JP2019169662A - 半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特許文献1に記載されている。
絶縁膜102(m)と犠牲膜103(n)を所定回数、交互に形成することで、図1に記載の積層絶縁膜102,103が形成される。本実施形態においては、絶縁膜102を8層(絶縁膜102(1)・・・絶縁膜(m)・・・絶縁膜102(8))、犠牲膜103を8層(犠牲膜103(1)・・・犠牲膜(n)・・・犠牲膜103(8))を交互に形成する。なお、絶縁膜102(m)は、下方から順に、絶縁膜102(1)、絶縁膜102(2)、絶縁膜102(3)、・・・絶縁膜102(8)が構成される。なお、犠牲膜103(n)は、下方から順に、犠牲膜103(1)、犠牲膜103(2)、・・・、犠牲膜103(8)が構成される。なお、ここでは、絶縁膜102と犠牲膜103とをそれぞれ、8層ずつ形成したが、これに限らず、16,25,32,48,50,64,72・・・と増やしても良い。
最上部の犠牲膜103(8)の上には、第2絶縁膜(単に絶縁膜とも言う)105が形成される。第2絶縁膜105は絶縁膜102と同様の方法で形成するものであり。絶縁膜102よりも厚膜で構成される。
続いて、積層絶縁膜102,103や第2絶縁膜105にホール形成工程S106を施し、複数のチャネルホール106を形成する。
チャネルホール106の形成後、ホール充填工程S108が行われる。これにより、チャネルホール106内には、穴の最外周から保護膜107、電荷トラップ膜[(ゲート電極間絶縁膜-電荷トラップ膜-トンネル絶縁膜)の積層膜]108、チャネル膜109,110が形成されている。なお、チャネル膜109,110は、CSL101と接続される様に構成されている。
この様な基板100aに対して、犠牲膜103をエッチングする工程が行われる。これにより、図1の状態Bに示す基板100bが形成される。基板100bは、犠牲膜103が取り除かれ、犠牲膜103が形成されていた位置に空隙111(l)が形成される。ここでは、下方から順に、空隙111(1)、空隙111(2)、・・・空隙111(l)・・・、空隙111(8)が形成される。
次に、図1の基板状態Bに示す基板100bに対して、導電膜形成工程S112を施し、電極となる導電膜112を空隙111に形成する。導電膜形成工程S112が施された基板100cを図2に示す。導電膜は例えばタングステン等で構成される。ここでは、導電膜112(o)は、下方から順に、導電膜112(1)、導電膜112(2)、・・・導電膜112(o)・・・、導電膜112(8)が構成される。
次に、図2の基板状態Cに示す基板100cに対して、第3絶縁膜120を形成する。第3絶縁膜形成工程S114が施された基板100dを図2に示す。第3絶縁膜120は、絶縁膜102や第2絶縁膜105と同様の方法で形成される。第3絶縁膜120が形成された基板100dの状態を、図2の基板状態Dに示す。
次に、図2の基板状態Dに示す基板100dに対して、第3絶縁膜120にコンタクトホール121が形成される。コンタクトホール121が形成された基板100eの状態を、図3の基板状態Eに示す。
次に、図3の基板状態Eに示す基板100eに対して、図3Fのようにコンタクトプラグ膜122が成膜される。コンタクトプラグ膜122は、コンタクトホール121内を埋め、チャネル膜110と電気的に接続される様に形成される。なお、コンタクトプラグ膜122は、例えば、タングステン(W)を含む膜で構成される。
1)積層絶縁膜形成において、積層絶縁膜の層数が多くなるにつれ、後述の基板処理装置での昇温工程,処理工程,降温工程での基板の歪みが大きくなること。
2)積層絶縁膜の層数が多くなるにつれ、基板の歪みが大きくなり、チャネルホール106内の充填密度が低下してしまうこと。
3)積層絶縁膜の層数が多くなるにつれ、基板の歪みが大きくなり、保護膜107や電荷トラップ膜108のチャネルホール106の上端から下端までの膜厚の均一性が低下してしまうこと。
4)積層絶縁膜の層数が多くなるにつれ、基板の歪みが大きくなり、基板100c上へのコンタクトプラグ膜の形成時に、基板の歪みが大きくなること。
5)プラズマ処理した場合に、基板100のチャージアップ(帯電)量が増加し、チャージアップダメージ発生,後述の基板支持部210への張り付き強度増大してしまう。
基板処理装置200は処理容器202を備えている。処理容器202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。処理容器202内には、基板としてのシリコンウエハ等の基板100を処理する処理室201、移載室203が形成されている。処理容器202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切部材204が設けられる。上部処理容器202aに囲まれた空間であって、仕切部材204よりも上方の空間を構成する部屋を処理室201と呼び、下部容器202bに囲まれた空間であって、仕切部材204よりも下方の空間を構成する部屋を移載室203と呼ぶ。
処理室201(上部容器202a)の側面側には、処理室201の雰囲気を排気する第1排気部としての第1排気口221が設けられている。第1排気口221には排気管224が接続されており、排気管224には、処理室201内を所定の圧力に制御するAPC等の圧力調整器227と真空ポンプ223が順に直列に接続されている。主に、第1排気口221、排気管224、圧力調整器227により第一の排気部(排気ライン)が構成される。なお、真空ポンプ223も第一の排気部の構成としても良い。なお、本開示で単に『排気部』と記載している構成は、第一の排気部を意味する。また、移載室203の側面側には、移載室203の雰囲気を排気する第2排気口1481が設けられている。また、第2排気口1481には排気管1482が設けられている。排気管1482には、圧力調整器228が設けられ、移載室203内の圧力を所定の圧力に排気可能に構成されている。また、移載室203を介して処理室201内の雰囲気を排気することもできる。また、圧力調整器227は、圧力データや、弁開度のデータをコントローラ260と送受信可能に構成される。また、真空ポンプ223は、ポンプのON/OFFデータや負荷データ等をコントローラ260に送信可能に構成される。
処理室201の上部に設けられるシャワーヘッド234の上面(天井壁)には、蓋231が設けられている。蓋231には処理室201内に各種ガスを供給するためのガス導入口241が設けられている。ガス供給部であるガス導入口241に接続される各ガス供給ユニットの構成については後述する。
ガス分散ユニットとしてのシャワーヘッド234は、バッファ室232、分散板244aを有する。なお、分散板244aは、第1活性化部としての第1電極244bとして構成されていても良い。分散板244aには、ガスを基板100に分散供給する孔234aが複数設けられている。シャワーヘッド234は、ガス導入口241と処理室201との間に設けられている。ガス導入口241から導入されるガスは、シャワーヘッド234のバッファ室232(分散部とも呼ぶ。)に供給され、孔234aを介して処理室201に供給される。
活性化部としての第1電極244bが設けられている場合の構成について説明する。活性化部としての第1電極244bには、整合器251と高周波電源部252が接続され、電磁波(高周波電力やマイクロ波)が供給可能に構成されている。これにより、処理室201内に供給されたガスを活性化させることができる。また、第1電極244bは、容量結合型のプラズマを生成可能に構成される。具体的には、第1電極244bは、導電性の板状に形成され、上部容器202aに支持されるように構成される。活性化部は、少なくとも第1電極244b、整合器251、高周波電源部252で構成される。なお、第1電極244bと高周波電源252との間に、インピーダンス計254を設けても良い。インピーダンス計254を設けることによって、測定されたインピーダンスに基づいて、整合器251、高周波電源252をフィードバック制御することができる。また、高周波電源252は、電力データをコントローラ260と送受信可能に構成され、整合器251は、整合データ(進行波データ、反射波データ)をコントローラ260と送受信可能に構成され、インピーダンス計254は、インピーダンスデータをコントローラ260と送受信可能に構成される。
ガス導入口241には、共通ガス供給管242が接続されている。共通ガス供給管242は、管の内部で連通しており、共通ガス供給管242から供給されるガスは、ガス導入口241を介してシャワーヘッド234内に供給される。
第1ガス供給管113aには、上流方向から順に、第1ガス供給源113、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)115、及び開閉弁であるバルブ116が設けられている。
第2ガス供給管123aには、上流方向から順に、第2ガス供給源123、MFC125、バルブ126が設けられている。
第3ガス供給管133aには、上流方向から順に、第3ガス供給源133、MFC135、バルブ136が設けられている。
図5に示すように基板処理装置200は、基板処理装置200の各部の動作を制御するコントローラ260を有している。
次に、半導体装置(半導体デバイス)の製造工程の一工程として、上述の基板データを基に、基板処理装置の各部の装置パラメータを設定することで基板の昇温レートを変更して、基板を加熱する工程と、基板上に成膜した後に、基板データを基に基板の降温レートを変更して基板を冷却する工程とを含む基板処理工程例について、図8、図9、図10、図11、図12、図14を用いて説明する。
まず、基板処理装置の各部の装置パラメータ設定工程について図8を用いて説明する。装置パラメータ設定工程は、基板データ取得工程S200と、データ比較工程S202、パラメータの変更判定工程S203を有し、パラメータ変更判定工程S203の判定内容によって、装置パラメータを変更せずに終了させるか、パラメータ変更工程S205を行って終了させる。
まず、基板処理装置100で処理される基板100に付随する基板データを取得する工程が行われる。ここで、基板データとは、基板100の状態を示すデータ、基板100に形成されるデバイスの製品名データ、基板処理装置100で行われる処理工程名データ、基板100に形成される層数、基板100に形成されるデバイス構造、等である。この基板データの取得は、ネットワーク268を介して、上位装置500や、第2制御部274、他の基板処理装置100から送信される基板データを受信することで行われる。なお、基板処理装置100を操作するオペレーターが入出力装置269に入力したデータから取得しても良い。
次のデータ比較工程S202が実行される前までに、装置データ取得工程S201が行われる。装置データ取得工程S201では、基板処理装置100に設けられた各部の現在の設定パラメータデータを取得される。現在の設定パラメータデータは、各部から読み出しても良いし、RAM262や記憶装置263に記録されたデータを読み出しても良い。読み出されたデータは、図11に示すテーブルの内、現在設定のテーブルに格納される。
データ比較工程S202では、CPU261で、図11に示す基板データに対応する装置パラメータデータと、現在設定値とが比較演算が行われる。
データ比較工程S202で比較演算された後、変更判定工程が行われる。データ比較工程S202で比較演算された結果、基板データに対応する装置パラメータデータと現在設定値に差異が無ければ、設定の変更不要(No判定)として、処理を終了させる。装置パラメータデータと現在設定値に差異が有る場合は、設定変更要(Yes判定)とし、パラメータ変更工程S205を行わせる。なお、パラメータ変更工程S205を実行させる前に、変更報知工程S204を行わせても良い。
変更報知工程S204では、基板処理装置100の各部のパラメータについて、変更が必要な旨を報知する。具体的には、変更要のメッセージ(データ)を、表示画面270と、第2制御部274と、上位装置500の少なくともいずれかに送信することで行われる。
パラメータ変更工程S205では、受信した基板データに対応する装置パラメータデータを新たな設定データとして、基板処理装置100各部の設定値を更新させる。
次に基板処理工程について図9を用いて説明する。
成膜処理に際しては、先ず、基板100を処理空間201に搬入させる。具体的には、基板支持部210を昇降部218によって下降させ、リフトピン207が貫通孔214から基板支持部210の上面側に突出させた状態にする。例えば、図10に示す状態である。また、処理空間201内や移載室203を所定の圧力に調圧した後、ゲートバルブ1490を開放し、ゲートバルブ1490からリフトピン207上に基板100を載置させる。基板100をリフトピン207上に載置させた後、ゲートバルブ1490を閉じ、昇降部218によって基板支持部210を所定の位置まで上昇させることによって、基板100が、リフトピン207から基板支持部210へ載置されるようになる。続いて、処理空間201内が所定の圧力(真空度)となるように、排気管224と排気管1481とのいずれか又は両方を介して処理空間201内を排気しても良い。この際、圧力センサ(不図示)が計測した圧力値に基づき、圧力調整器227の弁開度と圧力調整器228の弁開度とのいずれか又は両方をフィードバック制御する。
基板100の昇温は、少なくとも2段階で行われる。第1段階目の昇温(第1昇温工程S302a)が行われ、その後、第2段階目の昇温(第2昇温工程S302b)が行われる。
第1昇温工程S302aは、基板100をリフトピン207で保持し、基板載置台210と離間させた状態で行われる。この時の昇温レートは、上述の様に基板データを基に装置パラメータが変更された状態で行われる。基板100が所定の温度に昇温された後、または所定時間経過後、リフトピン207を下降または基板載置台210を上昇させる。この動作により、基板100がリフトピン207から基板載置台210に移載され、第2昇温工程S302bが開始される。
第2昇温工程S302bでは、基板100を基板載置台210で支持した状態で、所定時間保持させる。所定時間保持した後、あるいは、基板100が所定温度に到達した後、次の成膜工程S303が行われる。この様に、基板100の昇温レートを変化させて基板100を昇温させることで、多層積層構造を有した基板100であっても、基板100や基板100上に形成された構造を歪むことを抑制させることが可能となる。
成膜工程S303では、後述の第1ガス供給工程S304とパージ工程S305と第2ガス供給工程S306とパージ工程S307とを有する。なお、ここでは、これらの工程を直列に行う例を示しているが、第1ガス供給工程S304と第2ガス供給工程S306との実行期間の一部が重なる様に並行して行っても良い。なお、第1ガス供給工程S304と第2ガス供給工程S306とを並行して実行させる場合は、パージ工程S305とパージ工程S307とを並行して行っても良いし、一方のパージ工程を省略させても良い。
第1ガス供給工程S304では、第1ガス供給部から処理室201内に第1ガス(処理ガス)としてのWF6ガスを供給する。具体的には、第1ガス供給源113から供給されたWF6ガスをMFC115で流量調整した後、基板処理装置200に供給する。流量調整されたWF6ガスは、バッファ室232を通り、シャワーヘッド234のガス供給孔234aから、減圧状態の処理室201内に供給される。また、排気系による処理室201内の排気を継続し処理室201内の圧力を所定の圧力範囲(第1圧力)となるように制御する。このとき、基板100に対してWF6ガスが供給されることとなる。WF6ガスは、所定の圧力(第1圧力:例えば10Pa以上1000Pa以下)で処理室201内に供給する。このようにして、基板100にWF6ガスを供給する。WF6ガスが供給されることにより、基板100上に、タングステン含有層が形成される。
基板100上にタングステン含有層が形成された後、バルブ116を閉じ、WF6ガスの供給を停止する。第1ガスを停止することで、処理室201中に存在する第1ガスや、バッファ室232の中に存在する処理ガスを第1の排気部から排気されることによりパージ工程S305が行われる。
パージ工程S304の後、第2ガス供給部から、処理室201内に第2ガス(処理ガスまたは反応ガスとも呼ぶ)としての、SiH4ガスを供給する。具体的には、バルブ126を開け、ガス導入口241、バッファ室232、複数の孔234aを介して、処理室201内にSiH4ガスを供給する。
パージ工程S305と同様の動作によって、パージ工程S307が行われる。例えば、処理室201内に存在する第2ガスや、バッファ室232内に存在する第2ガスは、第2ガスの供給を停止すると共に、排気部から排気されることによりパージ工程S307が行われる。また、バッファ室232と処理室201にパージガスを供給して、パージを行っても良い。
パージ工程S307の終了後、コントローラ260は、上記の成膜工程S303(S304〜S307)が所定のサイクル数nが実行されたか否かを判定する。即ち、基板100上に所望の厚さのW層が形成されたか否かを判定する。上述の工程S304〜S307を1サイクルとして、このサイクルを少なくとも1回以上行うことにより、基板100上に所定膜厚のW膜を成膜することができる。
判定工程S308の後、降温工程S309では、基板データと成膜工程S303の積算時間データと、のいずれか又は両方に基づいて、基板100の降温(冷却)レートに対応する装置パラメータを設定させる。例えば、基板データの内、基板100に形成された層数が多い時は、降温レートを小さくさせる装置パラメータを設定させる。
降温工程S309で基板100が所定温度に冷却された後、ゲートバルブ1490を開き、移載室203から真空搬送室2400に基板100を搬出させる。
基板100を処理するもので、IOステージ2100、大気搬送室2200、ロードロック(L/L)2300、真空搬送室2400、基板処理装置200(200a,200b,200c,200d)で主に構成される。真空搬送室2400は、ゲートバルブ1490(1490a、1490b、1490c、1490d)を介して上述の移載室203と接続される。IOステージ2100には、基板100を複数枚格納されたPOD2001が載置可能に構成されている。真空搬送室2400内には、基板100を保持するツイーザ2900とツイーザを保持するアーム2800を有する真空搬送ロボット2700が設けられている。ここで、事前昇温とは、例えば、真空搬送室2400に設けられた第2加熱部2401により、真空搬送室2400内で、基板100やツイーザ2900を加熱することで行われる。ツイーザ2900や基板100を真空搬送室2400内で事前に加熱することで、上述のリフトピン207に基板100を載置した際に、基板100が歪んだり、反ったりすることを抑制させることが可能となる。なお、大気搬送室2200には、IOステージ2100上のPOD2001とL/L2300との間で基板100を移動させる大気搬送ロボット2220が設けられている。
200 基板処理装置
Claims (12)
- 基板上に形成されるデバイスの層数と構造の何れか又は両方を含む基板データを受信する工程と、
前記基板データに対応する装置パラメータを設定する工程と、
基板載置台の上方で前記基板データに対応する基板を支持させる工程と、
前記基板載置台の表面から離間した状態で、前記装置パラメータに基づいて、前記基板を昇温する第1昇温工程と、
前記第1昇温工程の後に前記基板を前記基板載置台に載置させる工程と、
処理室にて前記基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記第1昇温工程の後に、前記基板を前記基板載置台に載置して昇温させる第2昇温工程と、
を有し、前記第1昇温工程で設定される前記装置パラメータと前記第2昇温工程で設定される装置パラメータとを異ならせる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記装置パラメータは、前記第1昇温工程における前記基板から前記基板載置台表面までの離間距離と離間時間のいずれか又は両方である請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 更に、前記基板データに基づいて、前記基板を搬送するツイーザを加熱する工程を有する
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1昇温工程では、前記基板データに基づいて、前記基板の表面温度と前記基板の裏面温度との差が所定の範囲内となるように昇温レートが制御される請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理する工程では、前記基板に処理ガスを供給して所望の膜を形成し、
前記処理する工程の後、前記装置パラメータに基づいて、前記基板を降温する工程と、
を有する請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 基板上に形成されるデバイスの層数と構造の何れか又は両方を含む基板データを受信させる手順と、
前記基板データに対応する装置パラメータを設定させる手順と、
基板載置台の上方で前記基板データに対応する基板を支持させる手順と、
前記基板載置台の表面から離間した状態で、前記装置パラメータに基づいて、前記基板を昇温させる第1昇温手順と、
前記第1昇温工程の後に前記基板を前記基板載置台に載置させる工程と、
処理室にて前記基板を処理させる手順と、
をコンピュータが基板処理装置に実行させるプログラム。 - 前記第1昇温手順の後に、前記基板を前記基板載置台に載置して昇温させる第2昇温手順と、
を有し、前記第1昇温手順で設定される前記装置パラメータと前記第2昇温手順で設定される装置パラメータとを異ならせる請求項7に記載のプログラム。 - 前記装置パラメータは、前記第1昇温手順における前記基板から前記基板載置台表面までの離間距離と離間時間のいずれか又は両方である請求項7または請求項8に記載のプログラム。
- 基板を処理する処理室と、
前記基板を加熱する加熱部と、
前記基板を支持する基板載置台と、
前記基板上に形成されるデバイスの層数と構造の何れか又は両方を含む基板データを受信する受信部と、
前記基板データに対応する装置パラメータを設定する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記装置パラメータに基づいて、前記基板載置台の表面から離間した状態で前記装置パラメータに基づいて、前記基板を昇温する第1昇温工程と、
前記第1昇温工程の後に前記基板を前記基板載置台に載置させる工程と、
前記処理室にて前記基板を処理する工程と、を行わせる様に前記加熱部と前記基板載置台とを制御する様に構成される
基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記第1昇温工程の後に、前記基板を前記基板載置台に載置して昇温させる第2昇温工程と、を有し、
前記第1昇温工程で設定される前記装置パラメータと前記第2昇温工程で設定される装置パラメータとを異ならせる
請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記装置パラメータが、前記第1昇温工程における前記基板から前記基板載置台までの離間距離と離間時間のいずれか又は両方である様に設定する
請求項10または請求項11に記載の基板処理装置。
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