JP2017207121A - 流路ブロック、流体制御装置、及び、流路ブロックの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】、最適な形状の連通流路を有する流路ブロックを提供する。【解決手段】樹脂製の流路ブロック１１であって、所定面１１ａよりも凹んで形成された第１室１２と、第１室１２から離間した位置に、所定面１１ａよりも凹んで形成された第２室１６と、第１室１２と第２室１６とにそれぞれ開口し、第１室１２と第２室１６とを連通する、円弧形状の連通流路８１と、を備える。【選択図】 図１

Description

本発明は、薬液の供給等に用いられる流路ブロック、流体制御装置、及び流路ブロックの製造方法に関する。

従来、複数の室を連通流路で繋ぐ流体制御装置が実現されている。特許文献１に記載の流体制御装置では、連通流路の形状をＶ字型としている。

特許４３１９３２２号公報

特許文献１に記載の流体制御装置におけるＶ字流路では、屈曲部において流路の断面積が大きくなることから、その屈曲部に気泡が発生するおそれがある。また、Ｖ字流路の尖端に薬液が滞留するおそれもある。

このＶ字流路は切削加工又は射出成型により形成される。この形成の工程では、屈曲部にはバリが生ずる場合がある。すなわち、製造工程において、屈曲部に生じたバリを取り除く工程が必要となり、製造工程が複雑化する。Ｖ字流路の径が小さくなるほど、そのバリを取り除くことが困難となる。また、バリを取り除く処理を行ったとしても、バリを完全に取り除くことは困難であり、バリを取り除く処理により、面粗の悪化も懸念される。したがって、バリが生ずることに起因して、パーティクルが発生したり、薬液の滞留が生じたりする。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、最適な形状の連通流路を有する流路ブロック、その流路ブロックを備える流体制御装置を提供することにある。

第１の構成は、樹脂製の流路ブロックであって、所定面よりも凹んで形成された第１室と、前記第１室から離間した位置に、前記所定面よりも凹んで形成された第２室と、前記第１室と前記第２室とにそれぞれ開口し、前記第１室と前記第２室とを連通する、円弧形状の連通流路と、を備える。

流路に屈曲部分を設ける場合、屈曲部分では流路の断面積が大きくなるため、気泡が発生するおそれがあるし、屈曲部分には流体が滞留するおそれもある。また、連通流路に屈曲部分を設ける場合、製造方法にかかわらず屈曲部分にはバリが生じ、バリを取り除く処理を行う必要があるし、バリを取り除く処理を行えば、面粗が悪化するおそれがある。したがって、バリが生ずることに起因して、パーティクルが発生したり、薬液の滞留が生じたりする。

上記構成では、連通流路を円弧形状としているため、屈曲部分が設けられていない。したがって、金型を用いて流路ブロックを樹脂成形した場合に、連通流路を形成する過程で連通流路内にバリが発生せず、面粗の悪化を抑制することができる。さらに、連通流路は、第１室と第２室とに直接開口して、第１室と第２室とを連通している。このため、途中で接続された流路により第１室と第２室とを連通する構成と比較して、連通流路を短くすることができるとともに、接続部にデッドスペースが生じることや、流体が滞留することを抑制することができる。

なお、第１室及び第２室は、弁装置の弁体が配置される空間に限らず、ポンプ装置のダイアフラム、空間内の圧力を調節するレギュレータ、空間内の各種状態を検出するセンサ等が配置される空間を含むものとする。

第２の構成では、第１の構成に加えて、前記連通流路は、前記流路ブロックの外部に中心点を有する円弧形状である。

上記構成では、連通流路について流路ブロックの外部に中心点を有するものとしているため、その中心点周りに回動する金型部材を用いるにより連通流路を形成することができる。

第３の構成では、第２の構成に加えて、前記第１室及び前記第２室の少なくとも一方は、前記中心点を中心とする円弧の延長上にある空間を含む。

上記構成では、第１室及び第２室の少なくとも一方に含まれる空間を用いて、連通流路を形成する金型部材を円弧に沿って移動させて配置することができる。

第４の構成では、第１〜３の構成のいずれかに加えて、前記第１室及び前記第２室は、中心軸線が前記所定面に垂直な円筒形状であり、前記連通流路は、前記第１室の内周面、及び前記第２室の内周面の少なくとも一方に開口している。

金型を用いて射出成型を行う場合、開口の周囲には、射出成型後にバリを取る処理が必要となる場合がある。このとき、バリが屈曲部に生じている場合には、バリを取る処理が困難となる場合がある。上記構成では、第１室及び第２室の少なくとも一方での開口は、屈曲部を有しない室の内周面に設けられることとなり、開口の周囲に生ずるバリを容易に取り除くことができる。

第５の構成は、第１〜第４のいずれかの流路ブロックを備える流体制御装置であって、前記第１室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第１流路が接続されており、前記第２室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第２流路が接続されており、前記第１室と前記第１流路との連通状態を制御する第１弁機構と、前記第２室と前記第２流路との連通状態を制御する第２弁機構と、を備える。

上記構成では、円弧形状の連通流路でつながった第１室及び第２室を用いて流体制御装置を構成しているため、より好適に流量の調整を行うことができる。

第６の構成では、第５の構成に加えて、前記第１流路の前記第１室での開口の周囲には、突出した弁座が設けられており、前記第１弁機構は、前記弁座と当接するダイアフラムと、前記ダイアフラムに接続され他部材との連結を可能とする連結部と、前記連結部に連結され前記ダイアフラムを往復動させる往復動部材とを備える。

上記構成では、第１室においてダイアフラムを用いて第１流路の開放及び閉塞を制御しているため、液体の流通状態を適切に制御することができる。

第７の構成では、第６の構成に加えて、前記ダイアフラム及び前記連結部は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体を主原料として形成されており、前記ダイアフラムと前記連結部とは、直接に接合されており、前記ダイアフラムの表面が押圧により平滑化されている。

上記構成により、連通流路におけるパーティクルの発生の抑制効果に加えて、ダイアフラムにおいてもパーティクルの発生を抑制することができ、流体制御装置全体でパーティクルの発生を抑制することができる。

第８の構成では、第６の構成又は第７の構成に加えて、前記第２弁機構は、前記第２流路の前記第２室での開口の内周に当接するニードル弁と、前記ニードル弁を往復動させる往復動部材とを備える。

弁機構としてダイアフラムを用いる場合、開口の周囲に突出した弁座を設ける必要があり、室の空間が狭くなる。この点、上記構成では、弁機構としてニードル弁を用いており、ニードル弁を第２流路の開口の内周に当接させるため、突出する弁座を設ける必要がなくなる。したがって、第２室の空間を広くすることができる。第１室と第２室とを連通する円弧形状の連通流路を形成する場合には、連通流路の形成に用いられる金型部材を配置位置まで移動させる際に通す空間が必要となる。第２室の空間を広くすることにより、連通流路の形成に用いられる部材を移動させる際に通す空間を設けることができる。

第９の構成は、本体を形成する金型と、第１室を形成する第１隆起部及び第２室を形成する第２隆起部を有する金型とを用いる流路ブロックの製造方法であって、前記第２隆起部から前記第１隆起部へと至るように、円弧形状のロータリーロッドを前記金型の内側へ挿入する工程と、前記金型の内側へ加熱溶融された樹脂を注入する工程と、前記樹脂が硬化した後に、前記ロータリーロッドを前記金型の内側から引き抜く工程と、を有する。

上記製造方法により、第１室と第２室とを連通する円弧形状の流路を、金型とロータリーロッドと用いる射出成型により形成することができる。したがって、円弧形状の流路を形成するうえで切削加工の必要がなくなり、切削加工に起因する面粗の悪化を抑制することができる。

第１０の構成では、第９の構成に加えて、前記ロータリーロッドの中心点は前記金型の外部に設けられ、前記ロータリーロッドは前記中心点周りに回動するものであり、前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドを前記中心点周りに回動させて前記金型の内側へ挿入し、前記引き抜く工程では、前記ロータリーロッドを前記中心点周りに回動させて前記金型の内側から引き抜く。

上記構成では、ロータリーロッドの中心点を金型の外部に設けているため、その中心点周りに回動させることで、金型の内側への挿入、及び金型の内側からの引き抜きを行うことができる。

第１１の構成では、第１０の構成に加えて、前記金型には、前記ロータリーロッドが挿入される円弧形状の挿入孔が、前記第２隆起部を貫通するように設けられており、前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドは前記挿入孔に挿入される。

上記構成では、第２隆起部を利用してロータリーロッドを挿入する空間を確保することができるため、流路ブロックの他の部位の形成を阻害することなく、連通流路を形成することができる。

第１２の構成では、第９〜第１１の構成のいずれかに加えて、前記第１隆起部は円柱形であり、前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドは前記第１隆起部の外周面面に当接する。

金型を用いて射出成型を行う場合、金型とロッドとの当接面にはバリが生じやすく、射出成型後にバリを取る処理が必要となる場合がある。このとき、バリが屈曲部に生じている場合には、バリを取る処理が困難となる場合がある。上記構成では、ロータリーロッドを円柱形の第１隆起部の外周面に当接させているため、円柱形の第１室の内周面に、流路の開口が設けられることとなる。したがって、第１室の開口は、屈曲部を有しない内周面に設けられることとなり、射出成型の際に生ずるバリを容易に取り除くことができる。

第１実施形態のバルブを示す断面図。 図１のバルブの第１室周辺の拡大断面図。 第１実施形態のバルブハウジングを示す断面図。 バルブハウジングの縦断面図。 第１実施形態のバルブハウジングの製造方法を示す図。 第１実施形態のバルブハウジングの製造方法を示す図。 柱状部を備えるダイアフラムを示す写真。 切削加工により形成された比較例のダイアフラムの表面を示す写真。 圧延加工により形成された本実施形態のダイアフラムの表面を示す写真。 ダイアフラムの膜部の製造方法を示す模式図。 膜部に柱状部となる第２材料を射出する工程を示す模式図。 比較例のバルブを示す断面図。 図８のバルブの動作を示す断面図。 図９のバルブにおけるダイアフラム周辺の拡大断面図。 （ａ）比較例のダイアフラムの表面写真、（ｂ）（ａ）の枠内の拡大写真、（ｃ）（ｂ）の枠内の拡大写真。 （ａ）本実施形態のダイアフラムの表面写真、（ｂ）（ａ）の枠内の拡大写真。 比較例のバルブにおけるダイアフラム周辺の拡大断面図。 図１７のダイアフラムの表面拡大写真。 本実施形態のバルブにおける弁座周辺の拡大断面図。 図１９のダイアフラムの表面拡大写真。 バルブの別の例を示す断面図。 ダイアフラムをポンプに適用した例を示す図。

＜第１実施形態＞
以下、半導体製造装置等において薬液等の流体の流路を開閉するバルブに具現化した一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１に示すように、バルブ１０（流体制御装置）は、流路ブロック１１、ダイアフラム２０、ニードル弁３１、第１ボディ４１、第２ボディ５１、第１ピストン６１、第２ピストン６２、カバー７１等を備えている。

流路ブロック１１は、耐薬品性の高い樹脂、例えば、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）により、直方体状に形成されている。流路ブロック１１の載置面１１ａ側には、第１室１２が形成されている。第１室１２は、流路ブロック１１の載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として形成されている。第１室１２の深さは、外周縁側から中心側へ向かって連続的に深くなっている。第１室１２の中心軸線上の底面１２ａには、薬液の流路である第１流路１３の開口１３ａが設けられている。

第１流路１３は、開口１３ａから垂直方向へと延びる第１垂直流路１３ｂと、その第１垂直流路１３ｂの開口１３ａとは反対側の端部に接続され、第１垂直流路１３ｂに対して垂直な方向、すなわち、載置面１１ａに対して水平方向へと延びる第１水平流路１３ｃとを含んで構成されている。第１水平流路１３ｃにおいて、第１垂直流路１３ｂと接続される端部の反対側の端部は、開口１３ｄとなっており、この開口１３ｄを介して他の流路等が接続可能である。

流路ブロック１１において、第１流路１３の第１室１２での開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられている。弁座１４は、第１ボディ４１及び第１ピストン６１の方向へ突出する環状の凸部となっている。この環状の凸部の内周側が第１流路１３の第１垂直流路１３ｂの一部を構成している。

弁座１４に対向するように、ダイアフラム２０が配置されている。ダイアフラム２０は、薄膜状（シート状）の膜部２１と、円筒状の連結部２３とを備えている。ダイアフラム２０（膜部２１）の径は、１４ｍｍとなっている。連結部２３は、膜部２１の中央に接合されている。なお、ダイアフラム２０の詳細については後述する。

ダイアフラム２０の膜部２１の周縁部２１ａは、第１ボディ４１に設けられた円筒状の押圧部４２と、流路ブロック１１に形成された、押圧部４２と対向する第１対向部１５とにより押圧されている。詳しくは、膜部２１の上面（第１面）が、押圧部４２により押圧されている。膜部２１の下面（第２面）が、第１対向部１５により押圧されている。このように膜部２１の周縁部２１ａが押圧部４２及び第１対向部１５により押圧された状態で、流路ブロック１１と第１ボディ４１とが接続されている。

バルブ１０におけるダイアフラム２０周辺について、図２を参照して詳述する。押圧部４２のダイアフラム２０の上面との当接面４２ａは平坦である。押圧部４２の下端における内周側の角４２ｂは、Ｒ加工（丸め加工）が行われており、滑らかな曲面となっている。環状の押圧部４２において、内周側の全周にわたって角４２ｂはＲ加工が行われている。膜部２１において、押圧部４２と第１対向部１５とにより押圧された周縁部２１ａは、膜部２１の他の部分の厚み（所定の厚み）の略半分の厚みに変形されている。押圧部４２の下端における外周側の部分には、膜部２１の周縁部２１ａの変形により周縁部２１ａの周囲に形成された隆起部２１ｂを逃がす傾斜部４２ｃが形成されている。

第１対向部１５の上端における角１５ａは、Ｒ加工が行われており、滑らかな曲面となっている。第１対向部１５の上端における内周側の部分には、膜部２１の周縁部２１ａの変形により、周縁部２１ａの押圧された部分（所定部分）の周囲に形成された隆起部２１ｂを逃がす傾斜部が形成されているといえる。

弁座１４において、ダイアフラム２０と当接する部分の外周側の角１４ａは、Ｒ加工が行われており、滑らかな曲面となっている。環状の弁座１４において、外周側の全周にわたって角１４ａはＲ加工が行われている。弁座１４において、ダイアフラム２０と当接する部分の内周側の角１４ｂは、Ｒ加工が行われており、滑らかな曲面となっている。環状の弁座１４において、内周側の全周にわたって角１４ｂはＲ加工が行われている。

ダイアフラム２０の連結部２３には、第１ピストン６１の下端が連結されている。第１ピストン６１（往復動部材）は、円柱状に形成されている。第１ピストン６１の下端には、ねじ溝が設けられている。ダイアフラム２０における連結部２３にもねじ溝が設けられている。第１ピストン６１のねじ溝とダイアフラム２０の連結部２３のねじ溝が締結されることで、ダイアフラム２０と第１ピストン６１とが連結されている。

第１ボディ４１には、第１ピストン６１を弁座１４の方向へ往復動させるアクチュエータが組み込まれている。アクチュエータは、電磁力等により第１ピストン６１を往復動させるものでもよいし、空圧等により第１ピストン６１を往復動させるものでもよい。

第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられる。そして、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３とが遮断される。ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通される。

図１に戻り、流路ブロック１１の載置面１１ａ側において、第１室１２と所定間隔を開けた位置には、第２室１６が形成されている。第２室１６は、第１室１２と同様に、流路ブロック１１の載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として形成されている。第２室１６の中心軸線上の底面１６ａには、薬液の流路である第２流路１７の開口１７ａが設けられている。この開口１７ａは円形であり、開口１７ａの中心は、第２室１６の中心軸線上に位置する。

第２流路１７は、開口１７ａから垂直方向へと延びる第２垂直流路１７ｂと、その第２垂直流路１７ｂの開口１７ａとは反対側の端部に接続され、第２垂直流路１７ｂに対して垂直な方向、すなわち、載置面１１ａに対して水平方向へと延びる第２水平流路１７ｃとを含んで構成されている。第２水平流路１７ｃにおいて、第２垂直流路１７ｂと接続される端部の反対側の端部は、開口１７ｄとなっており、この開口１７ｄを介して他の流路等が接続可能である。

第２流路１７の開口１７ａに対向するように、ニードル弁３１が配置されている。ニードル弁３１は、先端が円錐形であるニードル部３２と、そのニードル部３２の外周を囲うように設けられた円形の膜部３３と、その膜部３３の外周を囲うように設けられた周縁部３４とを備えている。

ニードル弁３１において、ニードル部３２、膜部３３、及び周縁部３４の中心軸線は、第２室１６の中心軸線と一致する。ニードル部３２の直径は、直径が最大である部分において、開口１７ａの直径よりも大きい。

ニードル弁３１の周縁部３４は、第２ボディ５１の下端に接するように設けられた円筒状の押圧部材５２と、流路ブロック１１に形成された、押圧部材５２と対向する第２対向部１８とにより押圧されている。詳しくは、周縁部３４の上面が、押圧部材５２により押圧されている。周縁部３４の下面が、第２対向部１８により押圧されている。このようにニードル弁３１の周縁部３４が押圧部材５２及び第２対向部１８により押圧された状態で、流路ブロック１１と第２ボディ５１とが接続されている。

ニードル弁３１の上端には、第２ピストン６２の下端が連結されている。第２ピストン６２（往復動部材）は、円柱状に形成されている。第２ピストン６２の上端には、外周面に雄ネジが形成されたスピンドル６２ａが設けられている。このスピンドル６２ａの外周面を覆うように、内周面に雌ネジが形成された円筒状のインナースリーブ６３が設けられている。すなわち、スピンドル６２ａの外周面とインナースリーブ６３の内周面とにより、差動ネジを構成する。このインナースリーブ６３の下端側の外周面は摺動面となっており、第２ボディ５１の上端に設けられた円筒状のベース管５１ａの内周面に当接する。このベース管５１ａの内周面は摺動面となっている。インナースリーブ６３の上端側には、円筒形のアウタースリーブ６４が取り付けられている。インナースリーブ６３とアウタースリーブ６４とは、図示しない固定部材により、一体になっている。

以上のように構成されているため、アウタースリーブ６４を回転させれば、アウタースリーブ６４と一体となっているインナースリーブ６３も回転する。この回転は第２ピストン６２のスピンドル６２ａへと伝達される。スピンドル６２ａの外周面とインナースリーブ６３の内周面とにより差動ネジが構成されているため、アウタースリーブ６４の回転は第２ピストン６２の上下方向への移動に変換される。すなわち、アウタースリーブ６４を回転させることにより、第２ピストン６２の下端に設けられたニードル弁３１の上下方向の位置を制御し、第２室１６と第２流路１７との間での流量を制御することができる。

第１室１２と第２室１６とは、連通流路８１により接続されている。連通流路８１は、図３に示すように、所定の中心点９９を中心とする円弧形状である。すなわち、連通流路８１の曲率は、流路方向において一定となっている。連通流路８１の流路方向に直交する断面は図４の断面図に示すように円形である。

連通流路８１の第１室１２側の開口８２は、第１室１２の内周面１２ｂに形成されている。連通流路８１の第２室１６側の開口８３は、第２室１６の側面１６ｂから底面１６ａにかけて、設けられている。

連通流路８１の中心点９９は、流路ブロック１１の外部の、載置面１１ａから垂直方向に離間した位置に設けられている。したがって、中心点９９と開口８２，８３とを結ぶ線分により規定される角度は、１８０°未満である。

続いて、図５及び図６を参照して、流路ブロック１１の製造方法について説明する。流路ブロック１１は、金型９０の内側に設けられた空間に、加熱溶融された樹脂を射出注入することにより形成される。

金型９０は、第１金型９０ａと第２金型９０ｂとを備えている。第１金型９０ａの第２金型９０ｂと対向する面には、第２金型９０ｂ側へと隆起した第１隆起部９１が設けられている。この第１隆起部９１の外形は、第１室１２と等しい形状である。第１隆起部９１の中央には、内側方向へと突出した円筒形状の第１流路形成部９１ａが設けられている。この第１流路形成部９１ａの直径は、第１垂直流路１３ｂと等しい。

金型９０の第１側面９０ｃには、第１挿入孔９２が設けられている。第１挿入孔９２は、円柱形の空間であり、その直径は、第１水平流路１３ｃと等しく形成されている。第１挿入孔９２には、第１スライドロッド９３が挿入される。第１スライドロッド９３は、先端が半球形である円柱形状であり、直径は第１水平流路１３ｃ及び第１挿入孔９２と等しく形成されている。第１スライドロッド９３が第１挿入孔９２に挿入された場合に、第１スライドロッド９３の先端は、第１流路形成部９１ａの先端に当接する。

金型９０には、第１隆起部９１と所定間隔を開けて、金型９０の内側方向へと隆起した第２隆起部９４が設けられている。この第２隆起部９４の外形は、第２室１６と等しい形状である。第２隆起部９４の中央には、内側方向へと突出した円筒形状の第２流路形成部９４ａが設けられている。この第２流路形成部９４ａの直径は、第２垂直流路１７ｂと等しい。

金型９０の、第１側面９０ｃとは反対側の側面である第２側面９０ｄには、第２挿入孔９５が設けられている。第２挿入孔９５は、円柱形の空間であり、その直径は、第２水平流路１７ｃと等しく形成されている。第２挿入孔９５には、第２スライドロッド９６が挿入される。第２スライドロッド９６は、先端が半球形である円柱形状であり、直径は第２水平流路１７ｃ及び第２挿入孔９５と等しく形成されている。第２スライドロッド９６が第２挿入孔９５に挿入された場合に、第２スライドロッド９６の先端は、第２流路形成部９４ａの先端に当接する。

第２隆起部９４を貫通するように、第３挿入孔９７が形成されている。この第３挿入孔９７は、連通流路８１と中心点９９を共通とする円弧形状である。第３挿入孔９７の円弧の半径は連通流路８１の円弧の半径と等しく、第３挿入孔９７の断面の寸法形状は連通流路８１の断面の寸法形状と等しい。第３挿入孔９７の金型９０の内側における開口は、第２隆起部９４の側面９４ｂから底面９４ｃに至るように形成されている。

第３挿入孔９７には、ロータリーロッド９８が挿入される。ロータリーロッド９８は、連通流路８１の中心点９９を中心とする円弧形状である。ロータリーロッド９８の円弧の半径は連通流路８１及び第３挿入孔９７の円弧の半径と等しく、ロータリーロッド９８の断面の寸法形状は、連通流路８１及び第３挿入孔９７の断面の寸法形状と等しい。

ロータリーロッド９８の先端側とは反対側の後端側には、棒状のアーム９８ａが設けられている。このアーム９８ａは中心点９９に接続されている。このようにしてロータリーロッド９８にアーム９８ａが設けられているため、ロータリーロッド９８は、中心点９９周りに回動する。ロータリーロッド９８は、先端側から第３挿入孔９７へと挿入される。回動して第３挿入孔９７に挿入されたロータリーロッド９８の先端は、第１隆起部９１の側面９１ｂに当接する。

図５に示すように、金型９０に対して、第１スライドロッド９３、第２スライドロッド９６、及びロータリーロッド９８が挿入された状態で、加熱溶融された樹脂が射出注入される。その樹脂が冷却され固化した後、図６に示すように、第１スライドロッド９３、第２スライドロッド９６、及びロータリーロッド９８を引き抜く。具体的には、ロータリーロッド９８を中心点９９周りに回動させて、金型９０Ａからロータリーロッド９８を引き抜く。そして、第１金型９０ａと第２金型９０ｂとを分離させる。

第１スライドロッド９３により第１水平流路１３ｃが形成され、金型９０の第１流路形成部９１ａにより第１垂直流路１３ｂが形成される。第１スライドロッド９３と第１流路形成部９１ａとは樹脂を注入する際に当接しているため、第１水平流路１３ｃと第１垂直流路１３ｂは、その当接部分において、接続される。

第２スライドロッド９６により第２水平流路１７ｃが形成され、金型９０の第２流路形成部９４ａにより第２垂直流路１７ｂが形成される。第２スライドロッド９６と第２流路形成部９４ａとは樹脂を注入する際に当接しているため、第２水平流路１７ｃと第２垂直流路１７ｂは、その当接部分において、接続される。

ロータリーロッド９８により、連通流路８１が形成される。ロータリーロッド９８が挿入される第３挿入孔９７は、第２室１６を形成する第２隆起部９４に設けられている。ロータリーロッド９８の先端は、第１室１２を形成する第１隆起部９１に当接する。したがって、ロータリーロッド９８により形成される連通流路８１が、第１室１２と第２室１６とを連通することとなる。

第１スライドロッド９３、第２スライドロッド９６、及びロータリーロッド９８が引き抜かれた後、流路ブロック１１は金型９０から取り外される。このとき、第１スライドロッド９３、第２スライドロッド９６、及びロータリーロッド９８と、金型９０との当接部分にバリが生じていれば、そのバリを取り除く処理を行う。この処理は、公知の処理であるため、具体的な説明を省略する。

以上のようにして流路ブロック１１が形成された後、流路ブロック１１に対して、ダイアフラム２０、ニードル弁３１、第１ボディ４１、第２ボディ５１、第１ピストン６１、第２ピストン６２等が取り付けられる。

次に、本実施形態のダイアフラム２０について詳細に説明する。図７は、柱状部２２を備えるダイアフラム２０を示す写真である。

膜部２１は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料により形成されている。ＰＦＡは、耐薬品性を有しており、ＰＴＦＥと比べてパーティクルの発生しにくい分子構造である。膜部２１は、均一な所定の厚みのシート状（膜状）に形成されている。所定の厚みは、０．０５〜０．５ｍｍであり、望ましくは略０．２ｍｍである。膜部２１は、第１材料を圧延により加工して形成されている。

図８は、切削加工により形成された比較例のダイアフラムの表面を示す写真である。同図に示すように、比較例のダイアフラムの表面は、切削加工により荒れている。このため、ダイアフラムの使用により、パーティクルが発生したり、表面の一部がむしれたり（剥がれたり）するおそれがある。

図９は、圧延加工により形成された本実施形態ダイアフラム２０の表面を示す写真である。同図に示すように、ダイアフラム２０の表面、詳しくは膜部２１の表面は、切削加工が行われていないため、比較例のダイアフラムの表面と比べて荒れていない。しかも、膜部２１の表面は圧延加工により押圧されているため、平滑化されている。このため、ダイアフラム２０を使用したとしても、パーティクルが発生したり、表面の一部がむしれたりすることを抑制することができる。

図７に戻り、膜部２１の中央には、柱状部２２が直接に接合されている。柱状部２２は、ＰＦＡを主原料とする第２材料により、円柱状に形成されている。第１材料は第２材料よりも柔軟性が高い。膜部２１の四隅には、位置決め用の貫通孔２１ｃが形成されている。

そして、柱状部２２が切断及び切削されて、上記連結部２３が形成される。このため、膜部２１の中央には、連結部２３が直接に接合されている。連結部２３には、ねじ溝が形成される。こうして、上記ダイアフラム２０が製造される。

次に、ダイアフラム２０の製造方法について詳細に説明する。図１０は、ダイアフラム２０の膜部２１の製造方法を示す模式図である。図１１は、膜部２１に柱状部２２となる第２材料を射出する工程を示す模式図である。

まず、図１０に示すように、成形機Ｆ１に溶融状態の第１材料ｍ１を投入する。溶融状態の第１材料ｍ１は流動性が低く、射出成形を行うことができない。一方、第１材料ｍ１は柔軟性が高い。そこで、成形機Ｆ１のローラＲ１により、第１材料ｍ１を圧延しながら押し出す。このとき、ローラＲ１を加熱することで、第１材料ｍ１を加熱した状態で圧延する。加熱により第１材料ｍ１を軟化させつつ、第１材料ｍ１を次第に薄く延ばす。

次に、ある程度延ばされた第１材料ｍ１を成形機Ｆ２へ送る。成形機Ｆ２では、ローラＲ２により、第１材料ｍ１を更に圧延する。このとき、ローラＲ２を加熱することで、第１材料ｍ１を加熱した状態で圧延する。そして、０．２ｍｍの厚みまで延ばされた薄膜状（シート状）の膜部２１を、ローラＲ３により巻き取る。これにより、ロール状の膜部２１が製造される。

一般に、耐薬品性を有する第１材料ｍ１を圧延により加工する場合、０．０５ｍｍよりも薄くすることは困難である。そこで、第１材料ｍ１を圧延により加工して０．０５〜０．５ｍｍの厚みの膜部２１を形成する。本実施形態では、略０．２ｍｍの厚みの膜部２１を形成する。

次に、図１１に示すように、所定の大きさに切断した膜部２１を金型Ａ１に取り付ける。そして、柱状部２２の金型Ａ２を膜部２１の表面に配置する。金型Ａ２には、柱状部２２に対応する空間２２Ｓが形成されている。金型Ａ１と金型Ａ２とで膜部２１を挟み込むことで、空間２２Ｓを密閉する。空間２２Ｓは、原料の導入口２２Ｉに連通している。導入口２２Ｉは、射出成形機Ｆ３に接続されている。

射出成形機Ｆ３に溶融状態の第２材料ｍ２を投入する。溶融状態の第２材料ｍ２は流動性が高く、射出成形を行うことができる。すなわち、溶融状態の第２材料ｍ２の流動性は、溶融状態の第１材料ｍ１の流動性よりも高い。そして、第１材料ｍ１により形成された膜部２１の表面に、第２材料ｍ２を溶融状態で射出する。

ここで、膜部２１に溶融状態の第２材料ｍ２が接しても、第１材料ｍ１により形成された膜部２１は溶融しない。膜部２１は溶融しないが、射出された第２材料ｍ２により膜部２１が熱せられ、膜部２１の分子の移動が促進される。

その後、金型Ａ１，Ａ２を冷却することにより、射出された第２材料ｍ２を凝固させて柱状の柱状部２２を形成する。これにより、図７に示すように、膜部２１と柱状部２２とが直接に接合される。そして、柱状部２２を切削して、他部材との連結を可能とする連結部２３を形成する。以上により、ダイアフラム２０が製造される。

図１２は、比較例のバルブ１１０を示す断面図である。図１３は、図１２のバルブ１１０の動作を示す断面図である。バルブ１１０では、バルブ１０の第１ピストン６１に代えて、ボディ１４１にエア（圧縮空気）の入出通路１５２が形成されている。入出通路１５２は、バルブ室１１２においてダイアフラム１２０により区画された上側の空間、すなわち吸入通路１１３及び吐出通路１１４と反対側の空間に連通している。ダイアフラム１２０は、上記第１材料により、薄膜状（シート状）に形成されている。

そして、入出通路１５２からエアが導入されると、図１３に示すように、ダイアフラム１２０が吸入通路１１３及び吐出通路１１４側（流路ブロック１１１側）へ変形し、吸入通路１１３及び吐出通路１１４とバルブ室１１２とが遮断される。入出通路１５２からエアが排出されると、図１２に示すように、ダイアフラム１２０が吸入通路１１３及び吐出通路１１４と反対側（ボディ１４１側）へ変形し、吸入通路１１３及び吐出通路１１４とバルブ室１１２とが連通される。

図１４は、図３のバルブ１１０におけるダイアフラム１２０周辺の拡大断面図である。同図は、入出通路１５２からエアを導入して、ダイアフラム１２０により吸入通路１１３及び吐出通路１１４とバルブ室１１２とを遮断した状態を示している。この状態では、ダイアフラム１２０の一部が吸入通路１１３及び吐出通路１１４の中へ入り込んでいる。また、ダイアフラム１２０の中央部が拘束されていないため、ダイアフラム１２０は膜の広がり方向へ比較的自由に動くことができる。このため、ダイアフラム１２０の表面と流路ブロック１１１の当接面（上面）とが擦れることとなる。

図１５（ａ）は、比較例のバルブ１１０を所定時間使用後のダイアフラム１２０の表面写真、（ｂ）は（ａ）の枠内の拡大写真、（ｃ）は（ｂ）の枠内の拡大写真である。同図に示すように、ダイアフラム１２０の表面に、擦れた跡が付いている。そして、その擦れ跡部分を拡大すると、ダイアフラム１２０の表面が荒れた状態となっている。このため、ダイアフラム１２０の表面と流路ブロック１１１の当接面との擦れは、ダイアフラム１２０からパーティクルが発生する原因となる。

図１６（ａ）は、本実施形態のバルブ１０を上記と同じ所定時間使用後のダイアフラム２０の表面写真、（ｂ）は（ａ）の枠内の拡大写真である。同図に示すように、ダイアフラム１２０の表面に、押圧された跡が付いている。しかしながら、バルブ１０では、ダイアフラム２０の中央部が連結部２３を介して第１ピストン６１により拘束されているため、ダイアフラム２０は膜の広がり方向（径方向）へ動くことが抑制されている。このため、ダイアフラム２０の表面と弁座１４とはほとんど擦れないこととなる。（ｂ）に示すように、押圧跡部分を拡大しても、ダイアフラム２０の表面は荒れた状態となっていない。

図１７は、比較例のバルブ１１０におけるダイアフラム１２０周辺の拡大断面図である。同図に丸の囲みで示すように、ダイアフラム１２０は流路ブロック１１１の当接面（上面）の角１１１ａに当たっている。このため、ダイアフラム１２０の表面が損傷するおそれがある。

図１８は、図１７のダイアフラム１２０において、角１１１ａと当たる部分の表面拡大写真である。同図に示すように、ダイアフラム１２０の表面が角１１１ａにより削られている。このため、ダイアフラム１２０が流路ブロック１１１の当接面の角１１１ａに当たることは、パーティクル発生の原因となる。

図１９は、本実施形態のバルブ１０における弁座１４周辺の拡大断面図である。なお、同図では、ダイアフラム２０の連結部２３を省略して示している。同図に丸の囲みで示すように、ダイアフラム２０は弁座１４の丸い角１４ａに当たる。このため、ダイアフラム２０の表面が損傷することが抑制される。

図２０は、図１９のダイアフラム２０において、角１４ａと当たる部分の表面拡大写真である。同図に示すように、ダイアフラム２０の表面は角１４ａにより削られていない。このため、ダイアフラム２０からパーティクルが発生することが抑制されている。

上記構成により、本実施形態に係るバルブ１０、及びそのバルブ１０に用いられるダイアフラム２０は、以下の効果を奏する。

・流路に屈曲部分を設ける場合、屈曲部分では流路の断面積が大きくなるため、気泡が発生するおそれがあるし、屈曲部分には薬液が滞留するおそれもある。また、流路に屈曲部分を設ける場合、製造方法にかかわらず屈曲部分にはバリが生じ、バリを取り除く処理を行う必要がある、バリを取り除く処理を行えば、面粗が悪化するおそれがあるし、バリを完全に取り除くことは困難である。本実施形態では、連通流路８１を円弧形状としているため、屈曲部分が設けられていない。したがって、金型９０を用いて流路ブロック１１を成形した場合に、連通流路８１を形成する過程で連通流路８１内にバリが発生せず、面粗の悪化を抑制することができる。

・連通流路８１について、円弧形状としており屈曲部分を設けていないため、流路の断面積が大きく変化することがない。これにより、流路の断面積の変化に起因する気泡の発生を抑制することができる。加えて、屈曲部分に生じやすい薬液の滞留を、好適に抑制することができる。

・連通流路８１について、流路方向の断面形状を一定としているため、流路方向の断面積の変化に起因する気泡の発生をより好適に抑制することができる。

・弁機構としてダイアフラム２０を用いる場合、開口１３ａの周囲に突出した弁座１４を設ける必要があり、第１室１２の空間が狭くなる。この点、実施形態では、第２室１６の弁機構としてニードル弁３１を用いており、ニードル弁３１を第２流路１７の開口１７ａの内周に当接させるため、突出する弁座を設ける必要がなくなる。したがって、第２室１６の空間を広くすることができる。第１室１２と第２室１６とを連通する円弧形状の連通流路８１を形成する場合には、連通流路８１の形成に用いられる部材を挿入する空間が必要となる。第２室１６の空間を広くすることにより、連通流路８１の形成に用いられる部材を挿入する空間を設けることができる。

・第２室１６において、中心点９９を中心とする円弧上に弁座等が設けられておらず、空間が形成されている。これにより、第２室１６の空間を用いて、連通流路８１を形成する部材であるロータリーロッド９８を挿入することができる。

・本実施形態では、第１室１２と第２室１６とを連通する円弧形状の連通流路８１を、金型９０とロータリーロッド９８と用いる射出成型により形成している。これにより、円弧形状の連通流路８１を形成するうえで切削加工の必要がなくなり、切削加工に起因する面粗の悪化を抑制することができる。

・ロータリーロッド９８の回動の中心点９９を金型９０の外部に設けているため、その中心点周りに回動させることで、金型９０の内側への挿入、及び金型９０の内側からの引き抜きを適切に行うことができる。

・第２隆起部９４を利用してロータリーロッド９８を挿入する空間である第３挿入孔９７を設けている。これにより、流路ブロック１１の他の部位の形成を阻害することなく、連通流路８１を形成することができる。

・金型を用いて射出成型を行う場合、金型とロッドとの当接面にはバリが生じやすく、射出成型後にバリを取る処理が必要となる場合がある。このとき、バリが屈曲部に生じている場合には、バリを取る処理が困難となる場合がある。本実施形態では、ロータリーロッド９８を円柱形の第１隆起部９１の外周面に当接させているため、円柱形の第１室１２の内周面に、連通流路８１の開口８２が設けられることとなる。したがって、第１室１２に設けられた連通流路８１の開口８２は、屈曲部を有しない曲面に設けられることとなり、射出成型の際に生ずるバリを容易に取り除くことができる。

・第１材料ｍ１の主原料と第２材料ｍ２の主原料とは同じである。このため、第１材料ｍ１により形成された膜部２１に、溶融状態の第２材料ｍ２を射出することにより、膜部２１に第２材料ｍ２を直接に接合することができる。そして、第２材料ｍ２を加工することにより、連結部２３を形成することができる。したがって、膜部２１の厚みが薄い場合であっても、連結部２３を備えるダイアフラム２０を製造することができる。

・溶融状態の第２材料ｍ２の流動性は、溶融状態の第１材料ｍ１の流動性よりも高い。このため、第１材料ｍ１を溶融状態にして射出成形することができない場合であっても、第２材料ｍ２を溶融状態にして射出成形することにより、膜部２１に第２材料ｍ２を接合して連結部２３を形成することができる。

・溶融状態の第２材料ｍ２は、射出成形可能な流動性を有している。このため、第２材料ｍ２を用いて膜部２１に接するように射出成形することにより、膜部２１に直接に接合された連結部２３を形成することができる。

・第１材料ｍ１は第２材料ｍ２よりも柔軟性が高いため、第１材料ｍ１により形成された膜部２１の強度を高くすることができ、膜部２１からのパーティクル発生や膜部２１の損傷を抑制することができる。

・第１材料ｍ１及び第２材料ｍ２の主原料は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）である。ＰＦＡはＰＴＦＥと比べてパーティクルの発生しにくい分子構造であり、ダイアフラム２０の使用によるパーティクルの発生を抑制することができる。近年、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたため、この溶融状態での流動性が高いＰＦＡを第２材料ｍ２として射出成形により連結部２３を形成することができる。また近年、軟質のＰＦＡが開発されたため、この軟質ＰＦＡを第１材料ｍ１として圧延により膜部２１を形成することができる。

・一般に、耐薬品性を有する第１材料ｍ１を圧延により加工する場合、０．０５ｍｍよりも薄くすることは困難である。また、０．５ｍｍよりも薄い膜部２１を射出成形により形成することは困難である。この点、第１材料ｍ１を圧延により加工して０．０５〜０．５ｍｍの厚みの膜部２１を形成し、第２材料ｍ２を用いて射出成形することにより、連結部２３を備えるダイアフラム２０を製造することができる。

・膜部２１の厚みは略０．２ｍｍであるため、連結部２３を備えた上で、ダイアフラム２０として適切な撓みと強度を実現することができる。

・膜部２１の表面が押圧されて平滑化されているため、膜部２１からのパーティクルの発生を抑制することができる。具体的には、第１材料ｍ１を圧延により加工して膜部２１を形成しているため、表面が押圧されて平滑化された膜部２１を製造することができる。

・ダイアフラム２０では、連結部２３を備えた上でダイアフラム２０の膜部２１の厚みを薄くすることができる。このため、変形に対するダイアフラム２０の耐久性を向上させることができ、ダイアフラム２０の径に対して変形量を比較的大きくすることができる。その結果、ダイアフラム２０の変形量とダイアフラム２０の径との比（変形量／径）が０．１５〜０．２５であるバルブ１０を実現することができる。

・膜部２１は、均一な所定の厚みのシート状に形成されているため、圧延により加工して膜部２１を形成することができる。膜部２１の上面を押圧する押圧部４２はこの上面との当接面４２ａが平坦である。このため、当接面４２ａが平坦である押圧部４２により膜部２１の上面を押圧することができ、膜部２１の損傷を抑制することができる。

・流路ブロック１１には、膜部２１を挟んで押圧部４２と対向する第１対向部１５が設けられている。そして、膜部２１において、押圧部４２と第１対向部１５とにより押圧された周縁部２１ａの所定部分は、所定の厚みの略半分の厚みに変形されている。このため、均一な所定の厚みのシート状に形成された膜部２１であっても、押圧部４２と第１対向部１５との間を、膜部２１により確実にシールすることができる。さらに、押圧部４２には、周縁部２１ａの所定部分の変形によりの所定部分の周囲に形成された隆起部２１ｂを逃がす傾斜部４２ｃが形成されている。このため、押圧部４２と第１対向部１５とにより押圧された周縁部２１ａの所定部分に負荷が過剰にかかることを抑制することができ、膜部２１の損傷を抑制することができる。

・バルブ１０において、アクチュエータは連結部２３に連結されて往復動させられる第１ピストン６１を備えている。このため、第１ピストン６１を往復動させることにより、ダイアフラム２０を変形させることができる。ここで、第１ピストン６１によりダイアフラム２０を変形させる構成では、ダイアフラム２０を空圧等で変形させる構成と比較して、ダイアフラム２０の径方向のずれを抑制することができる。その結果、第１流路１３を開閉する際の膜部２１の擦れを抑制することができ、膜部２１からのパーティクル発生や膜部２１の損傷を抑制することができる。

・第１流路１３の第１室１２での開口１３ａの周囲には環状の弁座１４が設けられており、弁座１４においてダイアフラム２０と当接する部分の角１４ａが滑らかな曲面となっている。このため、弁座１４とダイアフラム２０との当接が繰り返されたとしても、膜部２１からのパーティクルの発生や膜部２１の損傷を抑制することができる。

・ダイアフラム２０の製造方法において、耐薬品性を有する第１材料ｍ１により形成された膜部２１の表面に、第１材料ｍ１の主原料と同じ原料を主原料とする第２材料ｍ２が溶融状態で射出される。第１材料ｍ１の主原料と第２材料ｍ２の主原料とは同じであるため、膜部２１に第２材料ｍ２を直接に接合することができる。

・射出された第２材料ｍ２を凝固させて柱状の柱状部２２が形成される。このため、柱状部２２を加工することにより、連結部２３を形成することができる。したがって、膜部２１の厚みが薄い場合であっても、連結部２３を備えるダイアフラム２０を製造することができる。

・第２材料ｍ２を射出する工程において、柱状部２２の金型Ａ２を膜部２１の表面に配置した状態で、金型Ａ２内に第２材料ｍ２が溶融状態で射出される。このため、膜部２１に接するように第２材料ｍ２を射出することができ、膜部２１に直接に接合された柱状部２２を形成することができる。

・第２材料ｍ２を射出する工程において、膜部２１に第２材料ｍ２が溶融状態で射出される。このため、射出された第２材料ｍ２により膜部２１が熱せられ、膜部２１において分子の移動を促進させることができ、膜部２１と第２材料ｍ２との接合強度を向上させることができる。

・第１材料ｍ１を加熱した状態で圧延することにより膜部２１が形成される。このため、膜部２１を圧延により形成する際に、第１材料ｍ１を軟化させることができ、第１材料ｍ１の加工性を向上させることができる。

＜第２実施形態＞
本実施形態に係るバルブ３００について、図２１を参照して説明する。なお、図２１において、第１実施形態と共通の箇所には第１実施形態と同じ符号を付与しており、具体的な説明を省略する。

流路ブロック３１１には、第１室３１２と、第２室３１６が形成されている。第１室３１２は、流路ブロック３１１の載置面３１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として形成されている。第１室３１２の底面３１２ａは、載置面３１１ａに平行な平面である。

第２室３１６は、流路ブロック３１１の載置面３１１ａに垂直な方向に延びる略円柱状の空間として形成されている。第２室３１６の底面３１６ａは、流路ブロック３１１の載置面３１１ａに平行な面であり、側面３１６ｂは、流路ブロック３１１の載置面３１１ａに垂直な円筒状の面である。この底面３１６ａと側面３１６ｂとの間には、円環状のテーパ面３１６ｃが設けられている。すなわち、第２室３１６の直径は底面３１６ａに向かうにつれて小さくなる。

第１室３１２と第２室３１６とを連通する連通流路３８１は、第１実施形態と同様に、円弧形状の流路である。連通流路３８１の第１室３１２側の開口３８２は、第１室３１２の底面３１２ａから内周面３１２ｂにかけて形成されている。連通流路３８１の第２室３１６側の開口３８３は、第２室３１６のテーパ面３１６ｃに形成されている。

なお、本実施形態に係る流路ブロック３１１は、第１実施形態と同様に、射出成型により形成される。

上記構成により、本実施形態に係るバルブ３００は、第１実施形態に準ずる効果を奏する。

＜変形例＞
・実施形態では、第１流路１３を第１垂直流路１３ｂと第１水平流路１３ｃとにより構成したが、第１流路１３を連通流路８１と同様に円弧形状の流路としてもよい。第２流路１７についても同様である。

・実施形態では、連通流路８１，３８１の断面を円形としたが、楕円形としてもよい。この場合、載置面１１ａ，３１１ａ方向を短辺とする横長楕円形としてもよいし、載置面１１ａ，３１１ａ方向を長辺とする縦長楕円形としてもよい。また、連通流路８１，３８１の断面を多角形としてもよい。

・連通流路８１の第１室１２側の開口８２を、第１室１２の底面１２ａに設けてもよい。

・連通流路８１の第２室１６側の開口８３を、第２室１６の底面１６ａに設けてもよい。

・第１室１２と第１流路１３との連通状態を、ダイアフラム２０を備える第１弁機構により制御するものとした。また、第２室１６と第２流路１７との連通状態を、ニードル弁３１を備える第２弁機構により制御するものとした。この点、第１弁機構、第２弁機構としては、実施形態で例示したものに限られず、他の開閉機構を採用することができる。

・流路ブロック１１を射出成型により形成する際に、第１スライドロッド９３、第２スライドロッド９６及びロータリーロッド９８を、金型９０から引き抜いているが少なくとも、金型９０の内部の空間から引き抜かれていればよい。

・第１流路１３及び第２流路１７について、切削により形成することもできる。

・上記実施形態では、膜部２１の周縁部２１ａを略半分の厚みに変形させたが、これに限らず、略２／３の厚みや、略１／３の厚み等に変形させてもよい。

・押圧部４２において、当接面４２ａを下側に凸の曲面とすることもできる。

・ダイアフラム２０の変形量とダイアフラム２０の径との比（変形量／径）を、０．１５〜０．２５の範囲外に設定することもできる。

・第１材料が柔軟性を有し、且つ第２材料を射出成形可能であれば、第１材料及び第２材料の主原料としてＰＦＡ以外を用いることもできる。また、主原料として、１つの原料に限らず、２つ又は３つの原料を用いることもできる。

・膜部２１と連結部２３との接合位置は、膜部２１の中央に限らず、適宜変更することができる。

・膜部２１の形状や、連結部２３の形状は、用いられる装置等に応じて、任意に設定することができる。

・第１材料ｍ１の加工性を確保することができれば、第１材料ｍ１を圧延する際に第１材料ｍ１を加熱しなくてもよい。

・柱状部２２を切削加工して連結部２３を形成しなくても、柱状部２２をそのまま連結部２３として用いることのできる構成を採用することもできる。なお、その場合は、柱状部２２がそのまま連結部２３となる。

・膜部２１と第２材料ｍ２（柱状部２２）との接合強度を向上させるために、第２材料ｍ２を射出する工程において膜部２１を加熱することもできる。

・上記実施形態では、バルブ１０に対してダイアフラム２０を適用した。しかしながら、図２２に示すように、ポンプ２１０に対してダイアフラム２０に準じたダイアフラム２２０を適用することもできる。なお、同図では、ポンプ２１０の一部のみを示している。同図に示すように、ポンプ２１０のボディ２１１には、流体の吸入流路２１３及び連通流路２８１が形成されている。そして、ダイアフラム２２０の変形に基づいて、流体が吸入流路２１３から吸入され、連通流路２８１へ吐出される。連通流路２８１の先には、第１実施形態と同様に、第２室が形成されている。こうすることにより、ポンプ２１０は、第１実施形態と同等の効果を奏する。

・上記実施形態では、第１室１２及び第２室１６を弁室として用いるものを示した。この点、第１室１２及び第２室１６の少なくとも一方に、内部の流体の圧力を調節するレギュレータを設け、圧力調整室として機能させるものとしてもよい。また、第１室１２及び第２室１６の少なくとも一方に、内部の流体の圧力や流量等を検出するセンサを設け、計測室として機能させるものとしてもよい。

１０…バルブ、１１…流路ブロック、１２…第１室、１３…第１流路、１４…弁座、１６…第２室、１７…第２流路、２０…ダイアフラム、３０…ニードル弁、８１…連通流路、９０…金型、９１…第１隆起部、９４…第２隆起部、９７…第３挿入孔、９８…ロータリーロッド、９９…中心点。

Claims (12)

1. 所定面よりも凹んで形成された第１室と、
   前記第１室から離間した位置に、前記所定面よりも凹んで形成された第２室と、
   前記第１室と前記第２室とにそれぞれ開口し、前記第１室と前記第２室とを連通する、円弧形状の連通流路と、を備える樹脂製の流路ブロック。
2. 前記連通流路は、前記流路ブロックの外部に中心点を有する円弧形状である、請求項１に記載の流路ブロック。
3. 前記第１室及び前記第２室の少なくとも一方は、前記中心点を中心とする円弧の延長上にある空間を含む、請求項２に記載の流路ブロック。
4. 前記第１室及び前記第２室は、中心軸線が前記所定面に垂直な円筒形状であり、
   前記連通流路は、前記第１室の内周面、及び前記第２室の内周面の少なくとも一方に開口している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の流路ブロック。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の流路ブロックを備える流体制御装置であって、
   前記第１室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第１流路が接続されており、
   前記第２室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第２流路が接続されており、
   前記第１室と前記第１流路との連通状態を制御する第１弁機構と、
   前記第２室と前記第２流路との連通状態を制御する第２弁機構と、を備える、流体制御装置。
6. 前記第１流路の前記第１室での開口の周囲には、突出した弁座が設けられており、
   前記第１弁機構は、前記弁座と当接するダイアフラムと、前記ダイアフラムに接続され他部材との連結を可能とする連結部と、前記連結部に連結され前記ダイアフラムを往復動させる往復動部材とを備える、請求項５に記載の流体制御装置。
7. 前記ダイアフラム及び前記連結部は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体を主原料として形成されており、
   前記ダイアフラムと前記連結部とは、直接に接合されており、
   前記ダイアフラムの表面が押圧により平滑化されている、請求項６に記載の流体制御装置。
8. 前記第２弁機構は、前記第２流路の前記第２室での開口の内周に当接するニードル弁と、前記ニードル弁を往復動させる往復動部材とを備える、請求項６又は７に記載の流体制御装置。
9. 本体を形成する金型と、第１室を形成する第１隆起部及び第２室を形成する第２隆起部を有する金型とを用いる流路ブロックの製造方法であって、
   前記第２隆起部から前記第１隆起部へと至るように、円弧形状のロータリーロッドを前記金型の内側へ挿入する工程と、
   前記金型の内側へ加熱溶融された樹脂を注入する工程と、
   前記樹脂が硬化した後に、前記ロータリーロッドを前記金型の内側から引き抜く工程と、を有する流路ブロックの製造方法。
10. 前記ロータリーロッドの中心点は前記金型の外部に設けられ、前記ロータリーロッドは前記中心点周りに回動するものであり、
    前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドを前記中心点周りに回動させて前記金型の内側へ挿入し、
    前記引き抜く工程では、前記ロータリーロッドを前記中心点周りに回動させて前記金型の内側から引き抜く、請求項９に記載の流路ブロックの製造方法。
11. 前記金型には、前記ロータリーロッドが挿入される円弧形状の挿入孔が、前記第２隆起部を貫通するように設けられており、
    前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドは前記挿入孔に挿入される、請求項１０に記載の流路ブロックの製造方法。
12. 前記第１隆起部は円柱形であり、
    前記挿入する工程では、前記ロータリーロッドは前記第１隆起部の外周面に当接する、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の流路ブロックの製造方法。