JP2019140193A - データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 138
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 180
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 96
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 87
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims abstract description 73
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 20
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 10
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 1
- 230000003936 working memory Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G01M99/005—Testing of complete machines, e.g. washing-machines or mobile phones
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
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- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06F11/26—Functional testing
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- G—PHYSICS
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- G07C3/00—Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles
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- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
【解決手段】データ処理方法は、基板処理装置20で得られた時系列データ7について、立ち上がり期間、安定期間、および、立ち下がり期間を求める期間設定ステップ(S102)と、時系列データ7の評価値として、立ち上がり期間における評価値、安定期間における評価値、および、立ち下がり期間における評価値を求める評価値計算ステップ(S103)とを備えている。期間設定ステップは、制御信号が変化してから時系列データ7が目標レベルを含む第1範囲内に収まるまでの期間を立ち上がり期間として求め、制御信号が変化してから時系列データ7が初期レベルを含む第2範囲内に収まるまでの期間を立ち下がり期間として求め、立ち上がり期間と立ち下がり期間との間の期間を安定期間として求める。
【選択図】図5
Description
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定ステップと、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップとを備え、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする。
前記時系列データは、前記基板処理装置における制御信号に応じて変化し、
前記期間設定ステップは、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記目標レベルを含む第1範囲内に収まるまでの期間を前記立ち上がり期間として求め、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記初期レベルを含む第2範囲内に収まるまでの期間を前記立ち下がり期間として求め、前記立ち上がり期間と前記立ち下がり期間との間の期間を前記安定期間として求めることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記立ち上がり期間における評価値として前記立ち上がり期間の長さを求め、前記立ち下がり期間における評価値として前記立ち下がり期間の長さを求めることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記立ち上がり期間における評価値として前記時系列データのオーバーシュート量を求めることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記安定期間における評価値として前記安定期間内の時系列データの統計値を求めることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求めることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記時系列データと前記基準データの間でデータが最初に変化し始めるタイミングを一致させた後に、前記時系列データと前記基準データとを比較することを特徴とする。
前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする。
前記評価値計算ステップは、前記時系列データと前記基準データに対して一方を時間軸方向に所定量だけ移動させて比較する処理を複数回行い、得られた複数の評価値の最小値を前記時系列データの評価値として求めることを特徴とする。
前記時系列データが複数の目標レベルを有する場合、前記期間設定ステップは、前記時系列データについて、古い目標レベルから新しい目標レベルに変化するまでの遷移期間をさらに求め、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記遷移期間における評価値をさらに求めることを特徴とする。
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定部と、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算部とを備え、
前記評価値計算部は、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする。
前記時系列データは、前記基板処理装置における制御信号に応じて変化し、
前記期間設定部は、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記目標レベルを含む第1範囲内に収まるまでの期間を前記立ち上がり期間として求め、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記初期レベルを含む第2範囲内に収まるまでの期間を前記立ち下がり期間として求め、前記立ち上がり期間と前記立ち下がり期間との間の期間を前記安定期間として求めることを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記立ち上がり期間における評価値として前記立ち上がり期間の長さを求め、前記立ち下がり期間における評価値として前記立ち下がり期間の長さを求めることを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記立ち上がり期間における評価値として前記時系列データのオーバーシュート量を求めることを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記安定期間における評価値として前記安定期間内の時系列データの統計値を求めることを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求めることを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記時系列データと前記基準データの間でデータが最初に変化し始めるタイミングを一致させた後に、前記時系列データと前記基準データとを比較することを特徴とする。
前記評価値計算部は、前記時系列データと前記基準データに対して一方を時間軸方向に所定量だけ移動させて比較する処理を複数回行い、得られた複数の評価値の最小値を前記時系列データの評価値として求めることを特徴とする。
前記時系列データが複数の目標レベルを有する場合、前記期間設定部は、前記時系列データについて、古い目標レベルから新しい目標レベルに変化するまでの遷移期間をさらに求め、
前記評価値計算部は、前記時系列データの評価値として、前記遷移期間における評価値をさらに求めることを特徴とする。
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定ステップと、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップとを、
コンピュータにCPUがメモリを利用して実行させ、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。図1に示すデータ処理装置10は、データ記憶部11、期間設定部12、スコア計算部13、および、結果表示部14を備えている。データ処理装置10は、基板処理装置20に接続して用いられる。
V=(M−L1)/L1×100 …(1)
V=M−L1 …(2)
図9は、本発明の第2の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。図9に示すデータ処理装置50は、データ記憶部51、期間設定部12、スコア計算部53、および、結果表示部14を備えている。スコア計算部53は、第1の実施形態に係るスコア計算部13とは異なる方法で、時系列データ7のスコアを求める。
第3の実施形態に係るデータ処理装置は、第2の実施形態に係るデータ処理装置(図9)と同じ構成を有する。本実施形態に係るデータ処理装置では、スコア計算部53は、時系列データ7と基準データ8に対して一方を時間軸方向に所定量だけ移動させて比較する処理を複数回行う。スコア計算部53は、得られた複数のスコアの最小値を時系列データ7の評価値として求める。
第4の実施形態に係るデータ処理装置は、第1の実施形態に係るデータ処理装置(図1)、または、第2の実施形態に係るデータ処理装置(図9)を同じ構成を有する。本実施形態では、時系列データ7が複数の目標レベルを有する場合について説明する。
8…基準データ
10、50…データ処理装置
11、51…データ記憶部
12…期間設定部
13、53…スコア計算部
14…結果表示部
20…基板処理装置
25…処理ユニット
30…コンピュータ
31…CPU
32…メインメモリ
40…記録媒体
41…データ処理プログラム
Claims (20)
- 基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定ステップと、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップとを備え、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする、データ処理方法。 - 前記時系列データは、前記基板処理装置における制御信号に応じて変化し、
前記期間設定ステップは、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記目標レベルを含む第1範囲内に収まるまでの期間を前記立ち上がり期間として求め、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記初期レベルを含む第2範囲内に収まるまでの期間を前記立ち下がり期間として求め、前記立ち上がり期間と前記立ち下がり期間との間の期間を前記安定期間として求めることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。 - 前記評価値計算ステップは、前記立ち上がり期間における評価値として前記立ち上がり期間の長さを求め、前記立ち下がり期間における評価値として前記立ち下がり期間の長さを求めることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値計算ステップは、前記立ち上がり期間における評価値として前記時系列データのオーバーシュート量を求めることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値計算ステップは、前記安定期間における評価値として前記安定期間内の時系列データの統計値を求めることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値計算ステップは、前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求めることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値計算ステップは、前記時系列データと前記基準データの間でデータが最初に変化し始めるタイミングを一致させた後に、前記時系列データと前記基準データとを比較することを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。
- 前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値計算ステップは、前記時系列データと前記基準データに対して一方を時間軸方向に所定量だけ移動させて比較する処理を複数回行い、得られた複数の評価値の最小値を前記時系列データの評価値として求めることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。
- 前記時系列データが複数の目標レベルを有する場合、前記期間設定ステップは、前記時系列データについて、古い目標レベルから新しい目標レベルに変化するまでの遷移期間をさらに求め、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記遷移期間における評価値をさらに求めることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。 - 基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定部と、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算部とを備え、
前記評価値計算部は、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする、データ処理装置。 - 前記時系列データは、前記基板処理装置における制御信号に応じて変化し、
前記期間設定部は、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記目標レベルを含む第1範囲内に収まるまでの期間を前記立ち上がり期間として求め、前記制御信号が変化してから前記時系列データが前記初期レベルを含む第2範囲内に収まるまでの期間を前記立ち下がり期間として求め、前記立ち上がり期間と前記立ち下がり期間との間の期間を前記安定期間として求めることを特徴とする、請求項11に記載のデータ処理装置。 - 前記評価値計算部は、前記立ち上がり期間における評価値として前記立ち上がり期間の長さを求め、前記立ち下がり期間における評価値として前記立ち下がり期間の長さを求めることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。
- 前記評価値計算部は、前記立ち上がり期間における評価値として前記時系列データのオーバーシュート量を求めることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。
- 前記評価値計算部は、前記安定期間における評価値として前記安定期間内の時系列データの統計値を求めることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。
- 前記評価値計算部は、前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求めることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。
- 前記評価値計算部は、前記時系列データと前記基準データの間でデータが最初に変化し始めるタイミングを一致させた後に、前記時系列データと前記基準データとを比較することを特徴とする、請求項16に記載のデータ処理装置。
- 前記評価値計算部は、前記時系列データと前記基準データに対して一方を時間軸方向に所定量だけ移動させて比較する処理を複数回行い、得られた複数の評価値の最小値を前記時系列データの評価値として求めることを特徴とする、請求項16に記載のデータ処理装置。
- 前記時系列データが複数の目標レベルを有する場合、前記期間設定部は、前記時系列データについて、古い目標レベルから新しい目標レベルに変化するまでの遷移期間をさらに求め、
前記評価値計算部は、前記時系列データの評価値として、前記遷移期間における評価値をさらに求めることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。 - 基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記時系列データについて、初期レベルから目標レベルに変化するまでの立ち上がり期間、前記目標レベルを保つ安定期間、および、前記目標レベルから前記初期レベルに変化するまでの立ち下がり期間を求める期間設定ステップと、
前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップとを、
コンピュータにCPUがメモリを利用して実行させ、
前記評価値計算ステップは、前記時系列データの評価値として、前記立ち上がり期間における評価値、前記安定期間における評価値、および、前記立ち下がり期間における評価値を求めることを特徴とする、データ処理プログラム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020796A JP7090430B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム |
KR1020190006844A KR102294254B1 (ko) | 2018-02-08 | 2019-01-18 | 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치 및 데이터 처리 프로그램 |
TW108103096A TWI770348B (zh) | 2018-02-08 | 2019-01-28 | 資料處理方法、資料處理裝置以及電腦可讀取記錄媒體 |
US16/261,646 US11099105B2 (en) | 2018-02-08 | 2019-01-30 | Data processing method, data processing device, and non-transitory computer-readable recording medium having recorded thereon data processing program |
CN201910097340.3A CN110134536B (zh) | 2018-02-08 | 2019-01-31 | 数据处理方法、数据处理装置及记录介质 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020796A JP7090430B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019140193A true JP2019140193A (ja) | 2019-08-22 |
JP2019140193A5 JP2019140193A5 (ja) | 2021-02-18 |
JP7090430B2 JP7090430B2 (ja) | 2022-06-24 |
Family
ID=67476616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018020796A Active JP7090430B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11099105B2 (ja) |
JP (1) | JP7090430B2 (ja) |
KR (1) | KR102294254B1 (ja) |
CN (1) | CN110134536B (ja) |
TW (1) | TWI770348B (ja) |
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CN110134536B (zh) | 2023-07-18 |
JP7090430B2 (ja) | 2022-06-24 |
TWI770348B (zh) | 2022-07-11 |
CN110134536A (zh) | 2019-08-16 |
US20190242789A1 (en) | 2019-08-08 |
KR102294254B1 (ko) | 2021-08-26 |
US11099105B2 (en) | 2021-08-24 |
KR20190096271A (ko) | 2019-08-19 |
TW201939316A (zh) | 2019-10-01 |
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