JP2019160828A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、第1実施形態に係る半導体装置の構成を説明する。
図5に示されるように、第1実施形態に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板準備工程S1と、第1ゲート絶縁膜形成工程S2と、第1導電膜成膜工程S3と、第1パターンニング工程S4と、絶縁スペーサ形成工程S5と、第2ゲート絶縁膜形成工程S6と、第2導電膜成膜工程S7と、エッチバック工程S8と、第2パターンニング工程S9とを有している。
図19に示されるように、比較例に係る半導体装置は、第1導電膜CF1と、第2導電膜CF2とを有している点に関して、第1実施形態に係る半導体装置と共通している。しかし、比較例に係る半導体装置は、第1接続部CF1a、第2接続部CF1d、第3接続部CF2a及び第4接続部CF2dが途中で切断されている点に関して、第1実施形態に係る半導体装置と異なっている。
第1実施形態に係る半導体装置は、例えば、第1導電膜CF1を1回のパターンニングにより第1接続部CF1aと、第1メモリゲート部CF1bと、第2メモリゲート部CF1cと、第2接続部CF1dとを有するようにするとともに、第1導電膜CF1を覆うように成膜された第2導電膜CF2をエッチバックすることで形成することも可能である。
以下に、第2実施形態に係る半導体装置の構成を説明する。以下においては、第1実施形態に係る半導体装置の構成と異なる点を説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。
以下に、第3実施形態に係る半導体装置の構成を説明する。以下においては、第1実施形態に係る半導体装置の構成と異なる点を説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。
Claims (12)
- 第1面を有する半導体基板と、
前記第1面上にあり、かつ平面視において周回するように形成された第1導電膜と、
前記第1面上にあり、かつ平面視において前記第1導電膜の外周を取り囲む第2導電膜と、
前記第1導電膜と前記第2導電膜との間にある第1絶縁スペーサと、
前記第1面と前記第1導電膜との間にあり、かつ前記第1導電膜と前記半導体基板との間の電圧の変化により電荷の蓄積量が変化する第1ゲート絶縁膜と、
前記第1面と前記第2導電膜との間にある第2ゲート絶縁膜とを備え、
前記第1導電膜は、第1メモリゲート部と、第2メモリゲート部とを有し、
平面視において、前記第1メモリゲート部及び前記第2メモリゲート部は、第1方向において互いに離間し、かつ前記第1方向に直交する第2方向に沿って延在し、
前記第2導電膜は、前記第1メモリゲート部に沿って延在する第1制御ゲート部と、前記第2メモリゲート部に沿って延在する第2制御ゲート部とを有し、
前記半導体基板は、前記第1面にある第1ドレイン領域と、前記第1面にあるソース領域と、前記第1面にある第2ドレイン領域とを有し、
前記第1メモリゲート部及び前記第1制御ゲート部は、平面視において前記第1ドレイン領域と前記ソース領域とに挟み込まれ、
前記第2メモリゲート部及び前記第2制御ゲート部は、平面視において前記第2ドレイン領域と前記ソース領域とに挟み込まれる、半導体装置。 - 前記第2方向において前記第1導電膜から離間して配置され、かつ前記第1方向に沿って延在する第3導電膜と、
平面視において前記第3導電膜の外周を取り囲む第2絶縁スペーサとをさらに備え、
前記第2導電膜は、平面視において、前記第2絶縁スペーサを介在して前記第3導電膜の外周をさらに取り囲む、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1導電膜の上面に配置され、かつ絶縁体で構成されるハードマスクをさらに備える、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1ゲート絶縁膜は、前記第1面上に配置され、かつシリコン酸化物又はシリコン酸窒化物で構成される第1層と、前記第1層上に配置され、かつアルミニウム酸化物で構成される第2層と、前記第2層上に配置され、かつハフニウムシリケートで構成される第3層と、前記第3層上に配置され、かつアルミニウム酸化物で構成される第4層とを有する、請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第1方向に沿って延在する第1ビット線と、
前記第1方向に沿って延在する第2ビット線とをさらに備え、
前記第1ビット線は、前記第1ドレイン領域に電気的に接続され、
前記第2ビット線は、前記第2ドレイン領域に電気的に接続される、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1方向に沿って延在する第3ビット線をさらに備え、
前記第3ビット線は、前記第1ドレイン領域及び前記第2ドレイン領域に電気的に接続される、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1メモリゲート部は、前記第2方向に交差する第1切断面と、前記第2方向において前記第1切断面と離間して対向する第2切断面とを含み、
前記第2メモリゲート部は、前記第2方向に交差する第3切断面と、前記第2方向において前記第3切断面と離間して対向する第4切断面とを含み、
前記第1制御ゲート部は、前記第2方向に交差する第5切断面と、前記第2方向において前記第5切断面と離間して対向する第6切断面とを含み、
前記第2制御ゲート部は、前記第2方向に交差する第7切断面と、前記第2方向において前記第7切断面と離間して対向する第8切断面とを含み、
前記第1切断面及び前記第2切断面は、前記第5切断面と前記第6切断面との間に位置し、
前記第3切断面及び前記第4切断面は、前記第7切断面と前記第8切断面との間に位置する、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1方向に沿って延在する第3ビット線をさらに備え、
前記第3ビット線は、前記第1ドレイン領域及び前記第2ドレイン領域に電気的に接続される、請求項7に記載の半導体装置。 - 半導体基板の第1面上に第1ゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記第1ゲート絶縁膜上に第1導電膜を形成する工程と、
前記第1ゲート絶縁膜及び前記第1導電膜に対して、前記第1導電膜上に配置される第1マスクを用いて第1パターンニングを行う工程と、
前記第1導電膜の側壁に絶縁スペーサを形成する工程と、
前記第1導電膜を覆うように第2導電膜を形成する工程と、
前記第2導電膜をエッチバックする工程と、
前記第1導電膜に対して、前記第1導電膜上に配置される第2マスクを用いて第2パターンニングを行う工程とを備え、
前記第1マスクは、平面視において第1方向に平行な辺と、前記第1方向に直交する第2方向に平行な辺とを含む第1矩形形状の第1領域を覆っており、
前記第2マスクには、平面視において前記第1方向に平行な辺と、前記第2方向に平行な辺とを含む第2矩形形状の第2領域に開口が設けられ、
前記第2領域は、平面視において、前記第1領域の内側に位置する、半導体装置の製造方法。 - 前記第1マスクは、前記平面視において前記第1方向に平行な辺と、前記第2方向に平行な辺とを有する第3矩形形状の第3領域と、前記第3矩形形状の第4領域とをさらに追っており、
前記第3領域及び前記第4領域は、前記第2方向において前記第1領域に関して互いに反対側に位置し、かつ前記第2方向において前記第1領域から離間している、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1マスクは、絶縁体で構成されるハードマスクを含む、請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2パターンニングの前であって前記エッチバックの後に行われ、かつ、前記エッチバックが行われた前記第2導電膜を部分的に除去する第3パターンニングが行われる工程をさらに備え、
前記第2パターンニングが行われた前記第1導電膜は、前記第2方向に沿って延在する第1メモリゲート部と、前記第2方向に沿って延在し、かつ前記第1方向において前記第1メモリゲート部から離間して配置される第2メモリゲート部とを有し、
前記エッチバックが行われた前記第2導電膜は、前記第1メモリゲート部に沿って延在する第1制御ゲート部と、前記第2メモリゲート部に沿って延在する第2制御ゲート部とを有し、
前記第3パターンニングでは、前記第1制御ゲート部に前記第2方向に交差する第5切断面と、前記第2方向において前記第5切断面と離間して対向する第6切断面とが形成されるとともに、前記第2制御ゲート部に前記第2方向に交差する第7切断面と、前記第2方向において前記第7切断面と離間して対向する第8切断面とが形成され、
前記第2パターンニングでは、前記第1メモリゲート部に前記第2方向に交差する第1切断面と、前記第2方向において前記第1切断面と離間して対向する第2切断面とが形成されるとともに、前記第2メモリゲート部に前記第2方向に交差する第3切断面と、前記第2方向において前記第3切断面と離間して対向する第4切断面とが形成され、
前記第1切断面及び前記第2切断面は、前記第5切断面と前記第6切断面との間に位置し、
前記第3切断面及び前記第4切断面は、前記第7切断面と前記第8切断面との間に位置する、請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
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