JP2019176013A - スイッチング素子の製造方法 - Google Patents
スイッチング素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019176013A JP2019176013A JP2018062788A JP2018062788A JP2019176013A JP 2019176013 A JP2019176013 A JP 2019176013A JP 2018062788 A JP2018062788 A JP 2018062788A JP 2018062788 A JP2018062788 A JP 2018062788A JP 2019176013 A JP2019176013 A JP 2019176013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- region
- connection
- insulating film
- switching element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 62
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 44
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 claims abstract description 41
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 7
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 4
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Thyristors (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
12 :半導体基板
22a :第1トレンチ
22b :第2トレンチ
22c :第3トレンチ
22d :接続トレンチ
22d−1 :端面
22d−2 :端面
22d−3 :底面
22d−4 :境界部
23a :接続部
23b :接続部
23c :接続部
24 :ゲート絶縁膜
26 :ゲート電極
28 :層間絶縁膜
30 :ソース領域
31 :ボディコンタクト領域
32 :ボディ領域
34 :ドリフト領域
35 :ドレイン領域
36 :底部領域
38 :接続領域
39 :無効領域
40 :高濃度領域
70 :上部電極
72 :下部電極
Claims (2)
- スイッチング素子の製造方法であって、
前記スイッチング素子が、
半導体基板と、
前記半導体基板の上面に間隔を開けて設けられている第1トレンチ、第2トレンチ、及び、第3トレンチと、
前記半導体基板の前記上面に設けられており、前記第2トレンチを横断して前記第1トレンチから前記第3トレンチまで伸びている接続トレンチと、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチ内に配置されているゲート絶縁膜と、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチ内に配置されており、前記ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極、
を有し、
前記半導体基板が、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチのそれぞれの側面の上端部において前記ゲート絶縁膜に接するn型の第1半導体領域と、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチのそれぞれの側面において前記第1半導体領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接するp型のボディ領域と、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチのそれぞれの側面において前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接し、前記ボディ領域によって前記第1半導体領域から分離されているn型の第2半導体領域と、
前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、及び、前記第3トレンチのそれぞれの底面において前記ゲート絶縁膜に接し、前記第2半導体領域に接するp型の底部領域と、
前記第1トレンチの側面において前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域と前記底部領域を接続するp型の接続領域、
を有しており、
前記製造方法が、
前記半導体基板の前記上面に、前記第1トレンチ、前記第2トレンチ、前記第3トレンチ、及び、前記接続トレンチを形成する工程と、
前記半導体基板の前記上面の垂線に対して傾斜するとともに前記接続トレンチに沿う方向に沿ってp型不純物を照射して前記接続トレンチの端面を構成する部分の前記第1トレンチの側面にp型不純物を注入することによって、前記接続領域を形成する工程、
を有するスイッチング素子の製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極が、前記接続トレンチ内に配置されており、
前記第1半導体領域が、前記接続トレンチの側面の上端部において前記ゲート絶縁膜に接しており、
前記ボディ領域が、前記接続トレンチの側面において前記第1半導体領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、
前記第2半導体領域が、前記接続トレンチの側面において前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、
前記第2トレンチと前記接続トレンチの交差部に面する角部の上端部に、p型の無効領域を形成する工程をさらに有する、請求項1のスイッチング素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018062788A JP7107718B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | スイッチング素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018062788A JP7107718B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | スイッチング素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019176013A true JP2019176013A (ja) | 2019-10-10 |
JP7107718B2 JP7107718B2 (ja) | 2022-07-27 |
Family
ID=68167373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018062788A Active JP7107718B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | スイッチング素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7107718B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021086910A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | トヨタ自動車株式会社 | スイッチング素子 |
WO2022138743A1 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04162572A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2004522319A (ja) * | 2001-07-24 | 2004-07-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ショットキー障壁を持つ半導体デバイスの製造 |
WO2016157606A1 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2017037921A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | トヨタ自動車株式会社 | Igbt |
WO2017033315A1 (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子 |
JP2017063082A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | トヨタ自動車株式会社 | 絶縁ゲート型スイッチング素子とその製造方法 |
JP2017195224A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | トヨタ自動車株式会社 | スイッチング素子 |
-
2018
- 2018-03-28 JP JP2018062788A patent/JP7107718B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04162572A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2004522319A (ja) * | 2001-07-24 | 2004-07-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ショットキー障壁を持つ半導体デバイスの製造 |
WO2016157606A1 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2017037921A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | トヨタ自動車株式会社 | Igbt |
WO2017033315A1 (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子 |
JP2017063082A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | トヨタ自動車株式会社 | 絶縁ゲート型スイッチング素子とその製造方法 |
JP2017195224A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | トヨタ自動車株式会社 | スイッチング素子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021086910A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | トヨタ自動車株式会社 | スイッチング素子 |
JP7251454B2 (ja) | 2019-11-27 | 2023-04-04 | 株式会社デンソー | スイッチング素子 |
WO2022138743A1 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
JP7439746B2 (ja) | 2020-12-23 | 2024-02-28 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7107718B2 (ja) | 2022-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4915221B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5791821B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP5342752B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR101701667B1 (ko) | 트렌치 게이트 전극을 이용하는 igbt | |
JP2008251620A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP6606007B2 (ja) | スイッチング素子 | |
JP6571467B2 (ja) | 絶縁ゲート型スイッチング素子とその製造方法 | |
JP6563639B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2019079833A (ja) | スイッチング素子とその製造方法 | |
JP2019087611A (ja) | スイッチング素子とその製造方法 | |
JP2015095618A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2018152504A (ja) | 半導体装置 | |
JP2016100466A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP7107718B2 (ja) | スイッチング素子の製造方法 | |
JP2015023115A (ja) | ショットキーダイオードを内蔵するfet | |
JP2017191817A (ja) | スイッチング素子の製造方法 | |
JP2020064910A (ja) | スイッチング素子 | |
CN112701153A (zh) | 具有注入拖尾补偿区的碳化硅器件 | |
JP2017174961A (ja) | スイッチング素子の製造方法 | |
JP6992476B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6152861B2 (ja) | ダイオードの製造方法 | |
CN114388612A (zh) | 半导体装置及半导体装置的制造方法 | |
JP2020126932A (ja) | トレンチゲート型半導体装置 | |
JP7405230B2 (ja) | スイッチング素子 | |
JP7230477B2 (ja) | トレンチゲート型のスイッチング素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20201130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20201130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7107718 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |