JP2019134019A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Cavity Surface Emitting Laser)などの発光素子は、実装基板に実装される。発光素子は、基板上に、第1ミラー層、活性層、および第2ミラー層を結晶成長させることで形成される。通常、発光素子を実装基板に実装する場合、発光素子の基板側を実装し、発光素子の基板とは反対側から光を出射させる。一方、発光素子の熱は、実装基板側から放出されるため、放熱性を重視する場合には、発光素子の基板とは反対側を実装基板に実装し(ジャンクションダウン実装)、光を発光素子の基板側に出射させる。
基板と、
前記基板に設けられた第1ミラー層と、
前記第1ミラー層の前記基板側とは反対側に設けられた活性層、および前記活性層の前記第1ミラー層側とは反対側に設けられた第2ミラー層を有する柱状部と、
前記柱状部の側面に設けられ、前記第1ミラー層の熱伝導率および前記第2ミラー層の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する半絶縁性部材と、
第1面において前記半絶縁性部材に接合され、前記活性層で生じた光が通過するサブマウントと、
を有し、
前記サブマウントの前記第1面と反対側の第2面は、前記活性層で生じた光の出射方向を向いている。
同じ方向に熱を放出させることができ、例えば発光装置を含む製品の外側に向けて、熱を放出することができる。よって、このような発光装置では、冷却の効率がよい。
前記第2面に設けられたペルチェ素子またはヒートシンクを有してもよい。
前記サブマウントの材質は、シリコンであり、
前記活性層で生じた光の波長は、940nm以上であってもよい。
前記サブマウントには、前記活性層で生じた光が通過する開口部が設けられていてもよい。
前記開口部の面積は、前記第1面側から前記第2面側に向けて、大きくなってもよい。
前記半絶縁性部材の材質は、GaAs(ガリウム砒素)であってもよい。
前記基板の前記第1ミラー層側とは反対側に設けられ、前記第1ミラー層、前記活性層、および前記第2ミラー層を有する発光素子を駆動させる回路基板を有してもよい。
前記サブマウントは、接合部材によって、前記回路基板に接合され、
前記接合部材は、
樹脂からなる突起部と、
前記突起部を覆う導電層と、
を有してもよい。
まず、本実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す断面斜視図である。図2は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。なお、便宜上、図1では、配線4、電極60,62、回路基板70の図示を省略している。また、図1では、冷却部90を透視して図示している。また、図1および図2では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
該高屈折率層よりも屈折率の小さい低屈折率層が、交互に積層された積層構造体を有している。第1ミラー層20は、分布ブラッグ反射型(DBR:Distributed Bragg Reflector)ミラーである。高屈折率層は、例えば、n型のAl0.5Ga0.5As層である。低屈折率層は、例えば、n型のAl0.9Ga0.1As層である。高屈折率層と低屈折率層との積層数(ペア数)は、例えば、40ペア以上80ペア以下である。
ウント80を形成することができる。
ブマウント80の第2面84は、光L1の出射方向を向いている。そのため、発光装置100では、半絶縁性部材50の熱伝導率がミラー層20,40の熱伝導率以下の場合に比べて、活性層30で生じた熱は、半絶縁性部材50、接合部材2、およびサブマウント80を伝わり、第2面84から放出される易い。したがって、発光装置100では、光L1の出射方向と同じ方向に熱を放出させることができ、例えば発光装置100を含む製品の外側に向けて、熱を放出することができる。よって、発光装置100では、冷却の効率がよく、高い信頼性を有することができる。また、例えば、製品の寿命を向上させることができる。例えば発光装置100を含む製品の内側に向けて、熱が放出される場合は、回路基板70などの部品によって、冷却の効率が悪くなる場合がある。
次に、本実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図3〜図7は、本実施形態に係る発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
3.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態の第1変形例に係る発光装置200を模式的に示す断面図である。なお、図8および後述する図9〜図13では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
次に、本実施形態の第2変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態の第2変形例に係る発光装置300を模式的に示す断面図である。図10は、図9の開口部85周辺の拡大図である。なお、便宜上、図10では、サブマウント80以外の部材の図示を省略している。
次に、本実施形態の第3変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態の第3変形例に係る発光装置400を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図11では、サブマウント80以外の部材の図示を省略している。
次に、本実施形態の第4変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図13は、本実施形態の第4変形例に係る発光装置500を模式的に示す断面図である。
と、を有している。受光素子510は、例えば、公知の方法によって形成される。
次に、本実施形態に係る生体センシング機器について、図面を参照しながら説明する。図14および図15は、本実施形態に係る生体センシング機器1000を模式的に示す斜視図である。図16は、本実施形態に係る生体センシング機器1000の機能ブロック図である。
いる。表示部1022は、本体ケース1020の人体M側とは反対側に設けられる。センサー部1030は、本体ケース1020の人体M側に設けられる。センサー部1030は、例えば、人体Mと接して設けられる。センサー部1030は、発光装置500を含んで構成されている。本体ケース1020には、さらに、操作ボタン1023や、制御部1024などの回路系、電源としての電池などが組み込まれている。
持部材6に伝える伝熱部95を有し、伝熱部95は、発光素子102の第2ミラー層40側と支持部材6とを接続している。そのため、生体センシング機器1000では、伝熱部95は、発光素子102の熱を、支持部材6に伝え易く、発光素子102の熱によって、人体Mの体表面温度を上げることができる。これにより、生体センシング機器1000では、人体Mの血管が収縮することを抑制することができ、光L2から、大きな脈波振幅を得ることができる。したがって、生体センシング機器1000では、大きな脈波振幅を得るために、発光素子102に注入する電流量を増やさなくてもよく、発熱量の増加に基づく照射光量の飽和を抑制することができる。さらに、省電力によって充電頻度を減少させることができる。さらに、同じ電流量でも人体Mが温まるため、より安定して脈波を収録することができる。
次に、本実施形態の変形例に係る生体センシング機器について、図面を参照しながら説明する。図17は、本実施形態の変形例に係る生体センシング機器1001の機能ブロック図である。
、人体Mの内部で散乱された光L1の一部を光L2として受光し、人体Mの内部で散乱された光L3の一部を光L4として受光する。出力部1026は、光L2と光L4との強度比を、SpO2に変換して出力する。制御部1024は、SpO2の情報を表示部1022に表示させることができる。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板に設けられた第1ミラー層と、
前記第1ミラー層の前記基板側とは反対側に設けられた活性層、および前記活性層の前記第1ミラー層側とは反対側に設けられた第2ミラー層を有する柱状部と、
前記柱状部の側面に設けられ、前記第1ミラー層の熱伝導率および前記第2ミラー層の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する半絶縁性部材と、
第1面において前記半絶縁性部材に接合され、前記活性層で生じた光が通過するサブマウントと、
を有し、
前記サブマウントの前記第1面と反対側の第2面は、前記活性層で生じた光の出射方向を向いている、発光装置。 - 請求項1において、
前記第2面に設けられたペルチェ素子またはヒートシンクを有する、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記サブマウントの材質は、シリコンであり、
前記活性層で生じた光の波長は、940nm以上である、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記サブマウントには、前記活性層で生じた光が通過する開口部が設けられている、発光装置。 - 請求項4において、
前記開口部の面積は、前記第1面側から前記第2面側に向けて、大きくなる、発光装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記半絶縁性部材の材質は、ガリウム砒素である、発光装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記基板の前記第1ミラー層側とは反対側に設けられ、前記第1ミラー層、前記活性層、および前記第2ミラー層を有する発光素子を駆動させる回路基板を有する、発光装置。 - 請求項7において、
前記サブマウントは、接合部材によって、前記回路基板に接合され、
前記接合部材は、
樹脂からなる突起部と、
前記突起部を覆う導電層と、
を有する、発光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018013739A JP2019134019A (ja) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 発光装置 |
US16/260,809 US10741994B2 (en) | 2018-01-30 | 2019-01-29 | Light emitter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018013739A JP2019134019A (ja) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019134019A true JP2019134019A (ja) | 2019-08-08 |
Family
ID=67393753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018013739A Withdrawn JP2019134019A (ja) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 発光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10741994B2 (ja) |
JP (1) | JP2019134019A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20220513 |