JP2019062633A - ステージ駆動装置および描画装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 制御部
3 光出射部
5 ステージ駆動装置
9 基板
31 光源
41 ステージ
51 ベースプレート
52 ガイドレール
53 レール係合部
54 リニアモータ
55 可動子固定部
56 第1支持部材
56a,56b 支持部材
57 第2支持部材
511 (ベースプレートの)主面
512 (ベースプレートの)下面
531 ガイドブロック
541 固定子
546 可動子
571 (第2支持部材の)突起部
A11 取付領域
A12 注目領域
P11 固定位置
Claims (7)
- ステージ駆動装置であって、
第1の主面、および、前記第1の主面とは反対側の第2の主面を有し、前記第1の主面にステージが設けられるベースプレートと、
前記ベースプレートの前記第2の主面側において、前記第2の主面に平行な移動方向に延びるとともに、前記第2の主面に平行かつ前記移動方向に垂直な幅方向に互いに離れて配置される一対のガイドレールと、
前記ベースプレートに取り付けられ、前記移動方向に移動可能な状態で前記一対のガイドレールとそれぞれ係合する一対のレール係合部と、
コイルを含む可動子および永久磁石を含む固定子を有し、前記ベースプレートの前記第2の主面側において前記一対のガイドレールの間に配置され、前記可動子を前記移動方向に移動するリニアモータと、
前記可動子を前記ベースプレートに対して固定する可動子固定部と、
を備え、
前記ベースプレートの前記第2の主面において、前記一対のレール係合部が取り付けられる複数の取付領域を含む最小の矩形領域を注目領域として、前記ベースプレートにおいて前記可動子固定部が固定される固定位置が、前記注目領域よりも、前記移動方向または前記幅方向の外側に位置することを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1に記載のステージ駆動装置であって、
前記一対のレール係合部のそれぞれが、前記移動方向に離れて前記ベースプレートに取り付けられる複数個のガイドブロックを含み、
前記ベースプレートの前記第2の主面において、一方のレール係合部に含まれる前記複数個のガイドブロックのうちの両端の2個のガイドブロック、および、他方のレール係合部に含まれる前記複数個のガイドブロックのうちの両端の2個のガイドブロックに対応する4個の取付領域が設けられ、前記4個の取付領域を含む最小の矩形領域が、前記注目領域に含まれることを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1または2に記載のステージ駆動装置であって、
前記ベースプレートにおいて、前記可動子固定部が固定される固定領域の全体が、前記注目領域よりも、前記移動方向または前記幅方向の外側に位置することを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載のステージ駆動装置であって、
前記可動子固定部の前記固定位置が、前記注目領域よりも前記移動方向の外側に位置することを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載のステージ駆動装置であって、
前記可動子固定部が、
前記移動方向に延びる第1支持部材と、
前記第1支持部材の両端にそれぞれ取り付けられ、前記ベースプレートに固定される一対の第2支持部材と、
を備え、
前記ベースプレートにおいて、各第2支持部材が固定される固定位置が、前記注目領域よりも前記移動方向の外側に位置することを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項5に記載のステージ駆動装置であって、
前記各第2支持部材が、前記幅方向に延びており、
前記各第2支持部材の両端に一対の突起部が設けられ、
前記一対の突起部が、前記ベースプレートにおける前記注目領域よりも前記移動方向外側の部位において、前記幅方向における両端部にそれぞれ固定されることを特徴とするステージ駆動装置。 - 対象物上にパターンを描画する描画装置であって、
ステージ上に対象物が保持される、請求項1ないし6のいずれか1つに記載のステージ駆動装置と、
光源からの光を変調して、前記ステージ上の対象物に照射する光出射部と、
前記ステージ駆動装置および前記光出射部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。
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