JP2019123661A - 単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置およびこれに適用された引き上げ制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
f(x)=Asin(wt)+B
110:引き上げ駆動部
111:シードケーブル
120:引き上げ制御部
121:判断部
122:演算部
123:出力部
Claims (12)
- シリコン融液に浸漬したシードと連結されたシードケーブルを回転および引き上げさせる引き上げ駆動部と、
既に設定された目標シード入力回転数(T_fin)が入力されることによってインゴットの長さごとの回転形態に合うようにリアルタイムに可変する目標シード出力回転数(T_fout)を出力し、前記目標シード出力回転数(T_fout)により前記引き上げ駆動部の回転数(f)を制御する引き上げ制御部と、
を含む単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - 前記引き上げ制御部は、
既に設定された目標シード入力回転数(T_fin)が入力されることによってインゴットの長さごとの回転形態が一定であるか否かを判断する判断部と、
前記判断部の判断の結果により関数形状に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する演算部と、
前記演算部の算出結果により目標シード出力回転数(T_fout)を前記引き上げ駆動部に出力する出力部と、
を含む請求項1に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - 前記演算部は、
前記判断部の判断の結果、インゴットの長さごとの回転形態が一定であると、sin関数に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項2に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - 前記演算部は、
前記sin関数の平均値が前記目標シード入力回転数(T_fin)と一致するように前記目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項3に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - 前記演算部は、
前記判断部の判断の結果、インゴットの長さごとの回転形態が変化すると、linear関数に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項2に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - 前記演算部は、
前記linear関数が前記目標シード入力回転数(T_fin)の最大値(max)から最低値(min)に一定に減少する勾配を有するように前記目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項5に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置。 - シリコン融液に浸漬したシードと連結されたシードケーブルを回転および引き上げさせる引き上げ駆動段階と、
既に設定された目標シード入力回転数(T_fin)が入力されることによってインゴットの長さごとの回転形態に合うようにリアルタイムに可変する目標シード出力回転数(T_fout)を出力し、前記目標シード出力回転数(T_fout)により前記シードケーブルの回転数(f)を制御する引き上げ制御段階と、
を含む単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。 - 前記引き上げ制御段階は、
既に設定された目標シード入力回転数(T_fin)が入力されることによってインゴットの長さごとの回転形態が一定であるか否かを判断する判断過程と、
前記判断過程の判断の結果により関数形状に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する演算過程と、
前記演算過程の算出結果により目標シード出力回転数(T_fout)を出力して前記シードケーブルの回転数(f)を制御する出力過程と、
を含む請求項7に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。 - 前記演算過程は、
前記判断過程の判断の結果、インゴットの長さごとの回転形態が一定であると、sin関数に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項8に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。 - 前記演算過程は、
前記sin関数の平均値が前記目標シード入力回転数(T_fin)と一致するように前記目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項9に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。 - 前記演算過程は、
前記判断過程の判断の結果、インゴットの長さごとの回転形態が変化すると、linear関数に目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項8に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。 - 前記演算過程は、
前記linear関数が前記目標シード入力回転数(T_fin)の最大値(max)から最低値(min)に一定に減少する勾配を有するように前記目標シード出力回転数(T_fout)を算出する、
請求項11に記載の単結晶インゴット成長用引き上げ制御方法。
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