JP2019209697A - 液体吐出装置 - Google Patents
液体吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019209697A JP2019209697A JP2019170185A JP2019170185A JP2019209697A JP 2019209697 A JP2019209697 A JP 2019209697A JP 2019170185 A JP2019170185 A JP 2019170185A JP 2019170185 A JP2019170185 A JP 2019170185A JP 2019209697 A JP2019209697 A JP 2019209697A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- film
- pressure chamber
- vibration film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
以下本発明を実施の形態1に係るプリンタを示す図面に基づいて説明する。図1は、プリンタを略示する平面図である。
以下本発明を実施の形態2に係るプリンタ1を示す図面に基づいて説明する。図8は、圧電素子39を略示する縦断面図である。なお図8の切断位置は図7に対応する。実施の形態2において、実施の形態1と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
以下本発明を実施の形態3に係るプリンタ1を示す図面に基づいて説明する。図9は、圧電素子39を略示する縦断面図、図10は、図9のX線で囲った部分を略示する部分拡大図である。なお図9の切断位置は図7に対応する。実施の形態3において、実施の形態1と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
以下本発明を実施の形態4に係るプリンタ1を示す図面に基づいて説明する。図11は、圧電素子39を略示する縦断面図、図12は、図11に示すXII−XII線を切断線とした略示断面図である。なお図11の切断位置は図7に対応する。実施の形態4において、実施の形態1と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
24 ノズル
25 隔壁
26 圧力室
30 振動膜
301 第1層
302 第2層
31 下部電極(第1電極)
32 圧電膜
33 上部電極(第2電極)
34、341、342、343 溝(連結部分)
Claims (7)
- 液体が収容される圧力室の一面部を構成する振動膜と、
該振動膜における前記圧力室の反対側に設けられた圧電膜と、
前記振動膜に交差して連結しており、前記圧力室の側面部を構成する隔壁と、
前記圧電膜及び振動膜の間にて、前記圧電膜によって覆われた第1電極と、
前記圧電膜及び振動膜を前記圧力室の反対側から覆う第2電極と
を備え、
前記隔壁の隣において、前記圧電膜及び振動膜に、前記隔壁に沿って延びる溝が形成さ
れており、
前記溝の底部における前記振動膜の厚みが前記振動膜の他部の厚みよりも薄く、
前記溝の長手方向における端部の深さが中央部の深さよりも浅いこと
を特徴とする液体吐出装置。 - 液体が収容される圧力室の一面部を構成する振動膜と、
該振動膜における前記圧力室の反対側に設けられた圧電膜と、
前記振動膜に交差して連結しており、前記圧力室の側面部を構成する隔壁と、
前記圧電膜及び振動膜の間にて、前記圧電膜によって覆われた第1電極と、
前記圧電膜及び振動膜を前記圧力室の反対側から覆う第2電極と
を備え、
前記隔壁の隣において、前記圧電膜及び振動膜に、前記隔壁に沿って延びる溝が形成さ
れており、
前記溝の底部における前記振動膜の厚みが前記振動膜の他部の厚みよりも薄く、
前記溝の底面及び側面は、前記溝の長手方向に交差する前記溝の幅方向にて、中央部の
深さが端部の深さよりも大きくなるように、傾斜又は湾曲し、
前記溝の幅方向端部の傾きは、幅方向中央部における前記溝の底面又は側面の傾きより
も大きく、
前記圧電膜における前記溝の側面の傾きが前記振動膜における前記溝の側面の傾きより
も大きいこと
を特徴とする液体吐出装置。 - 前記溝の長手方向における端部の深さが中央部の深さよりも浅いこと
を特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置。 - 前記振動膜は、
第1層と、
該第1層における前記圧力室の反対側に設けられた第2層と
を有し、
前記第2層の少なくとも一部が前記第2層の他部よりも薄いか又は削除されていること
を特徴とする請求項1から3のいずれか一つに記載の液体吐出装置。 - 前記第2層の前記一部に対応する前記第1層の一部が前記第1層の他部よりも薄いこと
を特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。 - 前記溝の少なくとも一部は前記隔壁よりも前記圧力室の内側に位置すること
を特徴とする請求項1から5のいずれか一つに記載の液体吐出装置。 - 前記溝の長手方向における端部の幅が中央部の幅よりも狭いこと
を特徴とする請求項1から6のいずれか一つに記載の液体吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019170185A JP6922957B2 (ja) | 2015-09-30 | 2019-09-19 | 液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015195195A JP6589527B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 液体吐出装置 |
JP2019170185A JP6922957B2 (ja) | 2015-09-30 | 2019-09-19 | 液体吐出装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015195195A Division JP6589527B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 液体吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019209697A true JP2019209697A (ja) | 2019-12-12 |
JP6922957B2 JP6922957B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=68844595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019170185A Active JP6922957B2 (ja) | 2015-09-30 | 2019-09-19 | 液体吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6922957B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021081616A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レジスト剥離液 |
JP2021081618A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レジスト剥離液 |
-
2019
- 2019-09-19 JP JP2019170185A patent/JP6922957B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021081616A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レジスト剥離液 |
JP2021081618A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レジスト剥離液 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6922957B2 (ja) | 2021-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6558104B2 (ja) | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
JP6776545B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2018089860A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電デバイス | |
JP6455167B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2010208237A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター | |
JP6610132B2 (ja) | プリンタ | |
JP2018144474A (ja) | 液滴噴射装置 | |
JP6922957B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6589527B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2007216474A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2012143923A (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
JP6318475B2 (ja) | 流路ユニットおよび流路ユニットを搭載した液体噴射ヘッド、液体噴射装置 | |
JP2006248166A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2016150487A (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2009018551A (ja) | アクチュエータ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2018027710A (ja) | アクチュエーター、及び、センサー | |
JP6273893B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
JP6256101B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
US9481167B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP4492059B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2005153243A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2007045017A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4513322B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びこれを備えた液体噴射装置 | |
JP2009051061A (ja) | インクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
JP4484821B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191003 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191003 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210629 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6922957 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |