JP2019214409A - 部品封入装置 - Google Patents

部品封入装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2019214409A
JP2019214409A JP2018113015A JP2018113015A JP2019214409A JP 2019214409 A JP2019214409 A JP 2019214409A JP 2018113015 A JP2018113015 A JP 2018113015A JP 2018113015 A JP2018113015 A JP 2018113015A JP 2019214409 A JP2019214409 A JP 2019214409A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier tape
pocket
collet
tape
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018113015A
Other languages
English (en)
Inventor
禎宏 神▲崎▼
Sadahiro Kanzaki
禎宏 神▲崎▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ueno Seiki Co Ltd
Original Assignee
Ueno Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ueno Seiki Co Ltd filed Critical Ueno Seiki Co Ltd
Priority to JP2018113015A priority Critical patent/JP2019214409A/ja
Publication of JP2019214409A publication Critical patent/JP2019214409A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

【課題】ポケットから電子部品が飛び出すのを抑制可能な部品封入装置を提供する。【解決手段】投入位置Iに配されて、下端部11で吸着している電子部品WをキャリアテープPのポケットP1に上方から入れるコレット12と、キャリアテープPの長手方向に沿った搬送方向DにキャリアテープPを送り、投入位置Iより下流側でカバーテープQを上方からキャリアテープPに貼り付けるテーピングユニット13とを備える部品封入装置10において、テーピングユニット13は、キャリアテープPに上向きの力を与える押上げ機構33と、投入位置Iの下流側に配置され、押上げ機構33によって上流領域に下方からキャリアテープPが押し付けられる上側カバー体23とを備え、電子部品Wの搬送方向Dの長さをR、平面視して投入位置Iに配されたコレット12の下端部11から上側カバー体23の上流領域までの搬送方向Dの距離をXとして、X<Rである。【選択図】図1

Description

本発明は、コレットによって電子部品をキャリアテープのポケットに入れ、キャリアテープにカバーテープを貼付して電子部品を封止する部品封入装置に関する。
部品封入装置は、ポケットが長手方向に配列されたキャリアテープのポケットに電子部品を入れるコレットと、当該キャリアテープにカバーテープを貼り付けて、ポケット内に電子部品を封止するテーピングユニットとを備える装置であり、その具体例が、例えば特許文献1、2に記載されている。
カバーテープのキャリアテープへの貼り付けを熱圧着で行う場合、テーピングユニットは、キャリアテープ及びカバーテープの搬送と停止を繰り返し、キャリアテープ及びカバーテープを停止させた際に、高温のコテをキャリアテープやカバーテープに押し当てる。キャリアテープは、コテを押し当てる位置の上流側及び下流側にそれぞれ配されたリールで、張設された状態が維持されている。
特開平8―58877号公報 特開2011−11748号公報
しかしながら、生産性を上げるべく、単位時間当たりに封止する電子部品を増やそうとすると、キャリアテープ及びカバーテープの搬送と停止を短時間で繰り返す必要があり、その結果、キャリアテープに振動が発生して、カバーテープを貼り付ける前にポケットから電子部品が飛び出すという課題が生じることが判明した。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、ポケットから電子部品が飛び出すのを抑制可能な部品封入装置を提供することを目的とする。
前記目的に沿う本発明に係る部品封入装置は、投入位置に配されて、下端部で吸着している電子部品をキャリアテープのポケットに上方から入れるコレットと、前記キャリアテープの長手方向に沿った搬送方向に該キャリアテープを送り、前記投入位置より下流側でカバーテープを上方から前記キャリアテープに貼り付けるテーピングユニットとを備える部品封入装置において、前記テーピングユニットは、前記キャリアテープに上向きの力を与える押上げ機構と、前記投入位置の下流側に配置され、前記押上げ機構によって上流領域に下方から前記キャリアテープが押し付けられる上側カバー体とを備え、前記電子部品の前記搬送方向の長さをR、平面視して前記投入位置に配された前記コレットの下端部の最下流端から前記上側カバー体の上流領域の最上流端までの前記搬送方向の距離をXとして、X<Rである。
本発明に係る部品封入装置は、テーピングユニットが、キャリアテープに上向きの力を与える押上げ機構と、投入位置の下流側に配置され、押上げ機構によって上流領域に下方からキャリアテープが押し付けられる上側カバー体とを備え、電子部品の搬送方向の長さをR、平面視して投入位置に配されたコレットの下端部の最下流端から上側カバー体の上流領域の最上流端までの搬送方向の距離をXとして、X<Rであるので、投入位置に配されたコレットがコレットと上側カバー体の上流領域との間の空間を通って電子部品がポケットから飛び出すのを防止することが可能である。
本発明の一実施の形態に係る部品封入装置の説明図である。 (A)、(B)は、キャリアテープ及びカバーテープの説明図である。 (A)、(B)、(C)は電子部品をキャリアテープのポケットに入れる様子を示す説明図である。 (A)、(B)はそれぞれ変形例に係るコレットを示す説明図である。 変形例に係る接触部を示す説明図である。 変形例に係るキャリアテープ及びカバーテープの説明図である。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図1、図2(A)、(B)、図3(A)、(B)、(C)に示すように、本発明の一実施の形態に係る部品封入装置10は、投入位置Iに配されて、下端部11で吸着している電子部品WをキャリアテープPのポケットP1に上方から入れるコレット12と、キャリアテープPの長手方向に沿った搬送方向DにキャリアテープPを送り、投入位置Iより下流側でカバーテープQを上方からキャリアテープPに貼り付けるテーピングユニット13とを備えている。以下、詳細に説明する。
キャリアテープPは、樹脂製であり、図2(A)、(B)に示すように、長手方向(キャリアテープPの搬送方向D)に等ピッチでポケットP1が形成されている。キャリアテープPは、ポケットP1を基準としてポケットP1の幅方向一側及び他側に、平坦部P2、P3がそれぞれ設けられ、ポケットP1は、平坦部P2、P3を含む他の領域に対し、下方に突出している。ポケットP1は上部が開口しており、電子部品Wは、キャリアテープPにカバーテープQが貼り付けられていない状態で、上からポケットP1に入れられる。平坦部P3には、キャリアテープPの長手方向に沿って、等ピッチで送り孔P4が形成されている。
キャリアテープPより幅が狭い樹脂製のカバーテープQは、ポケットP1全体、平坦部P2の大半及び平坦部P3の略半分を上から覆った状態でキャリアテープPに貼り付けられる。ポケットP1内の電子部品WはカバーテープQがキャリアテープPに貼り付けられることによって封止される。
テーピングユニット13は、図1に示すように、キャリアテープPを案内するフリーローラ14及び長尺のガイド部材15が取り付けられたベース体16と、ガイド部材15に案内されたキャリアテープPが掛け渡されたプーリ17と、複数の案内ローラ18を有してカバーテープQを案内するガイド機構19とを備えている。
ガイド部材15は、キャリアテープPを水平に進行させた後、キャリアテープPの進行方向を上方に変えて、キャリアテープPをプーリ17に案内する。
ベース体16には、プーリ17に駆動力を与えるサーボモータ20が取り付けられている。サーボモータ20は、出力軸がプーリ17の軸に連結され、間欠的に駆動し、一回の駆動でプーリ17を所定角度回転させる。プーリ17は、外周に突起を具備し、その突起をキャリアテープPの送り孔P4に挿入して、キャリアテープPを掛け留めている。プーリ17は、所定角度の回転を繰り返して、キャリアテープPを搬送し、電子部品Wが未収容のポケットP1を順次投入位置Iの直下に配置する。
ベース体16の上方には、図1に示すように、電子部品WをキャリアテープPのポケットP1に入れるコレット12、ポケットP1内に収容された電子部品Wを上方から撮像するカメラ21、及び、ポケットP1に封入された電子部品Wを撮像するカメラ22が搬送方向Dに順に配置されている。
コレット12は、図3(A)に示すように、真空圧(負圧)によって電子部品Wの上面を下端部11で吸着し、大気開放(負圧及び正圧を加えない状態)又は空気の吹出し(正圧)によって電子部品Wの吸着を解放する。電子部品Wを吸着しているコレット12は、図示しないモータから動力を与えられて、投入位置Iの上方から下降し、投入位置Iで停止する。その後、コレット12は、投入位置Iで電子部品Wの吸着状態を解放することによって、投入位置Iの直下に配置された空のポケットP1内に電子部品Wを落下させて、電子部品WをポケットP1内に入れる。
テーピングユニット13は、図1に示すように、投入位置Iの搬送方向D下流側(以下、単に「下流側」とも言う)に配置された上側カバー体23と、投入位置Iの下流側の貼付位置TでカバーテープQをキャリアテープPに接着する押当て部材24と、貼付位置Tの下流側でキャリアテープPが掛け留められたプーリ25と、カバーテープQが接着されたキャリアテープPをプーリ25の下流側で案内するフリーローラ26、27を具備している。
上側カバー体23は、ベース体16に水平に固定された、搬送方向Dに長い板材である。上側カバー体23には、カメラ21の直下に透光性を有するガラス板が取り付けられ、カメラ22の直下には開口部が形成されている。カメラ21はガラス板越しにポケットP1内の電子部品Wを撮像し、カメラ22は当該開口部を通してポケットP1内の電子部品Wを撮像する。カメラ21、22によって撮像された画像を基に電子部品WがポケットP1内で正常に配置されているか否かが判定される。
カバーテープQは、図1に示すように、ガイド機構19の複数の案内ローラ18によって案内され、投入位置Iと貼付位置Tの間で、上側カバー体23の上方から上側カバー体23に形成された開口部を通って上側カバー体23の下側に進み、キャリアテープPに上側から接触する。以下、キャリアテープPにカバーテープQが接触する位置を「合流位置J」とも言う。
押当て部材24は、略直方体形状であり、上側カバー体23に固定された支持部材28に基側が回動可能に取り付けられている。押当て部材24は、基側を中心に回動することによって、先側の加熱部29が上側カバー体23に形成された図示しない開口部を上方から通過してカバーテープQに接触し、カバーテープQをキャリアテープPに押し付ける。加熱部29がカバーテープQに接触する位置の直下には固定ブロック30が設けられており、カバーテープQ及びキャリアテープPは、加熱部29と固定ブロック30によって上下から挟まれた状態で加熱部29の熱によって熱圧着(接着の一例)される。
プーリ25は、外周にキャリアテープPの送り孔P4に挿入される突起を具備し、間欠的に駆動するサーボモータ31の出力軸に連結されている。サーボモータ31は、プーリ17が回転するタイミングでプーリ25を所定角度回転させ、プーリ17が停止するタイミングでプーリ25を停止させる。キャリアテープPは、プーリ17、25間の領域が、プーリ17、25によって長手方向に張力を与えられた状態で進行と停止を繰り返す。プーリ17、25は1回の回転動作によってキャリアテープPを搬送方向DにポケットP1の配置ピッチ1つ分搬送する。
押当て部材24は、キャリアテープPが停止しているタイミングで、カバーテープQに接触してカバーテープQとキャリアテープPを接着する。
また、テーピングユニット13は、キャリアテープPのプーリ17、25間の領域に上向きの力を与える押上げ機構33を備えている。押上げ機構33は、貼付位置Tの上流側でキャリアテープPに下から接する接触部34と、接触部34に上向きの力を与えるバネ部材35、36(弾性体の一例)を有している。
水平に配置された接触部34は、搬送方向Dに長く、上流端(一端)が投入位置Iより搬送方向D上流側(以下、単に「上流側」とも言う)に位置し、下流端(他端)が合流位置Jに位置している。
上側カバー体23は、上流端が、投入位置Iより下流側(即ち、接触部34の上流端より下流側)に位置し、下流端が、接触部34の下流端より下流側(本実施の形態では、貼付位置Tより下流側)に位置している。従って、上側カバー体23は、図1、図3(A)に示すように、上側カバー体23の上流領域(上流側の領域)の底面23aに押上げ機構33によって下方からキャリアテープPが押し付けられていることとなる。
接触部34は、キャリアテープPの平坦部P2、P3の直下に位置する部分が、キャリアテープPのポケットP1が形成された領域に比べ上方に突出していることから、ポケットP1に非接触な状態で、キャリアテープPの平坦部P2、P3(即ち、ポケットP1を基準としたキャリアテープPの幅方向両側領域)に接触する。なお、キャリアテープPの平坦部P2、P3及びポケットP1に接触する接触部や、キャリアテープPの平坦部P2、P3には非接触で、ポケットP1に接触する接触部を採用することもできる。
固定ブロック30も、接触部34と同様に、キャリアテープPの平坦部P2、P3の直下に位置する部分が、キャリアテープPのポケットP1が形成された領域に比べ上方に突出しており、ポケットP1に非接触な状態で、キャリアテープPの平坦部P2、P3に接触する。
ここで、押当て部材24の加熱部29のカバーテープQへの押し当てや、キャリアテープPの進行と停止の繰り返しによって、キャリアテープP及びカバーテープQには振動が生じ得る。この点、本実施の形態では、キャリアテープPのプーリ17、25間の領域が接触部34によって上側カバー体23に接触した状態を維持されていることから、キャリアテープP及びカバーテープQに生じ得る振動は抑制される。当該振動の抑制によって、ポケットP1内に収容された電子部品Wが、投入位置Iと貼付位置Tの間でポケットP1から飛び出したり、ポケットP1内で反転して上下反対になったりすることを防止可能である。
本実施の形態では、貼付位置Tの下流側に、カバーテープQが貼り付けられたキャリアテープPに下から接する下側ガイド38がベース体16に固定されている。下側ガイド38は、搬送方向Dに長く、上側カバー体23の下側に配されている。カバーテープQ及びキャリアテープPは、上側カバー体23及び下側ガイド38にそれぞれ接した状態で、上側カバー体23及び下側ガイド38の間を通過する。
また、図2(A)、図3(A)に示すように、ポケットP1内で所定の位置に配された電子部品Wの搬送方向D長さをR、平面視して投入位置Iに配されたコレット12の下端部11の最下流端から上側カバー体23の上流領域の最上流端までの搬送方向Dの距離をXとして、X<Rとなるように各種部材が設計されている。従って、コレット12は、投入位置Iに配されることによって、ポケットP1内に入れられた電子部品Wが、コレット12の下端部11と上側カバー体23の間の空間を通ってポケットP1から飛び出すのを防止することができる。
本実施の形態では、XがポケットP1の配置ピッチ1つ分より短い。
ここで、電子部品WのポケットP1からの飛び出しを安定的に防止する観点では、コレット12が投入位置Iに配された際、コレット12の下端部11が、上側カバー体23の底面23aの高さ位置と当該底面23aから電子部品Wの厚み分上方の高さ位置との間に、配置されるのが好ましく、コレット12の下端部11が、上側カバー体23の底面23aと同一(実質的に同一を意味する)高さに配置されるのがより好ましい。
そして、ポケットP1に電子部品Wを入れたコレット12は、図3(A)、(B)、(C)に示すように、キャリアテープPが進行し始め、平面視して、ポケットP1に入れられた電子部品Wの一部(下流端)が上側カバー体23の上流領域と重なったタイミングで、投入位置Iからの上昇を開始する。従って、コレット12は、電子部品WをポケットP1に入れてから、ポケットP1に入れられた電子部品Wの一部が上側カバー体23の上流領域の直下に配されるまで、投入位置Iに配された状態(即ち、電子部品Wがコレット12の下端部11と上側カバー体23の間の空間を通ってポケットP1から飛び出すのを防止している状態)を維持する。
本実施の形態では、平面視してポケットP1に入れられた電子部品Wの一部が上側カバー体23の上流領域と確実に重なるタイミングを予め求め、電子部品WをポケットP1に入れたコレット12を当該タイミングで上昇させるようにしている。即ち、各ポケットP1に対し、同じタイミングでコレット12の上昇が開始される。
ここで、図2(A)、図3(A)に示すように、ポケットP1の開口部(上端部)の搬送方向D長さをSとして、R<Sであることから、X<Sである。本実施の形態では、ポケットP1の底部の搬送方向D長さが、ポケットP1の開口部の搬送方向D長さと等しく、Sであるが、これに限定されず、ポケットの開口部及び底部で搬送方向D長さが異なるキャリアテープを用いてもよい。
本実施の形態において、コレット12は、平断面が円形であり、鉛直方向の異なる位置で平断面の面積が等しいが、コレット12とは異なる形状のコレットを採用してもよい。例えば、平断面が角形状のコレットであってもよいし、平断面の面積が鉛直方向で異なるコレットであってもよい。図4(A)、(B)にそれぞれ、平断面の面積が鉛直方向で異なるコレット40、41を記す。
平断面円形のコレット40は、図4(A)に示すように、下側が、電子部品Wを吸着する下端部40aに向かって縮径している。平断面円形のコレット41は、図4(B)に示すように、下方に向かって縮径する領域より下側に、下端部41aまで径が等しい領域を有している。コレット40、41は、図4(A)、(B)に示すように、平面視して投入位置Iに配されたコレット40の下端部40a(コレット41の下端部41a)の最下流端から上側カバー体23の上流領域の最上流端までの搬送方向Dの距離Xが、X<Rである。
また、接触部34には、図3(A)〜(C)に示すように、それぞれ鉛直方向に形成された複数の貫通孔42が搬送方向Dに間隔を空けて設けられ、各ポケットP1の底部には図示しない孔が形成されている。1つの貫通孔42は投入位置Iの直下に配されている。
ポケットP1内には、図示しない吸引ポンプの作動により各貫通孔42内に発生する下向きの空気の流れによって、ポケットP1の底部の孔に向かう空気の流れが生じる。これによって、ポケットP1内の電子部品Wは、ポケットP1の底部に引き付けられ、ポケットP1からの飛び出しやポケットP1内での反転が抑制された状態となる。
ここで、電子部品Wは磁性体の部位を有することから、図5に示すように、磁石43を具備する接触部44を採用して、ポケットP1内の電子部品WをポケットP1の底部に引き付けるようにしてもよい。なお、気流や磁力によってポケットP1内の電子部品WをポケットP1の底部に引き付けるための構造は必ずしも必要ではない。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、ポケットに電子部品を入れたコレットは、平面視して当該電子部品の全体が上側カバー体の上流領域と重なった後に、投入位置からの上昇を開始してもよいし、平面視して当該電子部品が上側カバー体の上流領域と重なる前に、投入位置からの上昇を開始してもよい。
また、キャリアテープ及びカバーテープは樹脂製である必要は無く、キャリアテープはポケットが他の領域に対し下方に突出していなくてもよい。例えば、図6に示すように、紙製で、ポケットP1’の底部が他の領域の底部と実質的に同一平面上に配されるキャリアテープP’と、キャリアテープP’に接着剤によって張り付けられる紙製のカバーテープQ’とを採用することができる。
そして、押上げ機構において、接触部に上向きの力を与えるのは弾性体に限定されず、例えば、弾性体の代わりに流体シリンダを用いてもよい。
10:部品封入装置、11:下端部、12:コレット、13:テーピングユニット、14:フリーローラ、15:ガイド部材、16:ベース体、17:プーリ、18:案内ローラ、19:ガイド機構、20:サーボモータ、21、22:カメラ、23:上側カバー体、23a:底面、24:押当て部材、25:プーリ、26、27:フリーローラ、28:支持部材、29:加熱部、30:固定ブロック、31:サーボモータ、33:押上げ機構、34:接触部、35、36:バネ部材、38:下側ガイド、40:コレット、40a:下端部、41:コレット、41a:下端部、42:貫通孔、43:磁石、44:接触部、D:搬送方向、I:投入位置、J:合流位置、P、P’:キャリアテープ、P1、P1’:ポケット、P2、P3:平坦部、P4:送り孔、Q、Q’:カバーテープ、W:電子部品、T:貼付位置

Claims (3)

  1. 投入位置に配されて、下端部で吸着している電子部品をキャリアテープのポケットに上方から入れるコレットと、前記キャリアテープの長手方向に沿った搬送方向に該キャリアテープを送り、前記投入位置より下流側でカバーテープを上方から前記キャリアテープに貼り付けるテーピングユニットとを備える部品封入装置において、
    前記テーピングユニットは、前記キャリアテープに上向きの力を与える押上げ機構と、前記投入位置の下流側に配置され、前記押上げ機構によって上流領域に下方から前記キャリアテープが押し付けられる上側カバー体とを備え、
    前記電子部品の前記搬送方向の長さをR、平面視して前記投入位置に配された前記コレットの下端部の最下流端から前記上側カバー体の上流領域の最上流端までの前記搬送方向の距離をXとして、X<Rであることを特徴とする部品封入装置。
  2. 請求項1記載の部品封入装置において、前記投入位置に配された前記コレットの下端部は、前記上側カバー体の上流領域の底面と同一の高さに配置されることを特徴とする部品封入装置。
  3. 請求項2記載の部品封入装置において、前記ポケットに前記電子部品を入れた前記コレットは、平面視して、該電子部品の一部が前記上側カバー体の上流領域と重なったタイミングで、前記投入位置からの上昇を開始することを特徴とする部品封入装置。
JP2018113015A 2018-06-13 2018-06-13 部品封入装置 Pending JP2019214409A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018113015A JP2019214409A (ja) 2018-06-13 2018-06-13 部品封入装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018113015A JP2019214409A (ja) 2018-06-13 2018-06-13 部品封入装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019214409A true JP2019214409A (ja) 2019-12-19

Family

ID=68919366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018113015A Pending JP2019214409A (ja) 2018-06-13 2018-06-13 部品封入装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2019214409A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116654384A (zh) * 2023-07-31 2023-08-29 深圳市金创图电子设备有限公司 一种半导体器件封膜收卷一体机

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116654384A (zh) * 2023-07-31 2023-08-29 深圳市金创图电子设备有限公司 一种半导体器件封膜收卷一体机
CN116654384B (zh) * 2023-07-31 2023-11-03 深圳市金创图电子设备有限公司 一种半导体器件封膜收卷一体机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5835825B1 (ja) キャリアテープ走行装置及び電子部品搬送装置
KR101639667B1 (ko) 부품 실장기
JP4917163B2 (ja) 部品供給装置及び部品供給方法
TWI320211B (en) Chip supply unit loading device
JP5777261B2 (ja) ダイボンダー装置
JP2008277509A (ja) 部品供給装置及び部品実装装置
JPS63277166A (ja) チツプ電子部品供給装置
JP2019214409A (ja) 部品封入装置
JP2014210641A (ja) 搬送装置
KR20110120008A (ko) 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
TWI655143B (zh) 載帶輸送方法及裝置
WO2019039552A1 (ja) テーピング装置
WO2018110500A1 (ja) テーピング装置
JP6366121B1 (ja) テーピング装置
JP2013001434A (ja) 容器の包装装置
JP2005035637A (ja) シート状電子部品の包装方法および取出し方法
WO2019087270A1 (ja) 部品供給装置および部品実装装置
JP6381164B2 (ja) テーピング装置
JP2013010562A (ja) ワーク挿入装置およびワーク挿入方法
JP6792631B2 (ja) 基板作業装置
KR20200119195A (ko) 박리 장치
CN108602636B (zh) 工件搬运装置
JP7416422B2 (ja) ワーク挿入安定化装置、ワーク挿入安定化方法
CN117719861B (zh) 一种石英晶体组装设备
JPWO2019229993A1 (ja) テープフィーダ