JP2019064838A - ニオブ酸リチウム基板の評価方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】還元処理されたニオブ酸リチウム基板における還元の程度を当該ニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率から評価する簡便な方法を提供すること。【解決手段】還元処理されたニオブ酸リチウム基板における還元の程度を当該ニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率から評価する方法において、波長600nmの光を用いてニオブ酸リチウム基板の吸収係数を測定し、測定されたニオブ酸リチウム基板の吸収係数が7cm-1以上17cm-1以下の範囲に存在するニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率を5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下と判定することを特徴とする。【選択図】図2
Description
本発明は、表面弾性波フィルタ等に使用されるニオブ酸リチウム基板の評価方法に係り、特に、還元処理されたニオブ酸リチウム基板における還元の程度を当該ニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率から評価する方法の改良に関するものである。
ニオブ酸リチウム(以下、LNと略称する場合がある)結晶は、主に、表面弾性波フィルタ(以下、SAWフィルタと略称する)の基板材料として使用されている。また、SAWフィルタは、特定周波数帯域の電気信号を取り出すデバイスに用いられ、近年のスマートフォンやタブレット端末等の急速な市場の伸びによりその需要が増加している。
上記SAWフィルタは、LN等の圧電材料で構成された基板上にAlCu合金等の金属薄膜で一対の櫛形電極が形成された構造となっており、この櫛形電極がデバイスの極性を左右する重要な役割を担っている。また、上記櫛形電極は、スパッタリング等の成膜手段を用いてLN等の圧電材料上に金属薄膜を成膜した後、紫外線(波長380nm未満)露光処理を伴うフォトリソグラフ技術により上記金属薄膜の不要部分をエッチングで除去することにより形成されている。
また、上記ニオブ酸リチウム(LN)結晶は、産業的には、主にチョコラルスキー法で、通常、高融点の貴金属るつぼを用い、酸素濃度が数〜10%程度の窒素−酸素混合ガス雰囲気の電気炉中で育成され、電気炉内において所定の冷却速度で冷却された後、電気炉から取り出されて得られる。
育成されたLN結晶は、無色透明若しくは透明感の高い淡黄色を呈している。育成後、結晶の熱応力による残留歪みを取り除くため、融点に近い均熱下で熱処理を行い、更に単一分極とするためのポーリング処理、すなわち、LN結晶を室温からキュリー温度以上の所定温度まで昇温し、結晶に電圧を印加し、電圧を印加したままキュリー温度以下の所定温度まで降温した後、電圧印加を停止して室温まで冷却する一連の処理を行う。ポーリング処理後、結晶の外形を整えるため外周研削されたLN結晶(インゴット)はスライス、ラップ、ポリッシュ工程等の機械加工を経てLN基板となる。最終的に得られたLN基板はほぼ無色透明で、その体積抵抗率は1×1015Ω・cm程度以上である。
ところで、このような方法で得られたLN基板においては、表面弾性波素子製造プロセスの際に、LN結晶の特性である焦電性のため、プロセスで受ける温度変化によって電荷が基板表面に溜まり、これに起因して発生するスパークにより基板表面に形成した櫛形電極パターンが破壊され、更には基板の割れ等が発生し、素子製造プロセスでの歩留まり低下が起きている。
このため、従来においては、LN基板を還元性雰囲気に晒す黒化処理が施され、LN基板の体積抵抗率を108〜1013Ω・cm程度に低くし、基板表面に電荷が溜まらないようにする方法が採られている(特許文献1〜3参照)。
ところで、LN基板の体積抵抗率を測定するには市販の装置で測定可能ではあるが、LN基板への電圧印加直後は測定値が安定しないため、一定時間経過した後に体積抵抗率を測定する必要があった。例えば、特許文献4においては、電圧を印加してから1分の体積抵抗率を測定している。加えて、測定環境によっても得られる体積抵抗率の値が変動するため、LN基板における還元の程度を評価する方法として改善の余地を有していた。
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、還元処理されたLN基板における還元の程度を安定して簡便に計測でき、所望の還元がなされたLN基板の選別を可能とする評価方法を提供することにある。
そこで、上記課題を解決するため本発明者が鋭意研究を行った結果、体積抵抗率のような電気的な特性を直接測定するのではなく、特定波長における吸収係数を測定することによって、所望する還元がなされたLN基板を安定して簡便に選別できることを見出すに至った。
すなわち、本発明は、還元処理されたニオブ酸リチウム基板における還元の程度を当該ニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率から評価する方法において、波長600nmの光を用いてニオブ酸リチウム基板の吸収係数を測定し、測定されたニオブ酸リチウム基板の吸収係数が7cm-1以上17cm-1以下の範囲に存在するニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率を5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下と判定することを特徴とするものである。
本発明に係るLN基板の評価方法によれば、測定に時間が掛かるLN基板の体積抵抗率を測定しなくても、特定波長におけるLN基板の吸収係数を求めるだけで、所望の体積抵抗率を有するか否かを簡単に確認することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について具体的に説明する。
まず、LN基板の製造工程について説明する。例えば、チョコラルスキー法により育成されたインゴットの外周を円筒研削加工により円筒状とし、これをスライス(切断)加工することで円形板状の基板を得る。
次いで、切断加工された基板を、アルミニウム粉末を用いて還元処理を行う。具体的には、LN基板を、アルミニウム(Al)粉末とアルミナ(Al2O3)粉末の混合粉末中に埋め込んで熱処理を行う。ここで、LN基板の加熱温度は、450℃以上、600℃未満とする。また、熱処理の雰囲気は、真空または不活性ガス(窒素ガスやアルゴンガス等)であることが好ましく、処理時間は4時間以上であることが好ましい。更に、LN基板の表面積を増大させてその還元反応が促進されるようにするため、LN基板表面の算術平均粗さRaが0.05μm以上、0.4μm以下とすることが好ましい。
このような還元処理されたLN結晶は、結晶内に存在する酸素欠陥濃度によって体積抵抗率と色(光透過率スペクトル)が変化する。つまり、LN単結晶中に酸素欠陥が導入されると、−2価の酸素イオンの欠損によるチャージバランスを補償する必要から一部のNbイオンの価数が5+から4+に変わり、体積抵抗率に変化を生じる。加えて、酸素欠陥に起因したカラーセンターが生成することで光吸収を起こす。
体積抵抗率の変化は、キャリアである電子がNb5+イオンとNb4+イオンの間を移動するために生ずると考えられる。結晶の体積抵抗率は、単位体積あたりのキャリア数とキャリアの移動度の積で決まる。移動度が同じであれば、体積抵抗率は酸素空孔数に比例する。光吸収による色変化は、酸素欠陥に捕獲された準安定状態の電子が起因となって形成されるカラーセンターによるものと考えられる。
そして、還元処理されたLN基板の体積抵抗率が所望の値まで低下したことを確認するため、JIS K−6911に準拠した3端子法により体積抵抗率を測定する場合、LN基板への電圧印加直後からLN基板の測定値が安定するまでの間、上述したように一定時間待つ必要があった(特許文献4参照)。
ところで、体積抵抗率の低下は還元処理による酸素欠陥によりもたらされ、酸素欠陥により着色が生じるため、LN基板の体積抵抗率を直接求めずとも、着色の程度(吸収係数)によりLN基板に導入された酸素欠陥を評価することは可能である。
下記実験例1〜8に係るLN基板の体積抵抗率と、当該LN基板の波長600nm(図中、■で示す)の光、および、フォトリソグラフィで用いられる高圧水銀灯のi線である波長365nm(図中、◆で示す)の光に対する吸収係数との関係を一例として図1に示すが、LN基板の積抵抗率が5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下の範囲であれば、図2に示すように、波長600nmの光に対して相関係数Rの2乗が0.9964と高い相関を示していることが確認される。
そこで、還元処理されたLN基板における還元の程度を当該LN基板の体積抵抗率から評価する本発明方法は、波長600nmの光を用いてLN基板の吸収係数を測定し、測定されたLN基板の吸収係数が7cm-1以上17cm-1以下の範囲に存在するLN基板の体積抵抗率を5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下と判定するものである。
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
[LN基板の準備]
コングルエント組成の原料を用いて、チョクラルスキー法で直径4インチのLN単結晶の育成を行った。
コングルエント組成の原料を用いて、チョクラルスキー法で直径4インチのLN単結晶の育成を行った。
育成されたLN単結晶に対し、均熱下において残留熱歪除去のための熱処理を行い、単一分極とするためのポーリング処理を行い、更に、結晶の外形を整えるため外周を円筒研削加工により円筒状とし、その後、スライス加工することでLN基板を得た。得られたLN基板の厚みは0.6mmとした。
[LN基板の評価]
体積抵抗率はJIS K−6911に準拠した3端子法(三菱化学社製ハイレスタ−UP MCP−HT450を使用)により、印加電圧を500Vとして測定した。
体積抵抗率はJIS K−6911に準拠した3端子法(三菱化学社製ハイレスタ−UP MCP−HT450を使用)により、印加電圧を500Vとして測定した。
また、吸収係数は、島津製作所社製の分光光度計(SolidSpec−3700)を用いて測定した。
尚、本実施例においては上記分光光度計を使用したが、単色の光源でも吸収係数の測定は可能である。
[実験例1]
アルミニウム粉末が10質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末中に実験例1に係るLN基板を埋め込み、N2雰囲気下、500℃、24時間の熱処理(すなわち還元処理)を実施した。
アルミニウム粉末が10質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末中に実験例1に係るLN基板を埋め込み、N2雰囲気下、500℃、24時間の熱処理(すなわち還元処理)を実施した。
熱処理後のLN基板の中央部1点と外周部4点の体積抵抗率を測定したところ、平均値は5.00×109Ω・cmであった。
次に、このLN基板を鏡面研磨し、基板中央部の吸収係数を測定したところ、365nmでは23.0cm-1、600nmでは16.4cm-1であった。
実験例1に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を表1並びに図1〜図2に示すが、図2中、EX1(符号◆)は波長365nmに対する吸収係数を示し、EX1(符号■)は波長600nmに対する吸収係数を示す。
[実験例2]
アルミニウム粉末が8質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、22時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例2に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は6.53×109Ω・cm、および、吸収係数は365nmで19.6cm-1、600nmで14.6cm-1であった。
アルミニウム粉末が8質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、22時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例2に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は6.53×109Ω・cm、および、吸収係数は365nmで19.6cm-1、600nmで14.6cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1〜図2に示す。
[実験例3]
アルミニウム粉末が7質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例3に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は8.95×109Ω・cm、および、吸収係数は365nmで17.3cm-1、600nmで12.5cm-1であった。
アルミニウム粉末が7質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例3に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は8.95×109Ω・cm、および、吸収係数は365nmで17.3cm-1、600nmで12.5cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1〜図2に示す。
[実験例4]
アルミニウム粉末が5質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、19時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例4に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.08×1010Ω・cm、および、吸収係数は365nmで15.6cm-1、600nmで11.1cm-1であった。
アルミニウム粉末が5質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、19時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例4に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.08×1010Ω・cm、および、吸収係数は365nmで15.6cm-1、600nmで11.1cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1〜図2に示す。
[実験例5]
アルミニウム粉末が3質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、18時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例5に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.30×1010Ω・cm、吸収係数は365nmで13.6cm-1、600nmで9.4cm-1であった。
アルミニウム粉末が3質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、18時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例5に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.30×1010Ω・cm、吸収係数は365nmで13.6cm-1、600nmで9.4cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1〜図2に示す。
[実験例6]
アルミニウム粉末が0.8質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、17時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例6に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.51×1010Ω・cm、および、吸収係数は365nmで10.3cm-1、600nmで7.3cm-1であった。
アルミニウム粉末が0.8質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、17時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例6に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.51×1010Ω・cm、および、吸収係数は365nmで10.3cm-1、600nmで7.3cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1〜図2に示す。
[実験例7]
アルミニウム粉末が0.2質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例7に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.80×1011Ω・cm、および、吸収係数は365nmで8.5cm-1、600nmで5.9cm-1であった。
アルミニウム粉末が0.2質量%のアルミニウム粉末とアルミナ粉末からなる混合粉末を用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例7に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.80×1011Ω・cm、および、吸収係数は365nmで8.5cm-1、600nmで5.9cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1に示す。
[実験例8]
アルミナ粉末のみを用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例8に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.00×1012Ω・cm、および、吸収係数は365nmで8.0cm-1、600nmで5.4cm-1であった。
アルミナ粉末のみを用いたこと、20時間の熱処理としたこと以外は実験例1と同様にして実験例8に係るLN基板の体積抵抗率と吸収係数を測定したところ、体積抵抗率は1.00×1012Ω・cm、および、吸収係数は365nmで8.0cm-1、600nmで5.4cm-1であった。
これ等の結果を表1並びに図1に示す。
[確 認]
実験例1〜6に係るLN基板の体積抵抗率(5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下)と当該LN基板の波長365nm(図中、◆で示す)の光に対する吸収係数、および、波長600nm(図中、■で示す)の光に対する吸収係数との関係を示す図2から確認されるように、LN基板の積抵抗率が上記5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下の範囲であれば、波長600nmの光に対して相関係数Rの2乗が0.9964と高い相関を示している。
実験例1〜6に係るLN基板の体積抵抗率(5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下)と当該LN基板の波長365nm(図中、◆で示す)の光に対する吸収係数、および、波長600nm(図中、■で示す)の光に対する吸収係数との関係を示す図2から確認されるように、LN基板の積抵抗率が上記5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下の範囲であれば、波長600nmの光に対して相関係数Rの2乗が0.9964と高い相関を示している。
本発明方法によれば、測定に時間が掛かるLN基板の体積抵抗率を測定しなくても、特定波長におけるLN基板の吸収係数を求めるだけで所望の体積抵抗率を有するか否かを簡単に確認できる。このため、表面弾性波フィルタ等に使用されるニオブ酸リチウム基板の評価方法として利用される産業上の利用可能性を有している。
Claims (1)
- 還元処理されたニオブ酸リチウム基板における還元の程度を当該ニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率から評価する方法において、
波長600nmの光を用いてニオブ酸リチウム基板の吸収係数を測定し、測定されたニオブ酸リチウム基板の吸収係数が7cm-1以上17cm-1以下の範囲に存在するニオブ酸リチウム基板の体積抵抗率を5×109Ω・cm以上1.6×1010Ω・cm以下と判定することを特徴とするニオブ酸リチウム基板の評価方法。
Priority Applications (1)
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JP2017188127A JP2019064838A (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | ニオブ酸リチウム基板の評価方法 |
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