JP2019068058A5 - - Google Patents

Description

実施形態に係る基板処理装置は、基板を収納する収納容器と、前記基板を処理する複数の処理室と、前記収納容器と前記処理室の間に位置し、前記処理室で処理された基板または未処理の基板が置かれる受渡台と、前記受渡台から前記処理室に前記基板を搬送する搬送部と、前記基板の処理に関する基板処理情報に基づいて、前記複数の処理室が並ぶ列方向に前記受渡台及び前記搬送部を個別に移動させる移動機構と、を備え、前記複数の処理室は、第１処理を行う複数の第１の処理室と前記第１処理から続けて第２処理を行う複数の第２の処理室とを有し、前記複数の第１の処理室が並んだ列と前記複数の第２の処理室が並んだ列とが二列に対向して設けられ、互いに対向する前記第１の処理室と前記第２の処理室とを一組として前記第１処理から前記第２処理が実行され、前記移動機構は、前記搬送部及び前記未処理の基板が置かれた前記受渡台を、前記二列の間を前記二列の列方向に移動させて、前記第１処理が済んだ第１の処理室及び前記第２処理が済んだ第２の処理室の近傍の位置に位置付け、前記搬送部は、前記受渡台から前記未処理の基板を取り出し、前記第１の処理室において前記未処理の基板と前記第１処理が済んだ基板を交換した後、前記受渡台を経由することなく、前記第１の処理室から取り出した前記第１処理が済んだ基板を前記第２の処理室に受け渡すことを特徴とする。

実施形態に係る基板処理方法は、搬送部により、基板を保持する受渡台と、第１処理を行う複数の第１の処理室と前記第１処理から続けて第２処理を行う複数の第２の処理室とを有する複数の処理室の間における基板の搬送を行う工程と、前記複数の第１の処理室が並んだ列と前記複数の第２の処理室が並んだ列とが二列に対向して設けられ、互いに対向する前記第１の処理室と前記第２の処理室とを一組として前記第１処理から前記第２処理が実行される工程と、を備え、前記基板の搬送を行う工程において、前記基板の処理に関する基板処理情報に基づいて、前記搬送部及び前記未処理の基板が置かれた前記受渡台を、前記二列の間を前記二列の列方向に移動させて、前記第１処理が済んだ第１の処理室及び前記第２処理が済んだ第２の処理室の近傍の位置に位置付け、前記受渡台から前記未処理の基板を取り出し、前記第１の処理室において前記未処理の基板と前記第１処理が済んだ基板を交換した後、前記受渡台を経由することなく、前記第１の処理室から取り出した前記第１処理が済んだ基板を前記第２の処理室に受け渡すことを特徴とする。

続いて、図７に示すように、第２の搬送ロボット１５は、（Ａ２）の処理室１７ａにおいて、第１処理済の基板Ｗと未処理の基板Ｗを交換し、図８に示すように、１８０度旋回し、（Ｂ２）の処理室１７ａに第１処理済の基板Ｗをセットする。続いて、図９に示すように、第２の搬送ロボット１５は、（Ａ３）の処理室１７ａにおいて、第１処理済の基板Ｗと未処理の基板Ｗを交換し、図１０に示すように、１８０度旋回し、（Ｂ３）の処理室１７ａに第１処理済の基板Ｗをセットする。続いて、図１１に示すように、第２の搬送ロボット１５は、（Ａ４）の処理室１７ａにおいて、第１処理済の基板Ｗと未処理の基板Ｗを交換し、図１２に示すように、１８０度旋回し、（Ｂ４）の処理室１７ａに第１処理済の基板Ｗをセットする。その後、（Ａ１）の処理室１７ａにセットした基板Ｗの第１処理が完了する。

また、図２１に示すように、第２の搬送ロボット１５は、前の作業において（Ｂ３）の処理室１７ａでの基板交換作業が終了したら、第２処理済の基板Ｗを第１のアームユニット１５ａのハンド部２１（ドライハンド）で保持した状態で、次に基板交換作業を行う（４）の位置に移動する。この第２の搬送ロボット１５の移動と共に、（３）の位置で待機していたバッファユニット１４も（４）の位置に移動する（（３）→（４）への移動）。

Claims (13)

1. 基板を収納する収納容器と、
   前記基板を処理する複数の処理室と、
   前記収納容器と前記処理室の間に位置し、前記処理室で処理された基板または未処理の基板が置かれる受渡台と、
   前記受渡台から前記処理室に前記基板を搬送する搬送部と、
   前記基板の処理に関する基板処理情報に基づいて、前記複数の処理室が並ぶ列方向に前記受渡台及び前記搬送部を個別に移動させる移動機構と、
   を備え、
   前記複数の処理室は、第１処理を行う複数の第１の処理室と前記第１処理から続けて第２処理を行う複数の第２の処理室とを有し、前記複数の第１の処理室が並んだ列と前記複数の第２の処理室が並んだ列とが二列に対向して設けられ、互いに対向する前記第１の処理室と前記第２の処理室とを一組として前記第１処理から前記第２処理が実行され、
   前記移動機構は、前記搬送部及び前記未処理の基板が置かれた前記受渡台を、前記二列の間を前記二列の列方向に移動させて、前記第１処理が済んだ第１の処理室及び前記第２処理が済んだ第２の処理室の近傍の位置に位置付け、
   前記搬送部は、前記受渡台から前記未処理の基板を取り出し、前記第１の処理室において前記未処理の基板と前記第１処理が済んだ基板を交換した後、前記受渡台を経由することなく、前記第１の処理室から取り出した前記第１処理が済んだ基板を前記第２の処理室に受け渡すことを特徴とする基板処理装置。
2. 前記搬送部は、前記基板を保持する基板保持部を備え、
   前記搬送部は、前記第１の処理室から前記第２の処理室に向かって、前記基板保持部が前記受渡台とは遠ざかる方向に旋回して、前記第１処理済の基板を搬送することを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記移動機構は、前記搬送部が前記受渡台から前記基板を搬送する前段階で、前記受渡台を所望位置に移動させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記移動機構は、前記受渡台及び前記搬送部を一緒に移動させ、
   前記搬送部は、前記移動機構により前記受渡台と一緒に移動する最中に、前記受渡台から前記基板を取り出すことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 前記移動機構において、前記受渡台と前記搬送部は同軸上に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記移動機構は、前記搬送部が移動する移動経路の上方に前記受渡台が移動する移動経路を位置付け、前記受渡台及び前記搬送部が干渉しないように前記受渡台及び前記搬送部を個別に移動させることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
7. 搬送部により、基板を保持する受渡台と、第１処理を行う複数の第１の処理室と前記第１処理から続けて第２処理を行う複数の第２の処理室とを有する複数の処理室の間における基板の搬送を行う工程と、
   前記複数の第１の処理室が並んだ列と前記複数の第２の処理室が並んだ列とが二列に対向して設けられ、互いに対向する前記第１の処理室と前記第２の処理室とを一組として前記第１処理から前記第２処理が実行される工程と、
   を備え、
   前記基板の搬送を行う工程において、
   前記基板の処理に関する基板処理情報に基づいて、前記搬送部及び前記未処理の基板が置かれた前記受渡台を、前記二列の間を前記二列の列方向に移動させて、前記第１処理が済んだ第１の処理室及び前記第２処理が済んだ第２の処理室の近傍の位置に位置付け、
   前記受渡台から前記未処理の基板を取り出し、前記第１の処理室において前記未処理の基板と前記第１処理が済んだ基板を交換した後、前記受渡台を経由することなく、前記第１の処理室から取り出した前記第１処理が済んだ基板を前記第２の処理室に受け渡すことを特徴とする基板処理方法。
8. 前記移動機構により前記受渡台を移動させる場合には、前記搬送部が前記受渡台から前記基板を搬送する前段階で、前記受渡台を所望位置に移動させることを特徴とする請求項７に記載の基板処理方法。
9. 前記移動機構により前記受渡台及び前記搬送部を一緒に移動させる場合には、前記受渡台及び前記搬送部が一緒に移動する最中に、前記搬送部により前記受渡台から前記基板を取り出すことを特徴とする請求項７に記載の基板処理方法。
10. 前記移動機構により前記受渡台及び前記搬送部を個別に移動させる場合には、前記搬送部が移動する移動経路の上方に前記受渡台が移動する移動経路を位置付け、前記受渡台及び前記搬送部が干渉しないように前記受渡台及び前記搬送部を個別に移動させることを特徴とする請求項７から請求項９のいずれか一項に記載の基板処理方法。
11. 前記搬送部は、前記基板を保持する基板保持部を備え、
    前記搬送部により、前記第１の処理室から前記第２の処理室に向かって、前記基板保持部を前記受渡台とは遠ざかる方向に旋回させて、前記第１処理済の基板を搬送することを特徴とする請求項７に記載の基板処理方法。
12. 前記第１処理は洗浄処理であり、
    前記搬送部は、上下の２つの搬送アームを備え、下方の前記搬送アームは前記第１処理済みの基板を保持し、上方の前記搬送アームは前記第２処理済みの基板を保持することを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
13. 前記搬送部は、前記第１処理が済んだ基板を前記第２の処理室に受け渡す際に前記第２処理が済んだ基板を前記第２の処理室から取り出し、取り出した前記第２処理が済んだ基板を前記受渡台に受け渡す際に前記受渡台から未処理の基板を取り出すことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。