JP2019140193A5 - - Google Patents

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本発明の第１の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。 図１に示す基板処理装置の概略構成を示す図である。 図１に示すデータ処理装置における時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 第１の実施形態に係るデータ処理装置の動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置における期間設定を示す図である。 複数の時系列データの例を示す図である。 従来のデータ処理方法の課題を説明するための図である。 本発明の第２の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。 図９に示すデータ処理装置における基準データをグラフ化して示す図である。 図９に示すデータ処理装置における変化開始タイミングを一致させる処理を説明するための図である。 本発明の第３の実施形態に係るデータ処理装置のスコア計算部の動作を示す図である。 本発明の第４の実施形態に係るデータ処理装置における期間設定を示す図である。
あるいは、スコア計算部１３は、スコアの閾値を１個だけ有していてもよい。この場合、スコア計算部１３は、立ち上がり期間におけるスコア、安定期間におけるスコア、および、立ち下がり期間におけるスコアの最大値を求め、求めた最大値が閾値以下のときには、「基板は正常に処理された」と判断し、求めた最大値が閾値を超えたときには、「基板に対する処理で異常が発生した」と判断する。
（第４の実施形態）
第４の実施形態に係るデータ処理装置は、第１の実施形態に係るデータ処理装置（図１）、または、第２の実施形態に係るデータ処理装置（図９）と同じ構成を有する。本実施形態では、時系列データ７が複数の目標レベルを有する場合について説明する。
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TW108103096A TWI770348B (zh) 2018-02-08 2019-01-28 資料處理方法、資料處理裝置以及電腦可讀取記錄媒體
US16/261,646 US11099105B2 (en) 2018-02-08 2019-01-30 Data processing method, data processing device, and non-transitory computer-readable recording medium having recorded thereon data processing program
CN201910097340.3A CN110134536B (zh) 2018-02-08 2019-01-31 数据处理方法、数据处理装置及记录介质

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12008022B2 (en) 2020-01-30 2024-06-11 SCREEN Holdings Co., Ltd. Data processing method, data processing device, and storage medium

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7460381B2 (ja) 2020-01-30 2024-04-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置およびプログラム
JP7366775B2 (ja) 2020-01-30 2023-10-23 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置およびプログラム
JP2021152762A (ja) * 2020-03-24 2021-09-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 学習済みモデル生成方法、学習済みモデル、異常要因推定装置、基板処理装置、異常要因推定方法、学習方法、学習装置、及び、学習データ作成方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10232714A (ja) * 1997-02-18 1998-09-02 Kokusai Electric Co Ltd 流量制御装置の診断装置
JP2000269108A (ja) 1999-03-15 2000-09-29 Sharp Corp 半導体製造装置の管理システム
JP2002278800A (ja) * 2001-03-21 2002-09-27 Oki Electric Ind Co Ltd 監視装置およびその方法
JP2004186445A (ja) 2002-12-03 2004-07-02 Omron Corp モデル化装置及びモデル解析方法並びにプロセス異常検出・分類システム及びプロセス異常検出・分類方法並びにモデル化システム及びモデル化方法並びに故障予知システム及びモデル化装置の更新方法
EP1480227A1 (en) * 2003-05-22 2004-11-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Testing integrated circuits with fault dictionary
JP2005259930A (ja) * 2004-03-11 2005-09-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および基板処理方法
JP5401070B2 (ja) 2008-10-08 2014-01-29 株式会社アルバック 処理装置の管理システム
JP5402183B2 (ja) * 2009-04-10 2014-01-29 オムロン株式会社 監視装置、監視装置の制御方法、および制御プログラム
JP5593121B2 (ja) 2010-05-10 2014-09-17 シャープ株式会社 工程管理装置および工程管理方法、制御プログラム、可読記録媒体
JP5796994B2 (ja) * 2010-06-08 2015-10-21 株式会社日立国際電気 処理システム、基板処理装置、処理システムのデータ処理方法、収集ユニット及び記録媒体並びに半導体装置の製造方法
JP5414703B2 (ja) * 2011-01-20 2014-02-12 東京エレクトロン株式会社 処理装置の異常診断方法及びその異常診断システム
JP6163811B2 (ja) * 2013-03-25 2017-07-19 日本電気株式会社 時系列データ処理装置、時系列データ処理方法、及び時系列データ処理プログラム
JP6450650B2 (ja) 2015-06-16 2019-01-09 東京エレクトロン株式会社 処理装置、処理方法および記憶媒体
CN107636619B (zh) 2015-08-06 2020-12-29 日铁系统集成株式会社 信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法及记录介质
JP6532845B2 (ja) * 2016-07-26 2019-06-19 双葉電子工業株式会社 計測装置、計測方法、プログラム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12008022B2 (en) 2020-01-30 2024-06-11 SCREEN Holdings Co., Ltd. Data processing method, data processing device, and storage medium

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