JP2019207982A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、この発明の目的は、疎水化された表面を有する基板を処理する際にパーティクルの発生を抑制することができる基板処理方法および基板処理装置を提供することである。
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が、鉛直方向に沿う回転軸線のまわりに前記基板を回転させる基板回転工程と、前記リンス液膜形成工程において前記基板の回転を減速させる回転減速工程とをさらに含む。
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が、前記基板の前記上面への硫酸の供給の開始よりも後に前記基板の回転を加速させる回転加速工程をさらに含む。そのため、基板の上面への硫酸の供給開始前には、充分な厚みのリンス液膜が維持されている。そのため、基板の上面への硫酸の供給が開始される前にリンス液膜が基板の上面から振り切られることを抑制できる。したがって、基板の上面が露出することを抑制できる。
この発明の一実施形態では、前記SPM液供給工程が、前記基板上の前記リンス液を硫酸に置換し終えた状態で開始される。そのため、基板の上面全体が硫酸によって親水化された状態で、基板の上面へのSPM液の供給が開始される。したがって、基板の上面とSPM液との反応による気泡の発生を基板の上面の全域において抑制することができる。
この発明の一実施形態では、前記硫酸含有液膜形成工程において前記基板の前記上面に供給される硫酸の温度が、前記SPM液供給工程において前記基板の前記上面に供給される前記SPM液の温度よりも低い。そのため、硫酸と基板の上面との反応性を一層低減することができる。これにより、硫酸と基板の上面との反応性とSPM液と基板の上面との反応性との差を大きくすることができる。よって、基板の上面を確実に段階的に親水化することができる。
この発明の一実施形態は、基板を水平に保持する基板保持ユニットと、リンス液を前記基板の上面に向けて供給するリンス液供給ユニットと、硫酸を前記基板の前記上面に向けて供給する硫酸供給ユニットと、硫酸と過酸化水素水との混合液であるSPM液を前記基板の前記上面に向けて供給するSPM液供給ユニットと、前記リンス液供給ユニット、前記硫酸供給ユニットおよび前記SPM液供給ユニットを制御するコントローラとを含む基板処理装置を提供する。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、鉛直方向に沿う回転軸線のまわりに前記基板を回転させる基板回転ユニットをさらに含む。そして、前記コントローラが、前記基板回転ユニットに、前記基板を回転させる基板回転工程と、前記リンス液膜形成工程において前記基板回転ユニットに前記基板の回転を減速させる回転減速工程とを実行するようにプログラムされている。
この発明の一実施形態では、前記コントローラが、前記基板の前記上面への硫酸の供給の開始よりも後に、前記基板回転ユニットに前記基板の回転を加速させる回転加速工程を実行するようにプログラムされている。
この発明の一実施形態では、前記コントローラが、前記基板上の前記リンス液を硫酸で置換し終える前に前記回転加速工程を開始するようにプログラムされている。そのため、基板上の硫酸に作用する遠心力を増大させることができる。したがって、硫酸が基板の上面の全体に広がるまでの時間を短縮することができる。
図1は、この発明の一実施形態にかかる基板処理装置1のレイアウトを示す模式的な平面図である。
基板処理装置1は、シリコンウエハなどの基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。この実施形態では、基板Wは、円板状の基板である。
搬送ロボットIRは、キャリヤCと搬送ロボットCRとの間で基板Wを搬送する。搬送ロボットCRは、搬送ロボットIRと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する。複数の処理ユニット2は、たとえば、同様の構成を有している。処理ユニット2内で基板Wに供給される処理液には、フッ酸、リンス液、硫酸、SPM液等が挙げられる。
スピンチャック5は、基板Wを水平に保持しながら基板Wの中央部を通る鉛直な回転軸線A1まわりに回転させる。スピンチャック5は、複数のチャックピン20と、スピンベース21と、回転軸22と、スピンモータ23とを含む。
対向部材6において対向面6aとは反対側の面には、中空軸60が固定されている。対向部材6において平面視で回転軸線A1と重なる部分には、対向部材6を上下に貫通し、中空軸60の内部空間60aと連通する連通孔6bが形成されている。
処理ユニット2は、対向部材6の昇降を駆動する対向部材昇降ユニット61をさらに含む。対向部材昇降ユニット61は、下位置から上位置までの任意の位置(高さ)に対向部材6を位置させることができる。下位置とは、対向部材6の可動範囲において、対向部材6の対向面6aが基板Wに最も近接する位置である。上位置とは、対向部材6の可動範囲において対向部材6の対向面6aが基板Wから最も離間する位置である。
処理カップ8は、チャンバ4内に収容されている(図1参照)。チャンバ4には、チャンバ4内に基板Wを搬入したり、チャンバ4内から基板Wを搬出したりするための出入口(図示せず)が形成されている。チャンバ4には、この出入口を開閉するシャッタユニット(図示せず)が備えられている。
リンス液供給ユニット10は、基板Wの上面にリンス液を供給するユニットである。リンス液供給ユニット10は、リンス液ノズル16、リンス液供給管41およびリンス液バルブ51を含む。リンス液供給管41は、リンス液ノズル16に接続されている。リンス液供給管41は、リンス液をリンス液ノズル16に案内(供給)する。リンス液バルブ51は、リンス液供給管41に介装されている。リンス液バルブ51が開かれると、リンス液が、リンス液ノズル16から基板Wの上面の中央領域に向けて連続的に吐出される。
SC1液ノズル17は、中心位置に位置するとき、基板Wの上面の回転中心に対向し、基板Wの上面の中央領域に向けてSC1液を吐出することができる。基板Wの上面の回転中心とは、基板Wの上面における回転軸線A1との交差位置である。
第1ノズル移動ユニット30は、たとえば、鉛直方向に沿う回動軸と、回動軸に結合されて水平に延びるアームと、回動軸を昇降させたり回動させたりする回動軸駆動ユニットとを含む。回動軸駆動ユニットは、回動軸を鉛直な回動軸線まわりに回動させることによってアームを揺動させる。さらに、回動軸駆動ユニットは、回動軸を鉛直方向に沿って昇降することにより、アームを上下動させる。SC1液ノズル17はアームに固定される。アームの揺動および昇降に応じて、SC1液ノズル17が水平方向および鉛直方向に移動する。
硫酸供給ユニット12は、基板Wの上面に硫酸を供給するユニットである。硫酸供給ユニット12は、共通ノズル18、硫酸供給管43および硫酸バルブ53を含む。硫酸供給管43は、共通ノズル18に接続されている。硫酸供給管43は、共通ノズル18に硫酸(H2SO4)を案内(供給)する。硫酸バルブ53は、硫酸供給管43に介装されている。硫酸バルブ53が開かれると、硫酸が、共通ノズル18から連続的に吐出される。共通ノズル18から吐出される硫酸の温度は、たとえば、120℃〜190℃である。
SPM液供給ユニット13は、基板Wの上面にSPM液を供給するユニットである。SPM液供給ユニット13は、硫酸供給ユニット12、過酸化水素水供給管44および過酸化水素水バルブ54を含む。過酸化水素水供給管44は、硫酸供給管43とともに共通ノズル18に接続されている。過酸化水素水供給管44は、共通ノズル18に過酸化水素水(H2O2)を案内(供給)する。過酸化水素水バルブ54は、過酸化水素水供給管44に介装されている。過酸化水素水バルブ54が開かれると、過酸化水素水が、共通ノズル18から連続的に吐出される。
第2ノズル移動ユニット31は、第1ノズル移動ユニット30と同様の構成を有している。すなわち、第2ノズル移動ユニット31は、たとえば、鉛直方向に沿う回動軸と、回動軸および共通ノズル18に結合されて水平に延びるアームと、回動軸を昇降させたり回動させたりする回動軸駆動ユニットとを含む。
図3は、基板処理装置1の主要部の電気的構成を示すブロック図である。コントローラ3は、マイクロコンピュータを備え、所定の制御プログラムに従って基板処理装置1に備えられた制御対象を制御する。
基板処理装置1によって実行される基板処理は、たとえば、基板Wの上面に形成されたレジストを除去するレジスト剥離工程である。具体的には、基板処理装置1による基板処理では、図4に示すように、フッ酸処理(ステップS1)、第1リンス液処理(ステップS2)、硫酸処理(ステップS3)、SPM液処理(ステップS4)、第2リンス液処理(ステップS5)、SC1液処理(ステップS6)、第3リンス液処理(ステップS7)、および乾燥処理(ステップS8)がこの順番で実行される。
図5Aを参照して、第1リンス液処理では、まず、フッ酸バルブ50が閉じられる。そして、対向部材昇降ユニット61が上位置と下位置との間の処理位置に対向部材6を移動させる。そして、リンス液バルブ51が開かれる。これにより、回転状態の基板Wの上面の中央領域に向けて、リンス液ノズル16からDIWが供給(吐出)される(第1リンス液供給工程)。基板Wの上面に供給されたDIWは遠心力によって基板Wの上面の全体に行き渡る。その結果、基板Wの上面のフッ酸は、DIWによって置換される。
次に、リンス液膜100が基板Wの上面に形成された状態で硫酸処理(ステップS3)が実行される。図5Cおよび図5Dは、硫酸処理の様子を説明するための模式図である。
そして、スピンモータ23(図2参照)は、基板Wの上面への硫酸の供給を開始した後で、かつ、基板W上のリンス液が硫酸で置換し終える前に、基板Wの回転を、たとえば400rpm以上1000rpm以下の所定の回転数にまで加速させる(回転加速工程)。これにより、図5Dに示すように、基板W上の硫酸は遠心力によって基板Wの上面の全体に広がる。硫酸処理の実行によって、基板Wの上面が親水化される。なお、この基板処理とは異なり、基板Wの上面の全体に硫酸が広がった後に、基板Wの回転を加速させてもよい。
なお、基板Wの上面へ硫酸が供給されている間の全期間において、硫酸含有液膜101が分裂せずに維持される。回転加速工程の実行によって基板Wの回転が加速された後においても、硫酸含有液膜101のパドル状態は維持されないものの、硫酸含有液膜101が基板Wの上面の全域を覆った状態は維持される。
SPM液処理では、基板W上のDIWを硫酸に置換し終えた状態で、過酸化水素水バルブ54が開かれる。図5Eに示すように、硫酸バルブ53が開かれた状態で過酸化水素水バルブ54が開かれるので、基板Wの上面に向けて共通ノズル18からSPM液が供給(吐出)される(SPM液供給工程、SPM液吐出工程)。
SPM含有液膜102は、硫酸含有液膜101内の硫酸の少なくとも一部をSPM液で置換することによって形成される。すなわち、基板Wの上面の硫酸含有液膜101内の硫酸の一部がSPM液で置換された液膜がSPM含有液膜102であり、基板Wの上面の硫酸含有液膜101内の硫酸の全てがSPM液で置換された液膜もSPM含有液膜102である。基板Wの上面を均一にSPM液で処理するには、硫酸含有液膜101内の硫酸をSPM液で置換完了することが好ましい。SPM液処理の実行によって、基板Wの上面が一層親水化される。
具体的には、硫酸バルブ53および過酸化水素水バルブ54が閉じられる。そして、第2ノズル移動ユニット31が、共通ノズル18をホーム位置に移動させる。そして、対向部材昇降ユニット61が対向部材6を処理位置に移動させる。そして、リンス液バルブ51が開かれる。これにより、回転状態の基板Wの上面の中央領域に向けて、リンス液ノズル16からDIWが供給(吐出)される(第2リンス液供給工程)。基板Wの上面に供給されたDIWは遠心力によって基板Wの上面の全体に行き渡る。その結果、基板Wの上面のSPM液は、DIWによって置換される。
具体的には、リンス液バルブ51が閉じられる。そして、対向部材昇降ユニット61が対向部材6を上位置に移動させる。そして、第1ノズル移動ユニット30が、SC1液ノズル17を処理位置(たとえば、中心位置)に移動させる。そして、SC1液バルブ52が開かれる。これにより、回転状態の基板Wの上面の中央領域に向けて、SC1液ノズル17からSC1液が供給(吐出)される(SC1液供給工程)。基板Wの上面に供給されたSC1液は遠心力によって基板Wの上面の全体に行き渡る。基板Wの上面のDIWは、SC1液によって置換される。これにより、基板Wの上面がSC1液によって処理される。
具体的には、SC1液バルブ52が閉じられる。そして、第1ノズル移動ユニット30が、SC1液ノズル17をホーム位置に移動させる。そして、対向部材昇降ユニット61が対向部材6を処理位置に移動させる。そして、リンス液バルブ51が開かれる。これにより、回転状態の基板Wの上面の中央領域に向けて、リンス液ノズル16からDIWが供給(吐出)される(第3リンス液供給工程)。基板Wの上面に供給されたDIWは遠心力によって基板Wの上面の全体に行き渡る。基板Wの上面のSC1液は、DIWによって置換される。
具体的には、リンス液バルブ51が閉じられる。そして、スピンモータ23が、高回転速度(たとえば3000rpm)で基板Wを回転させる。これにより、大きな遠心力が基板W上のリンス液に作用し、基板W上のリンス液が基板Wの周囲に振り切られる。このようにして、基板Wからリンス液が除去され、基板Wが乾燥される。そして、基板Wの高速回転が開始されてから所定時間が経過すると、スピンモータ23が、スピンベース21による基板Wの回転を停止させる。
この実験では、まず、基板の表面を疎水化するために、フッ化水素と水とを混合したフッ酸を用いた。また、レジストを除去するため、硫酸と過酸化水素水とを混合したSPM液を用いた。また、レジストを除去するため、過酸化水素水とアンモニア水と水とを混合したSC1液を用いた。
詳しくは、パドル状態維持時間を0秒間とした基板処理(t=0)、パドル状態維持時間を0秒間よりも長く1秒間よりも短い時間とした基板処理(0<t<1)、パドル状態維持時間を1秒間とした基板処理(t=1)を実行した。さらに、パドル状態維持時間を1秒間よりも長い時間とした基板処理(t=2,t=3,t=5,t=7,t=10)も実行した。各基板処理は、5枚の基板Wに対して実行された。
図6に示すように、パドル状態維持時間を0秒間よりも長く1秒間よりも短い時間とした基板処理(0<t<1)によって、基板W上のパーティクル数は、パドル状態維持時間を0秒とした基板処理(t=0)後のパーティクル数の30%にまで減少した。パドル状態維持時間を1秒間とした基板処理(t=1)によって、基板W上のパーティクル数は、パドル状態維持時間を0秒とした基板処理(t=0)後のパーティクル数の10%にまで減少した。パドル状態維持時間を2秒間とした基板処理(t=2)、パドル状態維持時間を3秒間とした基板処理(t=3)、パドル状態維持時間を5秒間とした基板処理(t=5)、パドル状態維時間を7秒間とした基板処理(t=7)およびパドル状態維持時間を10秒間とした基板処理(t=10)によっても、基板W上のパーティクル数は、パドル状態維持時間を0秒とした基板処理(t=0)後のパーティクル数の10%にまで減少した。
この実施形態では、基板Wの疎水化された上面にリンス液膜100が形成される(液膜形成工程)。そして、リンス液膜100を保持する基板Wの上面に向けて、硫酸が供給され、基板Wの上面に硫酸含有液膜101が形成される(硫酸含有液膜形成工程)。そして、硫酸含有液膜101を保持する基板Wの上面に向けてSPM液が供給される(SPM液供給工程)。
また、この実施形態では、SPM含有液膜形成工程において、硫酸含有液膜101中の硫酸をSPM液で置換することによって、SPM含有液膜102が形成される。そのため、硫酸含有液膜101が形成されてからSPM含有液膜102が形成されるまでの間において、基板Wの上面の露出を抑制できる。また、リンス液膜形成工程の開始からSPM含有液膜形成工程の間において、基板Wの上面の露出を避けることができるので、基板Wの上面の露出に起因するパーティクルの発生を一層抑制できる。
この実施形態とは異なり硫酸とSPM液とを別々のノズルから吐出する構成では、硫酸供給工程からSPM液供給工程に移行する際にノズルを移動させたり、複数のバルブ間で開閉タイミングを調節したりする必要がある。一方、この実施形態のように、硫酸とSPM液とが共通ノズル18から吐出される構成であれば、過酸化水素水バルブ54を開くだけで硫酸供給工程からSPM液供給工程に移行することができる。
また、この実施形態では、硫酸含有液膜形成工程(硫酸供給工程)において基板Wの上面に供給される硫酸の温度が120℃〜190℃であり、SPM含有液膜形成工程(SPM液供給工程)において基板Wの上面に供給されるSPM液の温度が160℃〜220℃である。硫酸の温度は、SPM液の温度よりも低くすることが好ましい。そのように温度差ができるように硫酸の温度およびSPM液の温度を設定すると、硫酸と基板Wの上面との反応性を一層低減することができる。これにより、硫酸と基板Wの上面との反応性とSPM液と基板Wの上面との反応性との差を大きくすることができる。よって、基板Wの上面を確実に段階的に親水化することができる。
また、共通ノズル18から吐出される硫酸の流量は、共通ノズル18から吐出されるSPM液の流量と比較して安定している。そのため、硫酸は、SPM液と比較して基板Wの上面の全体に均一に広がりやすい。そのため、SPM液供給工程の前に硫酸供給工程を実行することによって、基板Wの上面の全体が満遍なく親水化された状態でSPM液供給工程を開始することができる。
この発明は、以上に説明した実施形態に限定されるものではなく、さらに他の形態で実施することができる。
また、上述の実施形態の基板処理では、硫酸処理(ステップS3)において、基板Wの上面への硫酸の供給が開始されてから、1秒間以上10秒間以下の期間が経過したときに(パドル状態維持時間が1秒間以上で10秒間以内となるように)基板Wの回転が加速された。これにより、基板処理後のパーティクル数が顕著に低減された。
共通配管70が設けられた構成では、共通配管70には、硫酸供給管43および過酸化水素水供給管44が接続されていて、共通配管70と共通ノズル18とに接続された接続配管71が設けられている。接続配管71には、共通バルブ72が介装されている。共通配管70、接続配管71および共通バルブ72は、硫酸供給ユニット12に含まれている。すなわち、共通配管70、接続配管71および共通バルブ72は、SPM液供給ユニット13にも含まれる。
また、上述の実施形態では、フッ酸処理(ステップS1)によって、基板Wの上面が疎水化されるとした。しかしながら、上述の実施形態とは異なり、処理ユニット2には、上面が予め疎水化された基板Wが搬入されてもよい。処理ユニット2に搬入される基板Wの上面が疎水化されている場合には、処理ユニット2は、フッ酸処理が省略された基板処理を実行してもよい。
また、基板処理装置1による基板処理の一例を説明するための流れ図(図4)の第3リンス液処理(ステップS7)において、基板Wの上面にリンス液を供給した後、さらにIPA(イソプロピルアルコール)を基板Wの上面に供給し、リンス液をIPAで置換してもよい。また、リンス液をIPAで置換した後、撥水剤を基板Wの上面に供給してもよい。
3 :コントローラ
9 :フッ酸供給ユニット
10 :リンス液供給ユニット
12 :硫酸供給ユニット
13 :SPM液供給ユニット
18 :共通ノズル(ノズル)
20 :チャックピン(基板保持ユニット)
21 :スピンベース(基板保持ユニット)
22 :回転軸(基板回転ユニット)
23 :スピンモータ(基板回転ユニット)
43 :硫酸供給管
44 :過酸化水素水供給管
53 :硫酸バルブ
54 :過酸化水素水バルブ
100 :リンス液膜
101 :硫酸含有液膜
102 :SPM含有液膜
A1 :回転軸線
W :基板
Claims (20)
- 基板を水平に保持する基板保持工程と、
前記基板の疎水化された上面に向けてリンス液を供給して、前記基板の前記上面にリンス液膜を形成するリンス液膜形成工程と、
前記リンス液膜を保持する前記基板の前記上面に向けて、硫酸を供給して、前記硫酸を含有する硫酸含有液膜を前記基板の前記上面に形成する硫酸含有液膜形成工程と、
前記硫酸含有液膜を保持する前記基板の前記上面に向けて、硫酸と過酸化水素水との混合液であるSPM液を供給するSPM液供給工程とを含む、基板処理方法。 - 前記硫酸含有液膜形成工程が、前記リンス液膜中のリンス液を硫酸で置換することによって、前記硫酸含有液膜を形成する工程を含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 鉛直方向に沿う回転軸線のまわりに前記基板を回転させる基板回転工程と、
前記リンス液膜形成工程において前記基板の回転を減速させる回転減速工程とをさらに含む、請求項1または2に記載の基板処理方法。 - 前記基板の前記上面への硫酸の供給の開始よりも後に前記基板の回転を加速させる回転加速工程をさらに含む、請求項3に記載の基板処理方法。
- 前記回転加速工程が、前記基板上の前記リンス液を硫酸で置換し終える前に開始される、請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記SPM液供給工程が、前記基板上の前記リンス液を硫酸に置換し終えた状態で開始される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記硫酸含有液膜形成工程が、前記基板の前記上面に対向するノズルに硫酸を供給する硫酸供給管に介装された硫酸バルブを開くことによって前記ノズルから硫酸が吐出される硫酸吐出工程を含み、
前記SPM液供給工程が、前記硫酸吐出工程の実行によって前記硫酸バルブが開かれた状態で、前記ノズルに過酸化水素水を供給する過酸化水素水供給管に介装された過酸化水素水バルブを開くことによって、前記SPM液が前記ノズルから吐出されるSPM液吐出工程を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記リンス液が前記基板の前記上面に供給される前に、前記基板の前記上面に向けてフッ酸を供給するフッ酸供給工程をさらに含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記硫酸含有液膜形成工程において前記基板の前記上面に供給される硫酸の温度が、前記SPM液供給工程において前記基板の前記上面に供給される前記SPM液の温度よりも低い、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記硫酸含有液膜形成工程が、前記基板の前記上面の中央領域に硫酸を供給する中央供給工程を含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 基板を水平に保持する基板保持ユニットと、
リンス液を前記基板の上面に向けて供給するリンス液供給ユニットと、
硫酸を前記基板の前記上面に向けて供給する硫酸供給ユニットと、
硫酸と過酸化水素水との混合液であるSPM液を前記基板の前記上面に向けて供給するSPM液供給ユニットと、
前記リンス液供給ユニット、前記硫酸供給ユニットおよび前記SPM液供給ユニットを制御するコントローラとを含み、
前記コントローラが、前記基板の疎水化された前記上面に向けて前記リンス液供給ユニットから前記リンス液を供給することによって、前記基板の前記上面にリンス液膜を形成するリンス液膜形成工程と、前記リンス液膜を保持する前記基板の前記上面に向けて、前記硫酸供給ユニットから硫酸を供給して、硫酸を含有する硫酸含有液膜を前記基板の前記上面に形成する硫酸含有液膜形成工程と、前記硫酸含有液膜を保持する前記基板の前記上面に向けて、前記SPM液供給ユニットから前記SPM液を供給するSPM液供給工程とを実行するようにプログラムされている、基板処理装置。 - 前記コントローラが、前記硫酸含有液膜形成工程において、前記リンス液膜中のリンス液を硫酸で置換することによって、前記硫酸含有液膜を形成するようにプログラムされている、請求項11に記載の基板処理装置。
- 鉛直方向に沿う回転軸線のまわりに前記基板を回転させる基板回転ユニットをさらに含み、
前記コントローラが、前記基板回転ユニットに、前記基板を回転させる基板回転工程と、前記リンス液膜形成工程において前記基板回転ユニットに前記基板の回転を減速させる回転減速工程とを実行するようにプログラムされている、請求項11または12に記載の基板処理装置。 - 前記コントローラが、前記基板の前記上面への硫酸の供給の開始よりも後に、前記基板回転ユニットに前記基板の回転を加速させる回転加速工程を実行するようにプログラムされている、請求項13に記載の基板処理装置。
- 前記コントローラが、前記基板上の前記リンス液を硫酸で置換し終える前に前記回転加速工程を開始するようにプログラムされている、請求項14に記載の基板処理装置。
- 前記コントローラが、前記基板上の前記リンス液を硫酸に置換し終えた状態で前記SPM液供給工程を開始するようにプログラムされている、請求項11〜15のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記硫酸供給ユニットが、前記基板の前記上面に対向するノズルと、前記ノズルに硫酸を供給する硫酸供給管と、前記硫酸供給管に介装された硫酸バルブとを含み、
前記SPM液供給ユニットが、前記硫酸供給ユニットと、前記ノズルに過酸化水素水を供給する過酸化水素水供給管と、前記過酸化水素水供給管に介装された過酸化水素水バルブとを含み、
前記コントローラが、前記硫酸含有液膜形成工程において、前記硫酸バルブを開くことによって前記ノズルから硫酸を吐出させる硫酸吐出工程を実行し、かつ、前記SPM液供給工程において、前記硫酸吐出工程の実行によって前記硫酸バルブが開かれた状態で前記過酸化水素水バルブを開くことによって、前記SPM液が前記ノズルから吐出されるSPM液吐出工程を実行するようにプログラムされている、請求項11〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板の前記上面に向けてフッ酸を供給するフッ酸供給ユニットをさらに含み、
前記コントローラが、前記リンス液が前記基板の前記上面に供給される前に、前記フッ酸供給ユニットから前記基板の前記上面に向けてフッ酸を供給するフッ酸供給工程を実行するようにプログラムされている、請求項11〜17のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記硫酸含有液膜形成工程において前記基板の前記上面に供給される硫酸の温度が、前記SPM液供給工程において前記基板の前記上面に供給される前記SPM液の温度よりも低い、請求項11〜18のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記コントローラが、前記硫酸含有液膜形成工程において、前記硫酸供給ユニットから前記基板の前記上面の中央領域に向けて硫酸を供給する中央供給工程を実行するようにプログラムされている、請求項11〜19のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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