JP5993250B2 - 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 - Google Patents
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Description
第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
第2レンズ群は、接合レンズからなり、
第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、正レンズは負レンズから離れた位置に配置され、
以下の条件式(1)を満足することを特徴とする。
1.7≦ndLpG1 (1)
ここで、
ndLpG1は、第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
である。
第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
第2レンズ群は、接合レンズからなり、
第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、
以下の条件式(1)、(2)、(3−1)を満足することを特徴とする。
1.7≦nd LpG1 (1)
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|R ceG1 /f|≦0.7 (3−1)
ここで、
nd LpG1 は、第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
Dは、物体面から液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
R ceG1 は、第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
である。
第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
第2レンズ群は、接合レンズからなり、
第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、
以下の条件式(2)、(3−1)、(4)を満足することを特徴とする。
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|R ceG1 /f|≦0.7 (3−1)
0.72≦H G5 /H G2 ≦0.9 (4)
ここで、
Dは、物体面から液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
R ceG1 は、第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
H G2 は、第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
H G5 は、第5レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
である。
1.7≦ndLpG1 (1)
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
ここで、
ndLpG1は、第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
Dは、物体面から液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
RceG1は、第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
である。
1.7≦ndLpG1≦1.95 (1−1)
|RceG1/f|≦0.7 (3)
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
0.3≦|RceG1/f|≦0.65 (3−2)
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
0.72≦HG5/HG2≦0.9 (4)
ここで、
Dは、物体面から液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
RceG1は、第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
HG2は、第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
HG5は、第5レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
である。
0.74≦HG5/HG2≦0.85(4−1)
1.7≦ndLpG1 (1)
ここで、
ndLpG1は、第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
である。
条件式(4)の技術的意義は、第2実施形態の対物レンズの説明で述べたとおりである。また、本実施形態の対物レンズにおいても、条件式(4)に代えて、条件式(4−1)を満足することが好ましい。
0.7≦HG4/HG2≦0.9 (5)
ここで、
HG2は、第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
HG4は、第4レンズ群に入射する軸上マージナル光線の光線高、
である。
0.73≦HG4/HG2≦0.85 (5−1)
|fG3/f|≦150 (9)
ここで、
fG3は、第3レンズ群の焦点距離、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。
|RceG1/f|≦0.7 (3)
ここで、
RceG1は、第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
fは、液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。
25≦νdLnG5-νdLpG5≦60 (6)
ここで、
νdLnG5は、第5レンズ群の負レンズのアッベ数、
νdLpG5は、第5レンズ群の正レンズのアッベ数、
である。
30≦νdLnG5-νdLpG5≦45 (6−1)
1.65≦ndLpG5≦1.85 (7)
ここで、
ndLpG5は、第5レンズ群の正レンズのd線に対する屈折率、
である。
25≦νdLpG5≦41 (8)
ここで、
νdLpG5は、第5レンズ群の正レンズのアッベ数、
である。
nd νd
カバーガラス 1.521 56.02
シリコーンオイル 1.4041 51.9
単位mm
NA=1.25、f=4.5mm、β=−40、WD=0.32mm
面データ
面番号 r d nd νd
物体面 ∞ 0.1700 1.52100 56.02
1 ∞ 0.3200 1.40409 51.90
2 ∞ 0.4000 1.45852 67.83
3 -1.3950 3.5322 1.88300 40.76
4 -3.4321 0.1500
5 -9.2837 4.3116 1.77250 49.60
6 -6.8665 0.2000
7 14.0638 6.5471 1.43875 94.93
8 -10.0223 0.7870 1.63775 42.41
9 ∞ 3.0478 1.43875 94.93
10 -13.7747 0.5576
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各種データ
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単位mm
NA=1.25、f=4.5mm、β=−40、WD=0.32mm
面データ
面番号 r d nd νd
物体面 ∞ 0.1700 1.52100 56.02
1 ∞ 0.3200 1.40409 51.90
2 ∞ 0.4000 1.45852 67.83
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23 -9.4770
各種データ
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単位mm
NA=1.25、f=4.5mm、β=−40、WD=0.32mm
面データ
面番号 r d nd νd
物体面 ∞ 0.1700 1.52100 56.02
1 ∞ 0.3200 1.40409 51.90
2 ∞ 0.2476 1.45852 67.83
3 -1.4962 3.5501 1.88300 40.76
4 -3.2760 0.1500
5 -9.5679 4.2848 1.71299 53.87
6 -6.6319 0.2000
7 11.4309 6.8168 1.43875 94.93
8 -10.1207 0.8415 1.63775 42.41
9 ∞ 2.5617 1.43875 94.93
10 -15.1568 0.5524
11 -62.2065 0.8521 1.63775 42.41
12 8.0070 6.8291 1.43875 94.93
13 -15.8534 0.1100
14 19.6335 3.1256 1.43875 94.93
15 -23.2331 0.8000 1.63775 42.41
16 132.0697 0.3481
17 7.6700 5.1853 1.59522 67.74
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19 5.4212 3.8032
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各種データ
dCG d1 d10 d16
0.13 0.3560 0.3726 0.5280
0.17 0.3200 0.5524 0.3481
0.19 0.3021 0.6506 0.2500
単位mm
NA=1.25、f=4.5mm、β=−40、WD=0.32mm
面データ
面番号 r d nd νd
物体面 ∞ 0.1700 1.52100 56.02
1 ∞ 0.3200 1.40409 51.90
2 ∞ 0.4400 1.45852 67.83
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7 12.1532 7.1087 1.43875 94.93
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単位mm
NA=1.25、f=4.5mm、β=−40、WD=0.32mm
面データ
面番号 r d nd νd
物体面 ∞ 0.1700 1.52100 56.02
1 ∞ 0.3200 1.40409 51.90
2 ∞ 0.7336 1.45852 67.83
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各種データ
dCG d1 d10 d16
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単位mm
面番号 r d nd νd
1 68.7541 7.7321 1.48749 70.23
2 -37.5679 3.4742 1.80610 40.92
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83400 37.16
5 -50.7100 3.0298 1.64450 40.82
6 40.6619
焦点距離 180
条件式 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4 実施例5
(1)ndLpG1 1.77250 1.77250 1.71299 1.88300 1.71299
(2)D/f 11.1 11.1 11.1 11.1 11.1
(3)|RceG1/f| 0.310 0.392 0.333 0.328 0.650
(4)HG5/HG2 0.742 0.802 0.852 0.747 0.742
(5)HG4/HG2 0.740 0.814 0.834 0.782 0.778
(6)νdLnG5-νdLpG5 31.88 31.88 34.3 40.39 31.88
(7)ndLpG5 1.73800 1.73800 1.80000 1.80000 1.73800
(8)νdLpG5 32.26 32.26 29.84 29.84 32.26
(9)|fG3/f| 94.42 31.02 26.37 129.92 31.98
要素 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4 実施例5
f 4.5 4.5 4.5 4.5 4.5
D 49.936 49.768 49.738 49.86 49.86
RceG1 -1.3950 -1.7624 -1.4962 -1.4746 -2.9249
HG2 7.558 6.985 6.585 7.599 7.559
HG4 5.592 5.690 5.498 5.940 5.882
HG5 5.608 5.601 5.610 5.679 5.606
νdLnG5 64.14 64.14 64.14 70.23 64.14
νdLpG5 32.26 32.26 29.84 29.84 32.26
fG3 424.87 139.57 118.64 584.65 143.919
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
G4 第4レンズ群
G5 第5レンズ群
1 本体
2 対物レンズ
3 レボルバ
4 対物レンズ上下機構
5 ステージ
6 落射照明装置
7 観察鏡筒
8 共焦点スキャナー
9 試料
10 顕微鏡
20 画像処理装置
21 画像表示装置
Claims (9)
- 物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、正の屈折力を持つ第2レンズ群と、第3レンズ群と、第4レンズ群と、第5レンズ群と、からなり、
前記第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
前記第2レンズ群は、接合レンズからなり、
前記第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
前記第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
前記第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、前記正レンズは前記負レンズから離れた位置に配置され、
以下の条件式(1)を満足することを特徴とする液浸顕微鏡対物レンズ。
1.7≦ndLpG1 (1)
ここで、
ndLpG1は、前記第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
である。 - 以下の条件式(2)を満足することを特徴とする請求項1に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
9≦D/f≦13 (2)
ここで、
Dは、物体面から前記液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、前記液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。 - 以下の条件式(3−1)を満足することを特徴とする請求項2に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
ここで、
RceG1は、前記第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
fは、前記液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。 - 以下の条件式(4)を満足することを特徴とする請求項3に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.72≦HG5/HG2≦0.9 (4)
ここで、
HG2は、前記第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
HG5は、前記第5レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
である。 - 以下の条件式(5)を満足することを特徴とする請求4に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.7≦HG4/HG2≦0.9 (5)
ここで、
HG2は、前記第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
HG4は、前記第4レンズ群に入射する軸上マージナル光線の光線高、
である。 - 前記第3レンズ群は光軸方向に移動可能であり、
以下の条件式(9)を満足することを特徴とする請求項5に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
|fG3/f|≦150 (9)
ここで、
fG3は、前記第3レンズ群の焦点距離、
fは、前記液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。 - 物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、正の屈折力を持つ第2レンズ群と、第3レンズ群と、第4レンズ群と、第5レンズ群と、からなり、
前記第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
前記第2レンズ群は、接合レンズからなり、
前記第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
前記第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
前記第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、
以下の条件式(1)、(2)、(3−1)を満足することを特徴とする液浸顕微鏡対物レンズ。
1.7≦ndLpG1 (1)
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
ここで、
ndLpG1は、前記第1レンズ群において最も屈折率が高く、且つ、正の屈折力を持つ単レンズのd線に対する屈折率、
Dは、物体面から前記液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、前記液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
RceG1は、前記第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
である。 - 物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、正の屈折力を持つ第2レンズ群と、第3レンズ群と、第4レンズ群と、第5レンズ群と、からなり、
前記第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとが接合された接合レンズと、正の屈折力を持つ単レンズと、を含み、
前記第2レンズ群は、接合レンズからなり、
前記第3レンズ群は、少なくとも1つの接合レンズを含み、
前記第4レンズ群は、像側に凹面を向けたメニスカス形状であり、
前記第5レンズ群は、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、を含み、
以下の条件式(2)、(3−1)、(4)を満足することを特徴とする液浸顕微鏡対物レンズ。
9≦D/f≦13 (2)
0.28≦|RceG1/f|≦0.7 (3−1)
0.72≦HG5/HG2≦0.9 (4)
ここで、
Dは、物体面から前記液浸顕微鏡対物レンズ最終面までの距離、
fは、前記液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
RceG1は、前記第1レンズ群の接合レンズの接合面における曲率半径、
HG2は、前記第2レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
HG5は、前記第5レンズ群から射出する軸上マージナル光線の光線高、
である。 - 光源と、照明光学系と、本体部と、観察光学系と、顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡であって、
前記顕微鏡対物レンズに請求項1〜8のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズが用いられることを特徴とする顕微鏡。
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