JP2019203611A - 吸着器及び吸着器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】吸着速度を向上させ吸着性能を高めることができる吸着器を提供する。【解決手段】吸着器（２）は、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器（１０）と、被吸着媒体を吸着及び脱離するための吸着層（２４）が伝熱板に密接して形成されてなる吸着部（２２）と、密閉容器（１０）の外部から供給される熱交換媒体と熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部（３２）と、を備えている。吸着層（２４）は、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように伝熱促進材及び吸着材が混合されており、伝熱板に直交する方向に複数の微細孔が設けられている。【選択図】図１

Description

本開示は、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器及びその製造方法に関する。

略真空に保たれた密閉容器の内部に、被吸着媒体を吸着および脱離する吸着材が充填された吸着部と、外部から供給される熱媒体と被吸着媒体との間で熱交換を行い被吸着媒体を蒸発または凝縮させる蒸発凝縮部とが設けられた吸着器が知られている。この種の吸着器では、密閉容器内で液相の被吸着媒体を蒸発凝縮部で蒸発させて、その蒸発潜熱により冷凍能力を得るとともに、蒸発した気相の被吸着媒体を吸着部で吸着剤にて吸着することにより蒸発を促進して持続的に冷凍能力を発揮させるようにしている。下記特許文献１では、吸着材成形体に孔を設け、水蒸気の通路とすることが開示されている。

特開２０１４−１８１８６３号公報

特許文献１に記載されているように、吸着材を含む吸着層に孔を設けると、吸着材が減少してしまうことになる。吸着層に孔を設けると、水蒸気の流通が促進され、吸着層の奥まで効率的に水蒸気を導入することができるが、吸着材の減少分を補うことができず吸着器としての性能が低下する。

本開示は、吸着速度を向上させ吸着性能を高めることができる吸着器及びその製造方法を提供することを目的とする。

本開示は、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器であって、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器（１０）と、密閉容器の内部に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離するための吸着層（２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ）が伝熱板に密接して形成されてなる吸着部（２２）と、密閉容器の内部に設けられ、密閉容器の外部から供給される熱交換媒体と熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部（３２）と、を備えている。吸着層は、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように伝熱促進材及び吸着材が混合されており、伝熱板に直交する方向に複数の微細孔（２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄ）が設けられている。

本開示は、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器の製造方法であって、吸着器は、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器、前記密閉容器の内部に設けられ、前記密閉容器の外部から供給される熱交換媒体と伝熱板を介して熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部、及び前記伝熱板に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着層を有するものである。吸着器の製造方法は、吸着層を構成する金属粉及び吸着材を混合する混合工程と、混合した金属粉及び吸着材を加圧圧縮すると共に、伝熱板に直交する方向に複数の微細孔を形成して吸着層形成体を得る圧縮成形工程と、吸着層形成体を焼結し、吸着層と成す焼結工程と、を備える。

吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように形成されているので、吸着材と共に伝熱促進材の充填真密度も高まり、熱伝導率を高めることができる。充填真密度が高まることで、吸着層内部の水蒸気抵抗が高まり吸着速度が低下するところ、伝熱板に直交する方向に複数の微細孔が設けられていることで、水蒸気抵抗を抑制し吸着速度を高めることができる。尚、本発明の充填真密度とは、吸着層から微細孔が占める体積を除いた体積に対する吸着材の密度である。

尚、「課題を解決するための手段」及び「特許請求の範囲」に記載した括弧内の符号は、後述する「発明を実施するための形態」との対応関係を示すものであって、「課題を解決するための手段」及び「特許請求の範囲」が、後述する「発明を実施するための形態」に限定されることを示すものではない。

本開示によれば、吸着速度を向上させ吸着性能を高めることができる吸着器及びその製造方法を提供することができる。

図１は、本実施形態における吸着器の構成を説明するための図である。 図２は、図１に示される吸着層の構成を説明するための図である。 図３は、比較例としての従来の吸着層の構成を説明するための図である。 図４は、図２に示される吸着層について、形状をより詳細に説明するための図である。 図５は、図４に示される吸着層について、壁膜厚と吸着速度との関係を説明するための図である。 図６は、図４に示される吸着層について、吸着速度の向上を説明するための図である。 図７は、図４に示される吸着層の焼結体密度と熱伝導率、水蒸気抵抗、及び吸着速度との関係について説明するための図である。 図８は、図４に示される吸着層の投影断面積率について説明するための図である。 図９は、図４に示される吸着層の最適壁膜厚について説明するための図である。 図１０は、微細孔の形成例を説明するための図である。 図１１は、微細孔の形成例を説明するための図である。 図１２は、微細孔の形成例を説明するための図である。 図１３は、微細孔の形成例を説明するための図である。 図１４は、吸着器の製造方法を説明するための図である。

以下、添付図面を参照しながら本実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。

最初に本実施形態の吸着器が用いられる一態様について説明する。本実施形態の吸着器は、一例として吸着式冷凍機に用いられる。吸着式冷凍機に用いられる場合、吸着器は一対設けられる。一方の吸着器で吸着作用が行われているときに他方の吸着器で脱離作用が行われる。

一対の吸着器には、車両走行用のエンジン又は車両用空調装置から熱交換媒体が循環するようになっている。熱交換媒体の循環経路には、熱交換媒体を循環させるポンプが設けられている。エンジンは水冷式内燃機関であり、エンジン冷却用の熱交換媒体として、水にエチレングリコール系の不凍液を混合したエンジン冷却水を用いている。

車両用空調装置は、車室内に吹き出す空気の通路を構成する空調ケースを備えている。空調ケースの空気流れ上流側には、空調ケース内に空気を流通させる送風機が設けられている。空調ケースにおける送風機の空気流れ下流側には、空調ケース内を流通する空気を冷却する室内熱交換器が設けられている。室内熱交換器は、空調用の熱交換媒体を介して吸着器から冷凍能力を得ている。なお、本実施形態では、空調用の熱交換媒体として水にエチレングリコール系の不凍液を混合したエンジン冷却水と同一の液体を用いている。

吸着式冷凍機には、一対の吸着器から流出する熱交換媒体と室外空気とを熱交換し、熱交換媒体を冷却する室外熱交換器が設けられている。室外熱交換器にて冷却された熱交換媒体は、一対の吸着器に流入する。

吸着式冷凍機には、一対の吸着器に循環する熱交換媒体の循環経路を切り替える２つの切替弁が設けられている。これらの切替弁、熱交換媒体を循環させるポンプ、及び送風機は、電子制御装置によりその作動が制御されている。

続いて、図１を参照しながら吸着器２について説明する。図１に示されるように、吸着器２は、密閉容器１０と、吸着部２２と、蒸発凝縮部３２と、を備えている。吸着部２２及び蒸発凝縮部３２は、密閉容器１０内に設けられている。

密閉容器１０は気密構造となっており、内部が略真空状態に保たれている。密閉容器１０の内部空間１１には被吸着媒体（冷媒）が封入されている。本実施形態では、被吸着媒体として水を用いている。

本実施形態の吸着部２２及び蒸発凝縮部３２は、熱交換媒体が流通する流通路２３，３３と、熱交換媒体と被吸着媒体との熱交換を促進する吸着層２４，３４と、が設けられている。吸着部２２と蒸発凝縮部３２とは、ほぼ同一の構成を備えているので、吸着部２２に設けられている吸着層２４について説明する。

図１に示されるように、流通路２３は、伝熱板２３１で画定された流路２３２内を熱交換媒体が流れるように構成されている。

吸着層２４は、伝熱板２３１上に密接して設けられている。吸着層２４は、稠密部２４１に微細孔２４２が設けられて形成されている。微細孔２４２は、伝熱板２３１に直交する方向に設けられている。微細孔２４２は、稠密部２４１の表面から伝熱板２３１に至るように、吸着層２４を貫通して形成されている。稠密部２４１は、吸着層２４から微細孔２４２を除いた残部である。稠密部２４１には、伝熱促進材及び吸着材が混合されている。

吸着層２４は、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように、伝熱促進材及び吸着材が混合された焼結体として構成されている。本実施形態の充填真密度とは、吸着層２４の総体積から微細孔２４２が占める体積を除いた体積に対する吸着材の密度である。換言すれば、充填真密度は、稠密部２４１の全体積に対する吸着材の密度である。

図３に示されるように、従来の吸着層２４Ｘには微細孔が設けられておらず、伝熱促進材及び吸着材が混合された本体部２４１Ｘのみによって構成されている。吸着層は水蒸気が焼結体内を物質移動し、吸着材はその水蒸気を吸着する際に発熱する。吸着を促進させる為に、熱を除去させなければならない。吸着速度を向上させるための支配要因は以下の３つである．
１．吸着材表面への水蒸気の物質移動
２．吸着材内部への水蒸気の内部拡散
３．水分吸着により発生する吸着熱の熱輸送媒体への熱移動

上記支配要因の内、「２．吸着材内部への水蒸気の内部拡散」は無視できるレベルで小さいものなので、「１．吸着材表面への水蒸気の物質移動」及び「３．水分吸着により発生する吸着熱の熱輸送媒体への熱移動」が律速となる。

図４に示されるように、吸着層２４の稠密部２４１は、吸着材２４１ａ及び伝熱促進材２４１ｂを含んでいる。吸着材２４１ａに水蒸気が行き渡るようにするため、水蒸気抵抗を減らすことが好ましい。吸着材２４１ａが水蒸気を吸着して発した熱は、伝熱促進材２４１ｂによって流通路２３に伝熱される。

図５（Ａ）は、稠密部２４１の焼結体密度を横軸とし、熱伝導率を縦軸にとって表した図である。図５（Ｂ）は、稠密部２４１の焼結体密度を横軸とし、水蒸気抵抗を縦軸にとって表した図である。水蒸気抵抗は、稠密部２４１のみの水蒸気抵抗であって、微細孔２４２の効果は考慮していない。図５（Ｃ）は、稠密部２４１の焼結体密度を横軸とし、吸着速度を縦軸にとって表した図である。吸着速度は、稠密部２４１のみが存在した場合の吸着速度であって、微細孔２４２の効果は考慮していない。

吸着層２４の小型高性能化を図るためには、焼結体である吸着層２４を高密度化することが必要であるが、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図５（Ｃ）に示されるように、熱伝導率は向上する一方で水蒸気抵抗は増加し、吸着速度が低下する。従って、小型高性能化を図るためには、吸着層２４を形成する焼結体の高密度化と水蒸気抵抗の低減を両立する構造が理想構造といえる。この理想構造を実現するため、本実施形態では、吸着層２４を、稠密部２４１と複数の微細孔２４２とによって構成している。

図６に示されるように、稠密部２４１は伝熱部材と吸着材が一体となっており、吸着材充填真密度ρが高密度となるように構成されている。更に、伝熱板２３１に対し直交する方向に複数の微細孔２４２を形成し、微細水蒸気通路と成している。この微細孔２４２の効果により、吸着材が被吸着媒体を吸着する速度が飛躍的に向上している。

例えば、被吸着媒体が水の場合、同一条件時、図３に示されるような均一な吸着層では、高密度にすると伝熱性能が向上する分、吸着層内を浸透する水蒸気抵抗が増大し、吸着速度が低下する。吸着速度としては、０．８ｍｇ／ｃｃ／ｓｅｃ．程度が限界であった。

吸着材充填真密度ρを変化させた場合の、壁膜厚δと吸着速度との関係を図７に示す。壁膜厚δは、隣接する微細孔２４２間の平均距離である。壁膜厚δの測定方法は公知の方法が用いられる。一例としては、稠密部２４１に対して微細孔２４２が一様に分散配置されているものとし、微細孔２４２の直径の平均値（一例としては、３００μｍ）及び微細孔２４２の個数から微細孔２４２の占有面積を算出する。吸着層２４の全体面積から微細孔２４２の専有面積を差し引いて、微細孔２４２の個数で除することで壁膜厚δを算出することができる。

図７に示される例では、吸着材充填真密度ρが、０．３８ｇ／ｃｃの場合に中着速度の向上が見られ、０．６２ｇ／ｃｃ、０．７２ｇ／ｃｃと吸着材充填真密度ρが上昇するに従って吸着速度が向上している。

図７の横軸の壁膜厚δには、水蒸気抵抗の影響から吸着材充填真密度ρと微細孔２４２の投影断面積率とに応じた最適な壁膜厚が存在する。微細孔２４２の投影断面積率は、図８に示されるように微細孔２４２を見通す方向から見た場合に、（稠密部２４１の外周面積−微細孔２４２の総面積）／（稠密部２４１の外周面積）として算出される。

また、図７の縦軸の吸着速度は、吸着層外形体格あたりの被吸着媒体の吸着速度であり、重量当たりの吸着速度φに変換すると相関関係がある。この相関関係を、下式（ｆ０１）及び下式（ｆ０２）で表すと、図９に示されるようなグラフが得られる。

微細孔２４２の配置は、図８に示されるような格子配置の例に限られない。図１０に示されるように、微細孔２４２Ａを千鳥配置とした吸着層２４Ａを形成してもよい。

微細孔２４２の形状は、図８に示されるような四角形の例に限られない。図１１に示されるように、微細孔２４２Ｂを円形とした吸着層２４Ｂを形成してもよい。微細孔２４２Ｂのような円形微細孔を、図１０に例示した千鳥配置としてもよい。

図１２に示されるように、微細孔２４２Ｃを三角形とした吸着層２４Ｃを形成してもよい。微細孔２４２Ｃのような三角形微細孔を、図１０に例示した千鳥配置としてもよい。

図１３に示されるように、微細孔２４２Ｄを六角形とした吸着層２４Ｄを形成してもよい。微細孔２４２Ｄのような六角形微細孔を、図１０に例示した千鳥配置としてもよい。

本実施形態の吸着器２は、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器であって、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器１０と、密閉容器１０の内部に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離するための吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄが伝熱板２３１に密接して形成されてなる吸着部２２と、密閉容器１０の内部に設けられ、密閉容器１０の外部から供給される熱交換媒体と熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部３２と、を備えている。吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように、伝熱促進材及び吸着材が混合されており、伝熱板２３１に直交する方向に複数の微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄが設けられている。

吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように形成されているので、吸着材と共に伝熱促進材の充填真密度も高まり、熱伝導率を高めることができる。充填真密度が高まることで、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ内部の水蒸気抵抗が高まり吸着速度が低下するところ、伝熱板２３１に直交する方向に複数の微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄが設けられていることで、水蒸気抵抗を抑制し吸着速度を高めることができる。尚、本発明の充填真密度とは、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄから微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄが占める体積を除いた体積に対する吸着材の密度である。

また本実施形態の吸着器２では、伝熱促進材は金属材であり、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは金属材及び吸着材が混合された状態の焼結体として形成されている。伝熱促進材として金属材を用いているので、熱伝導率をより高めることができる。

また本実施形態の吸着器２では、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄにおいて隣接する微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄの間の平均壁膜厚が、５０μｍ以上１５００μｍ以下であることが好ましい。平均壁膜厚をこのように調整することで、吸着速度を高めることができる。

また本実施形態の吸着器２では、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄにおいて隣接する微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄの間の平均壁膜厚が、
１００μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。平均壁膜厚をこのように調整することで、吸着速度をより高めることができる。

また本実施形態の吸着器２では、吸着材の充填真密度をρ、微細孔間の平均壁膜厚をδとした場合に式（ｆ０１）で求められるＸが、０．１＜Ｘ＜１．９を満たすことが好ましい。このように調整することで、吸着速度を高めることができる。

また本実施形態の吸着器２では、式（ｆ０１）で求められるＸが、０．２＜Ｘ＜１．５を満たすことが好ましい。このように調整することで、吸着速度をより高めることができる。

また本実施形態の吸着器２では、微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄが延びる方向に直交する断面の形状が、円形、三角形、四角形、及び六角形のいずれかであることが好ましい。

また本実施形態の吸着器２では、微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄは、格子配置又は千鳥配置であることが好ましい。

図１４に示されるように、本実施形態の吸着器２の製造方法は、混合工程（ステップＳ１０１）と、圧縮成形工程（ステップＳ１０２）と、焼結工程（ステップＳ１０３）と、を備えている。本実施形態の製造方法は、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器の製造方法であって、吸着器２は、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器１０、密閉容器１０の内部に設けられ、密閉容器１０の外部から供給される熱交換媒体と伝熱板２３１を介して熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部３２、及び伝熱板２３１に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを有するものである。吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは伝熱板２３１に直交する方向に複数の微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄを有している。混合工程（ステップＳ１０１）は、吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを構成する金属粉及び吸着材を混合する工程である。圧縮成形工程（ステップＳ１０２）は、混合した金属粉及び吸着材を加圧圧縮すると共に、伝熱板２３１に直交する方向に複数の微細孔を形成して吸着層形成体を得る工程である。焼結工程（ステップＳ１０３）は、吸着層形成体を焼結し、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを形成する工程である。

混合工程（ステップＳ１０１）において、金属粉及び吸着材をスラリーペースト状に混練することが好ましい。
圧縮成形工程（ステップＳ１０２）において、スラリーペースト状に混練した金属粉及び吸着材を加圧圧縮し、複数の微細孔２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄを形成して吸着層形成体を得ることが好ましい。

尚、焼結体で形成される吸着層２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを高密度にする方法として、加圧圧縮後に焼結する製法や焼結金属粉と吸着材に例えば溶剤やバインダーなどと混錬したスラリーペースト状にした後焼結する製法が考えられる。

以上、具体例を参照しつつ本実施形態について説明した。しかし、本開示はこれらの具体例に限定されるものではない。これら具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本開示の特徴を備えている限り、本開示の範囲に包含される。前述した各具体例が備える各要素およびその配置、条件、形状などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。前述した各具体例が備える各要素は、技術的な矛盾が生じない限り、適宜組み合わせを変えることができる。

２：吸着器
１０：密閉容器
２２：吸着部
３２：蒸発凝縮部

Claims (11)

1. 被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器であって、
   内部に被吸着媒体が封入された密閉容器（１０）と、
   前記密閉容器の内部に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離するための吸着層（２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ）が伝熱板に密接して形成されてなる吸着部（２２）と、
   前記密閉容器の内部に設けられ、前記密閉容器の外部から供給される熱交換媒体と熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部（３２）と、を備え、
   前記吸着層は、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように伝熱促進材及び吸着材が混合されており、前記伝熱板に直交する方向に複数の微細孔（２４２，２４２Ａ，２４２Ｂ，２４２Ｃ，２４２Ｄ）が設けられている、吸着器。
2. 請求項１に記載の吸着器であって、
   前記伝熱促進材は金属材であり、
   前記吸着層は前記金属材及び前記吸着材が混合された状態の焼結体として形成されている、吸着器。
3. 請求項２に記載の吸着器であって、
   前記吸着層において隣接する前記微細孔の間の平均壁膜厚が、５０μｍ以上１５００μｍ以下である、吸着器。
4. 請求項３に記載の吸着器であって、
   前記吸着層において隣接する前記微細孔間の平均壁膜厚が、１００μｍ以上１０００μｍ以下である、吸着器。
5. 請求項２に記載の吸着器であって、
   前記吸着材の充填真密度をρ、前記微細孔間の平均壁膜厚をδとした場合に式（ｆ０１）で求められるＸが、０．１＜Ｘ＜１．９を満たす、吸着器。
   

   
6. 請求項５に記載の吸着器であって、
   前記式（ｆ０１）で求められるＸが、０．２＜Ｘ＜１．５を満たす、吸着器。
7. 請求項２に記載の吸着器であって、
   前記微細孔が延びる方向に直交する断面の形状が、円形、三角形、四角形、及び六角形のいずれかである、吸着器。
8. 請求項２に記載の吸着器であって、
   前記微細孔は、格子配置又は千鳥配置である、吸着器。
9. 被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着器の製造方法であって、
   前記吸着器は、内部に被吸着媒体が封入された密閉容器、前記密閉容器の内部に設けられ、前記密閉容器の外部から供給される熱交換媒体と伝熱板を介して熱交換することで被吸着媒体を蒸発及び凝縮させる蒸発凝縮部、及び前記伝熱板に設けられ、被吸着媒体を吸着及び脱離する吸着層を有するものであり、前記吸着層は前記伝熱板に直交する方向に複数の微細孔を有しており、
   前記吸着層を構成する金属粉及び吸着材を混合する混合工程と、
   混合した金属粉及び吸着材を加圧圧縮すると共に、前記伝熱板に直交する方向に複数の微細孔を形成して吸着層形成体を得る圧縮成形工程と、
   前記吸着層形成体を焼結し、吸着材の充填真密度が０．３８ｇ／ｃｃ以上の高密度になるように前記吸着層を形成する焼結工程と、を備える、吸着器の製造方法。
10. 請求項９に記載の吸着器の製造方法であって、
    前記混合工程において、前記金属粉及び前記吸着材をスラリーペースト状に混練する、吸着器の製造方法。
11. 請求項１０に記載の吸着器の製造方法であって、
    前記圧縮成形工程において、スラリーペースト状に混練した前記金属粉及び前記吸着材を加圧圧縮し、前記複数の微細孔を形成して前記吸着層形成体を得る、吸着器の製造方法。

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