JP2019143960A5 - ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバの製造方法 - Google Patents

Claims (21)

1. 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
   第１金属シートと、
   前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
   前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
   前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面のうちの一方に前記液流路部が設けられて、他方から前記主流溝に複数の主流溝凸部がそれぞれ突出している、ベーパーチャンバ。
2. 前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
3. 互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
   前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通している、請求項１または２に記載のベーパーチャンバ。
4. 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
   第１金属シートと、
   前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、
   前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
   前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
   互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
   前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
   前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面のうちの一方に前記液流路部が設けられて、他方から前記連絡溝に複数の連絡溝凸部がそれぞれ突出している、ベーパーチャンバ。
5. 前記連絡溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、請求項４に記載のベーパーチャンバ。
6. 前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、請求項３乃至５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
7. 前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第１方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記液流路凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含み、
   前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、請求項３乃至６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
8. 前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、請求項７に記載のベーパーチャンバ。
9. 前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、請求項３乃至８のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
10. 前記連絡溝は、前記第１方向に交差する第２方向において整列している、請求項３乃至９のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
11. 前記蒸気流路部は、前記第２金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第２金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に設けられ、
    前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面に設けられ、
    前記第３金属シートに、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
12. 前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
    前記蒸気流路部は、前記第３金属シートの前記第２面に設けられ、
    前記液流路部は、前記第３金属シートの前記第１面に設けられて、前記蒸気流路部と連通している、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
13. 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
    第１金属シートと、
    前記第１金属シート上に設けられた第２金属シートと、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
    前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に設けられ、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記主流溝にそれぞれ突出する複数の主流溝凸部を有している、ベーパーチャンバ。
14. 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
    第１金属シートと、
    前記第１金属シート上に設けられた第２金属シートと、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
    前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に設けられ、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
    前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
    前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記連絡溝にそれぞれ突出する複数の連絡溝凸部を有している、ベーパーチャンバ。
15. ハウジングと、
    前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
    前記デバイスに熱的に接触した、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。
16. 第１金属シートと、前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備えるベーパーチャンバの製造方法であって、
    ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面のうちの一方に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとを前記第３金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
    前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面の他方から前記主流溝に複数の主流溝凸部がそれぞれ突出している、ベーパーチャンバの製造方法。
17. 第１金属シートと、前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備えるベーパーチャンバの製造方法であって、
    ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面のうちの一方に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとを前記第３金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
    前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
    前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
    前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面の他方から前記連絡溝に複数の連絡溝凸部がそれぞれ突出している、ベーパーチャンバの製造方法。
18. 前記第２金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第２金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に前記蒸気流路部を形成する工程と、
    前記第３金属シートに、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部を形成する工程と、を更に備えた、請求項１６または１７に記載のベーパーチャンバの製造方法。
19. 前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
    前記第３金属シートの前記第２面に、前記蒸気流路部を形成するととともに、前記第３金属シートの前記第１面に前記液流路部を形成され、
    前記蒸気流路部と前記液流路部とは連通している、請求項１６または１７に記載のベーパーチャンバの製造方法。
20. 第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
    ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
    前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記主流溝にそれぞれ突出する複数の主流溝凸部を有している、ベーパーチャンバの製造方法。
21. 第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
    ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
    前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
    前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
    前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
    互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
    前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
    前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記連絡溝にそれぞれ突出する複数の連絡溝凸部を有している、ベーパーチャンバの製造方法。