JP2019123238A - 電波透過性金属光沢部材、これを用いた物品、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この態様の電波透過性金属光沢部材によれば、クロム(Cr)又はインジウム(In)のみならず、例えば、アルミニウム(Al)が、様々な材料から成る連続面に金属層として形成された、製造が容易な電波透過性金属光沢部材が提供される。
上記態様の電波透過性金属光沢部材において、前記アルミニウム層のシート抵抗は90Ω/□以上であるのが好ましい。
この態様の電波透過性金属光沢部材によれば、クロム(Cr)又はインジウム(In)のみならず、例えば、アルミニウム(Al)が、様々な材料から成る連続面に金属層として形成された、製造が容易な電波透過性金属光沢部材が提供される。
また、上記態様の電波透過性金属光沢部材において、前記連続面は、酸化インジウム含有材料を利用して形成されていてもよい。
また、本発明の他の態様による電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法は、電波透過性を有する基体に、ACスパッタリングを用いて、シート抵抗が90Ω/□以上となるようにアルミニウム層を直接形成する段階を含む。
これらの態様の電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法によれば、クロム(Cr)又はインジウム(In)のみならず、例えば、アルミニウム(Al)等その他の金属を、様々な材料から成る連続面に、金属層として容易に形成することができる。
図1の(a)、(b)に、それぞれ、本発明の一実施形態による電波透過性金属光沢部材(以下、「金属光沢部材」という。)1、1Aの概略断面図を示す。これらの図及び他の図を含め、同様の又は対応する部材には、同じ参照番号を付している。
<2−1.基体を構成する物品>
基体10は、電波透過性を有することを要し、例えば、フィルム、樹脂成型品、ガラス製品の他、金属光沢を付与すべき物品そのものであってもよい。
基体10の連続面10aは、例えば、誘電性樹脂材料、ガラス材料から形成することができ、また、基体10の連続面11aは、例えば、誘電性樹脂材料、ガラス材料、及び酸化インジウム含有材料のいずれか1つの材料から形成することができる。必ずしも連続面10a、11aの全ての領域をこれらの材料のいずれか1つから形成する必要はなく、一部の領域と他の領域を、それぞれ異なる材料で形成してもよい。また、連続面10a、11aの一部のみが、これらの材料で形成されていてもよい。
<3−1.金属層の構造>
金属層12は、基体10の連続面10a、11aに、例えば40kHzの中間周波数領域を利用したMF−ACスパッタリング等のACスパッタリングを用いて付与される。ACスパッタリングを用いて金属層12を付与することにより、金属層12は、連続面10a、11aの少なくとも一部の領域において、互いに不連続の状態、更に言えば、隙間12bによって隔てられた複数の分離区分12aを含む不連続領域を形成し得る。隙間12bによって隔てられるため、分離区分12aにおけるシート抵抗は大きくなり、また、電波透過減衰量は小さくなり、この結果、電磁波との相互作用が低下し、電磁波を透過させることができる。これらの分離区分12aは、それぞれ、金属をACスパッタリングすることによって形成されたスパッタ粒子の集合体である。金属層12が連続面10a、11aの上で不連続状態となるメカニズムの詳細は必ずしも明らかではないが、おおよそ、次のようなものであると推測される。即ち、金属層12の薄膜形成プロセスにおいて、不連続構造の形成し易さは、金属層12が付与される被付与部材(本件では、連続面10a、11aを形成する部材)上での表面拡散と関連性があり、被付与部材の温度が高く、被付与部材に対する金属層の濡れ性が小さく、金属層の材料の融点が低い方が不連続構造を形成しやすい、というものである。従って、以下の実施例で特に使用したアルミニウム(Al))以外の金属についても、亜鉛(Zn)、鉛(Pb)、銅(Cu)、銀(Ag)などの比較的融点の低い金属については、同様の手法で不連続構造を形成し得ると考えられる。尚、本明細書でいう「不連続の状態」とは、隙間12bによって互いに隔てられており、この結果、互いに電気的に絶縁されている状態を意味する。電気的に絶縁されることにより、シート抵抗が大きくなり、所望とする電波透過性が得られることになる。不連続の形態は、特に限定されるものではなく、例えば、島状、クラック等が含まれる。ここで「島状」とは、図1の(b)に示されているように、スパッタ粒子の集合体である粒子同士が各々独立しており、それらの粒子が、互いに僅かに離間し又は一部接触した状態で敷き詰められてなる構造を意味する。
金属層12は、十分な光輝性を発揮し得ることは勿論、融点が比較的低いものであることが望ましい。金属層12は、スパッタリングを用いた薄膜成長によって付与されるためである。このような理由から、金属層12としては、融点が約1000℃以下の金属が適しており、例えば、アルミニウム(Al)、亜鉛(Zn)、鉛(Pb)、銅(Cu)、銀(Ag)から選択された少なくとも一種の金属、および該金属を主成分とする合金のいずれかを含むことが好ましい。特に、物質の光輝性や安定性、価格等の理由からアルミニウムおよびその合金が好ましい。アルミニウムの合金については、合金における全金属成分中のアルミニウム含有比率が50%以上が好ましく、60%以上のより好ましく、75%以上が更に好ましい。
図1の(a)に示すように、連続面が基体10そのものの面10aによって形成され、金属層12がそのような連続面10aに直接形成される場合、金属層12の厚さは、十分な光輝性を発揮するように、通常15nm以上が好ましく、一方、シート抵抗や電波透過性の観点から、通常80nm以下が好ましい。例えば、20nm〜75nmが好ましく、25nm〜70nmがより好ましい。この厚さは、均一な膜を生産性良く形成するのにも適しており、また、最終製品である樹脂成形品の見栄えも良い。
図1の(b)に示すように、連続面11aが下地層11の面によって形成され、金属層12がそのような基体10の連続面11aに直接形成される場合、金属層12の厚さは、十分な光輝性を発揮するように、通常20nm以上が好ましく、一方、シート抵抗や電波透過性の観点から、通常100nm以下が好ましい。例えば、20nm〜100nmが好ましく、30nm〜70nmがより好ましい。好ましい値が、上記<3−2−1>と比較して大きな値とすることができるのは、下地層11を設けたことにより、金属層12と基体10との間の濡れ性が小さくなり、金属層12が不連続層を形成しやすくなっているため、従って、厚膜化が可能になっているためである。尚、下地層11は、薄膜状のものであるから、光輝性やシート抵抗等に実質的に影響を与えることはない。この厚さは、均一な膜を生産性良く形成するのにも適しており、また、最終製品である樹脂成形品の見栄えも良い。
金属光沢部材1、1Aの製造方法の一例を説明する。
<4−1.連続面が基体そのものによって形成される場合>
図1の(a)に示すように、連続面10aが基体10そのものの面によって形成されており、金属層12をそのような連続面10aに直接形成する場合は、連続面10aを形成する工程を経ることなく、連続面10aにACスパッタリングを用いて、直接、金属層12が積層される。
図1の(b)に示すように、連続面11aが下地層11によって形成されており、金属層12をそのような連続面11aに直接形成する場合には、少なくとも2つの工程が必要となる。
(1)酸化インジウム含有層を成膜する工程
基体10に対し、酸化インジウム含有層11を成膜する。酸化インジウム含有層11は、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等によって形成することができる。但し、大面積でも厚さを厳密に制御できる点から、スパッタリングが好ましい。
次いで、酸化インジウム含有層11によって形成された連続面11aに、直接、金属層12を積層する。金属層12の積層には、ACスパッタリングを用いる。尚、酸化インジウム含有層11と、金属層12との間には、他の層を介在させずに直接接触させるのが好ましいが、上に説明した酸化インジウム含有層11上における金属層12の表面拡散のメカニズムが確保されるのであれば、他の層を介在させることもできる。
<5−1.連続面が基体そのものによって形成される場合>
実施例及び比較例では、フィルムを基体10として用いて各種試料を準備した。準備した各種試料について、シート抵抗、電波透過減衰量、及び光沢度を評価した。シート抵抗と電波透過減衰量は、電波透過性に関する評価、光沢度は、光輝性に関する評価である。光沢度とシート抵抗の値は大きい方が好ましく、電波透過減衰量の値は小さい方が好ましい。
評価方法の詳細は以下のとおりである。
ナプソン社製非接触式抵抗測定装置NC−80MAPを用い、JIS−Z2316に従って渦電流測定法により金属層のシート抵抗を測定した。
このシート抵抗は、90Ω/□以上であることが必要であり、200Ω/□以上であるのが好ましく、250Ω/□以上であるのがより好ましく、600Ω/□以上であることが更に好ましい。90Ω/□より小さいと、充分な電波透過性が得られないという問題がある。
1GHzにおける電波透過減衰量をKEC法測定評価治具およびアジレント社製スペクトルアナライザCXA signal Analyzer NA9000Aを用いて評価した。ミリ波レーダーの周波数帯域(76〜80GHz)における電磁波透過性と、マイクロ波帯域(1GHz)における電磁波透過性には相関性があり、比較的近い値を示すことから、今回の評価では、マイクロ波帯域(1GHz)における電波透過性、即ち、マイクロ波電界透過減衰量を指標とした。
このマイクロ波電界透過減衰量は、10[−dB]以下であることが必要であり、5[−dB]以下であるのが好ましく、2[−dB]以下であることがより好ましい。10[−dB]以上であると、90%以上の電波が遮断されるという問題がある。
日本電色工業社製ハンディ型光沢計PG-II Mを用い、JIS−Z8741に従って、金属層の20°鏡面光沢度を測定した。光沢度は、下記<5−2.>で使用した可視光反射率と、相関関係にあり実質的には同じ評価を行っているということができるが、ここでは、金属光沢の定量的表現に優れる光沢度を使用した。
この光沢度は、十分な光輝性を有するために500以上が必要であり、750以上であるのが好ましく、更に好ましくは1000以上である。光沢度が、500より小さいと、光輝性が低下し、外観に優れないという問題がある。
(4)金属層の厚さ
実施例及び比較例においては、金属層におけるバラツキ、更に詳細には、図1に示す分離区分12a間の厚さにおけるバラツキを考慮して、分離区分12aの厚さの平均値を金属層の厚さとした。以下、この平均値を、便宜上、「最大の厚さ」と呼ぶ。尚、個々の分離区分12aの厚さは、下地(図1における連続面10a、11aに相当)から垂直方向に最も厚いところの厚さとした。
図2に、電波透過性金属光沢部材の表面の電子顕微鏡写真(SEM画像)の一例を示す。図2の(a)のSEM画像における画像サイズは1.16μm×0.85μm、図2の(b)のSEM画像における画像サイズは、1.16μm×0.85μmである。最大の厚さを求めるに際し、先ず、図2に示すような電波透過性金属光沢部材の表面に現れた金属層において、図3に示すような一辺5cmの正方形領域3を適当に抽出し、該正方形領域3の縦辺及び横辺それぞれの中心線A、Bをそれぞれ4等分することによって得られる計5箇所の点「a」〜「e」を測定箇所として選択した。
次いで、選択した測定箇所それぞれにおける、図4に示すような断面画像(透過型電子顕微鏡写真(TEM画像))において、おおよそ5個の分離区分12aが含まれる視野角領域を抽出した。
これら計5箇所の測定箇所それぞれにおける、おおよそ5個の分離区分12a、即ち、約25個(5個×5箇所)の分離区分12aの個々の厚さを求め、それらの平均値を「最大の厚さ」とした。
基体10としてのフィルム(以下、「基材フィルム」と呼ぶ。)として、三菱樹脂社製PETフィルム(厚さ125μm)を準備した。また、金属層には、アルミニウム層を用いた。基材フィルムの連続面に、ACスパッタリング(40kHzの中間周波数領域を利用したMF−ACスパッタリング)を用いて、20nmの最大の厚さのアルミニウム(Al)層を直接形成し、金属光沢部材(以下、「金属フィルム」と呼ぶ。)を得た。Al層を形成する際の基材フィルムの温度は130℃に設定し、基材フィルムを収容するチャンバにおけるアルゴン(Ar)ガスの圧力は2Paに設定した。
また、実施例1の構成においては、光輝性についても実用に十分耐え得る結果が得られた。尚、便宜上、表1では、光沢度の「評価」結果として、当該光沢度が1000以上である場合を「◎」で、750以上で且つ1000より小さい場合を「○」で、500以上で且つ750より小さい場合を「△」で、500より小さい場合を「×」で、それぞれ表している。更に、電波透過性と光輝性の「総合評価」として、いずれかの評価に「×」があれば「×」とし、それ以外については「○」とした。結果、実施例1について、総合評価は「○」となり、電波透過性と光輝性の双方を兼ね備えた良好な金属光沢部材、或いは、金属フィルムが得られた。
実施例2〜6については、基材フィルムの連続面に形成するアルミニウム層の最大の厚さを、実施例1の最大の厚さより大きくなるように段階的に増やした。また、実施例4〜6については、アルゴンガスの圧力を実施例1よりも大きな値に設定した。その他の条件は実施例1と同じである。
シート抵抗に関して、実施例2〜4では、実施例1と同様に、3kΩ/□を超える大きな値となり、一方、実施例5、6では、実施例2〜4ほどではないが、実用上は十分な大きな値が得られた。実施例5、6において、シート抵抗が実施例1より低い値となったのは、アルミニウムの堆積量が多くなり、不連続領域が減少したことによるものと考えられる。電波透過減衰量に関して、実施例2〜6の全てにおいて、実施例1の値と同等又はそれを上回る結果が得られた。一方、光沢度に関しては、当然のことながら、実施例2〜6の全てにおいて、実施例1の値を上回る結果が得られた。
実施例7〜11の全てにおいて、連続面に形成されるアルミニウム層の最大の厚さを、実施例2の最大の厚さと同じとし、且つ、基材フィルムの温度以外のスパッタ条件を揃えた。基材フィルムの温度は、実施例2よりも低温に設定した。実施例7〜11の間においては、基材フィルムの材質を変更した。実施例7では、ポリエチレンテレフタレート(三菱ケミカル社製PETフィルム、厚さ125μm)、実施例8では、アクリル(三菱ケミカル社製PMMA、厚さ125μm)、実施例9では、ポリカーボネート(住友化学社製PC、厚さ125μm)、実施例10では、無アルカリガラス(コーニング社製、厚さ400μm)、実施例11では、ITO/PET(ITOにおけるIn2O3の重量に対する錫(Sn)の含有率は10wt%、膜厚は5nmである)を、それぞれ使用した。このように、実施例7〜11では、基材フィルムの材質を変更したにも関わらず、それらの全てにおいて、電波透過性及び光輝性ともに、実施例1〜6と少なくとも同等か、又は、それらを上回る結果が得られた。よって、実施例7〜11の結果から、基材フィルムの材質に拘らず、電波透過性と光輝性の双方を兼ね備えた金属光沢部材、或いは、金属フィルムが得られることは明らかである。
比較例1では、基材フィルムの連続面に形成されるアルミニウム層の最大の厚さを、実施例1〜11の最大の厚さより薄くし、これとは逆に、比較例2では、厚くした。また、アルゴンガスの圧力を、実施例1〜11の圧力よりも低い値に設定した。その他の条件については、実施例1〜6と同じである。
スパッタリングの方法とアルゴンガスの圧力以外の条件については、実施例2と同じ条件とした。アルゴンガスの圧力は、比較例1、2と同様に、実施例1〜11より低い値に設定した。また、スパッタリングの方法として、ここでは、DCスパッタを用いた。DCスパッタ装置は、実施例1と同様の装置であり、電源のみ直流方式に変更したものを使用した。この場合、電波透過性及び光輝性ともに不十分な結果となった。
製膜方法として、ここでは、真空蒸着を用いた。より詳細には、アルバック社製高真空蒸着装置EX-550を用い、基材をチャンバー内にセットし、10-4Paまで真空引き後、抵抗加熱方式にてアルミを1nm/secのレートで30nm製膜した。この場合、電波透過性及び光輝性ともに不十分な結果となった。
実施例及び比較例では、フィルムを基体10として用いて各種試料を準備した。準備した各種試料について、シート抵抗、電波透過減衰量、及び可視光反射率を評価した。ここで、シート抵抗と電波透過減衰量は、電波透過性に関する評価、可視光反射率は、光輝性に関する評価である。可視光反射率とシート抵抗の値は大きい方が好ましく、電波透過減衰量の値は小さい方が好ましい。
評価方法の詳細は以下のとおりである。
上記「<5−1>(1)」と同様の方法で測定した。
このシート抵抗は、90Ω/□以上であることが必要であり、200Ω/□以上であるのが好ましく、250Ω/□以上であるのがより好ましく、600Ω/□以上であることが更に好ましい。90Ω/□より小さいと、充分な電波透過性が得られないという問題がある。
上記「<5−1>(2)」と同様の方法で測定、評価した。更に詳細には、ミリ波レーダーの周波数帯域(76〜80GHz)における電磁波透過性と、マイクロ波帯域(1GHz)における電磁波透過性には相関性があり、比較的近い値を示すことから、今回の評価では、マイクロ波帯域(1GHz)における電波透過性、即ち、マイクロ波電界透過減衰量を指標とした。
このマイクロ波電界透過減衰量は、10[−dB]以下であることが必要であり、5[−dB]以下であるのが好ましく、2[−dB]以下であることがより好ましい。10[−dB]以上であると、90%以上の電磁波が遮断されるという問題がある。
日立ハイテクノロジーズ社製分光光度計U4100を用い、550nmの測定波長における反射率を測定した。基準として、Al蒸着ミラーの反射率を反射率100%とした。 この可視光反射率は、十分な光輝性を有するために20%以上が必要であり、40%以上であるのが好ましく、更に好ましくは50%以上である。可視光反射率が、20%より小さいと、光輝性が低下し、外観に優れないという問題がある。
(4)金属層の厚さ
上記「<5−1>(4)」と同様の方法で「最大の厚さ」として測定した。
基材フィルムとして、三菱樹脂社製PETフィルム(厚さ125μm)を用いた。
先ず、DCマグネトロンスパッタリングを用いて、基材フィルムの面に沿って、50nmの厚さのITO層をその上に直接形成した。ITO層を形成する際の基材フィルムの温度は、130℃に設定した。ITOは、In2O3に対してSnを10wt%含有させたものである。
また、この金属光沢部材の可視光反射率は56%となり、光輝性についても良好な結果が得られた。尚、便宜上、表1では、可視光反射率の「評価」結果として、当該可視光反射率が50%より大きい場合を「◎」で、50%以下で且つ40%より大きい場合を「○」で、40%以下で且つ20%より大きい場合を「△」で、20%以下を「×」で、それぞれ表している。更に、電波透過性と光輝性の「総合評価」として、両者が同じ評価結果の場合には同じ評価結果を、一方が片方より悪い結果の場合には悪い方の評価結果を、それぞれ示している。結果、実施例11について、総合評価は「○」となり、電波透過性と光輝性の双方を兼ね備えた良好な金属光沢部材、或いは、金属フィルムが得られた。
ITO層の上に積層するアルミニウム層の最大の厚さを、実施例13、14については実施例12のそれよりも薄くなるように変更し、一方、実施例15については実施例12のそれよりも厚くなるように変更した。その他の条件については実施例12と同じである。
この場合、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例13〜15の全てにおいて、実施例12と同様の値及び結果が得られた。一方、可視光反射率については、アルミニウム層の最大の厚さが実施例12のそれより薄い実施例13、14については若干劣る結果となったが、実施例15については、実施例12よりも良好な結果が得られた。但し、実施例13、14についても、実用に十分耐え得るものである。
ITO層の厚さを、実施例12よりも薄くなるように設定した。その他の条件については、実施例12と同じである。
この場合、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例16〜19の全てにおいて、実施例12よりも良好な結果が得られた。また、可視光反射率については、実施例16〜19の全てにおいて、実施例12と同様の値及び結果が得られた。これらの実施例により、ITO層の厚さは薄くてもよいことが明らかとなり、ITO層の厚さを薄くすることにより、材料コストを抑制できることが明らかとなった。
ITO層におけるSnの含有率を、実施例20については実施例12のそれより大きくなるように変更し、一方、実施例21〜23については実施例12のそれより小さくなるように変更した。尚、実施例23のITO層ではSnをゼロとしていることから、より正確には、ITO層ではなく、酸化インジウム(In2O3)層となっている。その他、実施例23では、アルミニウム層は40nmとした。その他の条件については、実施例12と同じである。
この場合、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例20〜22において、実施例12と同様の結果が得られ、実施例23においては、実施例12より若干劣る結果となった。また、可視光反射率については、実施例20〜22において、実施例12と同様の値及び結果が得られ、実施例23において、実施例12より若干劣る結果となった。これの結果から、ITO層は、Snを含有するのがより好ましいことが明らかとなった。
ITOではなく、酸化インジウムにZnOを含有させたIZOを用いた。ZnOは、In2O3に対して11wt%含有する。その他の条件については、実施例12と同じである。
この場合、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例12よりも若干劣る結果となった。一方、可視光反射率については、実施例12と同様の値及び結果が得られた。実施例12より総合評価は劣るものの、ZnOを含有させた場合でも、十分に実用可能であることが明らかとなった。
ITO層の上に積層するアルミニウム層の最大の厚さを、実施例12のそれよりも厚くなるように変更した。その他の条件については、実施例12と同じである。
この場合、可視光反射率については、厚さを増した分、実施例11よりも良好な結果が得られた。一方、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例12のそれらよりも大きく劣る結果となり、実用不可能なものとなった。
ITO層を設けることなく、基材フィルム上にアルミニウム層を直接成膜した。その他の条件については、実施例12と同じである。
この場合、可視光反射率については、実施例12と同様の値及び結果が得られたが、シート抵抗及び電波透過減衰量については、実施例12のそれらよりも大きく劣る結果となり、実用不可能なものとなった。
金属光沢部材1Aに形成された金属層12は、厚さ20nm〜100nm程度の薄いものであって、これのみを金属薄膜として使用することもできる。例えば、基体10のような基体に積層されたインジウム酸化物含有層11の上に、スパッタリングで金属層12を形成して、フィルムを得る。また、これとは別に、接着剤を基材の上に塗工して接着剤層付きの基材を作成する。フィルムと基材を、金属層12と接着剤層が接するように貼り合せ、十分に密着させた後にフィルムと基材を剥離させることで、フィルムの最表面に存在した金属層(金属薄膜)12を基材の最表面に転写させることができる。
3 金属フィルム
10 基材フィルム
10a 連続面
11 下地層(酸化インジウム含有層)
11a 連続面
12 金属層
Claims (21)
- 電波透過性を有する基体と、
前記基体の連続面に直接形成されたアルミニウム層と、
を備え、
前記アルミニウム層は、互いに不連続の複数の分離区分を含む不連続領域を有することを特徴とする電波透過性金属光沢部材。 - 前記アルミニウム層のシート抵抗が90Ω/□以上である、請求項1に記載の電波透過性金属光沢部材。
- 電波透過性を有する基体と、
前記基体の連続面に直接形成されたアルミニウム層と、
を備え、
シート抵抗が90Ω/□以上であることを特徴とする電波透過性金属光沢部材。 - 前記連続面が、誘電性樹脂材料、又は、ガラス材料から成る、請求項1乃至3のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記誘電性樹脂材料が、ポリエステル、ポリオレフィン、アクリル系ポリマー、ポリカーボネートのいずれかから構成されている、請求項4に記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記連続面が酸化インジウム含有材料を利用して形成されている、請求項1乃至3のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記基体が、フィルム、樹脂成型品、ガラス製品、又は金属光沢を付与すべき物品そのものである請求項1乃至6のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記アルミニウム層の最大の厚さが15〜80nmである、請求項1乃至7のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記アルミニウム層の電波透過減衰量が10dB以下である、請求項1乃至8のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記アルミニウム層は、アルミニウム(Al)又はアルミニウム(Al)の合金のいずれかである、請求項1乃至9のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記アルミニウム(Al)の合金における全金属成分中のアルミニウム含有比率が50%以上である、請求項10に記載の電波透過性金属光沢部材。
- 前記基体の連続面を利用して形成された透明な筐体の内面に前記アルミニウムが設けられている、請求項1乃至11のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材。
- 請求項1乃至12のいずれかに記載の電波透過性金属光沢部材を用いた物品。
- 前記物品が通信機器である、請求項13に記載の物品。
- 電波透過性を有する基体に、ACスパッタリングを用いて、互いに不連続の複数の分離区分を含む不連続領域を有するアルミニウム層を直接形成する段階を含むことを特徴とする電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法。
- 電波透過性を有する基体に、ACスパッタリングを用いて、シート抵抗が90Ω/□以上となるようにアルミニウム層を直接形成する段階を含むことを特徴とする電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法。
- 前記アルミニウム層は前記基体の連続面に直接形成される、請求項15又は16に記載の電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法。
- 前記連続面が、誘電性樹脂材料、又は、ガラス材料から成る、請求項17に記載の電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法。
- 前記連続面が酸化インジウム含有材料を利用して形成されている、請求項17に記載の電波透過性金属光沢部材又は該電波透過性金属光沢部材を用いた物品の製造方法。
- 前記ACスパッタリングは1.5Pa以上の圧力下で行われる、請求項15乃至19のいずれかに記載の製造方法。
- 前記ACスパッタリングを行う際の前記基体の温度が20℃以上である、請求項15乃至20のいずれかに記載の製造方法。
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