JP2019106536A - 空間的に不均一な照明を用いたインプリントシステム及びインプリンティングプロセス - Google Patents
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- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
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Abstract
Description
図1は、実施形態が実施されるナノインプリントリソグラフィシステム10の図である。ナノインプリントリソグラフィシステム10は、基板12の上にレリーフパターンを形成するために用いられる。基板12は、半導体ウエハなどの平面を有してもよい。基板12は、基板チャック14に結合されてもよい。基板チャック14は、限定されるわけではないが、真空チャック、ピン型、溝型、静電、電磁などであってもよい。
別の実施形態は、実質的に、第1システムと同様であってもよく、図11に示すように、別のソース1138を用いてもよい。別のソース1138は、第1ドーズ範囲において化学線を提供する第1光源1158aと、第2ドーズ範囲において光を提供する第2光源1158bとを含んでもよい。
第3システムは、実質的に、第1システムと同様であってもよい。第3システムは、実質的に機械的なシステムである光プロセッサ1260を含んでもよい。例えば、光プロセッサは、1つ以上の化学線ソース358とテンプレート18との間で移動する複数の空間フィルタを含んでもよい。別の例示的な実施形態において、光プロセッサ1260は、図12に示されるようなピンホイールに載置された複数の空間フィルタを含む。空間フィルタのフィルタ面は、図12に示すようなピンホイールの回転の面内又はピンホイールの回転の面の外側にあってもよい。
第4システムは、実質的に、吸収性材料及び/又は反射性材料の組み合わせが空間フィルタとして用いられる第3システムと同様であってもよい。第4システムは、実質的に機械的なシステムである光プロセッサ1360を含んでもよい。例えば、光プロセッサ1360は、1つ以上の化学線ソースとテンプレート18との間を移動する複数の反射体を拭くんでもよい。例示的な実施形態において、光プロセッサ1360は、図13に示すようなピンホイールに載置された複数の反射体を含む。
Claims (24)
- インプリントシステムであって、
前記インプリントシステムは、基板上に複数の液滴として液体を吐出する成形可能な材料吐出システムを有し、
前記インプリントシステムは、パターン領域を取り囲み、且つ、パターン領域と重ならない境界領域を有するテンプレートを保持するテンプレートチャックを有し、前記テンプレートチャックは、前記テンプレートが前記複数の液滴に接触するように、前記複数の液滴が結合し、前記パターン領域を通って前記境界領域に向かって広がる液体フロントを形成するように、前記テンプレートを位置決めし、前記境界領域は、前記テンプレートのインプリント領域の外側境界から内側境界に延在し、前記内側境界は、前記外側境界から前記テンプレートの中心に向かう境界幅内側の範囲内にあり、
前記インプリントシステムは、化学線照明システムを有し、
前記化学線照明システムは、
第1期間において、前記境界領域の第1部分における前記液体が凝固せず、且つ、前記液体の粘度が増加するように、第1ドーズ範囲内にある光の増粘用量で前記境界領域の前記第1部分を照明し、
第2期間において、前記第1ドーズ範囲よりも高い第2ドーズ範囲内にある光の硬化用量で前記パターン領域を照明することを特徴とするインプリントシステム。 - 前記化学線照明システムは、
化学線源と、
デジタルマイクロミラーデバイスと、
対物レンズと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。 - 前記第1ドーズ範囲は、1〜3.5ミリジュール/平方センチメートル(mJ/cm2)であることを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記第1期間は、前記液体フロントが前記境界領域の前記第1部分に入った後に開始され、
前記境界領域の前記第1部分は、前記液体フロントが前記パターン領域から離れ、前記境界領域に入る前記境界領域の部分を含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。 - 前記境界領域の前記第1部分は、前記境界領域のコーナーを含まず、前記境界領域のエッジの一部を含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記境界領域の前記第1部分は、前記境界領域の2つの対向するエッジを含むことを特徴とする請求項5に記載のインプリントシステム。
- 前記化学線照明システムは、更に、第3期間において、光の増粘用量で前記境界領域の第2部分を照明し、前記境界領域の前記第2部分は、前記境界領域の前記第1領域のエッジ以外の2つの対向するエッジを含むことを特徴とする請求項6に記載のインプリントシステム。
- 前記テンプレートチャックは、前記基板上のフルフィールド及びパーシャルフィールドを前記テンプレートでインプリントし、
前記パーシャルフィールドは、前記テンプレートが前記基板のエッジにオーバーハングしたインプリントフィールドであり、
前記境界領域は、前記テンプレートと前記基板の前記エッジとの交点を含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。 - 前記第1期間の後で前記第2期間の前に第3期間があり、前記化学線照明システムは、前記第3期間において、前記境界領域又は前記パターン領域を照明しないことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前進液体フロントの前記領域における液体の前記粘度は、増粘ドーズに曝されたときに、増粘倍数で増加することを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記増粘倍数は、1.1倍と100倍との間であることを特徴とする請求項10に記載のインプリントシステム。
- 前記粘度の増加は、前記境界領域の前記第1部分における前記液体フロントの速度を低下させ、これにより、前記液体フロントは、前記第2期間において、硬化される前に、前記テンプレートのエッジを越えて押し出されないことを特徴とする請求項10に記載のインプリントシステム。
- 前記境界領域の前記第1部分は、前記境界領域の前記エッジの中心から前記境界領域の前記コーナーに向かって連続的に延在することを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記境界領域の前記第1部分は、15×15マイクロメートル(μm)単位で延在することを特徴とする請求項13に記載のインプリントシステム。
- 前記境界領域の前記第1部分は、それが前記境界領域に入るにつれて、前記液体フロントに追従して延在することを特徴とする請求項13に記載のインプリントシステム。
- 前記エッジの中心に最も近い前記境界領域の前記第1部分の前記エッジの領域は、前記境界領域の領域が前記境界領域の前記第1部分に順次加わるにつれて、前記境界領域の前記第1部分から順次除去されることを特徴とする請求項13に記載のインプリントシステム。
- 前記化学線照明システムは、更に、前記第1期間において、前記第1ドーズ範囲未満である光の迷光用量で前記パターン領域を照明することを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記化学線照明システムは、更に、前記第2期間において、硬化用量で前記境界領域及び前記パターン領域の両方を照明することを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記パターン領域は、前記テンプレートにおいて複数の凹部を含み、前記境界領域は、前記複数の凹部を含まないことを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記境界幅は、1μmと200μmとの間であることを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記外側境界は、前記テンプレートの前記インプリント領域のエッジにあることを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記外側境界は、前記テンプレートの前記インプリント領域のエッジの近傍にあることを特徴とする請求項1に記載のインプリントシステム。
- 基板上に物品を製造する方法であって、
前記方法は、前記基板上に複数の液滴を吐出することを有し、
前記方法は、パターン領域を取り囲み、且つ、パターン領域と重ならない境界領域を有するテンプレートをテンプレートチャックで保持することを有し、前記テンプレートチャックは、前記テンプレートが前記複数の液滴に接触するように、前記複数の液滴が結合し、前記パターン領域を通って前記境界領域に向かって広がる液体フロントを形成するように、前記テンプレートを位置決めし、前記境界領域は、前記テンプレートのインプリント領域の外側境界から内側境界に延在し、前記内側境界は、前記外側境界から前記テンプレートの中心に向かう境界幅内側にあり、
前記方法は、第1期間において、第1ドーズ範囲内にある光の増粘用量で前記境界領域の前記第1部分を照明することを有し、
前記方法は、第2期間において、前記第1ドーズ範囲よりも高い第2ドーズ範囲内にある光の硬化用量で前記パターン領域を照明することを有することを特徴とする方法。 - インプリント方法であって、
前記インプリント方法は、基板上に複数の液滴を吐出することを有し、
前記インプリント方法は、パターン領域を取り囲み、且つ、パターン領域と重ならない境界領域を有するテンプレートをテンプレートチャックで保持することを有し、前記テンプレートチャックは、前記テンプレートが前記複数の液滴に接触するように、前記複数の液滴が結合し、前記パターン領域を通って前記境界領域に向かって広がる液体フロントを形成するように、前記テンプレートを位置決めし、前記境界領域は、前記テンプレートのインプリント領域の外側境界から内側境界に延在し、前記内側境界は、前記外側境界から前記テンプレートの中心に向かう境界幅内側にあり、
前記インプリント方法は、第1期間において、第1ドーズ範囲内にある光の増粘用量で前記境界領域の前記第1部分を照明することを有し、
前記インプリント方法は、第2期間において、前記第1ドーズ範囲よりも高い第2ドーズ範囲内にある光の硬化用量で前記パターン領域を照明することを有することを特徴とする方法。
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