JP2019192776A - 粘着テープ搬送方法および粘着テープ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送アームを用いて粘着テープを搬送し、粘着テープをウエハへ貼り付ける構成において、粘着テープの搬送を連続で精度良く実行できる粘着テープ搬送方法および粘着テープ搬送装置を提供する。【解決手段】搬送アーム３７は、非粘着状態となっている保護テープＰＴの粘着層Ｃを吸着保持する。搬送アーム３７は保護テープＰＴを吸着保持しつつ、保護テープＰＴを載置テーブル７へと搬送する。搬送アーム３７は、載置テーブル７と離間している状態を維持しつつ、保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる。この場合、保護テープＰＴを保持する搬送アーム３７が載置テーブル７に接触することに起因して、保護テープＰＴの粘着層Ｃが粘着性を発揮する事態を回避できる。よって、保護テープＰＴを保持した状態で保護テープＰＴが搬送アーム３７に粘着するという事態を防止できる。【選択図】図９

Description

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）や基板などのワークに粘着テープを貼り付ける際に、当該粘着テープを搬送するための粘着テープ搬送方法および粘着テープ搬送装置に関する。

ウエハの表面に回路パターン形成処理を行った後、ウエハの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグラインド処理が施される。当該バックグラインド処理を行う前に、回路を保護するべくウエハの表面に保護用の粘着テープ（保護テープ）を貼り付けている。

ウエハに保護テープを貼り付ける従来の方法としては、ウエハを保持する保持テーブルにウエハを載置した後、帯状の保護テープを繰り出してウエハへと供給させる。そして貼付けローラを保護テープ上で転動させて当該保護テープをウエハの回路面に押圧して貼付け、さらに保護テープをウエハの外形に沿って切り抜く方法が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。

従来の貼付け方法の他の例としては、予めウエハの形状に切断した（プリカットした）保護テープ片が貼付け保持されている帯状のキャリアテープを、保持テーブル上のウエハへと供給させる。そしてエッジ部材などでキャリアテープを折り返し走行させることにより保護テープ片をキャリアテープから剥離させ、剥離された保護テープ片をウエハに貼り付ける方法なども用いられている（例えば、特許文献２を参照）。

特開２０１０−２７２７５５号公報 特開２００９−２２９６８３号公報

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
すなわち、従来の貼付け方法では、帯状の保護テープや帯状のキャリアテープが必要となる。近年では高密度実装の要求に伴いウエハが大型化する傾向にあるので、これら帯状テープの幅や長さも増すこととなる。その結果、保護テープの貼付けに要するテープの量が膨大になるという問題が懸念される。さらに、これら帯状テープをウエハへと案内する構成や、保護テープを貼り付けた後に不要な帯状テープを回収する構成などが複雑であるので、貼付け装置のランニングコストを抑制することは困難となる。

そこで、発明者は検討を重ね、帯状のテープを用いることなく保護テープをウエハに貼り付ける新たな方法として、以下の構成を考案するに至った。本構成に係る比較例では、図１９（ａ）に示すように、予めウエハＷの形状にプリカットされた保護テープＰＴを、搬送アーム１０１で吸着保持する。

本構成において保護テープＰＴは、非粘着性の基材Ｂと粘着層Ｃとが積層された構造を備えている。粘着層Ｃは、常温では非粘着性であり、加熱されて高温になると粘着性を備える材料で構成されている。搬送アーム１０１は、常温状態で保護テープＰＴの粘着層Ｃを吸着する。すなわち搬送アーム１０１は非粘着状態となっている粘着層Ｃを介して保護テープＰＴを保持する。

そして搬送アーム１０１によって保護テープＰＴを保持テーブル１０３へと搬送し、保護テープＰＴを保持テーブル１０３の保持面に載置させ（図１９（ｂ））、搬送アーム１０１を退避させる。保持テーブル１０３は、内蔵されているヒータ１０５により予め加熱されている。保持テーブル１０３に載置されることにより、保護テープＰＴの粘着層Ｃはヒータ１０５によって加熱されて粘着性を有することとなる。

最後に保護テープ片ＰＴの上にウエハＷを供給し（図１９（ｃ））、平坦な押圧部材１０５でウエハＷを押圧することによって、ウエハＷに保護テープＰＴが貼り付けられる（図１９（ｄ））。本構成では、プリカットされた保護テープＰＴの搬送に搬送アーム１０１を用いるので、帯状のキャリアテープを必要としない。よって、テープ貼付け装置の小型化および単純化が容易となる。

しかし、このような比較例の構成では、保護テープＰＴを搬送および載置させる工程にエラーが発生するという新たな問題が懸念される。すなわち、図１９（ｂ）に示すように、本比較例では保護テープＰＴを保持テーブル１０３に載置させる際に、搬送アーム１０１は保護テープＰＴを介して、加熱状態の保持テーブル１０３と接触する。

当該接触により、保持テーブル１０３の熱が保護テープＰＴおよび搬送アーム１０１へと伝わっていく。そのため、搬送アーム１０１が保護テープＰＴから離れて退避するより前に、粘着層Ｃが加熱されて粘着性を備えてしまい、搬送アーム１０１に保護テープＰＴの粘着層Ｃが粘着する。その結果、保持テーブル１０３から搬送アーム１０１を退避させる際に、保護テープＰＴが搬送アーム１０１とともに保持テーブル１０３から離れる事態や、保持テーブル１０３上で保護テープＰＴの位置がずれる事態などが発生する。

また、当該搬送過程では粘着層Ｃは粘着性を備えなかった場合であっても、搬送アーム１０１は保持テーブル１０３との接触によって温度が上昇する。すなわち、保護テープＰＴの搬送および載置を繰り返すことにより、搬送アーム１０１の温度は徐々に上昇していく。その結果、保護テープＰＴの粘着層Ｃが粘着性を備える所定の温度を、搬送アーム１０１の温度が上回ってしまい、搬送アーム１０１に保護テープＰＴが粘着して離れなくなる。よって、比較例の構成では保護テープＰＴの搬送工程を連続して稼働させることが困難である。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、搬送アームを用いて粘着テープを搬送し、粘着テープをウエハへ貼り付ける構成において、粘着テープの搬送を連続で精度良く実行できる粘着テープ搬送方法および粘着テープ搬送装置を提供することを主たる目的とする。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
第１の発明は、粘着テープを搬送して載置テーブルへ載置させる粘着テープ搬送方法であって、
所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持する保持過程と、
前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送過程と、
前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ前記粘着テープの保持を解除することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置過程と、
を備えることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、所定の形状に切断された粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持しながら、当該粘着テープを載置テーブルの近傍へ搬送させる。そして、載置過程では粘着テープを保持している搬送アームが載置テーブルから離間している状態を維持しつつ、粘着テープの保持を解除することによって粘着テープを載置テーブルに載置させる。

当該離間状態を維持することにより、粘着テープを保持している搬送アームと、載置テーブルとの接触に起因して粘着層が非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでおり、前記載置過程は、前記搬送アームが加熱状態となっている前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでいる。載置過程において、搬送アームが加熱状態となっている載置テーブルから離間している状態を維持することにより、載置テーブルとの接触に起因して粘着層が加熱され、非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでおり、前記載置過程は、前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでいる。載置過程において、搬送アームが載置テーブルから離間している状態を維持することにより、載置テーブルとの接触に起因して粘着層が押圧されて非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記載置過程は、離間部材を前記搬送アームと前記載置テーブルとの間に介在させることより前記搬送アームと前記載置テーブルとを離間させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、離間部材を搬送アームと載置テーブルとの間に介在させることより搬送アームと載置テーブルとを離間させる。すなわち離間部材によって、粘着テープを保持している搬送アームと、載置テーブルとが接触することを防止できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記載置過程は、前記載置テーブルで吸引を行うことにより、前記搬送アームが保持している前記粘着テープを前記載置テーブルへ載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、載置テーブルで吸引を行うことにより、搬送アームが保持している粘着テープは吸引され、速やかに搬送アームから載置テーブルへと移動する。よって、粘着テープを速やかに載置テーブルに載置させることができるので、粘着テープの搬送効率を向上できる。

また、上述した発明において、前記載置過程は、前記搬送アームから気体を排出させることにより、前記搬送アームによる前記粘着テープの保持を解除させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、搬送アームから気体を排出させることにより、搬送アームによる粘着テープの保持が解除される。そのため、粘着テープは速やかに搬送アームから離れ、載置テーブルへと移動する。よって、粘着テープを速やかに載置テーブルに載置させることができるので、粘着テープの搬送効率を向上できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
第２の発明は、粘着テープを搬送して載置テーブルへ載置させる粘着テープ搬送装置であって、
所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を吸着して保持する搬送アームと、
前記搬送アームを駆動させ、前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送制御機構と、
前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ前記粘着テープの保持を解除させ、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置制御機構と、
を備えることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、所定の形状に切断された粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持しながら、当該粘着テープを載置テーブルの近傍へ搬送させる。そして、載置制御機構は粘着テープを保持している搬送アームが載置テーブルから離間している状態を維持しつつ、粘着テープの保持を解除することによって粘着テープを載置テーブルに載置させる。当該離間状態を維持することにより、粘着テープを保持している搬送アームと載置テーブルとの接触に起因して、粘着層が非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。従って、上記方法を好適に実現できる。

また、上述した発明において、前記粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでおり、前記載置制御機構は、前記搬送アームが加熱状態となっている前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでいる。そして搬送アームが加熱状態となっている載置テーブルから離間している状態を維持することにより、載置テーブルとの接触に起因して粘着層が加熱され、非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。従って、上記方法を好適に実現できる。

また、上述した発明において、前記粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでおり、前記載置制御機構は、前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでいる。そして、搬送アームが載置テーブルから離間している状態を維持することにより、載置テーブルとの接触に起因して粘着層が押圧されて非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。従って、上記方法を好適に実現できる。

また、上述した発明において、前記粘着テープを保持している前記搬送アームと前記載置テーブルとの間に介在し、前記搬送アームと前記載置テーブルとを離間させる離間部材を備えることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、離間部材を搬送アームと載置テーブルとの間に介在させることより搬送アームと載置テーブルとを離間させる。すなわち離間部材によって、粘着テープを保持している搬送アームと、載置テーブルとが接触することを防止できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記載置テーブルは前記搬送アームが保持している前記粘着テープを吸引する吸引機構を備え、前記吸引機構が前記粘着テープを吸引することにより、前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ、前記粘着テープを前記載置テーブルへ載置させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、載置テーブルに備えられている吸引機構で吸引を行うことにより、搬送アームが保持している粘着テープは吸引され、速やかに搬送アームから載置テーブルへと移動する。よって、粘着テープを速やかに載置テーブルに載置させることができるので、粘着テープの搬送効率を向上できる。

また、上述した発明において、前記搬送アームは、気体を排出する気体排出機構を備え、
前記気体排出機構が前記気体を排出することにより、前記搬送アームによる前記粘着テープの保持が解除されることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、搬送アームに備えられている気体排出機構から気体を排出させることにより、搬送アームによる粘着テープの保持が解除される。そのため、粘着テープは速やかに搬送アームから離れ、載置テーブルへと移動する。よって、粘着テープを速やかに載置テーブルに載置させることができるので、粘着テープの搬送効率を向上できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
第３の発明は、所定の温度以上に加熱されることによって非粘着状態から粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含む粘着層を備える粘着テープを搬送して載置テーブルへ載置させる粘着テープ搬送装置であって、
所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を吸着して保持する搬送アームと、
前記搬送アームを駆動させ、前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送制御機構と、
前記搬送アームによる前記粘着テープの保持を解除させ、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置制御機構と、
前記搬送アームを冷却する冷却機構と、
を備えることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでいる。そして搬送アームを冷却することにより、加熱されている載置テーブルによって搬送アームが高温となる場合であっても、当該搬送アームを当該所定の温度より低くすることができる。

よって、搬送アームが粘着テープを保持している状態において、当該粘着テープが非粘着状態から粘着状態に変化することを回避できる。そのため、粘着テープを保持している状態で搬送アームに粘着テープが粘着し、粘着テープを載置テーブルに載置させる工程にエラーが発生する事態を回避できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
第４の発明は、所定の温度以上に加熱されることによって非粘着状態から粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含む粘着層を備える粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を吸着して保持する搬送アームと、
前記搬送アームを駆動させ、前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送制御機構と、
前記搬送アームによる前記粘着テープの保持を解除させ、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置制御機構と、
前記載置テーブル上の前記粘着テープにワークを載置させるワーク搬送機構と、
前記粘着テープの粘着層を加熱して前記粘着層を非粘着状態から粘着状態とさせる加熱機構と、
前記粘着テープを前記ワークに貼付けさせる貼付け機構と、
を備えることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、所定の形状に切断された粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持しながら、当該粘着テープを載置テーブルの近傍へ搬送させる。そのため、帯状のテープを用いることなく粘着テープを所望の場所へと搬送し、ワークに粘着テープを貼り付けることができる。よって、装置の小型化とランニングコストの低下とを容易に実現できる。また、粘着層を搬送アームで吸着保持して搬送するので、粘着テープの粘着層にセパレータを添設させておく必要がない。よって所定形状の粘着テープからセパレータを剥離させるという精密かつ煩雑な操作を省略できる。

本発明に係る粘着テープ搬送方法および粘着テープ搬送装置によれば、所定の形状にプリカットされた粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持しながら、当該粘着テープを載置テーブルへ搬送して載置させる。また、搬送アームが粘着テープを保持する状態において、粘着層が非粘着状態から粘着状態への変化が防止される。従って、粘着テープを載置テーブルへ載置させる際に搬送アームから粘着テープが離れなくなる事態を回避できる。

実施例１に係る装置の基本構成を示す平面図である。 実施例１に係る装置の基本構成を示す正面図である。 実施例１に係る搬送機構の構成を示す正面図である。 実施例１に係る搬送機構の構成を示す平面図である。（ａ）は左右可動台の平面図であり、（ｂ）は前後可動台の平面図である。 実施例１に係る載置テーブルの構成を示す図である。（ａ）は載置テーブルの平面図であり、（ｂ）は載置テーブルの縦断面図である。 実施例１に係る貼付けユニットの構成を示す正面図である。 各実施例に係る装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）は実施例１のフローチャートであり、（ｂ）は実施例２のフローチャートである。 実施例１の装置における、ステップＳ２の動作を示す図である。（ａ）は保持ユニットを示す正面図であり、（ｂ）は搬送アームの部分を拡大した正面図である。 実施例１の装置における、ステップＳ４の動作を示す図である。（ａ）は載置を行う前の状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は載置を行った後の状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は載置テーブルに載置された保護テープＰＴと離間部材との位置関係を示す平面図である。 実施例１に係る装置における、ステップＳ５の動作を示す図である。（ａ）はウエハを保持する状態を示す正面図であり、（ｂ）はウエハを載置させる状態を示す縦断面図である。 実施例１の装置における、ステップＳ６の動作を示す図である。（ａ）はウエハを押圧する前の状態を示す縦断面図であり、（ｂ）はウエハを押圧している状態を示す縦断面図である。 実施例２に係る装置の基本構成を示す図である。（ａ）は搬送機構の全体を示す正面図であり、（ｂ）は要部を拡大した正面図である。 変形例に係る装置を説明する図である。（ａ）はマウントフレームの構成を示す斜視図であり、（ｂ）はチャンバの構成を示す縦断面図である。 変形例の装置におけるステップＳ５の動作を示す図である。（ａ）はマウントフレームを載置させた状態を示す図であり、（ｂ）はチャンバを形成させた状態を示す図である。 変形例の装置におけるステップＳ６の動作を示す図である。（ａ）は差圧を発生させてウエハに保護テープを貼り付ける状態を示す図であり、（ｂ）はチャンバと押圧部材との両方を備える変形例におけるステップＳ６の動作を示す図である。 変形例の構成を示す図である。（ａ）は載置テーブルの平面図であり、（ｂ）は実施例のステップＳ４において、保護テープＰＴを載置させる前の状態を示す図であり、（ｃ）は実施例のステップＳ４において、保護テープＰＴを載置させた後の状態を示す図である。 変形例の構成を示す図である。（ａ）はリング状の離間部材を備える載置テーブルを示す平面図であり、（ｂ）は搬送アームに離間部材を備える変形例を示す図であり、（ｃ）は離間部材に対応する凹部を備える変形例を示す図である。 変形例の構成を示す図である。（ａ）はノッチを備える略円形状の保護テープを用いる変形例を示す図であり、（ｂ）は矩形状の保護テープを用いる変形例を示す図であり、（ｃ）は載置テーブルによる保護テープの吸引および搬送アームによる気体の排出を行いつつ、保護テープを載置テーブルに載置させる変形例を示す図である。 比較例に係る構成を示す図である。（ａ）は搬送アームが保護テープを保持する動作を示す図であり、（ｂ）は搬送アームが保護テープを載置させる動作を示す図であり、（ｃ）はウエハを載置させる動作を示す図であり、（ｄ）はウエハに保護テープを貼り付ける動作を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。なお、本実施例では、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）の回路形成面に保護テープＰＴを貼り付ける粘着テープ貼付け装置１に、本発明に係る搬送機構が備わった構成を例示して説明する。

保護テープＰＴは図８（ｂ）などに示すように、基材Ｂと粘着層Ｃとが積層された構造を有している。基材Ｂは非粘着性の材料、一例としてプラスチック、不織布、金属箔などによって構成される。

粘着層Ｃは、常温などの非加熱状態においては粘着性を有しない状態（非粘着状態）であり、加熱によって高温になると粘着性を備える状態（粘着状態）となる特性を備えている。ここで、粘着層Ｃが粘着性を備えるようになる温度の閾値をＴとする。粘着層Ｃを構成する材料の一例としては、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などの熱軟化性粘着剤が挙げられる。また、保護テープＰＴとして、所定の形状に予め切断された（プリカットされた）プリカットテープを用いる。本実施例において、保護テープＰＴは円形にプリカットされている。

＜全体構成の説明＞
粘着テープ貼付け装置１は、ウエハ収納部２、テープ収納部３、搬送機構４、アライナ５、載置テーブル７、および貼付けユニット９などを備えている。ウエハ収納部２は一例としてウエハＷを収納するカセットであり、多数枚のウエハＷが、回路形成面（表面）を下向きにした水平姿勢で多段に差込み収納されている。テープ収納部３は一例としてカセットであり、円形にプリカットされている保護テープＰＴが、粘着層Ｃを上向きにした水平姿勢で多段に差込み収納されている。

搬送機構４は、左右方向（図ではｘ方向）に水平に架設された案内レール１１に左右往復移動可能に支持されている。また、搬送機構４は図３に示すように、案内レール１１に沿って左右に往復移動可能な左右可動台１３が装備されている。

また、左右可動台１３に備えられている案内レール１５に沿って前後方向（図ではｙ方向）に往復移動可能な前後可動台１７が装備されている。さらに、前後可動台１７の下部に、保持ユニット１９が上下方向（図ではｚ方向）に往復移動可能に装備されている。保持ユニット１９は、保護テープＰＴの保持とウエハＷの保持とを行う。

図１および図４（ａ）に示すように、案内レール１１の右端近くにはモータ２０で正逆転駆動される駆動プーリ２１が軸支されるとともに、案内レール１１の中央側には遊転プーリ２２が軸支されている。これら駆動プーリ２１と遊転プーリ２２とにわたって巻き掛けられたベルト２３に、左右可動台１３のスライド係合部１３ａが連結され、ベルト２５の正逆回動によって左右可動台１３が左右に移動されるようになっている。

図４（ｂ）に示すように、左右可動台１３の上端近くにはモータ２４で正逆転駆動される駆動プーリ２５が軸支されるとともに、左右可動台１３の下端近くには遊転プーリ２６が軸支されている。これら駆動プーリ２５と遊転プーリ２６とにわたって巻き掛けられたベルト２７に、前後可動台１７のスライド係合部１７ａが連結され、ベルト２７の正逆回動によって前後可動台１７が前後に移動されるようになっている。

図３に示すように、保持ユニット１９は、前後移動可動台１７の下部に連結された逆Ｌ字形の支持フレーム３０、この支持フレーム３０の縦枠部に沿ってモータ３１でネジ送り昇降される昇降台３２、昇降台３２に回動軸３３を介して縦向き支軸ｐ周りに旋回可能に軸支された回動台３４、回動軸３３にベルト３５を介して巻き掛け連動された旋回用モータ、回動台３４の下部に軸支された搬送アーム３７などを備えている。

搬送アーム３７は馬蹄形をしている。搬送アーム３７の保持面には、僅かに突出した複数個の吸着パッド３８が設けられている。また、搬送アーム３７は、その内部に形成された流路と、この流路の基端側で連接された接続流路を介して圧空装置に連通接続されている。

上記した可動構造を利用することで、ウエハＷまたは保護テープＰＴは、吸着パッド３８を介して搬送アーム３７に吸着保持される。そして搬送アーム３７は、ウエハＷまたは保護テープＰＴを保持した状態で前後移動、左右移動、上下移動、および縦向き支軸ｐ周りの旋回移動ができるようになっている。

アライナ５は中央部に吸着パッド６を備えており、ウエハＷや保護テープＰＴの位置合わせを行う。

載置テーブル７は金属製のチャックテーブルであり、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、保護テープＰＴおよびウエハＷを載置させる載置部８を備えている。載置部８の表面には複数個の吸着孔５０が備えられている。吸着孔５０の各々は、流路５１を介して外部の真空装置５２と連通接続されている。真空装置を用いて真空吸引を行うことにより、載置テーブル７は載置された保護テープＰＴを吸着保持する。

載置テーブル７は金属製に限定されることはなく、セラミックの多孔質で形成された構成などを適宜代用してもよい。また、吸着孔５０、流路５１、および真空装置５２は必須な構成ではなく、ウエハＷを安定に保持できる構成であれば、載置テーブル７は保護テープＰＴを吸着する構成を省略してもよい。

また、載置部８には複数の離間部材５３が装備されているとともに、載置された保護テープＰＴを加熱するヒータ５５が内蔵されている。実施例１において。離間部材５３はピン状の部材で構成されている。各々の離間部材５３は載置テーブル７から所定の長さＶだけ突出するように構成されている。離間部材５３は熱伝導性の低い材料で構成されているか、あるいは熱伝導性の低い材料で被覆されていることが好ましい。

また実施例１では好ましい構成として、離間部材５３はシリンダ５７によって出退昇降可能に構成されている。すなわちシリンダ５７によって上昇することにより、各々の離間部材５３は載置テーブル７から所定の長さＶだけ突出する。またシリンダ５７によって下降することにより、各々の離間部材５３の先端は載置テーブル７に内蔵される。

載置テーブル７から突出した離間部材５３は、載置テーブル７の上方へ保護テープＰＴを搬送した搬送アーム３７が、載置テーブル７の載置面に接触することを防止する。言い換えれば、離間部材５３により、載置テーブル７と搬送アーム３７とは所定の長さＶを空けて離間する状態が維持される。所定の長さＶは、加熱された載置テーブル７の熱により、少なくとも搬送アーム３７の温度が閾値Ｔ以上とならない程度の距離に設定される。

図６（ｂ）に示すように、離間部材５３の各々は、載置テーブル７と中心を共有しており保護テープＰＴと同等または僅かに大きい径を有する円Ｒに接するように配設されていることが好ましい。

離間部材５３の各々を円Ｒに接するように配設することにより、載置テーブル７に載置された保護テープＰＴは離間部材５３の各々によって精度良く位置決めされる。すなわち離間部材５３によって保護テープＰＴの位置ズレを防止できる。なお、本実施例において、４本の離間部材５３が等間隔に配設されている構成を例示している。

貼付けユニット９は、図６に示すように、左右可動台３９、前後可動台４１、縦枠４２、昇降枠４３、屈伸リンク機構４４、モータ４５、および押圧部材４７を備えている。左右可動台３９は案内レール１１に沿って、左右方向へ往復移動可能となるように構成されている。前後可動台４１は、左右可動台３９に備えられている案内レール４０に沿って、前後方向へ往復移動可能となるように構成されている。

縦枠４２は、前後可動台４１の下部に連結されており、昇降枠４３は縦枠４２に沿ってスライド昇降可能に支持されている。屈伸リンク機構４４はモータ４５の回転に応じて正逆屈伸駆動され、当該正逆屈伸駆動によって昇降枠４３は上下方向に駆動される。

押圧部材４７は、昇降枠４３の下端に配設されている。押圧部材４７は、平坦な押圧面４７ａを備えている。押圧部材４７は、当該押圧面４７ａをウエハＷに当接させた状態で、載置テーブル７に載置されている保護テープＰＴとウエハＷとを押圧する。当該押圧によって、保護テープＰＴはウエハＷに貼り付けられる。押圧部材４７の内部には、ウエハＷおよび保護テープＰＴを加熱するヒータ４９が配設されている。

粘着テープ貼付け装置１は、制御部６０を備えている。制御部６０はモータ２０，２４、３１の回転などに基づく搬送機構４の各種動作、真空装置５２の動作、離間部材５３の昇降移動などを例とする、粘着テープ貼付け装置１の各種動作を統括制御する。

＜動作の説明＞
次に、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１を用いて、保護テープＰＴをワークに貼り付けるための一連の動作を説明する。動作のフローチャートは図７（ａ）に示す通りである。なお実施例１ではワークとしてウエハＷを用いる構成を例示して説明する。

ステップＳ１（条件設定の入力）
先ず、図示しない操作部を操作して各種条件設定を入力する。各種条件設定の一例として、ヒータ５５の加熱温度および加熱時間や、載置テーブル７の載置面から離間部材５３を突出させる長さＶ、ウエハＷおよび保護テープＰの径の長さ、および保護テープＰＴの厚みに関する情報などが挙げられる。ヒータ５５の加熱温度や加熱時間は、非加熱状態では粘着性を有しない保護テープＰＴの粘着層Ｃが、加熱により粘着性を発揮して粘着状態となる程度に設定する。

各種設定が完了すると、操作部を操作して粘着テープ剥離装置１を作動させる。作動開始により、ヒータ５５により載置テーブル７が加熱されるとともに、離間部材５３の先端が載置テーブル７の載置面から突出する。

ステップＳ２（テープの保持）
載置テーブル７が十分に加熱されると、搬送機構４を作動させる。搬送機構４は左右可動台１３および前後可動台１７を適宜駆動させ、保持ユニット１９をテープ収納部３の上方へ移動させる。その後、保持ユニット１９を下降させ、テープ収納部３に差し込み収納されている保護テープＰＴの上面に搬送アーム３７を近接させる。

保持ユニット１９は圧空装置を作動させ、吸着パッド３８を介して保護テープＰＴを搬送アーム３７に吸着保持させる。このとき、保護テープＰＴの粘着層Ｃおよび搬送アーム３７はいずれも非加熱状態である。よって粘着層Ｃは非粘着状態となっているので、搬送アーム３７は粘着層Ｃの面を吸着することにより、保護テープＰＴを安定かつ可逆的に保持できる。

ステップＳ３（テープの搬送）
搬送アーム３７による保護テープＰＴの吸着保持が完了すると、搬送機構４は左右可動台１３および前後可動台１７を適宜駆動させる。当該駆動により、搬送アーム３７は保護テープＰＴを吸着保持した状態で、テープ収納部３からアライナ５へと保護テープＰＴを搬送する。

アライナ５は吸着パッド６により保護テープＰＴを吸着し、保護テープＰＴの中心の偏差などに基づいて、ｘ方向およびｙ方向に保護テープＰＴの位置合わせを行う。保護テープＰＴの位置合わせが完了すると、搬送アーム３７は再び保護テープＰＴを吸着パッド３８で吸着保持し、アライナ５から載置テーブル７の上方へと保護テープＰＴを搬送する。

ステップＳ４（テープの載置）
保護テープＰＴを載置テーブル７の上方へ搬送させた後、保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる工程が実行される。すなわち、モータ３１の制御により搬送アーム３７を下降させ、保護テープＰＴを載置テーブル７の載置面に近接させていく。なお、この状態で保護テープＰＴは平面視において円Ｒの内部に位置するよう、搬送アーム３７が保護テープＰＴを吸着する位置などが予め調整されている（図５（ａ））。

ここで、載置テーブル７の載置面から離間部材５３が突出している。そのため、搬送アーム３７は図９（ａ）に示すように、載置テーブル７の載置面から所定長さＶの距離を空けて離間している位置で、離間部材５３の先端と当接する。当該当接により、搬送アーム３７は離間部材５３によって支持され、それ以上載置テーブル７の載置面に近づくことが防止される。

そのため、この時点ではヒータ５５の熱が保護テープＰＴおよび搬送アーム３７に伝達され、粘着層Ｃや搬送アーム３７が高温となることを防止できる。そのため、搬送アーム３７が保護テープＰＴを保持している状態で粘着層Ｃに含まれる熱軟化性粘着剤が粘着性を発揮し、搬送アーム３７から保護テープＰＴが離れなくなる事態の発生をより確実に回避できる。

搬送アーム３７が離間部材５３に当接し、距離Ｖを空けて載置テーブル７から離間している状態となった後、搬送アーム３７は圧空装置の作動を停止させて吸着パッド３８による保護テープＰＴの吸着保持を解除する。吸着保持の解除により、保護テープＰＴは落下して載置テーブル７の載置面に載置される。

載置された保護テープＰＴと離間部材５３との平面視における位置関係は図９（ｃ）に示す通りである。離間部材５３は保護テープＰＴの径と同等またはやや大きい径の円Ｒに接する位置に配置されている。そのため、載置された保護テープＰＴは各々の離間部材５３の内側に配置されるように位置決めされ、保護テープＰＴの位置ズレは各々の離間部材５３によって防止される。

そして載置テーブル７において真空装置５２が作動し、吸着孔５０を介して吸引を行う。当該吸引により、保護テープＰＴは吸着孔５０を介して載置テーブル７に吸着保持される。保護テープＰＴが載置テーブル７の載置面に載置されることにより、ヒータ５５の熱が保護テープＰＴに伝えられる。その結果、粘着層Ｃは加熱されて非粘着状態から粘着状態となる。保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させた後、離間部材５３を下降させ、離間部材５３の先端を載置テーブル７の内部に収納させる。

ステップＳ５（ウエハの搬送）
保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させた後、ウエハＷを保護テープＰＴの上に搬送する操作を行う。すなわち、搬送機構４は左右可動台１３および前後可動台１７を適宜駆動させ、保持ユニット１９をウエハ収納部２へ移動させる。そして、ウエハ収納部２に差し込み収納されているウエハＷの上面を搬送アーム３７の吸着パッド３８で吸着させる。当該吸着により、ウエハＷは搬送アーム３７の下面に保持される（図１０（ａ））。

搬送アーム３７はウエハＷを吸着保持した状態で、ウエハ収納部２からアライナ５へと搬送する。アライナ５はウエハＷの中心に基づいて、ウエハＷをｘ方向またはｙ方向に位置合わせさせる。またアライナ５は、ウエハＷに設けられているノッチまたはオリエンテーションフラットの位置に基づいて、ウエハＷをｚ方向の軸周りに適宜回転させ、回転方向の位置合わせも行う。

ウエハＷの位置合わせが完了すると、搬送アーム３７は再度ウエハＷの上面を吸着し、ウエハＷをアライナ５から載置テーブル７の上方へと搬送する。そして載置テーブル７の上方に移動した後、図１０（ｂ）に示すように搬送アーム３７を下降させ、回路面が下向きとなっているウエハＷを保護テープＰＴの上に載置させる。

ステップＳ６（テープの貼付け）
ウエハＷを保護テープＰＴの上に載置させた後、搬送アーム３７を載置テーブル７から退避させ、ウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける工程を実行する。すなわち貼付けユニット９を案内レール１１および案内レール１５に沿って適宜移動させ、押圧部材４７を載置テーブル７の上方へと移動させる（図１１（ａ））。

そして昇降枠４３を駆動させて押圧部材４７を下降させる。当該下降により、押圧部材４７の押圧面４７ａによって、ウエハＷは全面にわたって押圧される。既に加熱によって保護テープＰＴの粘着層Ｃは粘着性を備えているので、ウエハＷを押圧することによって保護テープＰＴはウエハＷの回路面に貼り付けられる（図１１（ｂ））。なお、ヒータ４９により押圧部材４７を予め加熱させておき、ウエハＷおよび保護テープＰＴを加熱しながら押圧してもよい。

保護テープＰＴが貼り付けられた後、搬送アーム３７はウエハＷの上面を吸着保持する。そして吸着保持した状態で搬送アーム３７はウエハＷを載置テーブル７からウエハ収納部２へと搬送し、保護テープＰＴが貼り付けられたウエハＷを元の位置に差し込み収納する。以上で一巡の動作が終了し、以後同じ動作が繰り返される。

＜実施例１の構成による効果＞
実施例１に係る装置によれば、保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける操作において、ウエハＷに応じた所定の形状にプリカットされている保護テープＰＴを用いる。また、当該プリカットされた保護テープＰＴは、搬送アーム３７で保持されるとともに任意の位置へと搬送される。この場合、帯状の保護テープ、および保護テープを搬送するための帯状のキャリアテープといった帯状のテープを必要としない。よって、帯状のテープを操作するために多数の装置や広い空間を確保する必要がないので、装置のコストを大きく低減できる。

また、保護テープＰＴを載置テーブル７へ載置させる際に、搬送アーム３７と載置テーブル７とを離間させた状態で、保護テープＰＴは搬送アーム３７から載置テーブル７へと受け渡しされる。

そのため、搬送アーム３７が載置テーブル７に対して接触することに起因して、搬送アーム３７が保護テープＰＴを保持している状態で粘着層Ｃが閾値Ｔより高温となって粘着性を発揮し、搬送アーム３７から保護テープＰＴが離れなくなるという事態を確実に回避できる。なお、上記接触とは搬送アーム３７が載置テーブル７に直接接触する場合の他、図１９（ｂ）に示すように、保護テープＰＴを介して搬送アーム３７が間接的に載置テーブル７と接触する場合も含む。

実施例１では搬送アーム３７と載置テーブル７とを離間させることにより、搬送アーム３７が保護テープＰＴを保持している状態でヒータ５５の熱が保護テープＰＴに伝えられ、粘着層Ｃに含まれる熱軟化性粘着剤が加熱されて粘着性を発揮するという事態を回避できる。

また、搬送アーム３７と載置テーブル７とを離間させた状態を維持しつつ保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させるので、ヒータ５５の熱が搬送アーム３７に伝えられて搬送アーム３７の温度が上昇する事態も回避できる。そのため、搬送アーム３７による保護テープＰＴの搬送を繰り返すうちに搬送アーム３７の温度が閾値Ｔを越え、搬送アーム３７が保護テープＰＴの粘着層Ｃを吸着保持する際に粘着層Ｃが粘着するという事態も回避できる。従って、保護テープＰＴを任意の場所へ搬送して載置させる動作を連続で精度よく実施できる。

ここで、比較例に係る保護テープＰＴの貼り付け工程について説明する。実施例１に係る一連の貼付け工程と、比較例に係る一連の貼付け工程とは、ステップＳ４を除いて共通する。

すなわち、比較例の構成を用いて保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける場合、まず各種設定を行うとともに載置テーブル７を加熱させる（ステップＳ１）。そして搬送機構４をテープ収納部３へと移動させ、吸着パッド３８を介して保護テープＰＴを搬送アーム３７に吸着保持させる（ステップＳ２）。ステップＳ２において、保護テープＰＴの粘着層Ｃの温度は閾値Ｔより低く、非粘着状態となるように予め調整されている。搬送アーム３７が非粘着状態の粘着層Ｃを吸着して保護テープＰＴを保持すると、搬送機構４は、テープ収納部３からアライナ５を経由して載置テーブル７の上方へと保護テープＰＴを搬送する（ステップＳ３）。

実施例１に係るステップＳ４では図９（ｂ）に示すように、保護テープＰＴを保持している搬送アーム３７を載置テーブル７から離間させた状態で、保護テープＰＴの保持を解除して保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる。一方、比較例に係るステップＳ４では搬送アーム３７と載置テーブル７とを離間させる構成に限られない。すなわち、比較例に係るステップＳ４では一例として図１９（ｂ）に示すように、搬送アーム３７を下降させ、保護テープＰＴを保持している搬送アーム３７を載置テーブル７に接触させた状態で当該保持を解除し、保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させてよい。

保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させた後、搬送機構４はウエハＷを吸着保持する。そして搬送機構４はウエハＷをウエハ収納部２からアライナ５を経由して載置テーブル７へと搬送し、保護テープＰＴの上にウエハＷを載置させる（ステップＳ５）。保護テープＰＴの上にウエハＷを載置させた後、押圧部材４７でウエハＷを押圧することによってウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける（ステップＳ６）。

このように比較例の構成によっても実施例１と同様、帯状のテープを用いることなく保護テープＰＴをウエハＷに精度よく貼り付けることができる。また搬送アーム３７は、保護テープＰＴのうち非粘着状態の粘着層Ｃを吸着することにより当該保護テープＰＴを保持する。すなわち粘着層Ｃにセパレータを添設させておく必要がない。よって、プリカットされた状態の保護テープＰＴからセパレータを除去させるといった、精密さが要求される煩雑な過程を行わなくとも、プリカットされた状態の保護テープＰＴを安定に保持して精度よく搬送できる。

次に、本発明の実施例２を説明する。実施例１と実施例２において共通する構成については同一符号を付し、以下、実施例２に特徴的な構成について図面を用いて説明する。

実施例２に係る粘着テープ貼付け装置１は、搬送アーム３７を冷却させる冷却機構６１と、搬送アーム３７の温度を検知する温度センサ６３と、搬送アーム３７による搬送の可否を判定する判定部６６とを備えている。冷却機構６１は一例として図１２（ａ）に示すように、保持ユニット１９Ａに設けられている。

冷却機構６１は図１２（ｂ）に示すように、搬送アーム３７の形状に沿って配設されている複数本のエアーノズル６２を備えている。エアーノズル６２の各々は、電磁バルブ６４を介してポンプ６５と接続されている。ポンプ６５から各々のエアーノズル６２へと供給された気体Ｎが、エアーノズル６２の各々から搬送アーム３７へと吹き付けられ、搬送アーム３７を冷却できる。

なお、冷却機構６１は気体Ｎを吹き付けて搬送アーム３７を冷却する構成に限ることはなく、ペルチェ素子などを用いて搬送アーム３７を冷却してもよい。

温度センサ６３は一例として搬送アーム３７に内蔵されており、搬送アーム３７の温度を逐次検知する。温度センサ６３が検知した温度の情報は判定部６６へと送信される。判定部６６は、検知された搬送アーム３７の温度Ｆ１と予め定められている許容温度Ｆとを比較する。許容温度Ｆの値は、保護テープＰＴの粘着層Ｃが確実に非粘着状態となる温度として定められる値であり、一例として１０℃〜２５℃程度であることが好ましい。

搬送アーム３７の温度Ｆ１が許容温度Ｆより低い場合、判定部６６は搬送アーム３７による搬送を許可する内容の信号を制御部６０へと送信する。この場合、搬送アーム３７は保護テープＰＴやウエハＷを搬送できる状態となる。

一方、搬送アーム３７の温度Ｆ１が許容温度Ｆより高い場合、判定部６６は搬送アーム３７による搬送を停止する内容の信号を制御部６０へと送信する。この場合、搬送アーム３７は保護テープＰＴやウエハＷを搬送できない状態となる。実施例２では温度センサ６３を用いた制御機構により、搬送アーム３７の温度に応じて、搬送アーム３７による搬送のオン／オフを制御する。

次に、実施例２に係る粘着テープ剥離装置１を用いて、保護テープＰＴをウエハＷに貼り付けるための一連の動作を説明する。実施例２に係る一連の動作のフローチャートは、図７（ｂ）に示す通りである。

すなわち、ステップＳ１とステップＳ２との間にステップＳ１−ａの工程を行い、かつ少なくともステップＳ５の後にステップＳ７の工程を行う点で、実施例１と実施例２とは相違する。そこで、ステップＳ１−ａおよびステップＳ７の工程について以下説明する。

ステップＳ１−ａ（アーム温度の判定）
実施例２では各種設定および載置テーブル７の加熱が完了すると、保護テープＰＴの保持を行う前に、搬送アーム３７の判定を行う。すなわち搬送アーム３７の温度Ｆ１が温度センサ６３によって検知され、検知された温度Ｆ１の情報は温度センサ６３から判定部６６へと送信される。

判定部６６は温度Ｆ１と、許容温度Ｆとを比較する。許容温度Ｆより搬送アーム３７の温度Ｆ１が低い場合、搬送アーム３７が保護テープＰＴを保持しても粘着層Ｃは非粘着状態を維持する。よって、判定部６６は搬送アーム３７による搬送が可能であると判定し、搬送を許可する内容の信号を制御部６０へ送信する。制御部６０は当該信号に基づいて、各種モータおよび駆動機構を制御し、搬送アーム３７の各種動作を可能とさせる。従ってこの場合、搬送アーム３７によるステップＳ２以降の工程を実行可能となる。

許容温度Ｆより搬送アーム３７の温度Ｆ１が高い場合、搬送アーム３７が保護テープＰＴを保持すると粘着層Ｃは粘着性を発揮して粘着状態となる場合がある。よって、判定部６６は搬送アーム３７による搬送が不適切であると判定し、搬送を禁止する内容の信号を制御部６０へ送信する。

制御部６０は当該信号に基づいて、各種モータおよび駆動機構を制御し、搬送アーム３７の各種動作を停止させるとともに、冷却機構６１による冷却を実行させる。この場合、搬送アーム３７は一時的に保護テープＰＴやウエハＷを搬送できない状態となる。その一方で、制御部６０によってポンプ６５が作動するとともに電磁バルブ６４が開放され、気体Ｎがエアーノズル６２の各々に供給される。そして、エアーノズル６２から搬送アーム３７へと気体Ｎが吹き付けられ、搬送アーム３７が冷却される。

搬送アーム３７の温度は逐次温度センサ６３に検知されており、搬送アーム３７の温度が許容温度Ｆ以下となるまで冷却機構６１による搬送アーム３７の冷却が行われる。搬送アーム３７の温度が許容温度Ｆ以下となることにより、搬送アーム３７は再び駆動可能となり、保護テープＰＴやウエハＷを搬送可能となる。その結果、ステップＳ２以降の工程を開始することができる。

ステップＳ７（搬送アームの冷却）
搬送アーム３７によって保護テープＰＴおよびウエハＷの各々が載置テーブル７に載置された後、搬送アーム３７を載置テーブル７から退避させるとともに、冷却機構６１によって搬送アーム３７を冷却させる。すなわち、制御部６０によってエアーノズル６２の各々に気体Ｎが供給され、搬送アーム３７に気体Ｎが吹き付けられて冷却される。

ステップＳ７は、ステップＳ６に係る保護テープＰＴを貼り付ける工程と同期して行われることが好ましい。ステップＳ７に係る冷却工程を行うことにより、ヒータ５５の熱などによって搬送アーム３７の温度が上昇している場合であっても、速やかに搬送アーム３７は冷却される。そのため、次の一巡におけるステップＳ１−ａにおいて搬送アーム３７の動作が停止される事態を回避できる。

気体Ｎの供給を所定時間行う、または搬送アーム３７の温度が所定温度以下となる、などを例とする所定の条件を満たすことによりステップＳ７の工程は完了する。ステップＳ６およびステップＳ７の工程が完了することにより、実施例２に係る一巡の動作は完了する。

なお実施例２において、ステップＳ７に係る搬送アーム３７の冷却過程は、ステップＳ６の後に行う構成に限られず、搬送アーム３７の温度を閾値Ｔより低く維持できるよう、適宜タイミングで行ってよい。一例として、ステップＳ１からＳ６までの工程と同期して、搬送アーム３７を冷却し続けてもよい。

また実施例２のステップＳ４では、搬送アーム３７と載置テーブル７とを離間させた状態で保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる構成（図９（ｂ））に限ることはない。すなわち、冷却機構６１により搬送アーム３７の温度を少なくとも閾値Ｔより低く維持できる限りにおいて、図１９（ｂ）に示すように保護テープＰＴを保持する搬送アーム３７を載置テーブル７に接触させた状態で保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させてもよい。

実施例２では冷却機構６１、温度センサ６３、および判定部６６を備えることにより、搬送アーム３７の温度を確実に許容温度Ｆ以下である状態で、保護テープＰＴを搬送できる。そのため、高温となっている搬送アーム３７が保護テープＰＴの粘着層Ｃを吸着することにより、粘着層Ｃが加熱されて粘着性が上昇し、保護テープＰＴが搬送アーム３７に粘着して離れなくなるという事態を確実に回避できる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上記各実施例および比較例に係る構成において、保護テープＰＴをワークに貼り付けるステップＳ６の工程は、押圧部材４７を用いてウエハＷを保護テープＰＴに押圧させる構成に限定されるものではない。一例としてウエハＷをチャンバ内に収納させ、減圧作用によりウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける構成が挙げられる。

ここでは当該構成の一例として、図１３（ａ）に示すような、ウエハＷの裏面とリングフレームｆにわたって支持用の粘着テープＤＴが貼り付けられたマウントフレームＭＦをワークとして用いる。そしてマウントフレームＭＦのうちウエハＷをチャンバ内に収納させ、減圧作用によりウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける。

以下、（１）に係る変形例の構成について説明する。変形例に係る粘着テープ貼付け装置１は、図１３（ｂ）に示すように、一対の上ハウジング７１ａと下ハウジング７１ｂとを備えている。上ハウジング７１ａと下ハウジング７１ｂとは一体化することによりチャンバ７１を構成する。チャンバ７１は密閉状態となっており、上ハウジング７１ａと下ハウジング７１ｂの各々には図示しない電磁バルブと真空装置が接続されている。

上ハウジング７１ａは貼付けユニット９に設けられており、昇降枠４３の下端に配設されている。貼付けユニット９における他の構成は、図６に示す実施例１の構成と共通する。すなわち図１３（ｂ）では、貼付けユニット９が押圧部材４７の代わりにチャンバ７１を備える構成を例示している。

下ハウジング７１ｂは載置テーブル７に設けられており、載置部８の周囲に配設されている。また、載置テーブル７は下ハウジング７１ｂの周囲に、リングフレームｆを保持するフレーム保持部７０を備えている。また下ハウジング７１ｂのうち、上ハウジング７１ａと接する円筒上部はフッ素加工などの離型処理が施されている。

チャンバ７１の径は、支持用の粘着テープＤＴの幅および長さよりも小さくなるように構成されている。すなわちマウントフレームＭＦのうちウエハＷを下ハウジング７１ｂの内部に納めた状態で上ハウジング７１ａを昇降移動させることにより、ウエハＷの外周からリングフレームｆの内径の間で露出する粘着テープＤＴを両ハウジング７１ａ、７１ｂで挟み込むことになる。

また、（１）に係る変形例において、ウエハ収納部２にはウエハＷの代わりに、支持用の粘着テープＤＴを上向きにしたマウントフレームＭＦが多段に差し込み収納されている。

次に、（１）に係る変形例においてウエハＷに保護テープＰＴを貼り付ける一巡の動作を説明する。図７（ａ）および図７（ｂ）に示す一連の動作のうち、ステップＳ５およびステップＳ６の工程について、チャンバ７１を利用する変形例と、押圧部材４７を利用する各実施例とは相違する。そこで共通する工程については説明を省略し、ステップＳ５およびステップＳ６の工程について説明する。

ステップＳ５（ウエハの搬送）
ステップＳ１ないしＳ４の工程により、保護テープＰＴは載置テーブル７の載置部８に載置されるとともに、ヒータ５５によって保護テープＰＴが加熱される。保護テープＰＴの載置および加熱が完了すると、搬送アーム３７はウエハ収納部２へと移動し、マウントフレームＭＦの粘着テープＤＴを吸着することによって、マウントフレームＭＦを保持する。

搬送アーム３７はアライナ５によってマウントフレームＭＦの位置合わせを行った後、マウントフレームＭＦを載置テーブル７の上方へと搬送する。そして搬送アーム３７を下降させ、図１４（ａ）に示すように、マウントフレームＭＦを載置テーブル７に載置させる。

このとき、リングフレームｆはフレーム保持部７０に保持される。また、リングフレームｆとウエハＷとの間における粘着テープＤＴは下ハウジング７１ｂの円筒上部に接している。ウエハＷと保護テープＰＴとは所定の距離を空けて近接対向している。すなわち、マウントフレームＭＦを載置テーブル７に載置させる際に、搬送アーム３７はヒータ５５の熱による温度上昇が発生しない程度に載置テーブル７の載置面から離間している。

ステップＳ６（テープの貼付け）
マウントフレームＭＦを載置テーブル７に載置させた後、搬送アーム３７を載置テーブル７から退避させ、昇降枠４３を駆動させて上ハウジング７１ａを下降させる。この下降に伴って、図１４（ｂ）に示すように、リングフレームｆとウエハＷとの間における粘着テープＤＴは上ハウジング７１ａと下ハウジング７１ｂとによって挟持され、密閉状態のチャンバ７１が形成される。このとき、粘着テープＤＴがシール材として機能し、チャンバ７１の内部空間は粘着テープＤＴによって、上ハウジング７１ａ側と下ハウジング７１ｂ側との２つの空間に分割される。

チャンバ７１が形成された後、制御部６０によって電磁バルブの開閉を調整するとともに真空装置の作動を開始させ、上ハウジング７１ａの内部と下ハウジング７１ｂの内部とを同じ速度で減圧させる。所定の気圧まで両空間が減圧されると、電磁バルブを閉じるとともに真空装置の作動を停止させる。

制御部６０は、電磁バルブの開度を調整してリークさせながら上ハウジング７１ａの内部を所定の気圧まで徐々に高める。このとき、下ハウジング７１ｂの内部の気圧は上ハウジング７１ａの内部の気圧よりも低くなるので、図１５（ａ）に示すように、差圧によって粘着テープＤＴがウエハＷとともに下ハウジング７１ｂへと引き込まれていく。その結果、ウエハＷの下面に保護テープＰＴが貼り付けられていく。

ウエハＷに保護テープＰＴが貼り付けられると、制御部６０は上ハウジング７１ａの内部と下ハウジング７１ｂの内部とを同じ気圧に調整する。このとき、載置部８を上昇させてリングフレームｆの上面とウエハの上面とを同じ高さにすることが好ましい。気圧を調整した後、昇降枠４３を駆動させて上ハウジング７１ａを上昇させて両ハウジングの内部を大気開放する。

大気開放を行った後、搬送アーム３７を載置テーブル７に移動させ、吸着パッド３８を介して粘着テープＤＴを吸着することによりマウントフレームＭＦを保持する。そして保護テープＰＴが貼り付けられたマウントフレームＭＦをウエハ収納部２へ搬送し、再度差し込み収納する。

ここまで、（１）に係る変形例として押圧部材４７を省略した構成を例示したがこれに限ることはなく、押圧部材４７とチャンバ７１とを協働させて保護テープＰＴを貼り付けてもよい。すなわち図１５（ｂ）に示すように、上ハウジング７１ａの内部に押圧部材４７を昇降移動可能に配設してもよい。この場合、チャンバ７１を形成させて差圧を発生させる時点で、押圧部材４７を下降させてウエハＷおよび粘着テープＤＴを押圧する。当該構成により、保護テープＰＴをより精度良くワークに貼り付けることができる。

（２）上記各実施例、比較例および各変形例に係る構成において、離間部材５３は、図５に示すような構成に限られない。以下、離間部材の構成に係る変形例について説明する。

第１に、図１６（ａ）に示すように、保護テープＰＴを載置させる領域に相当する円Ｒの内部に、１または２以上の離間部材５３を配設してもよい。この場合、ステップＳ４において、載置部８の載置面から突出させた離間部材５３の先端で保護テープＰＴを支持することにより、搬送アーム３７から離間部材５３へと保護テープＰＴが受け渡される（図１６（ｂ））。

このとき、搬送アーム３７と載置テーブル７とは離間部材５３によって、少なくとも所定の長さＶを空けて離間することが保証されている。従って、ヒータ５５の熱が搬送アーム３７に伝えられて搬送アーム３７の温度が上昇する事態を確実に回避できる。保護テープＰＴが離間部材５３に支持されると、制御部６０は離間部材５３を下降させて載置部８に内蔵させる。その結果、図１６（ｃ）に示すように、搬送アーム３７から載置テーブル７へと保護テープＰＴが受け渡され、保護テープＰＴは載置部８に載置される。

第２に、離間部材５３はピン状の部材に限ることはなく、図１７（ａ）に示すように、支持リング５４のようなリング状の部材を配設してもよい。そして、支持リング５４の内径を保護テープＰＴの径と同じまたは僅かに大きい径に調整することが好ましい。支持リング５４の内径を調整することにより、支持リング５４は保護テープＰＴの位置ズレを防ぐ位置合わせ部材としても機能することができる。

第３に、離間部材５３を載置テーブル７に配設させる構成に限ることはなく、図１７（ｂ）に示すように、搬送アーム３７に配設してもよい。離間部材５３を搬送アーム３７に配設させる構成であっても、ステップＳ４において、搬送アーム３７と載置テーブル７とは所定の長さを空けて確実に離間するように調整される。そして当該離間状態を維持しつつ、搬送アーム３７から載置テーブル７へと保護テープＰＴが受け渡され、保護テープＰＴは載置テーブル７に載置される。

第４に、突出した凸部となっている離間部材５３と嵌合する、凹部５６がさらに設けられていることが好ましい。離間部材５３が載置テーブル７に配設されている場合、凹部５６は搬送アーム３７に設けられる。離間部材５３が搬送アーム３７に配設されている場合、凹部５６は載置テーブル７に設けられる（図１７（ｃ））。凹部５６は平面視において、離間部材５３に対応する位置に設けられる。

凹部５６を備えることにより、ステップＳ４において搬送アーム３７から載置テーブル７へと保護テープＰＴを受け渡す際に、離間部材５３と凹部５６とを嵌合させることができる。当該嵌合により、平面視において搬送アーム３７と載置テーブル７とは精度よく位置合わせされる。よって、保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる位置を精度よく制御できる。

（３）上記実施例２に係るステップＳ１−ａにおいて、搬送アーム３７の温度Ｆ１が許容温度Ｆより高い場合、搬送アーム３７を冷却機構６１で冷却して許容温度Ｆ以下とした後にステップＳ２以降の工程を再開させる構成を例示したがこれに限られない。すなわち、搬送機構４に搬送アーム３７を複数設けさせ、許容温度Ｆ以下の温度となっている搬送アーム３７を選択して保護テープＰＴの搬送に使用する構成であってもよい。

このような（３）に係る変形例では、搬送に用いている搬送アーム３７の温度Ｆ１が許容温度Ｆより高い場合、当該搬送アーム３７の使用を停止させる。そして残りの搬送アーム３７の温度を温度センサ６３によって検知し、許容温度Ｆ以下の温度となっている搬送アーム３７を選択する。そして選択された搬送アーム３７を保護テープＰＴの搬送に用いてステップＳ２以降の工程を再開させる。

このような（３）に係る変形例の構成であっても、実施例２と同様に、保護テープＰＴの搬送に用いられる搬送アーム３７の温度は確実に許容温度Ｆ以下とすることができる。よって、搬送アーム３７に保護テープＰＴの粘着層Ｃが粘着する事態を回避できる。

（４）上記各実施例、比較例および各変形例に係る構成において、保護テープＰＴの粘着層Ｃは、加熱により粘着性を発揮する熱軟化性接着剤を有する構成を例示して説明したが、粘着層Ｃの構成は加熱により粘着状態となる構成に限られない。特に押圧部材４７で押圧することによってワークに保護テープＰＴを貼り付ける構成において、粘着層Ｃは加圧によって粘着状態となる構成であってもよい。

このような（４）に係る変形例において、保護テープＰＴの粘着層Ｃは感圧性粘着剤を含んでおり、予め決められた所定の閾値Ｔ１以下の圧力が作用している条件下では粘着性を有さず、所定の閾値Ｔ１より大きい圧力が作用することによって粘着性を発揮して粘着状態となる。

感圧性粘着剤を備える保護テープＰＴをワークに貼り付ける工程は、各実施例のような熱軟化性粘着剤を備える保護テープＰＴを用いる構成における工程と共通する（図７（ａ）、（ｂ））。すなわち、ステップＳ１〜Ｓ５の各工程において、保護テープＰＴの粘着層Ｃには閾値Ｔ１以下の圧力しか作用しないので、粘着層Ｃは搬送アーム３７に粘着することはない。

特にステップＳ４において、搬送アーム３７は載置テーブル７から離間させた状態を維持しつつ、保護テープＰＴを載置テーブル７に載置させる（図９（ｂ）を参照）。そのため、保護テープＰＴを載置させる際に搬送アーム３７が保護テープＰＴを過度に押圧することを防止できる。よって、粘着層Ｃが粘着状態となる事態を回避できる。

そして、ステップＳ６において押圧部材４７を下降させてウエハＷを押圧することにより、粘着層Ｃには閾値Ｔ１より大きい圧力が作用する。当該押圧により、感圧性粘着剤を備える粘着層Ｃにおいて粘着性が発生し、保護テープＰＴはウエハＷに粘着して貼り付けられることとなる。

図１９（ｂ）に示すように、保護テープＰＴを保持する搬送アーム３７を、載置テーブル７に接触させるまで下降させて載置テーブル７に保護テープＰＴを載置させる場合、搬送アーム３７が載置テーブル７に接触することによって保護テープＰＴが過度に押圧されることがある。その結果、粘着層Ｃに閾値Ｔ１を越える圧力が作用して粘着層Ｃが粘着状態となり、保護テープＰＴが搬送アーム３７から離れなくなるという事態が発生する。

本発明の構成では、搬送アーム３７を載置テーブル７から離間させた状態で載置テーブル７に保護テープＰＴを載置させるので、感圧性粘着剤を含む保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける構成においても、当該保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける工程を連続して精度良く実行できる。

（５）上記各実施例、比較例および各変形例に係る構成において、粘着テープを貼り付ける対象となるワークとしてウエハＷの他に、リングフレームｆおよびウエハＷをワークとする構成を例示したがこれに限られない。ワークとして用いられる構成としては、ウエハＷの他にガラス基板、セラミック基板、ＦＰＣを例とする有機材料基板、精密部品等の金属材料、リングフレームなど種々の物品が挙げられる。

（６）上記各実施例、比較例および各変形例に係る構成において、ワークに貼り付ける粘着テープの一例として回路保護用の保護テープＰＴを例にとって説明したが、ワークに貼り付ける粘着テープは保護テープに限ることはない。すなわち、支持用の粘着テープ（ダイシングテープ）や粘着テープを剥離するための剥離テープなど、他の用途に用いる粘着テープにも本発明の構成を適用できる。

（７）上記各実施例、比較例および各変形例に係る構成において、保護テープＰＴが円形である場合を例示したが、ワークに貼り付けられる粘着テープは円形に限られない。一例として、ノッチやオリエンテーションフラットを備えるウエハＷの形状に対応した、円の一部に凹部や直線を有する略円形にプリカットされた保護テープＰＴが挙げられる。

図１８（ａ）は、ノッチＮが形成された保護テープＰＴを用いる場合を例示している。この場合、複数の離間部材５３のうち、離間部材５３ａは保護テープＰＴの円周部に近接または当接する位置に設けられている。そして離間部材５３ｂは保護テープＰＴのノッチ部分Ｎに近接または当接するよう、離間部材５３ａと比べて載置部８の中心に近い位置に配設されている。

このように、ノッチやオリエンテーションフラットの有無に応じて離間部材５３の位置を調整することにより、保護テープＰＴおよびウエハＷはｘ方向およびｙ方向へ位置ズレする事態を回避できるだけでなく、ｚ軸周りに回転する方向へ位置ズレする事態も回避できる。

また、基板をワークとする場合に、当該基板の形状に応じて矩形にプリカットされた保護テープＰＴを用いる場合にも本発明の構成を適用できる。この場合、図１８（ｂ）に示すように、保護テープＰＴにおいて対角線上の頂点をそれぞれ近接または当接して挟むように、各々の離間部材５３を配設することが好ましい。このような配置にすることで、矩形状の保護テープＰＴは、ｘ方向またはｙ方向に位置合わせされるだけでなく、ｚ軸周りの回転方向にも位置合わせされることとなる。よって、載置テーブル７に載置させる保護テープＰＴの位置を精度良く制御できる。

（８）上記各実施例、比較例および各変形例において、ステップＳ４では搬送アーム３７による保護テープＰＴの吸着保持を解除させ、自然落下により保護テープＰＴを搬送アーム３７から載置テーブル７へと載置させている構成を例示しているが、これに限られない。すなわち、真空装置５２を作動させ、吸着孔５０を介した保護テープＰＴの吸引を開始させた後に搬送アーム３７による保護テープＰＴの吸着保持を解除させてもよい（図１８（ｃ）、符号Ｎ１）。この場合、載置テーブル７が吸着孔５０を介して保護テープＰＴを吸引することにより、保護テープＰＴは速やかに搬送アーム３７から離れて載置テーブル７へと載置される。吸着孔５０および真空装置５２は、本発明における吸引機構に相当する。

さらに、搬送アーム３７は気体を排出する排出ノズル７５を備え、排出ノズル７５から気体を排出させながら保護テープＰＴの吸着保持を解除させてもよい。この場合、図１８（ｃ）に示すように、排出ノズル７５から排出される気体Ｎ２により保護テープＰＴは速やかに搬送アーム３７から離れて載置テーブル７へと載置される。排出ノズル７５は本発明における気体排出機構に相当する。

なお、図１８（ｃ）は保護テープＰＴを載置テーブル７へ載置させる際に、吸着孔５０による吸引Ｎ１と排出ノズル７５による気体Ｎ２の排出の両方を行う構成を例示しているが、いずれか一方のみを行ってもよい。

１ … 粘着テープ貼付け装置
２ … ウエハ収納部
３ … テープ収納部
４ … 搬送機構
５ … アライナ
７ … 載置テーブル
９ … 貼付けユニット
１１ … 案内レール
１３ … 左右可動台
１５ … 案内レール
１７ … 前後可動台
１９ … 保持ユニット
３７ … 搬送アーム
３９ … 吸着パッド
４７ … 押圧部材
５３ … 離間部材
６０ … 制御部
６１ … 冷却機構
６２ … エアーノズル
６３ … 温度センサ
Ｗ … 半導体ウエハ
ＰＴ … 保護テープ

Claims (12)

1. 粘着テープを搬送して載置テーブルへ載置させる粘着テープ搬送方法であって、
   所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を搬送アームで吸着して保持する保持過程と、
   前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送過程と、
   前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ前記粘着テープの保持を解除することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置過程と、
   を備えることを特徴とする粘着テープ搬送方法。
2. 請求項１に記載の粘着テープ搬送方法において、
   前記粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでおり、
   前記載置過程は、前記搬送アームが加熱状態となっている前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送方法。
3. 請求項１に記載の粘着テープ搬送方法において、
   前記粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでおり、
   前記載置過程は、前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ搬送方法において、
   前記載置過程は、離間部材を前記搬送アームと前記載置テーブルとの間に介在させることより前記搬送アームと前記載置テーブルとを離間させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ搬送方法において、
   前記載置過程は、前記載置テーブルで吸引を行うことにより、前記搬送アームが保持している前記粘着テープを前記載置テーブルへ載置させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送方法。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の粘着テープ搬送方法において、
   前記載置過程は、前記搬送アームから気体を排出させることにより、前記搬送アームによる前記粘着テープの保持を解除させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送方法。
7. 粘着テープを搬送して載置テーブルへ載置させる粘着テープ搬送装置であって、
   所定の形状に切断された前記粘着テープのうち非粘着状態となっている粘着層を吸着して保持する搬送アームと、
   前記搬送アームを駆動させ、前記搬送アームで前記粘着テープを保持しながら、前記粘着テープを前記載置テーブルの近傍へ搬送させる搬送制御機構と、
   前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ前記粘着テープの保持を解除させ、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる載置制御機構と、
   を備えることを特徴とする粘着テープ搬送装置。
8. 請求項７に記載の粘着テープ搬送装置において、
   前記粘着層は所定の温度以上に加熱されることによって粘着状態となる熱軟化性粘着剤を含んでおり、
   前記載置制御機構は、前記搬送アームが加熱状態となっている前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送装置。
9. 請求項７に記載の粘着テープ搬送装置において、
   前記粘着層は所定以上の圧力が作用することにより粘着状態となる感圧性粘着剤を含んでおり、
   前記載置制御機構は、前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持することにより、前記粘着テープを前記載置テーブルに載置させる
   ことを特徴とする粘着テープ搬送装置。
10. 請求項７ないし請求項９のいずれかに記載の粘着テープ搬送装置において、
    前記粘着テープを保持している前記搬送アームと前記載置テーブルとの間に介在し、前記搬送アームと前記載置テーブルとを離間させる離間部材を備える
    ことを特徴とする粘着テープ搬送装置。
11. 請求項７ないし請求項１０のいずれかに記載の粘着テープ搬送装置において、
    前記載置テーブルは前記搬送アームが保持している前記粘着テープを吸引する吸引機構を備え、
    前記吸引機構が前記粘着テープを吸引することにより、前記粘着テープを保持している前記搬送アームが前記載置テーブルから離間している状態を維持しつつ、前記粘着テープを前記載置テーブルへ載置させる
    ことを特徴とする粘着テープ搬送装置。
12. 請求項７ないし請求項１１のいずれかに記載の粘着テープ搬送装置において、
    前記搬送アームは、気体を排出する気体排出機構を備え、
    前記気体排出機構が前記気体を排出することにより、前記搬送アームによる前記粘着テープの保持が解除される
    ことを特徴とする粘着テープ搬送装置。
    
    

Images