JP2019063793A - ワークの洗浄装置及びワークの洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの洗浄性能を高めること。【解決手段】ワークの洗浄装置は、洗浄槽３０内に設けられ、ラック２０を載置可能な載置部４０、及び載置部４０における一端部に連結され、同一端部を昇降させる昇降機構６０を備えている。また、洗浄槽３０内における載置部４０の下方に設けられ、昇降機構６０による載置部４０の一端部の昇降に伴う載置部４０の一端部とは反対側の他端部の移動を案内する案内面３５ａを有する案内部材３５を備えている。ラック２０は、載置部４０に載置された状態において、載置部４０の一端部から他端部に向かう方向に沿って並設され、複数のワークをそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の収納部としての支持溝２３ａを有している。【選択図】図８

Description

本発明は、ワークの洗浄装置及びワークの洗浄方法に関する。

従来、金属製品などのワークの洗浄を行う洗浄装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載の洗浄装置は、洗浄液を貯留する洗浄槽、洗浄槽内に設けられた揺動台、及び揺動台に連結されて揺動台を昇降させる昇降機構を備えている。そして、金属製品が収納された洗浄籠を洗浄槽内の揺動台に載置し、昇降機構により揺動台を昇降させることで、洗浄液に浸漬された状態の洗浄籠及び金属製品を揺動させる。

特開２０１５−２０２４２１号公報

ところで、本願発明者は、特許文献１に記載の洗浄装置を用いて、複数枚の薄板状のワークが収納された洗浄籠を各ワークを起立した状態で揺動台に載置し、昇降機構により揺動台を昇降させることを考えた。しかしながら、この場合、以下の不都合が生じるおそれがある。すなわち、ワーク同士が密着していたり、ワークが洗浄籠の側面に密着していたりすると、昇降機構により揺動台を昇降させたとしても、ワーク同士が離間しなかったり、ワークが洗浄籠から離間しなかったりすることで洗浄処理が不十分となる。

本発明の目的は、ワークの洗浄性能を高めることができるワークの洗浄装置及びワークの洗浄方法を提供することにある。

上記目的を達成するためのワークの洗浄装置は、ラックに収納された複数枚の薄板状のワークを洗浄液の貯留された洗浄槽内にて洗浄する装置であって、前記洗浄槽内に設けられ、前記ラックを載置可能な載置部と、前記載置部における一端部に連結され、前記一端部を昇降させる昇降機構と、前記洗浄槽内における前記載置部の下方に設けられ、前記昇降機構による前記載置部の前記一端部の昇降に伴う前記載置部における前記一端部とは反対側の他端部の移動を案内する案内面を有する案内部材と、を備え、前記ラックは、前記載置部に載置された状態において、前記載置部の前記一端部から前記他端部に向かう方向に沿って並設され、前記複数のワークをそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の収納部を有している。

同構成によれば、ラックは、洗浄槽内の載置部に載置された状態において、複数のワークをそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の収納部を有している。このため、ワーク同士の密着を抑制することができる。また、昇降機構により、載置部の一端部が昇降されると、これに伴って載置部の他端部が同一端部から同他端部に向かう方向に沿って案内部材の案内面上を往復動する。このように、載置部の他端部が往復動されることで、ラックに対して各収納部の並設方向への力を積極的に作用させることができる。これにより、収納部の側面からワークが一時的に離間されやすくなり、ワーク全体を洗浄液にて処理することができる。したがって、ワークの洗浄性能を高めることができる。

また、上記目的を達成するためのワークの洗浄方法は、複数枚の薄板状のワークが収納されたラックを洗浄液が貯留された複数の洗浄槽に順次浸漬させることで前記ワークを段階的に洗浄する洗浄工程を備える方法であって、前記洗浄工程は、複数の前記洗浄槽のうち前記ラックが最後に浸漬される第１洗浄槽に対して前記洗浄液の新液を供給する一方、前記第１洗浄槽からオーバーフローする前記洗浄液を前記第１洗浄槽に対応して設けられた第１貯留槽にて貯留し、前記第１貯留槽に貯留されている前記洗浄液を濾過した後に前記第１洗浄槽に供給し、前記第１洗浄槽の直前に前記ラックが浸漬される第２洗浄槽に対応して設けられた第２貯留槽に前記第１貯留槽からオーバーフローする前記洗浄液を貯留する一方、前記第２貯留槽に貯留されている前記洗浄液を濾過した後に前記第２洗浄槽に供給し、前記第２洗浄槽からオーバーフローする前記洗浄液を前記第２貯留槽に貯留する。

同方法によれば、複数枚の薄板状のワークが収納されたラックを複数の洗浄槽に順次浸漬させてワークを段階的に洗浄する。
ここで、洗浄によってワークから分離された不純物は、第１洗浄槽及び第２洗浄槽（以下、洗浄槽）内の洗浄液の上層に多く存在する。洗浄槽においては、洗浄液の上層の部分がオーバーフローすることから、上記不純物の多くはオーバーフローする洗浄液と共に第１貯留槽及び第２貯留槽（以下、貯留槽）に排出されることとなる。このため、上記不純物が洗浄槽内の洗浄液の上層に滞留することを抑制できる。これにより、洗浄槽からラックを引き上げる際に上記不純物がワークの表面に再付着することを抑制できる。

また、洗浄槽には、当該洗浄槽に対応する貯留槽内の洗浄液が濾過された後に供給される。これにより、洗浄槽内の洗浄液が徐々に入れ替わることで、洗浄槽内における洗浄液の液質を略一定に維持することができる。

また、洗浄槽内においては、当該洗浄槽に対応する貯留槽からの洗浄液が供給されることによって洗浄液の流れが形成される。こうした洗浄液の流れにより、ワークの表面に上記不純物が再付着することを抑制できる。

更に、上記方法によれば、第２貯留槽には、第２洗浄槽からオーバーフローした洗浄液に加えて、第１貯留槽からオーバーフローした洗浄液が貯留される。第１洗浄槽内の洗浄液に含まれる不純物の割合は、第１洗浄槽よりも前の第２洗浄槽内の洗浄液に含まれる不純物の割合よりも少ないことから、新液の供給量を抑えつつも第２洗浄槽内の洗浄液の純度を高めることができる。

したがって、ワークの洗浄性能を高めることができる。

本発明によれば、ワークの洗浄性能を高めることができる。

第１実施形態の洗浄装置全体を斜め上方から示す斜視図。 図１に対応する図であって、洗浄槽を破断して示す斜視図。 同実施形態のラック全体を示す斜視図。 図３の４−４線に沿った断面図。 図３の５−５線に沿った断面図。 （ａ）は、図２の６−６線に沿った断面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ部を拡大して示す拡大断面図。 （ａ）は、同実施形態の洗浄装置全体を示す平面図、（ｂ）は、（ａ）のＢ部を拡大して示す拡大平面図。 図７の８−８線に沿った断面図であって、（ａ）は、載置部の一端部が持ち上げられていない状態を示す断面図、（ｂ）は、載置部の一端部が持ち上げられている状態を示す図。 第２実施形態の洗浄装置の構成を示す模式図。 同実施形態のアルカリ洗浄部の構成を示す液回路図。 同実施形態のリンス洗浄部の構成を示す液回路図。

＜第１実施形態＞
以下、図１〜図８を参照して、ワークの洗浄装置の第１実施形態について説明する。
図１及び図２に示すように、本実施形態のワークの洗浄装置は、複数の薄板状のワーク１０をそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて収納可能なラック２０と、ラック２０に収納された複数枚のワーク１０をラック２０ごと洗浄する洗浄槽３０とを備えている。

本実施形態のワーク１０は、燃料電池のセパレータである。ワーク１０は、ステンレス鋼などの金属材料からなり、数百μｍの厚さの略長方形板状をなしている。
まず、ラック２０について説明する。

図３に示すように、ラック２０は、同図の上下方向に長い長方形板状をなし、互いに対向する一対の側板２１と、各側板２１の対向方向に沿って延在し、各側板２１の長手方向の一端同士及び他端同士を連結する一対の連結部材２２とを有している。各連結部材２２は、各側板２１の短手方向の一端に連結されている。各側板２１及び各連結部材２２は、例えばステンレス鋼からなる。

各側板２１の短手方向の他端側には、把手２１ａが突設されている。本実施形態では、側板２１及び把手２１ａが一体に形成されている。各側板２１及び各連結部材２２により、ラック２０の外枠が構成されている。

図３及び図４に示すように、各側板２１の内面、すなわち互いに対向する面には、硬質樹脂材料により形成された溝部材２３が接着により固定されている。
図３に示すように、各溝部材２３には、各側板２１の短手方向に沿って延在し、各ワーク１０の両端を支持する複数対の支持溝２３ａが各側板２１の長手方向に互いに所定の間隔をおいて並設されている。

各支持溝２３ａは、これらの延在方向（各側板２１の短手方向）の両端において開口している。ワーク１０の両端は、支持溝２３ａの延在方向における他端側の開口を通じて支持溝２３ａ内に挿入される。すなわち、支持溝２３ａの延在方向のうち一端側がワーク１０の収納方向の前側となり、他端側がワーク１０の収納方向の後側となる。

図４に示すように、各支持溝２３ａの幅Ｗ１は、各支持溝２３ａの延在方向において同一とされている。
図３に示すように、一対の連結部材２２の間には、各側板２１の長手方向（同図の上下方向）に沿って延在し、ワーク１０の収納方向の前側及び各側板２１の長手方向の双方への変位を規制する２つの柱状の支持部材２４が、各側板２１の対向方向に互いに間隔をおいて設けられている。

図５に示すように、各支持部材２４は、一対の連結部材２２に連結された金属材料からなる円柱状の芯部２５、及び芯部２５の全周を被覆する硬質樹脂材料からなる被覆部２６とを有している。

被覆部２６は、側板２１の長手方向（同図の上下方向）において等間隔にて設けられた複数の小径部２６ａ、互いに隣り合う小径部２６ａの間に１つずつ設けられ、小径部２６ａよりも外径の大きい複数の大径部２６ｂを有している。また、被覆部２６は、小径部２６ａと大径部２６ｂとの間に１つずつ設けられ、小径部２６ａから大径部２６ｂにかけて外径が連続的に大きくされた傾斜部２６ｃを有している。１つの小径部２６ａと、同小径部２６ａと隣り合う一対の傾斜部２６ｃとによって支持凹部２６ｄが構成されている。小径部２６ａの上下方向の幅Ｗ２は、ワーク１０の厚みｄよりも大きくされている（Ｗ２＞ｄ）。

ワーク１０の収納方向の前縁部が支持凹部２６ｄに当接されることにより、ワーク１０の前側及び各側板２１の長手方向の双方への変位が規制される。
次に、洗浄槽３０について説明する。

図１及び図２に示すように、洗浄槽３０は、上部に平面視四角形状の開口３１ａを有する箱状の槽本体３１及び開口３１ａの縁部に全周にわたって設けられた鍔部３２を有している。鍔部３２のうち上記開口３１ａの１つの辺に対応する部分には、他の辺に対応する部分よりも外周側に張り出された張出部３３が設けられている。また、鍔部３２の外周縁部には、上方に突出する突壁部３４が全周にわたって設けられている。

図６〜図８に示すように、槽本体３１内には、上記張出部３３の張り出す方向に沿って延在する一対の案内部材３５が設けられている。
なお、以降において、各案内部材３５の延在する方向を延在方向Ｌとし、延在方向Ｌ及び上下方向の双方に対して直交する方向を幅方向Ｗとして説明する。

図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、一対の案内部材３５は、幅方向Ｗにおいて互いに間隔をおいて配置されている。
図６（ｂ）に拡大して示すように、各案内部材３５は上下方向に沿って延在するとともに、その上端において屈曲して幅方向Ｗの内側に延在しており、断面Ｌ字状をなしている。

図７及び図８に示すように、各案内部材３５の延在方向Ｌの両端は、槽本体３１の内面に固定されている。
図２、図６〜図８に示すように、槽本体３１内には、ラック２０を載置可能な載置部４０が設けられている。

載置部４０は、各案内部材３５の上面である案内面３５ａの上方に設けられ、延在方向Ｌに沿って延在する一対の第１フレーム４１を備えている。
各第１フレーム４１の間には、幅方向Ｗに沿って延在するとともに第１フレーム４１同士を連結し、ラック２０を下方から支持する複数（本実施形態では３つ）の支持棒４２が延在方向Ｌに互いに間隔をおいて設けられている。また、各第１フレーム４１の間には、幅方向Ｗに沿って延在するとともに第１フレーム４１同士を連結し、ラック２０の延在方向Ｌにおける載置位置を規制する一対の規制棒４３が延在方向Ｌに互いに間隔をおいて設けられている。一対の規制棒４３は、３つの支持棒４２よりも上側であり、且つ３つの支持棒４２よりも延在方向Ｌの外側に配置されている。

図２、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、洗浄槽３０には、各第１フレーム４１の延在方向Ｌにおける一端部（図８（ａ）における右端部）を昇降させる昇降機構６０が取り付けられている。

昇降機構６０は、載置部４０の各第１フレーム４１における一端部に対して揺動可能に連結された昇降部５０と、昇降部５０を昇降させるアクチュエータ７０とを備えている。
昇降部５０は、各第１フレーム４１の一端部に揺動機構１１０を介して連結された一対の第２フレーム５１を備えている。各第２フレーム５１は、上下方向に沿って鍔部３２よりも上方まで延在する長尺部５１ａと、長尺部５１ａの上端にて屈曲して延在方向Ｌに沿って張出部３３の上方まで延在する短尺部５１ｂとを有しており、全体として略Ｌ字状をなしている。

各第２フレーム５１には、幅方向Ｗに沿って延在するとともに第２フレーム５１同士を連結する複数の連結棒５２（本実施形態では３つ）が上下方向に互いに間隔をおいて設けられている。具体的には、２つの連結棒５２が各第２フレーム５１の長尺部５１ａの間に設けられており、１つの連結棒５２が短尺部５１ｂの間に設けられている。

各第２フレーム５１の短尺部５１ｂ同士の間には、長方形板状をなす連結板５３が連結されている。連結板５３には、昇降部５０を昇降させるアクチュエータ７０が連結されている。

図２、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、槽本体３１の張出部３３には、上方に向けて突出可能なロッド７２ａを有するエアシリンダ７２が取り付けられている。ロッド７２ａの上端部は、連結板５３の下面に固定されたジョイント７１に連結されている。

図７（ｂ）に示すように、各第１フレーム４１の延在方向Ｌの一端部には、幅方向Ｗの内側からベアリング１１１が嵌入されている。ベアリング１１１には、幅方向Ｗの内側からボルト１１３が挿通されている。ボルト１１３は、第２フレーム５１（長尺部５１ａ）の下端部のボルト孔（図示略）に挿通されており、ボルト１１３の先端部には、ナット１１４が螺合されている。なお、ベアリング１１１と第２フレーム５１の下端部との間には、カラー１１２が設けられている。

図７（ｂ）、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、各第２フレーム５１の長尺部５１ａの下端部には、昇降部５０の昇降に伴って槽本体３１の内面上を転動するホイール１２１が回転可能に設けられている。ホイール１２１は、長尺部５１ａよりも延在方向Ｌの外側に向けて突出している。ホイール１２１には、幅方向Ｗの外側からボルト１２３が挿通されている。ボルト１２３は、第２フレーム５１の下端部のボルト孔（図示略）に挿通されており、ボルト１２３の先端部には、ナット１２４が螺合されている。なお、ホイール１２１の内部には、リテーナにより保持された複数のころ（いずれも図示略）が設けられている。

図６及び図７に示すように、槽本体３１の内面のうちホイール１２１に対向する部分、すなわち上記ホイール１２１が摺動する部分には、上下方向に対して長い長方形板状の補強板３６が固定されている。

図７及び図８に示すように、各第１フレーム４１の延在方向Ｌの他端部（図７（ａ）における下端部）には、案内部材３５の上面である案内面３５ａ上を移動可能な回転体としてのベアリング１０１が回転可能に設けられている。ベアリング１０１には、ベアリング１０１が案内面３５ａ上を移動する際の幅方向Ｗの内側への変位を規制するフランジ部１０１ａが設けられている。各ベアリング１０１には、幅方向Ｗの外側からボルト１０３が挿通されている。ボルト１０３は、第１フレーム４１の他端部のボルト孔（図示略）に挿通されており、ボルト１０３の先端部には、ナット１０４が螺合されている。なお、ベアリング１０１と第１フレーム４１の他端部との間には、カラー１０２が設けられている。

図６〜図８に示すように、槽本体３１内には、洗浄液を加熱するヒータ８０が設けられている。ヒータ８０は、槽本体３１の外部から槽本体３１の側壁を貫通して取り付けられており、案内部材３５の下方に位置している。

なお、槽本体３１の底部には、槽本体３１内の洗浄液を外部に排出するための排出部（図示略）が設けられている。
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、ラック２０は、把手２１ａを上側にする、すなわち支持部材２４を下側にするとともに、複数の支持溝２３ａの並設方向を延在方向Ｌに一致させた状態でのみ載置部４０に載置可能とされている。このとき、ラック２０の各支持溝２３ａに収納された複数のワーク１０は起立した状態とされる。なお、本実施形態における各支持溝２３ａが本発明に係る複数の収納部に相当する。

次に、本実施形態の作用について説明する。
ラック２０に収納されたワーク１０は、以下のようにして洗浄される。
図８（ａ）に示すように、まず、複数のワーク１０が収納されたラック２０を載置部４０に載置するとともに、洗浄槽３０の槽本体３１内に洗浄液を貯留する。なお、同図では、ワーク１０の図示を省略している。

次に、図８（ｂ）に示すように、エアシリンダ７２を駆動してロッド７２ａを上方に向けて突出させることにより、昇降部５０を上昇させる。これにより、昇降部５０の下端部に揺動機構１１０を介して連結された載置部４０の一端部が持ち上げられる。これに伴い、載置部４０の他端部が案内面３５ａ上をベアリング１０１を介して延在方向Ｌにおいて上記一端部に近接する側に移動される。

続いて、載置部４０の一端部が持ち上げられている状態から昇降部５０を降下させる。これにより、図８（ａ）に示すように、載置部４０の一端部が降ろされる。これに伴い、載置部４０の他端部が案内面３５ａ上をベアリング１０１を介して延在方向Ｌにおいて上記一端部から離間する側に移動される。

このように、昇降部５０の昇降により、載置部４０の一端部は昇降される一方、他端部は延在方向Ｌにおいて往復動されることとなる。
以降、これらの動作が繰り返し行われることで、載置部４０に載置されたラック２０が上下方向及び前後方向の双方に往復動される。

以上説明した本実施形態に係るワークの洗浄装置によれば、以下に示す作用効果が得られるようになる。
（１）ワーク１０の洗浄装置は、洗浄槽３０内に設けられ、ラック２０を載置可能な載置部４０、及び載置部４０における一端部に連結され、同一端部を昇降させる昇降機構６０を備えている。また、洗浄槽３０内における載置部４０の下方に設けられ、昇降機構６０による載置部４０の一端部の昇降に伴う載置部４０の一端部とは反対側の他端部の移動を案内する案内面３５ａを有する案内部材３５を備えている。ラック２０は、載置部４０に載置された状態において、載置部４０の一端部から他端部に向かう方向に沿って並設され、複数のワーク１０をそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の収納部としての支持溝２３ａを有している。

こうした構成によれば、ラック２０は、洗浄槽３０内の載置部４０に載置された状態において、複数のワーク１０をそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の支持溝２３ａを有している。このため、ワーク１０同士の密着を抑制することができる。また、昇降機構６０により、載置部４０の一端部が昇降されると、これに伴って載置部４０の他端部が同一端部から同他端部に向かう方向（延在方向Ｌ）に沿って案内部材３５の案内面３５ａ上を往復動する。このように、載置部４０の他端部が往復動されることで、ラック２０に対して各支持溝２３ａの並設方向への力を積極的に作用させることができる。これにより、支持溝２３ａの側面からワーク１０が一時的に離間されやすくなり、ワーク１０全体を洗浄液にて処理することができる。したがって、ワーク１０の洗浄性能を高めることができる。

（２）昇降機構６０は、載置部４０における一端部に対して揺動可能に連結された昇降部５０と、昇降部５０を昇降させるアクチュエータ７０とを備えている。
こうした構成によれば、載置部４０と昇降部５０とが相対揺動可能に連結されているため、アクチュエータ７０により昇降部５０を昇降させることで、載置部４０の一端部が昇降されるとともに、載置部４０の他端部が前後方向に往復動される。したがって、簡易な構成により、載置部４０に載置されたラック２０を上下方向及び前後方向の双方に移動させることができる。

（３）載置部４０の他端部には、案内面３５ａ上を移動可能な回転体としてのベアリング１０１が設けられている。
こうした構成によれば、載置部４０の他端部がベアリング１０１を介して案内面３５ａ上を滑らかに移動するようになる。このため、載置部４０の他端部を安定して往復動させることができる。

＜第２実施形態＞
以下、図９〜図１１を参照して、ワークの洗浄装置の第２実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、第１実施形態と対応する構成については、第１実施形態の符号「＊＊」に２００を加算した符号「２＊＊」を付すことにより重複する説明を省略する。

本実施形態のワークの洗浄装置（以下、洗浄装置）は、複数枚の薄板状のワーク１０が収納されたラック２０を複数の洗浄槽に順次浸漬させることでワーク１０を段階的に洗浄するものである。

図９に示すように、洗浄装置は、ワーク１０をアルカリ洗浄するアルカリ洗浄部３００と、アルカリ洗浄された後のワーク１０をリンス洗浄するリンス洗浄部４００とを備えている。

図９に示すように、アルカリ洗浄部３００は、アルカリ性のアルカリ洗浄液によりワーク１０を段階的にアルカリ洗浄するアルカリ洗浄工程に用いられるものであり、複数（本実施形態では３つ）のアルカリ洗浄槽（第１アルカリ洗浄槽３１１、第２アルカリ洗浄槽３１２、第３アルカリ洗浄槽３１３）を備えている。

また、リンス洗浄部４００は、アルカリ洗浄された後のワーク１０をリンス洗浄液により段階的にリンス洗浄するリンス洗浄工程に用いられるものであり、複数（本実施形態では４つ）のリンス洗浄槽（第１リンス４１１，第２リンス洗浄槽４１２，第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）を備えている。

洗浄装置は、ラック２０を把持するとともに洗浄槽３１３，３１２，３１１，４１４，４１３，４１２，４１１に対してラック２０を順次浸漬させるべく搬送する搬送装置５００を備えている。

次に、図９及び図１０を参照して、アルカリ洗浄部３００について詳細に説明する。
アルカリ洗浄部３００は、ＮａＯＨなどのアルカリ洗浄液により、プレス加工時にワーク１０の表面に付着した油分などの不純物を除去するアルカリ洗浄工程を行うためのものである。

図９及び図１０に示すように、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３は、基本的に第１実施形態の洗浄槽３０と同様な構成を備えている。すなわち、図示は省略するが、各洗浄槽３１１〜３１３は、ラック２０を載置可能な載置部４０と、載置部４０における一端部に連結され、同一端部を昇降させる昇降機構６０とを備えている。ただし、各洗浄槽３１１〜３１３には、サブタンク２３７及び超音波発生機３８０が設けられている一方、ヒータ８０が設けられていない。

第１アルカリ洗浄槽３１１には、アルカリ洗浄液の新液を供給する供給流路３６１を有するアルカリ洗浄液供給装置３６０が接続されている。
サブタンク２３７は、槽本体２３１の外側面の上部と鍔部２３２との間に全周にわたって設けられており、四角環状をなしている。サブタンク２３７には、槽本体２３１の上縁からオーバーフローしたアルカリ洗浄液が貯留される。

図１０に示すように、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３の各サブタンク２３７には、各サブタンク２３７に貯留されたアルカリ洗浄液を、３つのアルカリ洗浄槽３１１〜３１３に対応して設けられた第１アルカリ貯留槽３３１、第２アルカリ貯留槽３３２、及び第３アルカリ貯留槽３３３にそれぞれ供給する第１流路３２０が接続されている。第１流路３２０には、アルカリ洗浄液を圧送するポンプ３２１が設けられている。

各アルカリ貯留槽３３１〜３３３は、１つのアルカリ集合槽３３０の内部に区画されている。
アルカリ集合槽３３０は、長方形板状の底壁３３５と、底壁３３５の周縁から全周にわたって立設された都合４つの側壁３３６と、アルカリ集合槽３３０の内部を３つのアルカリ貯留槽３３１〜３３３に区画する複数（本実施形態では２つ）の仕切壁３３７，３３８とを有している。第１アルカリ貯留槽３３１と第２アルカリ貯留槽３３２とを区画する仕切壁３３７の上縁部は、第２アルカリ貯留槽３３２と第３アルカリ貯留槽３３３とを区画する仕切壁３３８の上縁部よりも上方に位置している。また、側壁３３６の上縁部は、各仕切壁３３７，３３８の上縁部よりも上方に位置している。したがって、第１アルカリ貯留槽３３１、第２アルカリ貯留槽３３２、及び第３アルカリ貯留槽３３３の順で液面の高さが低くなる。これらにより、第１アルカリ貯留槽３３１に貯留されるアルカリ洗浄液の液面の高さが仕切壁３３７を越えると当該アルカリ洗浄液は、第２アルカリ貯留槽３３２にオーバーフローする。また、第２アルカリ貯留槽３３２に貯留されるアルカリ洗浄液の液面の高さが仕切壁３３８を越えると当該アルカリ洗浄液は、第３アルカリ貯留槽３３３にオーバーフローする。

以上のことから、第１アルカリ貯留槽３３１には、第１アルカリ洗浄槽３１１のサブタンク２３７に接続された第１流路３２０から圧送されるアルカリ洗浄液が供給される。
第２アルカリ貯留槽３３２には、第２アルカリ洗浄槽３１２のサブタンク２３７に接続された第１流路３２０から圧送されるアルカリ洗浄液と、第１アルカリ貯留槽３３１においてオーバーフローしたアルカリ洗浄液とが供給される。

第３アルカリ貯留槽３３３には、第３アルカリ洗浄槽３１３のサブタンク２３７に接続された第１流路３２０から圧送されるアルカリ洗浄液と、第２アルカリ貯留槽３３２においてオーバーフローしたアルカリ洗浄液とが供給される。

各アルカリ貯留槽３３１〜３３３には、アルカリ洗浄液を加熱するヒータ３８１が設けられている。なお、図１０において、第２アルカリ貯留槽３３２に設けられたヒータ３８１の図示を省略している。

アルカリ集合槽３３０の底壁３３５のうち第３アルカリ貯留槽３３３の底部を構成する部分には、アルカリ洗浄液を排出する排出流路３４０が接続されている。排出流路３４０には、排出流路３４０を開閉するバルブ３４１が設けられている。

各アルカリ貯留槽３３１〜３３３には、対応するアルカリ洗浄槽３１１〜３１３にアルカリ洗浄液を供給する第２流路３５０が接続されている。各第２流路３５０には、上流側から順に、アルカリ洗浄液を圧送するポンプ３５１と、アルカリ洗浄液を濾過するフィルタ３５２とが設けられている。なお、図１０において、第２アルカリ洗浄槽３１２及びこれに接続される第２流路３５０の図示を省略している。

以上のことから、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３には、第２流路３５０によりアルカリ洗浄液が供給される一方、第１流路３２０によりアルカリ洗浄液が排出される。
なお、第１アルカリ洗浄槽３１１は、第２流路３５０によりアルカリ洗浄液が供給されることに加えて、供給流路３６１を有するアルカリ洗浄液供給装置３６０によりアルカリ洗浄液の新液が供給される。

次に、図９及び図１１を参照して、リンス洗浄部４００について詳細に説明する。
リンス洗浄部４００は、上記アルカリ洗浄工程においてワーク表面に付着したアルカリ洗浄液を除去するリンス洗浄工程を行うためのものである。

リンス洗浄部４００は、アルカリ洗浄部３００と基本的に同様な構成を有している。したがって、以降において、アルカリ洗浄部３００と同様な構成を有する部分については、アルカリ洗浄部３００に対応する符号「３＊＊」に「１００」を加算した符号「４＊＊」を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。

第１リンス洗浄槽４１１には、リンス洗浄液の新液を供給する供給流路４６１を有するリンス洗浄液供給装置４６０が接続されている。
本実施形態のリンス洗浄液の新液は純水である。ここで、純水とは、摂氏２５℃における導電率が１．０μＳ／ｃｍ以下であり、不純物がほとんど含まれていない水である。

図１１に示すように、各リンス洗浄槽４１１〜４１４の各サブタンク２３７には、各サブタンク２３７に貯留されたリンス洗浄液を、４つのリンス洗浄槽４１１〜４１４に対応して設けられた第１リンス貯留槽４３１、第２リンス貯留槽４３２、第３リンス貯留槽４３３、及び第４リンス貯留槽４３４にそれぞれ供給する第１流路４２０が接続されている。

各リンス貯留槽４３１〜４３４は、１つのリンス集合槽４３０の内部に区画されている。
リンス集合槽４３０は、リンス集合槽４３０の内部を４つのリンス貯留槽４３１〜４３４に区画する複数（本実施形態では３つ）の仕切壁４３７，４３８，４３９を有している。

仕切壁４３７の上縁部は、仕切壁４３８の上縁部よりも上方に位置している。また、仕切壁４３８の上縁部は、仕切壁４３９の上縁部よりも上方に位置している。したがって、第１リンス貯留槽４３１、第２リンス貯留槽４３２、第３リンス貯留槽４３３、及び第４リンス貯留槽４３４の順で液面の高さが低くなる。これらにより、第１リンス貯留槽４３１に貯留されるリンス洗浄液の液面の高さが仕切壁４３７を越えると当該リンス洗浄液は、第２リンス貯留槽４３２にオーバーフローする。また、第２リンス貯留槽４３２に貯留されるリンス洗浄液の液面の高さが仕切壁４３８を越えると当該リンス洗浄液は、第３リンス貯留槽４３３にオーバーフローする。また、第３リンス貯留槽４３３に貯留されるリンス洗浄液の液面の高さが仕切壁４３９を越えると当該リンス洗浄液は、第４リンス貯留槽４３４にオーバーフローする。

各リンス洗浄槽４１１〜４１４の各サブタンク２３７には、各サブタンク２３７に貯留されたリンス洗浄液を各リンス貯留槽４３１〜４３４に供給する第１流路４２０が接続されている。

以上のことから、第１リンス貯留槽４３１には、第１リンス洗浄槽４１１のサブタンク２３７に接続された第１流路４２０から圧送されるリンス洗浄液が供給される。
第２リンス貯留槽４３２には、第２リンス洗浄槽４１２のサブタンク２３７に接続された第１流路４２０から圧送されるリンス洗浄液と、第１リンス貯留槽４３１においてオーバーフローしたリンス洗浄液とが供給される。

第３リンス貯留槽４３３には、第３リンス洗浄槽４１３のサブタンク２３７に接続された第１流路４２０から圧送されるリンス洗浄液と、第２リンス貯留槽４３２においてオーバーフローしたリンス洗浄液とが供給される。

第４リンス貯留槽４３４には、第４リンス洗浄槽４１４のサブタンク２３７に接続された第１流路４２０から圧送されるリンス洗浄液と、第３リンス貯留槽４３３においてオーバーフローしたリンス洗浄液とが供給される。

リンス集合槽４３０の底壁４３５のうち第４リンス貯留槽４３４の底部を構成する部分には、リンス洗浄液を排出する排出流路４４０が接続されている。排出流路４４０には、排出流路４４０を開閉するバルブ４４１が設けられている。

各リンス洗浄槽４１１〜４１４は、第２流路４５０によりリンス洗浄液が供給される一方、第１流路４２０によりリンス洗浄液が排出される。
なお、第１リンス洗浄槽４１１は、第２流路４５０によりリンス洗浄液が供給されることに加えて、供給流路４６１を有するリンス洗浄液供給装置４６０によりリンス洗浄液の新液が供給される。

次に、ワーク１０の洗浄工程について説明する。
まず、搬送装置５００によりワーク１０が収納されたラック２０を第３アルカリ洗浄槽３１３に浸漬させる。このとき、ラック２０は載置部４０に載置されるとともに、載置部４０に連結された昇降機構６０により揺動される。またこのとき、超音波発生機３８０により、第３アルカリ洗浄槽３１３内のアルカリ洗浄液に超音波が印加される。このようにして、ワーク１０がアルカリ洗浄液によりアルカリ洗浄される。

次に、搬送装置５００によりラック２０を第３アルカリ洗浄槽３１３から引き上げるとともに第２アルカリ洗浄槽３１２の上方まで搬送し、第２アルカリ洗浄槽３１２に浸漬させる。そして、上記態様と同様にしてワーク１０のアルカリ洗浄を行う。

次に、搬送装置５００によりラック２０を第２アルカリ洗浄槽３１２から引き上げるとともに第２アルカリ洗浄槽３１２の上方まで搬送し、第１アルカリ洗浄槽３１１に浸漬させる。そして、上記態様と同様にしてワーク１０のアルカリ洗浄を行う。

以上により、ワーク１０のアルカリ洗浄工程が完了する。
続いて、アルカリ洗浄工程と同様にして、搬送装置５００により、ラック２０を各リンス洗浄槽４１４〜４１１に順次浸漬させてワーク１０のリンス洗浄を行う。

以上により、ワーク１０のリンス洗浄工程が完了する。
なお、アルカリ洗浄工程において、アルカリ洗浄液は、アルカリ洗浄液供給装置３６０により第１アルカリ洗浄槽３１１に常時供給される一方、排出流路３４０を通じて第３アルカリ貯留槽３３３から常時排出されている。

なお、リンス洗浄工程において、リンス洗浄液は、リンス洗浄液供給装置４６０により第１リンス洗浄槽４１１に常時供給される一方、排出流路４４０を通じて第４リンス貯留槽４３４から常時排出されている。

次に、本実施形態の作用について説明する。
アルカリ洗浄工程によってワーク１０から分離された油分などの不純物は、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３内のアルカリ洗浄液の上層に多く存在する。各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３においては、アルカリ洗浄液の上層の部分がオーバーフローすることから、上記不純物の多くはオーバーフローするアルカリ洗浄液と共に各アルカリ貯留槽３３１〜３３３に排出されることとなる。このため、上記不純物が各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３内のアルカリ洗浄液の上層に滞留することを抑制できる。これにより、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３からラック２０を引き上げる際に上記不純物がワーク１０の表面に再付着することを抑制できる（以上、作用１）。

また、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３には、当該アルカリ洗浄槽に対応する各アルカリ貯留槽３３１〜３３３内のアルカリ洗浄液がフィルタ３５２により濾過された後に供給される。これにより、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３内のアルカリ洗浄液が徐々に入れ替わることで、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３内におけるアルカリ洗浄液の液質を略一定に維持することができる（以上、作用２）。

また、各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３内においては、当該アルカリ洗浄槽に対応する各アルカリ貯留槽３３１〜３３３からのアルカリ洗浄液が供給されることによってアルカリ洗浄液の流れが形成される。こうしたアルカリ洗浄液の流れにより、ワーク１０の表面に上記不純物が再付着することを抑制できる（以上、作用３）。

更に、第２アルカリ貯留槽３３２（第３アルカリ貯留槽３３３）には、第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）からオーバーフローしたアルカリ洗浄液に加えて、第１アルカリ貯留槽３３１（第２アルカリ貯留槽３３２）からオーバーフローしたアルカリ洗浄液が貯留される。第１アルカリ洗浄槽３１１（第２アルカリ洗浄槽３１２）内のアルカリ洗浄液に含まれる不純物の割合は、第１アルカリ洗浄槽３１１（第２アルカリ洗浄槽３１２）よりも前の第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）内のアルカリ洗浄液に含まれる不純物の割合よりも少ない。このことから、新液の供給量を抑えつつも第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）内のアルカリ洗浄液の純度を高めることができる（以上、作用４）。

また、リンス洗浄工程によってワーク１０から分離された不純物は、各リンス洗浄槽４１１〜４１４内のリンス洗浄液の上層に多く存在する。各リンス洗浄槽４１１〜４１４においては、リンス洗浄液の上層の部分がオーバーフローすることから、上記不純物の多くはオーバーフローするリンス洗浄液と共に各リンス貯留槽４３１〜４３４に排出されることとなる。このため、上記不純物が各リンス洗浄槽４１１〜４１４内のリンス洗浄液の上層に滞留することを抑制できる。これにより、各リンス洗浄槽４１１〜４１４からラック２０を引き上げる際に上記不純物がワーク１０の表面に再付着することを抑制できる（以上、作用５）。

また、各リンス洗浄槽４１１〜４１４には、当該リンス洗浄槽に対応する各リンス貯留槽４３１〜４３３内のリンス洗浄液がフィルタ４５２により濾過された後に供給される。これにより、各リンス洗浄槽４１１〜４１４内のリンス洗浄液が徐々に入れ替わることで、各リンス洗浄槽４１１〜４１４内におけるリンス洗浄液の液質を略一定に維持することができる（以上、作用６）。

また、各リンス洗浄槽４１１〜４１４内においては、当該リンス洗浄槽に対応する各リンス貯留槽４３１〜４３４からのリンス洗浄液が供給されることによってリンス洗浄液の流れが形成される。こうしたリンス洗浄液の流れにより、ワーク１０の表面に上記不純物が再付着することを抑制できる（以上、作用７）。

更に、第２リンス貯留槽４３２（第３リンス貯留槽４３３，第４リンス貯留槽４３４）には、第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）からオーバーフローしたリンス洗浄液に加えて、第１リンス貯留槽４３１（第２リンス貯留槽４３２，第３リンス貯留槽４３３）からオーバーフローしたリンス洗浄液が貯留される。第１リンス洗浄槽４１１（第２リンス洗浄槽４１２，第３リンス洗浄槽４１３）内のリンス洗浄液に含まれる不純物の割合は、第１リンス洗浄槽４１１（第２リンス洗浄槽４１２，第３リンス洗浄槽４１３）よりも前の第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）内のリンス洗浄液に含まれる不純物の割合よりも少ない。このことから、新液の供給量を抑えつつも第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）内のリンス洗浄液の純度を高めることができる（以上、作用８）。

以上説明した本実施形態に係るワークの洗浄方法によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（４）アルカリ洗浄工程は、複数のアルカリ洗浄槽のうちラック２０が最後に浸漬される第１アルカリ洗浄槽３１１に対してアルカリ洗浄液の新液を供給する。加えて、第１アルカリ洗浄槽３１１からオーバーフローするアルカリ洗浄液を第１アルカリ洗浄槽３１１に対応して設けられた第１アルカリ貯留槽３３１にて貯留し、第１アルカリ貯留槽３３１に貯留されているアルカリ洗浄液を濾過した後に第１アルカリ洗浄槽３１１に供給する。また、第１アルカリ洗浄槽３１１（第２アルカリ洗浄槽３１２）の直前にラック２０が浸漬される第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）に対応して設けられた第２アルカリ貯留槽３３２（第３アルカリ貯留槽３３３）に第１アルカリ貯留槽３３１（第２アルカリ貯留槽３３２）からオーバーフローするアルカリ洗浄液を貯留する。加えて、第２アルカリ貯留槽３３２（第３アルカリ貯留槽３３３）に貯留されているアルカリ洗浄液を濾過した後に第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）に供給する。そして、第２アルカリ洗浄槽３１２（第３アルカリ洗浄槽３１３）からオーバーフローするアルカリ洗浄液を第２アルカリ貯留槽３３２（第３アルカリ貯留槽３３３）に貯留する。

こうした方法によれば、上記作用１〜４を奏することから、ワーク１０のアルカリ洗浄における洗浄性能を高めることができる。
（５）リンス洗浄工程は、複数のリンス洗浄槽のうちラック２０が最後に浸漬される第１リンス洗浄槽４１１に対してリンス洗浄液の新液を供給する。加えて、第１リンス洗浄槽４１１からオーバーフローするリンス洗浄液を第１リンス洗浄槽４１１に対応して設けられた第１リンス貯留槽４３１にて貯留し、第１リンス貯留槽４３１に貯留されているリンス洗浄液を濾過した後に第１リンス洗浄槽４１１に供給する。また、第１リンス洗浄槽４１１（第２リンス洗浄槽４１２，第３リンス洗浄槽４１３）の直前にラック２０が浸漬される第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）に対応して設けられた第２リンス貯留槽４３２（第３リンス貯留槽４３３，第４リンス貯留槽４３４）に第１リンス貯留槽４３１（第２リンス貯留槽４３２，第３リンス貯留槽４３３）からオーバーフローするリンス洗浄液を貯留する。加えて、第２リンス貯留槽４３２（第３リンス貯留槽４３３，第４リンス貯留槽４３４）に貯留されているリンス洗浄液を濾過した後に第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）に供給する。そして、第２リンス洗浄槽４１２（第３リンス洗浄槽４１３，第４リンス洗浄槽４１４）からオーバーフローするリンス洗浄液を第２リンス貯留槽４３２（第３リンス貯留槽４３３，第４リンス貯留槽４３４）に貯留する。

こうした方法によれば、上記作用５〜８を奏することから、ワーク１０のリンス洗浄における洗浄性能を高めることができる。
（６）リンス洗浄工程では、第１リンス洗浄槽４１１に対してリンス洗浄液の新液として純水を供給するようにした。

こうした方法によれば、第１リンス洗浄槽４１１に対して供給されるリンス洗浄液の新液として不純物がほとんど含まれていない純水を用いているため、新液を供給することによるリンス洗浄液への不純物の混入を抑制することができる。

（７）各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３（各リンス洗浄槽４１１〜４１４）に浸漬された状態のラック２０を揺動させるとともにアルカリ洗浄液（リンス洗浄液）に超音波を印加するようにした。

こうした方法によれば、ラック２０が揺動されることと、アルカリ洗浄液（リンス洗浄液）に超音波が印加されることとによってラック２０に収納されたワーク１０の表面に接するアルカリ洗浄液（リンス洗浄液）が攪拌される。これにより、ワーク１０全体が均一に洗浄されるようになる。したがって、ワーク１０のアルカリ洗浄（リンス洗浄）における洗浄性能を一層高めることができる。

なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

・ベアリング１０１に代えてボールローラを採用することもできる。
・アクチュエータ７０はエアシリンダ７２を備えるものに限定されない。他に例えば、ボールねじや電磁ソレノイドを用いたアクチュエータであってもよい。

・ヒータ８０を省略してもよい。
・案内部材３５は、張出部３３に対して傾斜して設けられていてもよい。
・揺動機構１１０は、本実施形態のようにベアリング１１１を中心に回動するものに限定されない。他に例えば、ベアリング１１１に代えて、各第２フレーム５１に幅方向Ｗに延在する摺動軸を設け、各第１フレーム４１に摺動軸が挿入される長孔を設けるようにしてもよい。長孔は、載置部４０の他端側ほど上方または下方に位置するように傾斜して延在している。上記構成によれば、各第２フレーム５１の昇降に伴い、各第１フレーム４１が長孔の延在方向において摺動軸に対して相対移動することで、載置部４０が上下方向及び前後方向の双方に往復動される。

・リンス洗浄工程の後に、ワーク１０を乾燥させる乾燥工程を別途行うようにしてもよい。
・各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３（各リンス洗浄槽４１１〜４１４）は、超音波発生機３８０（超音波発生機４８０）に加えてアルカリ洗浄液（リンス洗浄液）を加熱するヒータを有するものであってもよい。この場合、各アルカリ貯留槽３３１〜３３３（各リンス貯留槽４３１〜４３４）内のヒータ３８１（ヒータ４８１）を省略することができる。

・各アルカリ洗浄槽３１１〜３１３（各リンス洗浄槽４１１〜４１４）は、超音波発生機３８０（超音波発生機４８０）を備えていないものであってもよい。
・アルカリ洗浄部３００を構成するアルカリ洗浄槽の数は適宜変更することができる。すなわち、洗浄装置は、リンス洗浄槽を２つ以上有するものであれば、アルカリ洗浄槽を１つだけ有するものであってもよい。また、リンス洗浄部４００を構成するリンス洗浄槽の数は適宜変更することができる。すなわち、洗浄装置は、アルカリ洗浄槽を２つ以上有するものであれば、リンス洗浄槽を１つだけ有するものであってもよい。

・本発明に係る洗浄方法は、アルカリ洗浄工程及びリンス洗浄工程の双方を備えるものに限定されず、アルカリ洗浄工程のみを備えるものであってもよいし、リンス洗浄工程のみを備えるものであってもよい。

１０…ワーク、２０…ラック、２１…側板、２１ａ…把手、２２…連結部材、２３…溝部材、２３ａ…支持溝、２４…支持部材、２５…芯部、２６…被覆部、２６ａ…小径部、２６ｂ…大径部、２６ｃ…傾斜部、２６ｄ…支持凹部、３０…洗浄槽、３１…槽本体、３１ａ…開口、３２…鍔部、３３…張出部、３４…突壁部、３５…案内部材、３５ａ…案内面、３６…補強板、４０…載置部、４１…第１フレーム、４２…支持棒、４３…規制棒、５０…昇降部、５１…第２フレーム、５１ａ…長尺部、５１ｂ…短尺部、５２…連結棒、５３…連結板、６０…昇降機構、７０…アクチュエータ、７１…ジョイント、７２…エアシリンダ、７２ａ…ロッド、８０…ヒータ、１０１…ベアリング、１０１ａ…フランジ部、１０２…カラー、１０３…ボルト、１０４…ナット、１１０…揺動機構、１１１…ベアリング、１１２…カラー、１１３…ボルト、１１４…ナット、１２１…ホイール、１２３…ボルト、１２４…ナット、Ｌ…延在方向、Ｗ…幅方向、Ｗ１…幅、Ｗ２…幅、２３１…槽本体、２３２…鍔部、２３７…サブタンク、３００…アルカリ洗浄部、３１１…第１アルカリ洗浄槽、３１２…第２アルカリ洗浄槽、３１３…第３アルカリ洗浄槽、３２０…第１流路、３２１…ポンプ、３３０…アルカリ集合槽、３３１…第１アルカリ貯留槽、３３２…第２アルカリ貯留槽、３３３…第３アルカリ貯留槽、３３５…底壁、３３６…側壁、３３７，３３８…仕切壁、３４０…排出流路、３４１…バルブ、３５０…第２流路、３５１…ポンプ、３５２…フィルタ、３６０…アルカリ洗浄液供給装置、３６１…供給流路、３８０…超音波発生機、３８１…ヒータ、４００…リンス洗浄部、４１１…第１リンス洗浄槽、４１２…第２リンス洗浄槽、４１３…第３リンス洗浄槽、４１４…第４リンス洗浄槽、４２０…第１流路、４２１…ポンプ、４３０…リンス集合槽、４３１…第１リンス貯留槽、４３２…第２リンス貯留槽、４３３…第３リンス貯留槽、４３４…第４リンス貯留槽、４３５…底壁、４３６…側壁、４３７，４３８，４３９…仕切壁、４４０…排出流路、４４１…バルブ、４５０…第２流路、４５１…ポンプ、４５２…フィルタ、４６０…リンス洗浄液供給装置、４６１…供給流路、４８０…超音波発生機、４８１…ヒータ、５００…搬送装置。

Claims (7)

1. ラックに収納された複数枚の薄板状のワークを洗浄液の貯留された洗浄槽内にて洗浄する装置であって、
   前記洗浄槽内に設けられ、前記ラックを載置可能な載置部と、
   前記載置部における一端部に連結され、同一端部を昇降させる昇降機構と、
   前記洗浄槽内における前記載置部の下方に設けられ、前記昇降機構による前記載置部の前記一端部の昇降に伴う前記載置部における前記一端部とは反対側の他端部の移動を案内する案内面を有する案内部材と、を備え、
   前記ラックは、前記載置部に載置された状態において、前記載置部の前記一端部から前記他端部に向かう方向に沿って並設され、前記複数のワークをそれらの厚さ方向に互いに間隔をおいて且つ起立した状態で収納可能な複数の収納部を有している、
   ワークの洗浄装置。
2. 前記昇降機構は、前記載置部における前記一端部に対して揺動可能に連結された昇降部と、前記昇降部を昇降させるアクチュエータと、を備える、
   請求項１に記載のワークの洗浄装置。
3. 前記載置部の前記他端部には、前記案内面上を移動可能な回転体が設けられている、
   請求項１または請求項２に記載のワークの洗浄装置。
4. 複数枚の薄板状のワークが収納されたラックを洗浄液が貯留された複数の洗浄槽に順次浸漬させることで前記ワークを段階的に洗浄する洗浄工程を備えるワークの洗浄方法であって、
   前記洗浄工程は、
   複数の前記洗浄槽のうち前記ラックが最後に浸漬される第１洗浄槽に対して前記洗浄液の新液を供給する一方、前記第１洗浄槽からオーバーフローする前記洗浄液を前記第１洗浄槽に対応して設けられた第１貯留槽にて貯留し、前記第１貯留槽に貯留されている前記洗浄液を濾過した後に前記第１洗浄槽に供給し、
   前記第１洗浄槽の直前に前記ラックが浸漬される第２洗浄槽に対応して設けられた第２貯留槽に前記第１貯留槽からオーバーフローする前記洗浄液を貯留する一方、前記第２貯留槽に貯留されている前記洗浄液を濾過した後に前記第２洗浄槽に供給し、前記第２洗浄槽からオーバーフローする前記洗浄液を前記第２貯留槽に貯留する、
   ワークの洗浄方法。
5. 前記洗浄槽に浸漬された状態の前記ラックを揺動させるとともに前記洗浄液に超音波を印加する、
   請求項４に記載のワークの洗浄方法。
6. アルカリ性のアルカリ洗浄液が貯留されたアルカリ洗浄槽に前記ラックを浸漬させることで前記ワークをアルカリ洗浄するアルカリ洗浄工程と、
   前記アルカリ洗浄工程の後に、リンス洗浄液が貯留された複数のリンス洗浄槽に前記ラックを順次浸漬させることで前記ワークを段階的にリンス洗浄するリンス洗浄工程と、を備え、
   前記リンス洗浄工程は、前記洗浄工程を行うものであり、
   前記リンス洗浄工程では、複数の前記リンス洗浄槽のうち前記ラックが最後に浸漬される第１リンス洗浄槽に対して前記リンス洗浄液の新液として純水を供給する、
   請求項４または請求項５に記載のワークの洗浄方法。
7. アルカリ性のアルカリ洗浄液が貯留されたアルカリ洗浄槽に前記ラックを順次浸漬させることで前記ワークを段階的にアルカリ洗浄するアルカリ洗浄工程と、
   前記アルカリ洗浄工程の後に、リンス洗浄液が貯留されたリンス洗浄槽に前記ラックを浸漬させることで前記ワークをリンス洗浄するリンス洗浄工程と、を備え、
   前記アルカリ洗浄工程は、前記洗浄工程を行うものである、
   請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載のワークの洗浄方法。