JP2019140187A - 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法。 - Google Patents
半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法。 Download PDFInfo
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Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 291
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 30
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 21
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 9
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- -1 silicon and carbon Chemical class 0.000 claims 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 6
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 abstract 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02378—Silicon carbide
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02529—Silicon carbide
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02639—Preparation of substrate for selective deposition
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/30—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by physical imperfections; having polished or roughened surface
- H01L29/32—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by physical imperfections; having polished or roughened surface the imperfections being within the semiconductor body
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66053—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide
- H01L29/6606—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide the devices being controllable only by variation of the electric current supplied or the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched, e.g. two-terminal devices
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66053—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide
- H01L29/66068—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
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- H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
- H01L29/7395—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
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- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
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- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/0619—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE] with a supplementary region doped oppositely to or in rectifying contact with the semiconductor containing or contacting region, e.g. guard rings with PN or Schottky junction
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/083—Anode or cathode regions of thyristors or gated bipolar-mode devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る基板及び半導体装置を例示する模式図である。
図1(a)は、図1(b)のA1−A2線断面図である。図1(b)は、図1(a)の矢印ARから見た平面図である。
第2半導体領域20は、例えば、ドリフト層の少なくとも一部となる。
図2は、図1(a)のB1−B2線に沿う部分における、元素の濃度を例示している。図2の横軸は、厚さ方向(Z軸方向)における位置である。図2の縦軸は、元素の濃度C0である。図2の例では、第1半導体領域10及び第2半導体領域20は、窒素を含む。図2には、窒素の濃度CNのプロファイルと、第1元素の濃度C1のプロファイルと、が例示されている。
第1領域11から第2領域12への方向(例えばX軸方向)と、第1半導体領域10に含まれる第1化合物(例えば、SiC)の<11−20>方向と、の間の角度を角度θとする。角度θは、例えば、オフ角である。角度θは、例えば、0度以上を超え10度以下である。角度θは、例えば、1度以上5度以下でも良い。
w3<(d1/tanθ) (1)
このような関係により、例えば、基底面転位10Bは、第1領域11または第2領域12に届くようになる。これにより、基底面転位密度を効果的に転換させることができる。
w3<(d2/tanθ) (2)
実施形態において、距離w3、角度θ及び長さd1は、以下の第3式を満たしても良い。
w3<(d1/tanθ)/2 (3)
距離w3、角度θ及び長さd2は、以下の第4式を満たしても良い。
w3<(d2/tanθ)/2 (4)
例えば、基底面転位密度を効果的に転換させることができる。
図4に示すように、基板211及び半導体装置111においては、第1領域11及び第2領域12は、島状である。第1領域11及び第2領域12の間に、第3領域13(低濃度領域10Lの一部)が位置する。低濃度領域10Lは、第1領域11及び第2領域12の周りに設けられる。
第2実施形態は、半導体装置に係る。第2実施形態において、半導体装置は、トランジスタである。
図6に示すように、実施形態に係る半導体装置120は、第1半導体領域10及び第2半導体領域20に加えて、第3半導体領域30、第4半導体領域40、第1〜第3電極51〜53、及び、絶縁部61を含む。
図7に示すように、実施形態に係る半導体装置121も、第1半導体領域10A及び第2半導体領域20に加えて、第3半導体領域30、第4半導体領域40、第1〜第3電極51〜53、及び、絶縁部61を含む。
第3実施形態は、半導体装置に係る。第3実施形態において、半導体装置は、ダイオードある。
図8に示すように、実施形態に係る半導体装置130は、第1半導体領域10及び第2半導体領域20に加えて、第1電極51及び第2電極52を含む。
第4実施形態は、半導体装置または基板の製造方法に係る。
図9(a)〜図9(c)は、第4実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
図9(b)に示すように、半導体装置の製造方法は、第1半導体領域10を準備する工程を含む。第1半導体領域10は、シリコンと炭素とを含む第1化合物(例えばSiC)を含む。第1半導体領域10は、第1〜第3領域11〜13を含む。第3領域13は、第1領域11と第2領域12との間に位置する。第1領域11及び第2領域12は、第1元素を含む。第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第3領域13は、第1元素を含まない。または、第3領域13における第1元素の濃度(例えば第3ピーク濃度)は、第1領域11における第1元素の濃度(例えば第1ピーク濃度)よりも低く、第2領域12における第1元素の濃度(例えば第2ピーク濃度)よりも低い。この例では、第4領域14の上に、第1〜第3領域11〜13が位置する。
Claims (19)
- シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域と、
シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体領域と、
を備え、
前記第1半導体領域は、前記第2半導体領域と接する第1〜第3領域を含み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、
前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、
前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の濃度よりも低い、半導体装置。 - 前記第1半導体領域は、第4領域をさらに含み、
前記第1〜前記第3領域は、前記第4領域と前記第2半導体領域との間に位置し、
前記第4領域は第1元素を含まない、または、前記第4領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の前記濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の前記濃度よりも低い、請求項1記載の半導体装置。 - シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域と、
シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体層と、
を備え、
前記第1半導体領域は、第1〜第4領域を含み、
前記第1〜第3領域は、前記第4領域と前記第2半導体領域との間に位置し、
前記第2領域は、前記第4領域から前記第2半導体領域への方向と交差する方向において、前記第1領域から離れ、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、
前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、
前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の第3ピーク濃度は、前記第1領域における第1元素の第1ピーク濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の第2ピーク濃度よりも低く、
前記第4領域は第1元素を含まない、または、前記第4領域における第1元素の第4ピーク濃度は、前記第1ピーク濃度よりも低く、前記第2ピーク濃度よりも低く、
前記第2半導体領域の一部における第1元素の濃度は、前記第1ピーク濃度の1/10以上である、半導体装置。 - 前記第1領域と前記第2領域との間の距離w3と、
前記第1領域から前記第2領域への方向と、前記第1化合物の<11−20>方向と、の間の角度θと、
前記第1半導体領域から前記第2半導体領域への方向に沿う前記第1領域の長さd1と、
は、
w3<(d1/tanθ)
を満たす、請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記距離w3と、前記角度θと、前記長さd1と、は、
w3<(d1/tanθ)/2
を満たす、請求項4記載の半導体装置。 - 第1〜第3電極と、
第3半導体領域と、
第4半導体領域と、
絶縁部と、
をさらに備え、
前記第1半導体領域は、第1方向において、前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一部との間、及び、前記第1電極と前記第3電極と、の間に位置し、前記第2領域は、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1領域から離れ、前記第3電極から前記第2電極の前記少なくとも一部への方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2半導体領域は、第1部分と第2部分とを含み、前記第1部分は、前記第1方向において前記第1半導体領域と前記第2電極の前記少なくとも一部との間に位置し、前記第2部分は、前記第1方向において前記第1半導体領域と前記第3電極と、の間に位置し、
前記第3半導体領域は、第3部分と第4部分とを含み、前記第3部分は、前記第1方向において、前記第1部分と前記第2電極の前記少なくとも一部との間に位置し、
前記第4半導体領域は、前記第1方向において、前記第3部分と前記第2電極の前記少なくとも一部との間に位置し、前記第2電極と電気的に接続され、
前記第4部分は、前記第2方向において前記第2部分の少なくとも一部と前記第4半導体領域との間に位置し、
前記絶縁部は、前記第1方向において、前記第2部分と前記第3電極との間に位置し、
前記第2半導体領域は、第1導電形であり、
前記第3半導体領域は、第2導電形であり、
前記第4半導体領域は、前記第1導電形である、請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 第1電極と、
第2電極と、
をさらに備え、
前記第1電極と前記第2電極との間に前記第1半導体領域が位置し、
前記第1半導体領域と前記第2電極との間に前記第2半導体領域が位置し、
前記第1半導体領域は、第1導電形であり、
前記第2半導体領域は、前記第1導電形であり、
前記第1半導体領域における前記第1導電形の不純物濃度は、前記第2半導体領域における前記第1導電形の不純物濃度よりも高い、請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1半導体領域は、窒素及びリンからなる群から選択された少なくとも1つを含む元素を含み、
前記第2半導体領域は、窒素及びリンからなる群から選択された少なくとも1つを含む元素を含み、
前記第1半導体領域に含まれる前記元素の濃度は、前記第2半導体領域に含まれる前記元素の濃度よりも高い、請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1半導体領域は、アルミニウム及びガリウムからなる群から選択された少なくとも1つを含む元素を含み、
前記第2半導体領域は、窒素及びリンからなる群から選択された少なくとも1つを含む元素を含む、請求項1〜6いずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1領域における前記第1元素の濃度は、1×1017cm−3以上1×1021cm−3以下であり、
前記第2領域における前記第1元素の濃度は、1×1015cm−3以上1×1017cm−3未満である、請求項1〜9のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第2半導体領域における基底面転位密度は、前記第1半導体領域における基底面転位密度の3/1000以下である、請求項1〜10のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第3領域及び前記第4領域の少なくとも一部において、基底面転位が貫通刃状転位に変化する、請求項2または3に記載の半導体装置。
- シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域と、
シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体領域と、
を備え、
前記第1半導体領域は、前記第2半導体領域と接する第1〜第3領域を含み、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、
前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、
前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の濃度よりも低い、基板。 - 前記第1半導体領域は、第4領域をさらに含み、
前記第1〜前記第3領域は、前記第4領域と前記第2半導体領域との間に位置し、
前記第4領域は第1元素を含まない、または、前記第4領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の前記濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の前記濃度よりも低い、請求項13記載の基板。 - シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域と、
シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体層と、
を備え、
前記第1半導体領域は、第1〜第4領域を含み、
前記第1〜第3領域は、前記第4領域と前記第2半導体領域との間に位置し、
前記第2領域は、前記第4領域から前記第2半導体領域への方向と交差する方向において、前記第1領域から離れ、
前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、
前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、
前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の第3ピーク濃度は、前記第1領域における第1元素の第1ピーク濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の第2ピーク濃度よりも低く、
前記第4領域は第1元素を含まない、または、前記第4領域における第1元素の第4ピーク濃度は、前記第1ピーク濃度よりも低く、前記第2ピーク濃度よりも低く、
前記第2半導体領域の一部における第1元素の濃度は、前記第1ピーク濃度の1/10以上である、基板。 - 前記第1領域と前記第2領域との間の距離w3と、
前記第1領域から前記第2領域への方向と、前記第1化合物の<11−20>方向と、の間の角度θと、
前記第1半導体領域から前記第2半導体領域への方向に沿う前記第1領域の長さd1と、
は、
w3<(d1/tanθ)
を満たす、請求項13〜15のいずれか1つに記載の基板。 - シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域であって、前記第1半導体領域は、第1〜第3領域を含み、前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の濃度よりも低い、前記第1半導体領域を準備する工程と、
前記第1〜第3領域の上に、シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体領域を形成する工程と、
を備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記第1半導体領域を準備する工程は、
前記第1化合物を含む基体の一部に第1元素を注入して、前記第1〜第3領域を形成することを含む、請求項17記載の半導体装置の製造方法。 - シリコンと炭素とを含む第1化合物を含む第1半導体領域であって、前記第1半導体領域は、第1〜第3領域を含み、前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間に位置し、前記第1領域及び前記第2領域は第1元素を含み、前記第1元素は、第2元素及び第3元素よりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第2元素は、Ar、Kr、Xe及びRnよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第3元素は、Cl、Br、I及びAtよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記第3領域は第1元素を含まない、または、前記第3領域における第1元素の濃度は、前記第1領域における第1元素の濃度よりも低く、前記第2領域における第1元素の濃度よりも低い、前記第1半導体領域を準備する工程と、
前記第1〜第3領域の上に、シリコンと炭素とを含む第2化合物を含む第2半導体領域を形成する工程と、
を備えた、基板の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020476A JP6782263B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法 |
US16/055,286 US10546932B2 (en) | 2018-02-07 | 2018-08-06 | Semiconductor device, substrate, method for manufacturing semiconductor device, and method for manufacturing substrate |
JP2020172974A JP6972275B2 (ja) | 2018-02-07 | 2020-10-14 | 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020476A JP6782263B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020172974A Division JP6972275B2 (ja) | 2018-02-07 | 2020-10-14 | 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019140187A true JP2019140187A (ja) | 2019-08-22 |
JP6782263B2 JP6782263B2 (ja) | 2020-11-11 |
Family
ID=67476134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018020476A Active JP6782263B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 半導体装置、基板、半導体装置の製造方法、及び、基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10546932B2 (ja) |
JP (1) | JP6782263B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7292233B2 (ja) * | 2020-03-11 | 2023-06-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013183064A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014017326A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Rohm Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2015002277A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP2016157762A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5945505A (ja) | 1982-09-06 | 1984-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 数値制御装置の点群の位置定義装置 |
JP2569058B2 (ja) * | 1987-07-10 | 1997-01-08 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP3201993B2 (ja) | 1998-04-28 | 2001-08-27 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置とその製造方法 |
US8211761B2 (en) * | 2006-08-16 | 2012-07-03 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Semiconductor system using germanium condensation |
JP2010278259A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Toyota Motor Corp | 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
US20130228797A1 (en) | 2010-11-15 | 2013-09-05 | Hoya Corporation | Silicon carbide substrate and semiconductor device |
US8384151B2 (en) * | 2011-01-17 | 2013-02-26 | Infineon Technologies Austria Ag | Semiconductor device and a reverse conducting IGBT |
US20160254148A1 (en) * | 2013-10-28 | 2016-09-01 | Fuji Electric Co., Ltd. | Silicon carbide semiconductor device and manufacturing method for same |
US9847334B1 (en) * | 2016-11-18 | 2017-12-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Structure and formation method of semiconductor device with channel layer |
-
2018
- 2018-02-07 JP JP2018020476A patent/JP6782263B2/ja active Active
- 2018-08-06 US US16/055,286 patent/US10546932B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013183064A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
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JP2016157762A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10546932B2 (en) | 2020-01-28 |
JP6782263B2 (ja) | 2020-11-11 |
US20190245042A1 (en) | 2019-08-08 |
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