JP2019191275A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

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Abstract

【課題】浸液用であって、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】対物レンズ1は4群構成を有する。第1レンズ群G1は第1接合レンズL1と少なくとも1つの単レンズからなる。第2レンズ群G2は複数の接合レンズを含み、最も物体側に第2接合レンズCL2を含む。第3レンズ群G3は像側に凹面を向けたレンズ成分からなる。第4レンズ群G4は最も物体側に凹面を物体側に向けたレンズ成分を含む。対物レンズ1は以下の条件式を満たす。0.986≦NAob/N0≦0.995(1)、0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015(2)、但し、NAobは対物レンズ1の開口数である。N0は浸液のe線に対する屈折率である。N1は第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1はメニスカスレンズのd線に対するアッベ数である。【選択図】図1

Description

本明細書の開示は、顕微鏡対物レンズに関し、特に、液浸系の顕微鏡対物レンズに関する。
近年、生物学の分野では、生体細胞内の運動や活性についての観察が、全反射型蛍光顕微鏡法(Total Internal Reflection Fluorescence Microscopy、以降、TIRFMと記す。)を用いて盛んに行われている。TIRFMでは、照明光をカバーガラスと標本との境界面で全反射させるために、高い開口数を有する顕微鏡対物レンズが使用される。
従来技術における高開口数を有する顕微鏡対物レンズは、例えば、特許文献1、特許文献2に記載されている。
特開2006−113486号公報 特開2007−121338号公報
ところで、高い開口数を実現するための方法の一つに、特殊なオイル又はカバーガラスを用いる方法がある。このような特殊なオイル又はカバーガラスを用いることなしに高開口数を有し、且つ、球面収差、色収差などの諸収差を良好に補正することは非常に難しい。
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、屈折率1.52程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供することである。
本発明の一態様に係る対物レンズは、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる第1接合レンズと、正の屈折力を有する少なくとも1つの単レンズと、からなり、正の屈折力を有する第1レンズ群と、複数の接合レンズを含み、正の屈折力を有する第2レンズ群であって、最も物体側に第2接合レンズを含む、第2レンズ群と、像側に凹面を向けた第1レンズ成分からなり、負の屈折力を有する第3レンズ群と、最も物体側に、物体側に凹面を向けた第2レンズ成分を含む第4レンズ群と、からなる。対物レンズは、以下の条件式を満たす。
0.986≦NAob/N0≦0.995 (1)
0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015 (2)
但し、NAobは、前記顕微鏡対物レンズの物体側の開口数である。N0は、前記顕微鏡対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率である。N1は、前記第1接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1は、前記メニスカスレンズのd線に対するアッベ数である。
上記の態様によれば、屈折率1.52程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供することができる。
本発明の実施例1に係る対物レンズ1の断面図である。 結像レンズ10の断面図である。 図1に示す対物レンズ1と図2に示す結像レンズ10からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例2に係る対物レンズ2の断面図である。 図4に示す対物レンズ2と図2に示す結像レンズ10からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例3に係る対物レンズ3の断面図である。 図6に示す対物レンズ3と図2に示す結像レンズ10からなる光学系の収差図である。
本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。本実施形態に係る対物レンズ(以降、単に対物レンズと記す)は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。この対物レンズは、標本と対物レンズの間に浸液を介在させた状態で標本を観察するときに用いられる、いわゆる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
この対物レンズは、60倍以上の倍率を有し、且つ、1.49以上の開口数を有する。また、この対物レンズは、4群構成を有し、物体側から順に配置された、第1レンズ群、第2レンズ群、第3レンズ群、第4レンズ群からなる。
第1レンズ群は、正の屈折力を有し、物体側から順に配置された、正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる接合レンズ(以降、第1接合レンズと記す。)と、正の屈折力を有する少なくとも1つの単レンズと、からなる。
第1レンズ群は、主に、高い開口数において、球面収差の発生を抑えながらペッツバール和を良好に補正する役割を担っている。マージナル光線高さが低い物体付近の領域に、メニスカスレンズを含む第1接合レンズが配置されることによって、ペッツバール和を効果的に補正することが可能となる。
第2レンズ群は、正の屈折力を有し、複数の接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有している。なお、第2レンズ群の最も物体側に配置されたレンズ成分は、接合レンズ(以降、第2接合レンズと記す。)である。
第2レンズ群は、主に、色収差を低減する役割を担っている。複数の接合レンズを含むことによって、対物レンズ内のスペースを効率的に使用しながら効果的に色収差補正を行うことが可能となる。
第3レンズ群は、負の屈折力を有し、像側に凹面を向けたレンズ成分(以降、第1レンズ成分と記す。)からなる。第4レンズ群は、最も物体側に、物体側に凹面を向けたレンズ成分(以降、第2レンズ成分と記す。)を含んでいる。即ち、第3レンズ群と第4レンズ群は、互いに凹面を向けて配置されている。なお、第4レンズ群は、負の屈折力を有することが望ましい。
第3レンズ群は、主に、コマ収差を良好に補正する役割を担っている。また、第4レンズ群は、主に、非点収差とコマ収差を良好に補正する役割を担っている。
この対物レンズは、以下の条件式を満たしている。
0.986≦NAob/N0≦0.995 (1)
0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015 (2)
但し、NAobは、対物レンズの物体側の開口数である。N0は、対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率である。N1は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズのd線に対するアッベ数である。
条件式(1)は、開口数と浸液の屈折率の関係を規定した式である。条件式(1)を満たすことで、液浸対物レンズの限界に近い解像力を得ることができるため、高解像の観察において、非常に細かい構造を観察することができる。また、TIRFMにおいてエバネッセント光が深さ方向にしみ出す領域を十分に小さくすることができる。
NAob/N0が条件式(1)の上限値を上回ると、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズの像側のレンズ面において、非常に強い屈折力が必要となり、高次球面収差の発生を抑えることが困難になる。NAob/N0が条件式(1)の下限値を下回ると、解像力が不足してしまい、高解像の観察において細かな構造を観察することが困難になる。また、TIRFMにおいてエバネッセント光が深さ方向にしみ出す領域を小さくすることが難しくなる
なお、この対物レンズで使用される浸液は、汎用カバーガラス用のイマージョンオイルであり、その屈折率は1.51から1.52の間の値、即ち、1.51≦N0≦1.52である。このため、条件式(1)は、対物レンズの開口数を規定した下記の条件式(1−1)と実質的に同じである。
1.48886≦NAob≦1.5124 (1−1)
条件式(2)は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズの屈折率とアッベ数の関係を規定した式である。条件式(2)を満たすことで、高次球面収差と色収差を良好に補正することができる。
1/(N1×ν1)が条件式(2)の上限値を上回ると、分散が大きくなりすぎるため、色収差の補正が困難になってしまう。又は、屈折率が小さくなりすぎるため、高次球面収差の補正が困難になってしまう。1/(N1×ν1)が条件式(2)の下限値を下回ると、光学材料が可視域の波長で十分な透過率と均一性を持つことが難しくなる。
なお、対物レンズは、条件式(2)の代わりに条件式(2−1)を満してもよい。
0.01≦1/(N1×ν1)≦0.014 (2−1)
以上のように構成された対物レンズによれば、屈折率1.52程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察することができる。
以下、対物レンズの望ましい構成について説明する。
第1レンズ群は、正の屈折力を有する複数の単レンズを含むことが望ましい。第1レンズ群が正の屈折力を有する単レンズを複数含むことで、各レンズ面の屈折力を小さくすることができる。このため、色収差の発生を抑えながら高い開口数を実現することができる。
第1接合レンズに含まれる正の屈折力を有するレンズは、物体側に平面を向けた平凸レンズであることが望ましい。対物レンズの最も物体側のレンズ面を平面とすることによって、正立顕微鏡との組合せ時に、浸液と対物レンズとの間に気泡を溜まりにくくすることができる。
第2レンズ群に含まれる複数の接合レンズには、3枚接合レンズが含まれていることが望ましい。複数の接合レンズに3枚接合レンズが含まれることによって、より効果的な色収差補正が可能になる。
第4レンズ群は、複数のレンズ成分を含むことが望ましい。複数のレンズ成分を含むことで、少なくとも1つの空気間隔が第4レンズ群中に含まれることになる。これにより、コマ収差と倍率色収差の相関を小さくすることができるため、コマ収差と倍率色収差の両方を補正することが容易になる。
対物レンズは、以下の条件式の少なくとも1つを満たしてもよい。
0.05≦D1/H1≦0.335 (3)
0.87≦R1/R2≦1.22 (4)
0.21≦(hg2-hg1)/t1≦3 (5)
但し、H1は、第1レンズ群における軸上マージナル光線の最大光線高(以降、第1光線高と記す)である。D1は、第1光線高の軸上マージナル光線が通過するレンズの厚さである。R1は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズの物体側のレンズ面の曲率半径である。R2は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズの像側のレンズ面の曲率半径である。hg1は、第2レンズ成分の物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。hg2は、第2レンズ成分の像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。t1は、第2レンズ成分の光軸上の厚さである。
条件式(3)は、第1レンズ群内の光線高とレンズの厚さの関係を規定した式である。開口数が1.4を大きく超える液浸対物レンズでは、高次の球面収差の発生を抑えるため、正の屈折力を有する複数のレンズ面で徐々に光線を曲げる必要がある。条件式(3)を満たすことで、第1レンズ群中の光線高が高い領域に複数のレンズ面を配置することが可能となるため、高次球面収差の発生を抑えながら、高い開口数を実現することができる。
D1/H1が条件式(3)の上限値を上回ると、第1レンズ群中の光線高の高い領域に複数のレンズ面を配置することが難しくなる。このため、高次の球面収差が発生しやすくなる。D1/H1が条件式(3)の下限値を下回ると、第1レンズ群中の光線高の高い領域に存在するレンズ面の間隔が小さくなりすぎる。これにより、各レンズ面の曲率半径を小さくすることが難しくなるため、各レンズ面で十分な屈折力を得ることが困難になる。その結果、色収差の補正が困難になる。
なお、対物レンズは、条件式(3)の代わりに条件式(3−1)を満してもよい。
0.2≦D1/H1≦0.33 (3−1)
条件式(4)は、第1接合レンズに含まれるメニスカスレンズのレンズ面の曲率半径の関係について規定した式である。第1接合レンズから出射した光の光線高が高くなりすぎると色収差の補正がより困難になる。条件式(4)を満たすことで、第1接合レンズの像側のレンズ面における光線高を低くすることができるため、第1レンズ群中における光線高が高くなりすぎることを防ぐことができる。従って、高次の球面収差の発生を抑えつつ、色収差を補正することが容易になる。
R1/R2が条件式(4)の上限値を上回ると、第1接合レンズの像側の領域において光線高が低くなりすぎる。その結果、第1レンズ群で発生するペッツバール和が大きくなるため、対物レンズ全体で像面湾曲を補正することが難しくなる。R1/R2が条件式(4)の下限値を下回ると、第1接合レンズの像側の領域において光線高が高くなりすぎる。このため、高次球面収差の発生を抑えながら、色収差を補正することが難しくなる。
なお、対物レンズは、条件式(4)の代わりに条件式(4−1)を満してもよい。
0.9≦R1/R2≦1.2 (4−1)
条件式(5)は、第4レンズ群の最も物体側に配置された第2レンズ成分における光線高と第2レンズ成分の厚さの関係を規定した式である。条件式(5)を満たすことで、第2レンズ成分で光線高を大きく変化させることができる。このため、高次コマ収差を補正し、1.49を超える高開口数の対物レンズにおいて視野周辺部までコントラストの高い像を得ることができる。
(hg2-hg1)/t1が条件式(5)の上限値を上回ると、第2レンズ成分の物体側のレンズ面と像側のレンズ面の両方で光が強く屈折する。このため、高次の球面収差及びコマ収差が発生してしまい、良好な像が得られない。(hg2-hg1)/t1が条件式(5)の下限値を下回ると、1.49を超える高開口数の対物レンズにおいては、高次コマ収差を十分に補正することができない。このため、周辺部までコントラストの高い像を得ることができない。
なお、対物レンズは、条件式(5)の代わりに条件式(5−1)を満してもよい。
0.223≦(hg2-hg1)/t1≦1 (5−1)
また、対物レンズは、上述したいずれかの条件式を単独で用いても、自由に組み合わせて用いてもよく、どのような組み合わせであっても十分な効果を奏する。また、上述した条件式の上限値、下限値をそれぞれ単独に変更して新たな条件式を作成してもよく、その場合であっても、同様の効果を奏する。
以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。
[実施例1]
図1は、本実施例に係る対物レンズ1の断面図である。対物レンズ1は、物体側から順に配置された、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、第4レンズ群G4と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に配置された、接合レンズCL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL3と、両凸レンズであるレンズL4と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL1は、対物レンズ1の第1接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL2と、からなる。レンズL3及びレンズL4は、それぞれ、正の屈折力を有する単レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に配置された、接合レンズCL2と、接合レンズCL3と、接合レンズCL4と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL2は、対物レンズ1の第2接合レンズである。接合レンズCL2は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL5と、両凹レンズであるレンズL6と、両凸レンズであるレンズL7と、からなる。接合レンズCL3は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL8と、両凸レンズであるレンズL9と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL10と、からなる。接合レンズCL4は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL11と、両凹レンズであるレンズL12と、からなる。
第3レンズ群G3は、接合レンズCL5からなり、負の屈折力を有している。接合レンズCL5は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ1の第1レンズ成分である。接合レンズCL5は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL13と、両凹レンズであるレンズL14と、からなる。
第4レンズ群G4は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズL15と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL16と、からなる。レンズL15は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ1の第2レンズ成分である。
対物レンズ1の各種データは、以下のとおりである。ここで、βは、対物レンズ1の倍率である。
β=-99.9417, NAob=1.500, N0=1.5179, N1=1.75844, ν1=52.320, D1=2.210mm, H1=6.677mm, R1=-2.9072mm, R2=-2.9038mm, hg1=1.4030mm, hg2=1.6280mm, t1=1.0000mm
対物レンズ1のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大(∞)を示している。
対物レンズ1
s r d ne νs
1 INF 0.1700 1.52626 54.41
2 INF 0.1500 1.51793 41.00
3 INF 0.7500 1.52033 58.90
4 -2.9072 3.2600 1.75844 52.32
5 -2.9038 0.1200
6 -36.6893 3.3900 1.57098 71.30
7 -8.3325 0.2203
8 48.4017 2.2100 1.57098 71.30
9 -27.2881 0.1500
10 13.7087 6.6800 1.43986 94.66
11 -8.2672 0.9500 1.64132 42.41
12 20.7526 4.7200 1.43986 94.66
13 -10.2050 0.2099
14 78.1000 0.7500 1.75844 52.32
15 8.4747 5.5100 1.43986 94.66
16 -6.6481 0.7500 1.64132 42.41
17 -20.0544 0.8904
18 10.0255 2.7300 1.43986 94.66
19 -30.8626 0.7500 1.64132 42.41
20 83.4717 0.3744
21 5.5353 3.5200 1.57098 71.30
22 -13.6914 3.4100 1.75844 52.32
23 2.5913 1.8500
24 -2.6281 1.0000 1.64132 42.41
25 24.0146 2.7515
26 -73.7044 2.1500 1.74340 32.33
27 -6.7507 114.644
ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1,s2が示す面は、それぞれ物体面(カバーガラスCGの物体側の面)、カバーガラスCGの像側の面である。面番号s3,s27が示す面は、それぞれ対物レンズ1の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。
対物レンズ1は、以下で示されるように、条件式(1)から条件式(5)を満たしている。
(1) NAob/N0=0.9882
(2) 1/(N1×ν1)= 0.0109
(3) D1/H1=0.331
(4) R1/R2=1.001
(5) (hg2-hg1)/t1=0.225
図2は、対物レンズ1と組み合わせて使用される結像レンズ10の断面図である。結像レンズ10は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ10は、物体側から順に配置された、接合レンズCTL1と接合レンズCTL2からなる。接合レンズCTL1は、両凸レンズであるレンズTL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズTL2と、からなる。接合レンズCTL2は、両凸レンズであるレンズTL3と、両凹レンズであるレンズTL4と、からなる。対物レンズ1の最も像側のレンズ面(面番号s27の面)のd(mm)は結像レンズ10の最も物体側のレンズ面(面番号s1の面)までの光軸上の距離である。なお、結像レンズ10の焦点距離は179.99mmである。
結像レンズ10のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ10
s r d ne νs
1 68.7541 7.7321 1.48915 70.23
2 -37.5679 3.4742 1.81078 40.92
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83932 37.16
5 -50.7100 3.0298 1.64824 40.82
6 40.6619
図3は、対物レンズ1と結像レンズ10からなる光学系の収差図であり、対物レンズ1と結像レンズ10が形成する像面における収差を示している。図3(a)は球面収差図であり、図3(b)は正弦条件違反量を示した図であり、図3(c)は非点収差図であり、図3(d)は像高比0.7におけるコマ収差図である。なお、図中の“M”はメリディオナル成分、“S”はサジタル成分を示している。
[実施例2]
図4は、本実施例に係る対物レンズ2の断面図である。対物レンズ2は、物体側から順に配置された、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、第4レンズ群G4と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に配置された、接合レンズCL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL3と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL4と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL1は、対物レンズ2の第1接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL2と、からなる。レンズL3及びレンズL4は、それぞれ、正の屈折力を有する単レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に配置された、接合レンズCL2と、接合レンズCL3と、接合レンズCL4と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL2は、対物レンズ2の第2接合レンズである。接合レンズCL2は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL5と、両凹レンズであるレンズL6と、両凸レンズであるレンズL7と、からなる。接合レンズCL3は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL8と、両凸レンズであるレンズL9と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL10と、からなる。接合レンズCL4は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL11と、両凹レンズであるレンズL12と、からなる。
第3レンズ群G3は、接合レンズCL5からなり、負の屈折力を有している。接合レンズCL5は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ2の第1レンズ成分である。接合レンズCL5は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL13と、両凹レンズであるレンズL14と、からなる。
第4レンズ群G4は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL15と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL16と、からなる。レンズL15は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ2の第2レンズ成分である。対物レンズ2の最も像側のレンズ面(面番号s27の面)のd(mm)は結像レンズ10の最も物体側のレンズ面(面番号s1の面)までの光軸上の距離である。
対物レンズ2の各種データは、以下のとおりである。
β=−99.9363, NAob=1.500, N0=1.51793, N1=1.75844, ν1=52.320, D1=2.000mm, H1=6.508mm, R1=-3.3979mm, R2=-2.8484mm, hg1=1.3690mm, hg2=1.6390mm, t1=1.0000mm
対物レンズ2のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ2
s r d ne νs
1 INF 0.1700 1.52626 54.41
2 INF 0.1500 1.51793 41.00
3 INF 0.7300 1.52033 58.90
4 -3.3979 3.1179 1.75844 52.32
5 -2.8484 0.2246
6 -21.5029 3.0999 1.57098 71.30
7 -7.3840 0.1500
8 -43.0779 2.0000 1.57098 71.30
9 -14.0837 0.1500
10 12.5378 7.5482 1.43986 94.66
11 -7.6295 0.7748 1.64132 42.41
12 47.9219 4.2998 1.43986 94.66
13 -9.8247 0.1500
14 428.0000 0.7498 1.75844 52.32
15 10.0791 5.4967 1.43986 94.66
16 -6.6855 0.7498 1.64132 42.41
17 -27.4437 0.7908
18 10.5679 3.3501 1.57098 71.30
19 -16.2616 0.7538 1.64132 42.41
20 96.9574 0.3011
21 5.6427 3.6315 1.57098 71.30
22 -11.9358 3.3450 1.75844 52.32
23 2.3215 1.8500
24 -2.3655 1.0000 1.64132 42.41
25 -27.4646 2.7905
26 -27.4049 2.0535 1.74340 32.33
27 -6.3096 114.632
対物レンズ2は、以下で示されるように、条件式(1)から条件式(5)を満たしている。
(1) NAob/N0=0.9882
(2) 1/(N1×ν1)= 0.0109
(3) D1/H1= 0.307
(4) R1/R2= 1.193
(5) (hg2-hg1)/t1= 0.270
図5は、対物レンズ2と結像レンズ10からなる光学系の収差図であり、対物レンズ2と結像レンズ10が形成する像面における収差を示している。図5(a)は球面収差図であり、図5(b)は正弦条件違反量を示した図であり、図5(c)は非点収差図であり、図5(d)は像高比0.7におけるコマ収差図である。
[実施例3]
図6は、本実施例に係る対物レンズ3の断面図である。対物レンズ3は、物体側から順に配置された、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、第4レンズ群G4と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に配置された、接合レンズCL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL3と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL1は、対物レンズ3の第1接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズL1と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL2と、からなる。レンズL3は、正の屈折力を有する単レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に配置された、接合レンズCL2と、接合レンズCL3と、両凸レンズであるレンズL10と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズCL2は、対物レンズ3の第2接合レンズである。接合レンズCL2は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL4と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL5と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL6と、からなる。接合レンズCL3は、3枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL7と、両凸レンズであるレンズL8と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL9と、からなる。
第3レンズ群G3は、接合レンズCL4からなり、負の屈折力を有している。接合レンズCL4は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ3の第1レンズ成分である。接合レンズCL4は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズL11と、両凹レンズであるレンズL12と、からなる。
第4レンズ群G4は、接合レンズCL5からなる。接合レンズCL5は、2枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL13と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズL14と、からなる。接合レンズCL5は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ3の第2レンズ成分である。対物レンズ3の最も像側のレンズ面(面番号s23の面)のd(mm)は結像レンズ10の最も物体側のレンズ面(面番号s1の面)までの光軸上の距離である。
対物レンズ3の各種データは、以下のとおりである。
β=−60.0107, NAob=1.500, N0=1.5179, N1=1.88815, ν1=40.760, D1= 1.3057mm, H1= 5.387mm, R1= -3.0323mm, R2= -3.3067mm, hg1= 2.7620mm, hg2= 5.5660mm, t1= 7.0799mm
対物レンズ3のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ3
s r d ne νs
1 INF 0.1700 1.52626 54.41
2 INF 0.1517 1.51793 41.00
3 INF 0.7556 1.51825 64.14
4 -3.0323 3.6488 1.88815 40.76
5 -3.3067 0.1000
6 -10.0000 1.3057 1.88815 40.76
7 -7.6719 0.1500
8 13.0236 7.3756 1.43985 94.93
9 -8.0420 0.5725 1.74341 32.26
10 -28.0828 3.6594 1.43985 94.93
11 -10.2544 0.3110
12 45.4925 0.5645 1.64132 42.41
13 14.4615 7.2751 1.43985 94.93
14 -7.8092 0.5636 1.64132 42.41
15 -32.0204 0.2501
16 12.2183 5.1408 1.43985 94.93
17 -24.5259 0.1499
18 6.3796 5.3858 1.43985 94.93
19 -12.7768 0.5784 1.64132 42.41
20 3.7146 4.2719
21 -3.3463 4.3611 1.77621 49.60
22 -11.0800 2.7188 1.79173 26.29
23 -7.3475 114.689
対物レンズ3は、以下で示されるように、条件式(1)から条件式(5)を満たしている。
(1) NAob/N0=0.9882
(2) 1/(N1×ν1)= 0.0130
(3) D1/H1= 0.242
(4) R1/R2= 0.917
(5) (hg2-hg1)/t1= 0.396
図7は、対物レンズ3と結像レンズ10からなる光学系の収差図であり、対物レンズ3と結像レンズ10が形成する像面における収差を示している。図7(a)は球面収差図であり、図7(b)は正弦条件違反量を示した図であり、図7(c)は非点収差図であり、図7(d)は像高比0.5におけるコマ収差図である。
1、2、3 対物レンズ
10 結像レンズ
CL1、CL2、CL3、CL4、CL5 接合レンズ
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
G4 第4レンズ群
G5 第5レンズ群
L1、L2、L3、L4、L5、L6、L7、L8、L9、
L10、L11、L12、L13、L14、L15、
TL1、TL2、TL3、TL4 レンズ

Claims (6)

  1. 液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
    正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる第1接合レンズと、正の屈折力を有する少なくとも1つの単レンズと、からなり、正の屈折力を有する第1レンズ群と、
    複数の接合レンズを含み、正の屈折力を有する第2レンズ群であって、最も物体側に第2接合レンズを含む、第2レンズ群と、
    像側に凹面を向けた第1レンズ成分からなり、負の屈折力を有する第3レンズ群と、
    最も物体側に、物体側に凹面を向けた第2レンズ成分を含む第4レンズ群と、からなり、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    0.986≦NAob/N0≦0.995 (1)
    0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015 (2)
    但し、NAobは、前記顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、N0は、前記顕微鏡対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率、N1は、前記第1接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズのe線に対する屈折率、ν1は、前記メニスカスレンズのd線に対するアッベ数である。
  2. 請求項1に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    0.05≦D1/H1≦0.335 (3)
    但し、H1は、前記第1レンズ群における軸上マージナル光線の最大光線高である第1光線高、D1は、前記第1光線高の軸上マージナル光線が通過するレンズの厚さである。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    前記第1レンズ群は、正の屈折力を有する複数の単レンズを含む
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    0.87≦R1/R2≦1.22 (4)
    但し、R1は、前記第1接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズの物体側のレンズ面の曲率半径、R2は、前記第1接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズの像側のレンズ面の曲率半径である。
  5. 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    第4レンズ群は、複数のレンズ成分を含む
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    0.21≦(hg2-hg1)/t1≦3 (5)
    但し、hg1は、前記第2レンズ成分の物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、hg2は、前記第2レンズ成分の像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、t1は、前記第2レンズ成分の光軸上の厚さである。
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