JP2019157888A - 薬液制御弁および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】薬液の置換特性を向上させることができる薬液制御弁および基板処理装置を提供する。【解決手段】流路ブロック２１は、第１外壁２１ａと、第１外壁２１ａと直角な面である第２外壁２１ｂとを有する。ニードル４１が配置される流量調整用弁室２７は、流路ブロック２１の第１外壁２１ａが凹むように形成されている。一方、ダイアフラム５１が配置される開閉用弁室２９は、第２外壁２１ｂが凹むように形成されている。中間流路３１は、流量調整用弁室２７と開閉用弁室２９とを接続するが、中間流路３１は、第１外壁２１ａおよび第２外壁２１ｂのいずれか一方に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路３１を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示装置や有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板等の基板に対して供給される薬液を制御するための薬液制御弁およびこれを備えた基板処理装置に関する。

従来の薬液制御弁２０１は、図７に示すように、流量調整弁２０２と開閉弁（ＯＮ・ＯＦＦ弁）２０３とを備えている（例えば、特許文献１，２参照）。流量調整弁２０２は、供給する薬液の流量を調整する。一方、開閉弁２０３は、薬液を供給させ、また、薬液の供給を停止させる。流量調整弁２０２と開閉弁２０３との間は、Ｖ字流路２０５または特許文献２に記載された円弧状流路（以下、「Ｖ字流路２０５等」と呼ぶ）で接続されている。そのため、流量調整弁２０２から送られた薬液は、Ｖ字流路２０５等を通過して開閉弁２０３に送られる。

特開２００１−２６３５０７号公報 特開２０１７−２０７１２１号公報

このような従来の薬液制御弁２０１には次のような問題がある。上述のように、流量調整弁２０２から送られた薬液は、Ｖ字流路２０５等を通過して開閉弁２０３に送られる。Ｖ字流路２０５等に薬液を通過させると、薬液制御弁２０１の入口から出口までの薬液の置換特性を悪くさせるおそれがある。仮に、薬液の置換特性が悪いと、留まっている古い薬液に起因して液体中にゴミが生じるおそれがある。そのため、薬液制御弁２０１における薬液の置換特性を向上させることが好ましい。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、薬液の置換特性を向上させることができる薬液制御弁およびこれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、本発明に係る薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と直角な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びる前記中間流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記開閉用弁室と接続する第２流路と、前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る薬液制御弁によれば、流路ブロックは、第１外壁と、第１外壁と直角な面である第２外壁とを有する。ニードルが配置される流量調整用弁室は、流路ブロックの第１外壁が凹むように形成されている。一方、開閉用弁体が配置される開閉用弁室は、第２外壁が凹むように形成されている。中間流路は、流量調整用弁室と開閉用弁室とを接続するが、中間流路は、第１外壁および第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。

また、本発明に係る薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁に対して直角に延びる前記中間流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記開閉用弁室と接続する第２流路と、前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、
を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る薬液制御弁によれば、流路ブロックは、第１外壁と、第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁とを有する。ニードルが配置される流量調整用弁室は、流路ブロックの第１外壁が凹むように形成されている。一方、開閉用弁体が配置される開閉用弁室は、第２外壁が凹むように形成されている。中間流路は、流量調整用弁室と開閉用弁室とを接続するが、中間流路は、第１外壁および第２外壁に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。

また、上述の薬液制御弁において、前記第１流路および前記第２流路は各々、直線状であって、前記中間流路に対して直角に延びることが好ましい。金型に材料を流し込んで流路ブロックを形成する際に、中間流路を形成するために金型内に挿入する第１ピン部材と、第１流路および第２流路を形成するために金型内に挿入する第２ピン部材および第３ピン部材の各々とを直角に配置することができる。そのため、第１ピン部材と、第２ピン部材および第３ピン部材の各々とが斜めに配置される（直角でない）場合に比べて、中間流路、第１流路および第２流路を容易に形成することができる。

また、上述の薬液制御弁において、前記第１流路は、前記第２流路と平行であり、前記第１流路における前記流量調整用弁室と接続する部分と反対側の第１接続口は、前記第２流路における前記開閉用弁室と接続する部分と反対側の第２接続口と同じ方向を向いて開口していることが好ましい。金型に材料を流し込んで流路ブロックを形成する際に、第１流路および第２流路を形成するために金型内に挿入する第２ピン部材および第３ピン部材を同じ方向に移動することができる。そのため、第２ピン部材が金型内に挿入される向きが第３ピン部材の向きと異なる場合に比べて、第１流路および第２流路を容易に形成することができる。

また、上述の薬液制御弁において、前記流路ブロックは、ＰＦＡで形成されていることが好ましい。流路ブロックがＰＦＡで形成されると、流路ブロックの表面がその内部よりも硬い層（膜）であるスキン層で覆われる。流路ブロックの内部に薬液が染み込んでしまうと、結果的に、流路ブロックの内部からごみを引き出してしまうおそれがある。しかしながら、スキン層が薬液の染み込みを防止するので、薬液の清浄度を悪化させるおそれを抑制することができる。

また、本発明に係る基板処理装置は、基板を保持し、保持した基板を回転する保持回転部と、前記保持回転部に保持された基板に対して薬液を吐出するノズルと、前記ノズルに接続された薬液配管と、前記ノズルから吐出される薬液の流量を調整し、かつ前記ノズルから薬液を吐出させ、薬液吐出を停止させる薬液制御弁と、を備え、前記薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と直角な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びる前記中間流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、前記流路ブロックの内部に形成された第２流路であって、前記開閉用弁室と接続すると共に、前記薬液配管を介して前記ノズルに接続される前記第２流路と、前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、を備えていること特徴とするものである。

本発明に係る基板処理装置によれば、薬液制御弁を備えている。薬液制御弁において、流路ブロックは、第１外壁と、第１外壁と直角な面である第２外壁とを有する。ニードルが配置される流量調整用弁室は、流路ブロックの第１外壁が凹むように形成されている。一方、開閉用弁体が配置される開閉用弁室は、第２外壁が凹むように形成されている。中間流路は、流量調整用弁室と開閉用弁室とを接続するが、中間流路は、第１外壁および第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。

また、本発明に係る基板処理装置は、基板を保持し、保持した基板を回転する保持回転部と、前記保持回転部に保持された基板に対して薬液を吐出するノズルと、前記ノズルに接続された薬液配管と、前記ノズルから吐出される薬液の流量を調整し、かつ前記ノズルから薬液を吐出させ、薬液吐出を停止させる薬液制御弁と、を備え、前記薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁に対して直角に延びる前記中間流路と、前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、前記流路ブロックの内部に形成された第２流路であって、前記開閉用弁室と接続すると共に、前記薬液配管を介して前記ノズルに接続される前記第２流路と、前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る基板処理装置によれば、薬液制御弁を備えている。薬液制御弁において、流路ブロックは、第１外壁と、第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁とを有する。ニードルが配置される流量調整用弁室は、流路ブロックの第１外壁が凹むように形成されている。一方、開閉用弁体が配置される開閉用弁室は、第２外壁が凹むように形成されている。中間流路は、流量調整用弁室と開閉用弁室とを接続するが、中間流路は、第１外壁および第２外壁に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。

なお、本明細書は、次のような薬液制御弁の製造方法に係る発明も開示している。

（１）本発明に係る薬液制御弁の製造方法は、第１内壁および、前記第１内壁と直角な面である第２内壁を内部空間に有する一対の金型であって、流量調整用弁室を形成するために前記第１内壁に設けられた第１突出部と、開閉用弁室を形成するために前記第２内壁に設けられた第２突出部と、前記第１突出部と前記第２突出部とを接続させると共に、前記第１内壁および第２内壁のいずれか一方に対して直角に延びる方向に挿入された直線状の第１ピン部材とを有する前記一対の金型を準備する工程と、前記第１突出部と接続するように、直線状の第２ピン部材を前記内部空間に挿入する工程と、前記第２突出部と接続するように、直線状の第３ピン部材を前記内部空間に挿入する工程と、前記第２ピン部材および前記第３ピン部材を前記内部空間に挿入した後、加熱されて溶けた樹脂を前記内部空間に流し込む工程と、前記内部空間に流し込まれた樹脂が冷却されて固まった後、単一の流路ブロックとなる樹脂を一対の金型から取り外す工程と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る薬液制御弁の製造方法によれば、一対の金型は、第１内壁および、第１内壁と直角な面である第２内壁を内部空間に有する。一対の金型は、流量調整用弁室を形成するために第１内壁に設けられた第１突出部と、開閉用弁室を形成するために第２内壁に設けられた第２突出部と、第１突出部と前記第２突出部とを接続させると共に、第１内壁および第２内壁のいずれか一方に対して直角に延びる方向に挿入された直線状の第１ピン部材とを有する。このような構造で流路ブロックを形成することで、中間流路を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。なお、従来の薬液制御弁において、Ｖ字流路は、形成後に、流量調整用弁室および開閉用弁室の２方向から切削することで形成される。本発明によれば、切削することなく直線状の中間流路３１を形成することができる。

本発明に係る薬液制御弁およびこれを備えた基板処理装置によれば、薬液の置換特性を向上させることができる。

実施例に係る基板処理装置の概略構成図である。 実施例に係る薬液制御弁の概略構成図である。 （ａ）は、ＸＹ方向における一対の金型の横断面図であり、（ｂ）は、ＸＺ方向における一対の金型の縦断面図である。 変形例に係る薬液制御弁の概略構成図である。 （ａ）、（ｂ）は、変形例に係る薬液制御弁の概略構成図である。 （ａ）、（ｂ）は、変形例に係る薬液制御弁の概略構成図である。 従来の薬液制御弁の概略構成図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成図である。図２は、実施例に係る薬液制御弁の概略構成図である。

＜基板処理装置１の構成＞
図１を参照する。基板処理装置１は、ノズル２と保持回転部３とを備えている。ノズル２は、保持回転部３で保持された基板Ｗに対して薬液を吐出するものである。薬液は、例えば、レジスト液、反射防止膜形成用の塗布液、シンナー等の溶剤、純水（ＤＩＷ）等のリンス液、現像液、またはエッチング液である。

保持回転部３は、基板Ｗを保持し、保持した基板Ｗを回転するものである。保持回転部３は、スピンチャック４と回転駆動部５とを備えている。スピンチャック４は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に構成されている。スピンチャック４は、例えば、基板Ｗの裏面を真空吸着することにより基板Ｗを略水平姿勢で保持する。一方、回転駆動部５は、スピンチャック４を回転軸ＡＸ周りに回転させる駆動を行う。回転駆動部５は、電動モータ等で構成されている。

また、基板処理装置１は、薬液供給源７、薬液配管８ａ，８ｂ、ポンプＰおよび薬液制御弁９を備えている。薬液供給源７は、例えば、薬液を貯留するタンクまたはボトルで構成されている。薬液配管８ａ，８ｂの一端は、薬液供給源７に接続され、その他端は、ノズル２に接続されている。

薬液供給源７とノズル２との間の薬液配管８ａには、ポンプＰが設けられている。ポンプＰとノズル２との間の薬液配管８ａ，８ｂには、薬液制御弁９が設けられている。ポンプＰは薬液を送る機構である。薬液制御弁９は、ノズル２から吐出させる薬液の流量を調整し、かつ、ノズル２から薬液を吐出させ、薬液吐出を停止させる。薬液制御弁９の詳細は後述する。なお、薬液配管８ａ，８ｂには、例えば、異物除去フィルタおよび、液だれ防止のためのサックバック弁の少なくともいずれかが設けられていてもよい。

基板処理装置１は、１または２以上の制御部１１と、操作部１３とを備えている。制御部１１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）を有している。制御部１１は、基板処理装置１および薬液制御弁９の各構成を制御する。操作部１３は、入力部、表示部および記憶部を備えている。記憶部は、ＲＯＭ（Read-only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスク等で構成されている。記憶部には、例えば基板処理の各種条件が記憶されている。

＜薬液制御弁９の構成＞
図２を参照する。薬液制御弁９は、単一の流路ブロック２１、ニードル移動機構２３および開閉用弁体移動機構２５を備えている。

流路ブロック２１は、例えばＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン：perfluoroalkoxyalkane）などの熱可塑性および溶融流動性を有するフッ素樹脂その他の樹脂で形成されている。流路ブロック２１は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：polytetrafluoroethylene）などのフッ素樹脂で形成されていてもよい。

なお、流路ブロック２１は、ＰＦＡで形成されていることが好ましい。流路ブロック２１が射出成形によってＰＦＡで形成されると、流路ブロック２１の表面がその内部よりも硬い層（膜）であるスキン層で覆われる。流路ブロック２１の内部に薬液が染み込んでしまうと、結果的に、流路ブロック２１の内部からごみを引き出してしまうおそれがある。しかしながら、スキン層が薬液の染み込みを防止するので、薬液の清浄度を悪化させるおそれを抑制することができる。

流路ブロック２１は、第１外壁（面）２１ａと第２外壁（面）２１ｂとを有する。第２外壁２１ｂは、第１外壁２１ａとほぼ直角な面である。流路ブロック２１の第１外壁（外面）２１ａには、流量調整用弁室２７が設けられている。流路ブロック２１の第２外壁（外面）２１ｂには、開閉用弁室２９が設けられている。流量調整用弁室２７は、第１外壁２１ａの一部が凹むように形成されている。すなわち、流量調整用弁室２７は、第１外壁２１ａに凹状に形成されている。開閉用弁室２９は、第２外壁２１ｂの一部が凹むように形成されている。すなわち、開閉用弁室２９は、流路ブロック２１の第２外壁２１ｂに凹状に形成されている。

流路ブロック２１の内部には、中間流路３１、第１流路３３および第２流路３５が形成されている。中間流路３１、第１流路３３および第２流路３５は各々、直線状に形成されている。中間流路３１は、流量調整用弁室２７と開閉用弁室２９との間を接続させるように形成されている。また、中間流路３１は、第２外壁２１ｂとほぼ直角に延びるように形成されている。

第１流路３３の一端は、流量調整用弁室２７と接続する。第１流路３３の他端は、流路ブロック２１の外部である、ポンプＰが設けられた薬液配管８ａと接続する。第２流路３５の一端は、開閉用弁室２９と接続する。第２流路３５の他端は、流路ブロック２１の外部である、ノズル２が設けられた薬液配管８ｂと接続する。すなわち、第２流路３５は、薬液配管８ｂを介してノズル２が接続されている。

第１流路３３および第２流路３５は各々、中間流路３１に対して直角に延びるように形成されている。また、第１流路３３は、第２流路３５と平行である。そして、第１流路３３における流量調整用弁室２７と接続する部分と反対側の第１接続口３７は、第２流路３５における開閉用弁室２９と接続する部分と反対側の第２接続口３９と同じ方向を向いて開口している。すなわち、第１流路３３を通過する薬液の向きが第２流路３５を通過する薬液の向きと逆向きになるように、第１流路３３および第２流路３５が形成されている。

ニードル移動機構２３は、流路ブロック２１に取り付けられている。ニードル移動機構２３は、ニードル４１を有する。ニードル移動機構２３は、流量調整用弁室２７を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するためにニードル４１を移動させるように構成されている。

なお、図２において、流量調整用弁室２７は、第１延長流路４０ａを有している。第１延長流路４０ａは、流量調整用弁室２７の底部以外の例えば内側壁に設けられている。中間流路３１が第１延長流路４０ａに接続されることで、中間流路３１は、流量調整用弁室２７に接続される。また、開閉用弁室２９は、第２延長流路４０ｂを有している。第２延長流路４０ｂは、開閉用弁室２９の底部に設けられている。第２流路３５が第２延長流路４０ｂに接続されることで、第２流路３５は、開閉用弁室２９に接続される。

ニードル移動機構２３は、ニードル４１の他に、ハウジング４３、電動モータ４５および変換機構４７を備えている。ニードル４１は、流量調整用弁室２７内に配置されている。また、ニードル４１は、流量調整用弁室２７に設けられた開口部４９と対向するように配置されている。開口部４９は円形に形成されている。開口部４９は第１流路３３に接続されている。ニードル４１の先端部４１ａは円錐状に形成されている。ニードル４１の円錐状の先端部４１ａは、開口部４９に通される。すなわち、ニードル４１を横移動（Ｘ方向移動）させることで、円錐状の先端部４１ａと開口部４９との隙間が調整される（図２参照）。これにより、その隙間を流れる薬液の流量が調整される。ハウジング４３は、ニードル４１が通るように構成されている。ハウジング４３は、流量調整用弁室２７を塞いでいる。

電動モータ４５は、ニードル４１を駆動させる。電動モータ４５は、例えばステッピングモータまたはサーボモータで構成されている。電動モータ４５がサーボモータで構成される場合は、ロータリーエンコーダなどのセンサが設けられるので、ニードル４１の横方向の移動量または位置を正確に得ることができる。変換機構４７は、電動モータ４５とニードル４１との間に設けられ、電動モータ４５が出力する回転をニードル４１の直線移動に変換する。変換機構４７は、例えばねじ軸とガイド部とを有して構成されている。

開閉用弁体移動機構２５は、流路ブロック２１に取り付けられている。開閉用弁体移動機構２５は、ダイアフラム５１を有する。開閉用弁体移動機構２５は、開閉用弁室２９を塞ぐと共に、第２流路３５を開閉するためにダイアフラム５１を移動させるように構成されている。ダイアフラム５１は本発明の開閉用弁体に相当する。

開閉用弁体移動機構２５は、ダイアフラム５１の他に、ハウジング５３、可動部材５５、隔壁５７、可動仕切り部材５９、バネ６１、吸排気口６３および調整ねじ部６５を備えている。

ダイアフラム５１は、例えばＰＴＦＥまたはＰＦＡ等のフッ素樹脂で構成されている。ダイアフラム５１の周縁部は、開閉用弁室２９の内側壁に固定されている。ダイアフラム５１は、ダイアフラム５１の上下の移動方向を横切るように、後述する弁座７５側と隔壁５７側との間を隔てている。ダイアフラム５１の中央の肉厚部５１ａは、可動部材５５に固定されている。ハウジング５３は、開閉用弁室２９を塞いでいる。

円盤状の隔壁５７は、ハウジング５３の内側壁に設けられている。隔壁５７は、可動仕切り部材５９側とダイアフラム５１側とを隔てている。隔壁５７の中央部には、可動部材５５が挿入されている。可動部材５５は、隔壁５７に対して摺動可能である。可動仕切り部材５９は、ダイアフラム５１の反対側の可動部材５５に固定されている。可動仕切り部材５９は、ハウジング５３の内側壁に対して摺動可能である。可動仕切り部材５９は、バネ６１側と隔壁５７側との間を隔てている。可動部材５５と隔壁５７との接触部分、および可動仕切り部材５９とハウジング５３の内側壁との接触部分はシールされている。

バネ６１は、ハウジング５３の天井５３ａと可動仕切り部材５９との間に配置されている。バネ６１は、常時、下方向（ダイアフラム５１が存在する方向）に押すように設けられている。吸排気口６３は、ハウジング５３内における可動仕切り部材５９と隔壁５７との間の空間に気体を出し入れする開口である。気体配管６７は、ボンベや工場内の配管などの気体供給源６９と吸排気口６３とを接続させる。気体配管６７には、例えば三方弁７１が設けられる。三方弁７１は、気体供給源６９からハウジング５３内への気体の供給、およびハウジング５３内からの気体の排気を選択的に切り替える。

調整ねじ部６５は、雄ネジ６５ａを有する。この雄ネジ６５ａと、ハウジング５３の天井５３ａ付近に設けられた雌ネジ５３ｂとが噛み合うように構成されている。調整ねじ部６５は、可動仕切り部材５９と分離している。雄ネジ６５ａの位置により、可動仕切り部材５９、可動部材５５、およびダイアフラム５１の肉厚部５１ａ等の上方向移動が制限される。なお、開口部７３は第２流路３５に接続されている。弁座７５は、開口部７３の周囲に設けられ、ダイアフラム５１の肉厚部５１ａを受けるものである。

＜薬液制御弁９の製造方法＞
次に、薬液制御弁９の製造方法についての一例を説明する。図３（ａ）は、ＸＹ方向における一対の金型の横断面図である。図３（ｂ）は、ＸＺ方向における一対の金型の縦断面図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）における第１突出部８７および第２ピン部材９０部分の縦断面図である。

〔ステップＳ０１〕一対の金型８１，８２を準備する工程
一対の金型８１，８２を準備する。一対の金型８１，８２が対向配置されると、一対の金型８１，８２には、内部空間８３が形成される。図３（ａ）、図３（ｂ）において、太い間隔で示される右下の斜線のハッチングが内部空間８３である。内部空間８３は、樹脂が満たされる空間である。一対の金型８１，８２は、第１内壁（面）８５と第２内壁（面）８６とを内部空間８３に有する。第２内壁８６は、第１内壁８５とほぼ直角な面である。

一対の金型８１，８２は、流量調整用弁室２７を形成するための第１突出部８７と、開閉用弁室２９を形成するための第２突出部８８と、中間流路３１を形成するための直線状の第１ピン部材８９とを備えている。第１突出部８７は、一対の金型８１，８２における内部空間８３の第１内壁８５に設けられている。第１突出部８７には、第１延長流路４０ａに対応する第１接続凸部８７ａが設けられている。第２突出部８８は、第２内壁８６に設けられている。第２突出部８８には、第２延長流路４０ｂに対応する第２接続凸部８８ａが設けられている。

第１ピン部材８９は、第１突出部８７と第２突出部８８との間を接続させるように、第２内壁８６に対してほぼ直角に延びる方向に挿入されている。第１突出部８７は、横方向（Ｘ方向）に移動可能である。第１突出部８７は、一対の金型８１，８２の内部空間８３に挿入される。また、図３（ａ）に示すように、第２突出部８８と第１ピン部材８９は、一体的に構成されている。一体となった第２突出部８８および第１ピン部材８９は、縦方向（Ｙ方向）に移動可能であり、一対の金型８１，８２の内部空間８３に挿入される。第１ピン部材８９の先端部８９ａは、第１突出部８７の第１接続凸部８７ａに接触される。

なお、第２突出部８８および第１ピン部材８９は、一体的ではなく、個別に移動するように構成されていてもよい。

〔ステップＳ０２〕第２ピン部材９０を挿入する工程
第１突出部８７と接続するように、直線状の第２ピン部材９０を内部空間８３に挿入する。第２ピン部材９０は、横方向（Ｘ方向）に移動可能である。第２ピン部材９０の先端部９０ａは、第１突出部８７に接触される。第２ピン部材９０は、第１流路３３を形成するためのものである。

〔ステップＳ０３〕第３ピン部材９１を挿入する工程
第２突出部８８と接続するように、直線状の第３ピン部材９１を内部空間８３に挿入する。第３ピン部材９１は、横方向（Ｘ方向）に移動可能である。第３ピン部材９１の先端部９１ａは、第２突出部８８の第２接続凸部８８ａに接触される。第３ピン部材９１は、第２流路３５を形成するためのものである。

〔ステップＳ０４〕樹脂を流し込む工程
第１突出部８７、第２突出部８８、第１ピン部材８９、第２ピン部材９０および第３ピン部材９１を内部空間８３に挿入した後（すなわちステップＳ０１〜Ｓ０３の後）、加熱されて溶けた樹脂（例えばＰＦＡ）を内部空間８３に流し込む。図示しない射出成形機の加熱シリンダの内部の樹脂は、加熱されることによって溶かされる。すなわち、一対の金型８１，８２内に流し込まれる樹脂は、加熱により流動化する樹脂である。そして、加熱シリンダによって一対の金型８１，８２の内部空間８３に流し込まれる。

〔ステップＳ０５〕流路ブロック（成形品）を取り外す工程
内部空間８３に流し込まれた樹脂が冷却されて固まった後、一対の金型８１，８２内から第１突出部８７、第２突出部８８、第１ピン部材８９、第２ピン部材９０および第３ピン部材９１を引き抜く。その後、単一の流路ブロック２１として樹脂を一対の金型８１，８２から取り外す。この取り外しは、一対の金型８１，８２が上下方向（図３（ｂ）のＺ方向）に相対的に移動されることで行われる。なお、内部空間８３に流し込まれた樹脂が一対の金型８１，８２の内壁（符号８５，８６等）、第１突出部８７、第２突出部８８、第１ピン部材８９、第２ピン部材９０および第３ピン部材９１と接する部分にスキン層が形成される。

〔ステップＳ０６〕ニードル移動機構および開閉用弁体移動機構を取り付ける工程
一対の金型８１，８２から取り外された流路ブロック２１に対して、図２に示す開口部４９および弁座７５の表面を研磨するため等の処理が行われる。そして、ニードル移動機構２３および開閉用弁体移動機構２５その他の部品を流路ブロック２１に取り付ける。

なお、後述する変形例などの流路ブロック２１の構造によっては、一対の金型８１，８２、第１突出部８７、第２突出部８８等は、次のように構成されていてもよい。例えば、第１突出部８７は、金型８１に対して移動せずに、金型８１の第１内壁８５に固定されていてもよい。同様に、第２突出部８８は、金型８２に対して移動せずに金型８２の第２内壁８６に固定されていてもよい。また、後述する図４の構成に対応して、第２内壁８６は、第１内壁８５と対向する面であってもよい。

なお、従来の薬液制御弁９において、図７に示すＶ字流路２０５は、形成後に、流量調整用弁室および開閉用弁室の２方向から切削することで形成される。すなわち、金型の制約により、図７に示すＶ字流路２０５は直線状に形成できなかった。また、例えば、流路ブロック２１がＰＦＡで形成される場合、Ｖ字流路２０５部分でＰＦＡのスキン層を削ってしまうため、流路ブロック２１（ＰＦＡ）の内部に薬液が染み込んでしまうおそれがある。本実施例に係る薬液制御弁９の製造方法によれば、切削することなく直線状の中間流路３１を形成することができる。

＜基板処理装置および薬液制御弁の動作＞
次に、基板処理装置１および薬液制御弁９の動作について説明する。

図１を参照する。図示しない搬送機構は、保持回転部３上に基板Ｗを搬送する。保持回転部３は、基板Ｗの裏面を吸着することにより基板Ｗを保持する。その後、保持回転部３は、保持した基板Ｗを回転させる。ノズル２は、図示しない移動機構により基板Ｗの上方に移動されている。制御部１１は、薬液制御弁９を操作することにより、基板Ｗ上にノズル２から薬液を吐出させる。

図２に示す薬液制御弁９において、まず、開閉用弁体移動機構２５の動作を説明する。ダイアフラム５１の肉厚部５１ａは、バネ６１の弾性力（復元力）により、開閉用弁室２９の開口部７３の周囲に設けられた弁座７５に押し当てられている（図２の破線で示された肉厚部５１ａ参照）。この状態は、開閉用弁室２９から第２流路３５に薬液を流通させない閉状態である。閉状態のとき、ノズル２から薬液が吐出されない。

三方弁７１を操作することにより、気体配管６７および吸排気口６３を介して、気体供給源６９からハウジング５３内における可動仕切り部材５９と隔壁５７との間の空間に気体が送られる。これにより、可動仕切り部材５９がバネ６１の弾性力に反発して持ち上げられ、これに伴い、可動部材５５およびダイアフラム５１の肉厚部５１ａが持ち上げられる（図２の実線で示された肉厚部５１ａ参照）。この状態は、薬液を流通させる開状態である。開状態のとき、ノズル２から薬液が吐出される。

ここで、開状態になったときの薬液の流れを具体的に説明する。図１に示すポンプＰは、薬液供給源７から薬液配管８ａを通じて薬液制御弁９の第１流路３３に薬液を送る。図２に示す第１流路３３に送られた薬液は、ニードル４１の先端部４１ａと開口部４９との隙間を通過し、流量調整用弁室２７に送られる。その後、薬液は、中間流路３１を通じて流量調整用弁室２７から開閉用弁室２９に送られる。なお、中間流路３１は、直線状で構成されているので、図７に示すＶ字流路２０５等に比べて薬液を円滑に送ることができる。

その後、薬液は、弁座７５の開口部７３および第２流路３５を通じて開閉用弁室２９から薬液配管８ｂに送られる。薬液配管８ｂに送られた薬液は、ノズル２に送られて、ノズル２から薬液が吐出される。

また、ニードル移動機構２３の動作について説明する。ニードル移動機構２３は、ニードル４１の先端部４１ａと開口部４９との隙間を調整することにより、第１流路３３その他流路ブロック２１内の薬液の流量を調整する。ニードル４１は、電動モータ４５の回転駆動により移動される。変換機構４７は、電動モータ４５の回転をニードル４１の直線移動に変換する。ニードル４１は、横方向（Ｘ方向）に移動される。

薬液が吐出された後、制御部１１は、三方弁７１を操作することで、気体供給源６９からの気体の供給を停止すると共に、図２に示すハウジング５３内の気体を、吸排気口６３等を通じて排気する。これにより、バネ６１の弾性力によりダイアフラム５１の肉厚部５１ａが押し下げられ、そして、肉厚部５１ａが弁座７５に押し当てられる（閉状態）。閉状態のとき、ノズル２から薬液が吐出されない。

ノズル２からの薬液の吐出が終了後、ノズル２は、基板Ｗの上方から基板外に退避される。保持回転部３は、保持される基板Ｗの回転を停止し、その後、基板Ｗの保持を解除する。図示しない搬送機構は、保持回転部３上の基板Ｗを他の装置、載置部またはキャリア等に移動させる。

本実施例によれば、流路ブロック２１は、第１外壁２１ａと、第１外壁２１ａと直角な面である第２外壁２１ｂとを有する。ニードル４１が配置される流量調整用弁室２７は、流路ブロック２１の第１外壁２１ａが凹むように形成されている。一方、ダイアフラム５１が配置される開閉用弁室２９は、第２外壁２１ｂが凹むように形成されている。中間流路３１は、流量調整用弁室２７と開閉用弁室２９とを接続するが、中間流路３１は、第１外壁２１ａおよび第２外壁２１ｂのいずれか一方に対して直角に延びている。このような構成により、中間流路３１を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。なお、置換特性は、新しい薬液が第１接続口３７に流入して、元の薬液を押し出しつつ第２接続口３９に到達する時間で表される特性である。

また、第１流路３３および第２流路３５は各々、直線状であって、中間流路３１に対して直角に延びている。一対の金型８１，８２に樹脂を流し込んで流路ブロック２１を形成する際に、中間流路３１を形成するために一対の金型８１，８２内に挿入する第１ピン部材８９と、第１流路３３および第２流路３５を形成するために一対の金型８１，８２内に挿入する第２ピン部材９０および第３ピン部材９１の各々とを直角に配置することができる。そのため、第１ピン部材８９と、第２ピン部材９０および第３ピン部材９１の各々とが斜めに配置される（直角でない）場合に比べて、中間流路３１、第１流路３３および第２流路３５を容易に形成することができる。

また、第１流路３３は、第２流路３５と平行である。第１流路３３における流量調整用弁室２７と接続する部分と反対側の第１接続口３７は、第２流路３５における開閉用弁室２９と接続する部分と反対側の第２接続口３９と同じ方向を向いて開口している。一対の金型８１，８２に樹脂を流し込んで流路ブロック２１を形成する際に、第１流路３３および第２流路３５を形成するために一対の金型８１，８２内に挿入する第２ピン部材９０および第３ピン部材９１を同じ方向に移動することができる。そのため、第２ピン部材９０が金型内に挿入される向きが第３ピン部材９１の向きと異なる場合に比べて、第１流路３３および第２流路３５を容易に形成することができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、開閉用弁室２９が設けられた第２外壁２１ｂは、流量調整用弁室２７が設けられた第１外壁２１ａと直角な面であった。この点、図４のように、第２外壁２１ｂは、第１外壁２１ａと対向する共に第１外壁２１ａとほぼ平行な面であってもよい。すなわち、第２外壁（面）２１ｂは、流路ブロック２１を挟んで第１外壁（面）２１ａの反対側に設けられる。また、第２外壁２１ｂは、第１外壁２１ａに対してほぼ平行である。

流量調整用弁室２７は、流路ブロック２１の第１外壁２１ａの一部が凹むように形成されている。開閉用弁室２９は、流路ブロック２１の第２外壁２１ｂの一部が凹むように形成されている。図４のように、流量調整用弁室２７は、開閉用弁室２９と対向するように配置されている。

直線状の中間流路３１は、開閉用弁室２９と流量調整用弁室２７と接続させるように形成されている。また、中間流路３１は、第１外壁２１ａおよび第２外壁２１ｂに対して直角に延びている。第１流路３３および第２流路３５は、各々、中間流路３１に対して直角に延びている。第１流路３３は、流量調整用弁室２７に接続されている。一方、第２流路３５は、開閉用弁室２９に接続されている。

図４に示すダイアフラム５１は、縦方向（Ｙ方向）に移動する。そして、本変形例のニードル４１も、縦方向に移動する。ニードル４１の先端部４１ａは、流量調整用弁室２７と中間流路３１との接続部分の開口部４９に通される。

本変形例によれば、流路ブロック２１は、第１外壁２１ａと、第１外壁２１ａと対向すると共に第１外壁２１ａと平行な面である第２外壁２１ｂとを有する。ニードル４１が配置される流量調整用弁室２７は、流路ブロック２１の第１外壁２１ａが凹むように形成されている。一方、ダイアフラム５１が配置される開閉用弁室２９は、第２外壁２１ｂが凹むように形成されている。中間流路３１は、流量調整用弁室２７と開閉用弁室２９とを接続するが、中間流路３１は、第１外壁２１ａおよび第２外壁２１ｂに対して直角に延びている。このような構成により、中間流路３１を直線状に形成することができる。そのため、Ｖ字流路等が原因で薬液の悪化するおそれがある薬液の置換特性を向上させることができる。

（２）上述した実施例では、中間流路３１は、例えば図２のように、開閉用弁室２９が設けられた第２外壁２１ｂにほぼ直角に延びるように形成されていた。この点、中間流路３１は、図５（ａ）のように、流量調整用弁室２７が設けられた第１外壁２１ａにほぼ直角に延びるように形成されてもよい。

（３）上述した実施例および変形例（１）では、図２および図４のように、開閉用弁室２９の底部の開口部７３は、第２流路３５に接続されていた。この点、図５（ｂ）のように、開閉用弁室２９の底部の開口部７３は、中間流路３１に接続されていてもよい。

（４）上述した実施例および各変形例では、図２および図４のように、流量調整用弁室２７の底部の開口部４９には、ニードル４１の移動方向に延びる中間流路３１または第１流路３３が接続されていた。この点、図５（ｂ）のように、流量調整用弁室２７の底部の開口部４９には、第３延長流路４０ｃを介して、ニードル４１の移動方向と直交する方向に延びる中間流路３１（または第１流路３３）が接続されてもよい。第３延長流路４０ｃは、開口部４９からニードル４１の移動方向に延びて、中間流路３１と接続されている。

なお、図５（ａ）、図５（ｂ）並びに後述する図６（ａ）、図６（ｂ）において、ニードル移動機構２３および開閉用弁体移動機構２５は簡略化されて示されている。

（５）上述した実施例および各変形例では、ニードル移動機構２３は、電動モータ４５と変換機構４７とを備え、電動モータ４５が出力する回転を変換機構４７によって、ニードル４１の直線移動に変換するように構成していた。しかしながら、これに限られるものではない。電動モータ４５の代わりに作業者が手動で動かすハンドルやつまみを設け、ハンドルやつまみの回転をニードル４１の直線移動に変換するように構成してもよい。

（６）上述した実施例および各変形例では、例えば図２および図４のように、第１流路３３の一端の第１接続口３７は、第２流路３５の一端の第２接続口３９と同じ方向を向いていた。すなわち、第１接続口３７および第２接続口３９は共に、図２および図４において、右向きに開口していた。この点、図６（ａ）および図６（ｂ）のように、第１接続口３７は、第２接続口３９と逆向きに開口してもよい。すなわち、図６（ｃ）および図６（ｄ）において、第１接続口３７は、左向きに開口し、第２接続口３９は、右向きに開口する。

なお、図６（ａ）および図６（ｂ）において、第１接続口３７は、第２接続口３９と逆向き、すなわち、第２接続口３９に対して中間流路３１周りに１８０度反対に向いて開口している。この点、第１接続口３７は、第２接続口３９に対して、中間流路３１周りに例えば９０°を向いて（すなわち０度および１８０度を除く向きに）開口してもよい。

（７）上述した実施例および各変形例では、開閉用弁体移動機構２５は、気体によりダイアフラム５１を駆動させていた。この点、開閉用弁体移動機構２５は、ニードル移動機構２３と同様に、電動モータによりダイアフラム５１を駆動させてもよい。電動モータによる回転は、変換機構により直線移動に変換される。よれにより、ダイアフラム５１の肉厚部５１ａを弁座７５に押し当てたり、肉厚部５１ａを弁座７５から離したりする。

１ … 基板処理装置
２ … ノズル
３ … 保持回転部
８ａ，８ｂ … 薬液配管
９ … 薬液制御弁
１１ … 制御部
２１ … 単一の流路ブロック
２１ａ … 第１外壁
２１ｂ … 第２外壁
２３ … ニードル移動機構
２５ … 開閉用弁体移動機構
２７ … 流量調整用弁室
２９ … 開閉用弁室
３１ … 中間流路
３３ … 第１流路
３５ … 第２流路
３７ … 第１接続口
３９ … 第２接続口
４１ … ニードル
５１ … ダイアフラム

Claims (7)

1. 第１外壁および、前記第１外壁と直角な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、
   前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、
   前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、
   前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びる前記中間流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記開閉用弁室と接続する第２流路と、
   前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、
   前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、
   を備えていることを特徴とする薬液制御弁。
2. 第１外壁および、前記第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、
   前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、
   前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、
   前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁に対して直角に延びる前記中間流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記開閉用弁室と接続する第２流路と、
   前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、
   前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、
   を備えていることを特徴とする薬液制御弁。
3. 請求項１または２に記載の薬液制御弁において、
   前記第１流路および前記第２流路は各々、直線状であって、前記中間流路に対して直角に延びることを特徴とする薬液制御弁。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の薬液制御弁において、
   前記第１流路は、前記第２流路と平行であり、
   前記第１流路における前記流量調整用弁室と接続する部分と反対側の第１接続口は、前記第２流路における前記開閉用弁室と接続する部分と反対側の第２接続口と同じ方向を向いて開口していることを特徴とする薬液制御弁。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の薬液制御弁において、
   前記流路ブロックは、ＰＦＡで形成されていることを特徴とする薬液制御弁。
6. 基板を保持し、保持した基板を回転する保持回転部と、
   前記保持回転部に保持された基板に対して薬液を吐出するノズルと、
   前記ノズルに接続された薬液配管と、
   前記ノズルから吐出される薬液の流量を調整し、かつ前記ノズルから薬液を吐出させ、薬液吐出を停止させる薬液制御弁と、を備え、
   前記薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と直角な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、
   前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、
   前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、
   前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁のいずれか一方に対して直角に延びる前記中間流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成された第２流路であって、前記開閉用弁室と接続すると共に、前記薬液配管を介して前記ノズルに接続される前記第２流路と、
   前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、
   前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、
   を備えていることを特徴とする基板処理装置。
7. 基板を保持し、保持した基板を回転する保持回転部と、
   前記保持回転部に保持された基板に対して薬液を吐出するノズルと、
   前記ノズルに接続された薬液配管と、
   前記ノズルから吐出される薬液の流量を調整し、かつ前記ノズルから薬液を吐出させ、薬液吐出を停止させる薬液制御弁と、を備え、
   前記薬液制御弁は、第１外壁および、前記第１外壁と対向すると共に前記第１外壁と平行な面である第２外壁を有する単一の流路ブロックと、
   前記第１外壁が凹むように形成された流量調整用弁室と、
   前記第２外壁が凹むように形成された開閉用弁室と、
   前記流路ブロックの内部に形成された直線状の中間流路であって、前記流量調整用弁室と前記開閉用弁室との間を接続させ、前記第１外壁および前記第２外壁に対して直角に延びる前記中間流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成され、前記流量調整用弁室と接続する第１流路と、
   前記流路ブロックの内部に形成された第２流路であって、前記開閉用弁室と接続すると共に、前記薬液配管を介して前記ノズルに接続される前記第２流路と、
   前記流量調整用弁室内に配置されたニードルを有し、前記流量調整用弁室を塞ぐと共に、薬液の流量を調整するために前記ニードルを移動させるニードル移動機構と、
   前記開閉用弁室内に配置された開閉用弁体を有し、前記開閉用弁室を塞ぐと共に、薬液の供給およびその供給の停止を行うために前記開閉用弁体を移動させる開閉用弁体移動機構と、
   を備えていることを特徴とする基板処理装置。

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