、3つの窪みは、1つの電極をそれぞれ含む、すなわち、1つの窪み15は凸表面6を有する電極1を、2つの窪みは凹表面13を有する電極10を含む。
図8は、図7のラインI−Iに沿う電極ホルダ14の切断図を示し、それにより、1つの電極16は各窪みにねじ込まれる。レンズホルダ17は、レンズホルダレセプタクル18内に配置される。レンズホルダレセプタクル18は、非導電性材料で作られ、有利には、レンズホルダ17へのまたそれからのレンズ19の容易な配置及び取外しのため、2つの部分で作られる。レンズホルダレセプタクル18は、個々のレンズホルダ17を、電極ホルダ14から所定の等しい距離に保持する。レンズホルダレセプタクル18は、有利には更に、電極ホルダ14上に配置され得るカバーとして構成され、したがって同時に、コーティングされていない電極ホルダ14及び電極16の出来る限り多くの表面をカバーするタスクを果たす。レンズホルダレセプタクル18は、同様に、他の仕方で、真空チャンバに脱着可能に取付けられ得る。
電極ホルダ14の窪み15のねじ山は、有利には、電極16が或る回転位置にセットされるようなマーキングを持って設計される。各回転位置は、電極16の異なる高さに対応する。1つの回転位置から次の回転位置までの電極16の回転は、所定の高さ、したがって、電極16と関連するレンズホルダ17によって保持されるレンズ19との距離の変化をもたらす。この構造によって、電極16とレンズ19との距離は、高精度で設定され得、それにより、各レンズについて設定される距離または設定される回転位置は、対応するレンズレシピから得られる。レンズ19は、ロボットまたはオペレータによってレンズホルダ17内に配置され、各電極16の高さは、対応するレンズレシピに従ってロボットまたはオペレータによって調整される。その後、レンズホルダレセプタクル18は、電極ホルダ14上に配置され、全体が、コーティングのために真空コーティングシステムの真空チャンバ内にもたらされる。
図6に示す3つのレンズ19は異なるレンズ19である。3つの電極16の高さH、H、及びHは、レンズ19と関連する電極16との距離が最適距離Dか、Dか、またはDを有するように個々に設定される。D、D、及びDはそれぞれ、電極16の対称軸上の距離である。
考えられる真空コーティングプロセスは、CVD(化学気相堆積)プロセス、特に、PECVD(プラズマ強化化学気相堆積)プロセス及びPACVD(プラズマ支援化学気相堆積)プロセスである。このリストは網羅的ではない。
真空チャンバの内側壁は、導電性であり、また、通常、電気的にアースされている。そのため、内側壁は、電極ホルダ14及び電極から電気絶縁された対向電極を表す。
本発明の実施形態が示され述べられたが、先に述べたよりも多くの修正が本発明の概念から逸脱することなく可能であることが当業者に明らかになるであろう。したがって、本発明は、添付特許請求の範囲によって限定されるだけである。

Claims (5)

  1. レンズをコーティングするための真空コーティングシステムにおいて、
    真空チャンバと、
    1つまたは複数の電極(1,10,16)を有する電極ホルダ(14)と、
    1つのレンズ(2,3,11,12,19)をそれぞれ収容するための1つまたは複数のレンズホルダ(17)を有するレンズホルダレセプタクル(18)とを備える、真空コーティングシステムであって、別個の電極(1,10,16)は、各レンズ(2,3,11,12,19)に割当てられこと、及び、
    前記レンズ(2,3,11,12,19)に向く前記電極(1,10,16)の表面(6,13)は湾曲表面であることを特徴とする、真空コーティングシステム。
  2. 外側エリア(8)における前記電極(1,10,16)の前記表面(6,13)の曲率は、内側エリア(9)におけるよりも大きいことを特徴とする、請求項1に記載の真空コーティングシステム。
  3. 前記電極(1,10,16)の前記表面(6,13)は、内側エリア(9)、及び、前記内側エリア(9)に隣接する複数の円形リングであって、前記電極(1,10,16)の対称軸(7)に同心に延びる、複数の円形リングを有し、前記電極(1,10,16)の前記表面(6,13)の曲率は、中心から、円形リングから円形リングへ外方に離散的ステップでまたは連続して増加し、前記一番外の円形リングは、前記電極(1,10,16)の縁まで延在することができるが、そうする必要はないことを特徴とする、請求項1に記載の真空コーティングシステム。
  4. 前記レンズ(2,3,11,12,19)と前記関連する電極(1,10,16)との距離は調整可能であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の真空コーティングシステム。
  5. PECVDまたはPACVDシステムであることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の真空コーティングシステム。
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