JP2002299896A - 電子部品装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガイドの熱変形を極力小さくして電子部品装
着時の位置決め精度を向上する。 【解決手段】 Ｙ軸リニアモータ７の駆動により、可動
子１３は発熱する。このとき、可動子１３の下面には放
熱部材２８が設けられており、可動子１３で発生した熱
は放熱部材２８に伝わり、この放熱部材２８から放熱さ
れる。放熱部材２８は複数のフィン２９を一体に備えて
いるので、放熱面積が増加して放熱量を増やし、可動子
１３の温度上昇を抑制し、可動子１３の発熱によるガイ
ド８の部分的な温度上昇及び部分的な熱変形を極力抑
え、電子部品装着時の位置決め精度を向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源により移動
可能なビームにこれに沿った方向に駆動源により移動可
能な装着ヘッドを設け、この装着ヘッドに設けられたノ
ズルにより電子部品を吸着してプリント基板上に装着す
る電子部品装着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる従来の電子部品装着装置は、例え
ば特開２０００−１６５０９６号公報等に開示され、こ
の特開２０００−１６５０９６号公報には、２本のリニ
アモータ軸を備え、各リニアモータ軸には一対ずつ部品
装着ヘッド、部品装着ヘッドを備え、これら４つの部品
装着ヘッドにて、部品供給部からの電子部品の吸着動
作、吸着している電子部品の認識動作、及び回路基板へ
の装着動作を一部重複しながら行う技術が開示されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て、リニアモータ軸（ビーム）の駆動源にリニアモータ
を使用した場合には、電子部品装着装置の運転に伴うリ
ニアモータの駆動時に可動子が発熱する。そして、リニ
アモータの駆動時、電子部品装着装置の中央部付近にて
リニアモータ軸（ビーム）が頻繁に往復動作するので、
可動子の熱が輻射あるいは周囲の空気を介して固定子の
例えば中央部に伝わる。このため、固定子の温度が部分
的に上昇し、さらに、固定子が設けられリニアモータ軸
（ビーム）を案内する例えば鉄にて形成されたガイドも
部分的に温度上昇し、ガイドに部分的に熱変形が発生し
て位置決め精度が低下する虞があった。

【０００４】また、リニアモータ軸（ビーム）に設けら
れた装着ヘッドをリニアモータにより駆動するときに
は、リニアモータの可動子の発熱によりリニアモータ軸
（ビーム）が部分的に温度上昇し、熱変形が発生する虞
があった。

【０００５】そこで本発明は、ガイドまたはビームの部
分的な熱変形を回避した電子部品装着装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このため第１の発明は、
間隔を存し相対向して設けられたガイドと、このガイド
に沿って移動可能なビームと、このビームに設けられて
これに沿った方向に移動可能で電子部品をプリント基板
上に装着するな装着ヘッドとを備えた電子部品装着装置
において、前記ガイドに設けられた固定子及び前記ビー
ムに設けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリ
ニアモータと、前記可動子の長手方向にわたり設けられ
複数のフィン有した放熱部材とを備えたことを特徴とす
る。

【０００７】また第２の発明は、間隔を存し相対向して
設けられたガイドと、このガイドに沿って移動可能なビ
ームと。このビームに設けられてこれに沿った方向に移
動可能な装着ヘッドと、この装着ヘッドに設けられ電子
部品を真空吸着してプリント基板上に装着する回転可能
な吸着ノズルとを備えた電子部品装着装置において、側
壁及び底壁を備え上面を開口したガイドと、このガイド
の側壁上面に設けられた固定子及び前記ガイドの内側に
前記固定子、側壁及び底壁と間隔を存して設けられ前記
ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを駆
動するリニアモータと、前記可動子の底面に長手方向に
わたり設けられ、ガイドとの間に隙間を存しビームの移
動方向に沿って設けられた複数のフィンを有した放熱部
材を備えたことを特徴とする。

【０００８】また第３の発明は、前記ガイドの表面に長
手方向にわたり複数のフィン有した放熱部材を設けたこ
とを特徴とする。

【０００９】また第４の発明は、間隔を存し相対向して
設けられたガイドと、これらのガイドの間に渡されガイ
ドに沿って移動可能なビームと、このビームに設けられ
てこれに沿った方向に移動可能で電子部品をプリント基
板上に装着する装着ヘッドとを備えた電子部品装着装置
において、前記ビームはその長手方向と直交する方向に
往復移動しリニアモータの固定子を長手方向に備え、前
記装着ヘッドは前記ビームの長手方向に移動可能に設け
られ前記リニアモータの固定子に対応したリニアモータ
の可動子を備え、可動子に装着ヘッドの移動方向に沿っ
た複数のフィン有した放熱部材を設けたことを特徴とす
る。

【００１０】また第５の発明は、ビームが間隔を有して
ビームの長手方向に平行に設けられて間に可動子が位置
する上壁及び下壁、これらの上壁と下壁を結び開口が形
成された垂直壁を備え、前記可動子は前記上壁と下壁と
の間の空間に垂直壁と対向して設けられ、放熱部材は可
動子の背面に前記垂直壁と対向して設けられたことを特
徴とする。

【００１１】また第６の発明は、前記ビームの表面に長
手方向にわたり複数のフィン有した放熱部材を設けたこ
とを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき実施形態につ
き説明する。図１は電子部品装着装置１の平面図で、図
２は該装着装置１の正面図で、該装置１の基台２上の前
部には種々の電子部品をその部品取出し部（部品吸着位
置）に１個ずつ供給する部品供給ユニット（図示せず）
が複数並設されている。そして、該装着装置１の中間部
には供給コンベア３(図２及び図４においては省略)、位
置決め部(図２及び図６においては省略)４及び排出コン
ベア５(図２においては省略)がプリント基板Ｐの搬送方
向が左右方向となるように設けられている。供給コンベ
ア３は上流より受けたプリント基板Ｐを前記位置決め部
４に搬送し、位置決め部４で図示しない位置決め機構に
より位置決めされた該基板Ｐ上に電子部品が装着された
後、排出コンベア５に搬送される。

【００１３】６はＸ方向に長いビームであり、リニアモ
ータである左右一対のＹ軸モータ（以下Ｙ軸リニアモー
タという）７、７の駆動により左右一対のガイド８、８
に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニットの部品取出
し部（部品吸着位置）上方を個別にＹ方向に移動する。
Ｙ軸リニアモータ７、７は、それぞれ側壁１０及び底壁
１１を備えて上面を開口したガイド８に設けられた一対
の固定子１２、１２と、ガイド８及び固定子１２、１２
の内側に位置してビーム６に取り付けられた例えば鉄を
主体とした可動子１３とを有し、ビーム６を駆動する。
そして、図３（装着装置１の右側上部の断面図）に示し
たように各固定子１２、１２は、ガイド８の長手方向に
間隔を存し、かつ対向して設けられ、ガイド８の側壁１
０の上部あるいは上端に固定されたベース１４と、ベー
ス１４の内面に固定されたマグネット１５とから構成さ
れている。ここで、各マグネット１５及び側壁１０と可
動子１３の側面との間には僅かな隙間が形成されてい
る。

【００１４】１６は各ベース１４に取り付けられた熱伝
導部材であり、この熱伝導部材１６は前後に分割されて
ベース１４の外側面ほぼ全面にわたり設けられている。
また、各熱伝導部材１６はベース１４及びガイド８を構
成する鉄より熱伝導率が高い例えばアルミあるいは銅な
どの金属でシート状に形成されたヒートパイプを折って
重ねたヒートレーンであり、ガイド８の表面に密着する
ように例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられてい
る。また、熱伝導部材１６、１６の前あるいは後の端縁
には折り曲げ部１７が可動子１３の移動範囲外に位置し
て形成されている。このように熱伝導部材１６を折り曲
げて重ね合わせることにより、熱伝導を向上させること
ができる。熱伝導部材１６とベース１４との間に例えば
高熱伝導性のグリースを挟み、夫々の間の熱伝導を良く
した状態で、熱伝導部材１６を例えば帯状の金属板（図
示せず）にてベース１４に固定しても良い。

【００１５】また、底壁１１の上面には、ガイド８の長
手方向にわたりほぼ全面に上記熱伝導部材１６と同様に
構成された熱伝導部材１８が前後に分割されて例えば高
熱伝導性接着剤により取り付けられている。熱伝導部材
１８の前端縁あるいは後端縁には図４及び図５にも示し
たように折り曲げ部１９が可動子１３の移動範囲外に位
置し、膨出して左右方向に形成されている。

【００１６】２０は例えばアルミニウムにより形成され
ビーム６の左右両端の下部に設けられたベースであり、
ベース２０の下面に熱絶縁部材２１を介して可動子１３
が固定されている。そして、ベース２０の線膨張係数は
主に鉄にて形成された可動子１３の線膨張係数より大き
い。また、熱絶縁部材２１は熱伝導率が小さい例えばガ
ラス繊維を主体とした樹脂などから構成され、この熱絶
縁部材２１の可動子１３との接触面及びベース２０との
接触面には長手方向に複数の溝２２、２３が形成されて
いる。そして、溝２２、２３と可動子１３の上面との間
及びベース２０の下面との間に空気通路２４及び２５が
形成され、これらの空気通路２４、２５は熱絶縁部材２
１の前端から後端にわたり形成され、図５に示したよう
に前端及び後端に空気通路２４、２５を流れた空気の流
出口２４Ａ、２５Ａが形成されている。また、熱絶縁部
材２１のほぼ中央には、空気通路２４と空気通路２５と
を連通する通路２６が形成されている。さらに、２７は
空気通路２４及び空気通路２５に冷却用の空気を供給す
るためにベース２０に形成された空気供給路であり、こ
の空気供給路２７に例えば部品装着装置本体に設けられ
た図示しない送風機あるいはポンプなどの空気供給源
（空気供給手段）から例えばチューブを介して空気が送
られ、各空気通路２４、２５に供給される。

【００１７】２８は可動子１３の下面ぼぼ全面に設けら
れた放熱部材であり、この放熱部材２８は熱伝導が良好
な例えばアルミニウムなどにより形成され、可動子１３
の長手方向（ビーム６の移動方向であるY方向）に複数
のフィン２９を一体に備えている。そして、フィン２９
と可動子８の底壁１１及び熱伝導部材１８との間には空
気の通路となる隙間が設けられている。

【００１８】３０はビーム６を支持し案内するリニアウ
ェイであり、このリニアウェイ３０はガイド８の側部上
面に固定され、ガイド８の長手方向に延びたレール３１
と、このレール３１に対応してベース２０の下面に固定
されたスライダ３２とから構成されている。そして、基
台２の右側上部及び左側上部のガイド８及びＹ軸リニア
モータ７は対象に構成されている。

【００１９】以下、ビーム６の構成について、装着ヘッ
ドを省略した図４乃至図７に基づいて詳細に説明する。
３３は水平方向に設けられたビーム本体レールであり、
このビーム本体レール３３は例えば熱伝導が良好なアル
ミニウムにより形成されている。また、ビーム本体レー
ル３３は上壁３４、下壁３５、及び上壁と下壁とを接続
する垂直壁３６を備え、垂直壁３６より前方の前部上壁
３７と前部下壁３８との間に後述するビーム側可動子が
位置する。さらに、垂直壁３６の適所には空気通路とな
る開口３９が複数形成されている。そしてビーム本体レ
ール３３の左右両端部は金属製の支持部材４０を介して
ベース２０に支持されている。

【００２０】４１は上記熱伝導部材１６、１８と同様に
構成され、熱伝導率が高いビーム側の熱伝導部材であ
る。これらの熱伝導部材４１は前部上壁３７及び前部下
壁３８の相対向した内側の面に左右に分割され、例えば
高熱伝導性接着剤により取り付けられている。さらに、
各熱伝導部材４１の内側の面には後述する可動子と共に
Ｘ軸リニアモータ４２を構成する固定子４３のベース４
４が例えば高熱伝導性接着剤により対向して取り付けら
れている。また、各熱伝導部材４１の右端あるいは左端
には折り曲げ部７１が形成されている。ベース４４の内
側の面に固定子４３のマグネット４５、４５が対向して
設けられている。そして、熱伝導部材４１、ベース４４
及びマグネット４５は前部上壁４１及び前部下壁３８の
前端より前方へ突出して設けられている。

【００２１】４６は後述する装着ヘッドが取り付けられ
るヘッドベースであり、このヘッドベース４６の背面の
ほぼ中央部にＸ軸リニアモータ４２の可動子４７が取り
付けられている。可動子４７の上面及び下面とマグネッ
ト４５、４５との間には僅かな隙間が形成されている。
また、可動子４７の背面には例えばアルミニウムにより
形成され熱伝導が良好な放熱部材４８が垂直壁３６と対
向すると共に間隔を存し、かつ背面のほぼ全幅にわたり
取り付けられ、この放熱部材４８の表面には長手方向
（水平方向）に複数のフィン４８が一体に形成されてい
る。

【００２２】４９、４９はヘッドベース４６を水平方向
に案内するリニアウェイであり、リニアウェイ４９、４
９はビーム本体レール３３の上下の前端面に取り付けら
れたレール５０と、ヘッドベース４５の背面にレール５
０と対応して取り付けられたスライダ５１とから構成さ
れている。

【００２３】５２はフラットケーブルであり、後述する
装着ヘッドのためのケーブル５３やエアチューブ５４な
どを並列状態にして、それぞれ接着剤で固定し概ね平板
状にし、ビーム本体レール３３の後方に設けられてい
る。また、５５はヘッドベース４５の上縁の取り付けら
れたヘッド天壁であり、ヘッド天壁５５によりエアチュ
ーブ５４の上部側が支持され、エアチューブ５４の下部
側がビーム本体レール３３の背面に取り付けられた支持
部材５６に支持されている。

【００２４】以下、図８に基づいて装着ヘッドについて
説明する。

【００２５】図８に示すように、前記ヘッドベース４５
に装着ヘッド５７が各上下軸モータ５８によりガイド６
０に沿って上下動可能に設けられている。装着ヘッド５
７のノズル取付体６１には６本の吸着ノズル６２が等間
隔を存して設けられ、またノズル取付体６１はθ軸モー
タ６３により鉛直軸周りに回転可能であり、更にはノズ
ル選択モータ６４により前記６本の吸着ノズル６２のう
ちの任意の吸着ノズル６２の吸着側端部が下方に向くよ
うに選択される。

【００２６】従って、装着ヘッド５７及び吸着ノズル６
２はＸ軸リニアモータ４２及びＹ軸リニアモータの駆動
によりＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、さらに、吸
着ノズル６２は垂直線回りに回転可能で、かつ上下動可
能となっている。そして、左右両ヘッドベース４５に装
着ヘッド５７が取り付けられる。

【００２７】また、６５、６５はガイド８、８の内側に
Ｙ方向に設けられたＹ方向フラットケーブルであり、フ
ラットケーブル６５はケーブルベア（登録商標）６６に
より支持されている。

【００２８】以上の構成により、以下動作について説明
する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアによ
り上流装置より供給コンベア３を介して位置決め部４に
搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。

【００２９】次に、図示しない記憶装置に格納されたプ
リント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回り
への回転角度位置及び各部品供給ユニットの配置番号等
が指定された装着データに従い、装着順序に従い電子部
品の部品種に対応した各吸着ノズル６２が装着すべき電
子部品を所定の部品供給ユニットから吸着して取出す。

【００３０】即ち、Ｙ方向はＹ軸リニアモータ４２が駆
動して一対のガイド７に沿ってビーム６が移動し、Ｘ方
向はＸ軸リニアモータ４２が駆動して装着ヘッド５７が
衝突することなく移動し、順次装着すべき電子部品を収
納する部品供給ユニット上方に位置するよう移動する。

【００３１】そして、既に所定の供給ユニットは駆動さ
れて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるた
め、一方の装着ヘッド５７のノズル選択モータ６４によ
り選択された吸着ノズル６２が上下軸モータ５８により
下降して電子部品を吸着し取出し、次に吸着ノズル６２
は上昇すると共に他方の装着ヘッド５８の吸着ノズル６
２が次に装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニッ
ト上方に移動し、同じく前記吸着ノズル６２が下降して
電子部品を吸着し取出す。

【００３２】さらに、前述したように、装着ヘッド５７
を水平方向に移動させ、位置決め部４上のプリント基板
Ｐ上方に移動し、各装着ヘッド５７の吸着ノズル６２を
下降させてプリント基板Ｐ上にそれぞれ電子部品を装着
する。

【００３３】この場合、各装着ヘッド５７（ヘッドベー
ス４５）がＸ軸リニアモータ４２によりガイド８に沿っ
てＸ方向に移動する際、フラットケーブル５２は屈曲可
能であり、またビーム６がＹ軸リニアモータ７によりガ
イド８に沿ってＹ方向に移動する際、Ｙ方向フラットケ
ーブル６５を保持するケーブルベア６６も屈曲可能であ
るから、装着ヘッド５７及びビーム６は滑らかに移動で
きるものである。

【００３４】また、Ｙ軸リニアモータ７の駆動により、
可動子１３は発熱するが、ビーム６の左右下部のベース
２０、２０と可動子１３との間に熱伝導率が小さい熱絶
縁部材２１が設けられているので、熱絶縁部材２１を設
けるという簡単な構成によりビーム６の温度上昇を防止
するための構造を簡略し、かつビーム６駆動時の可動子
１３、１３からビーム６のベース２０、２０への熱伝導
は熱絶縁部材２１により僅かに抑えられる。

【００３５】さらに、冷却用の空気が図示しない空気供
給源から熱絶縁部材２１に形成された空気供給路２７へ
流れ、さらにベース２０側の空気通路２５にその中央部
から流入する。そして、空気通路２５を流れて前後の流
出口２５Ａから流出する間に周囲のベース２０及び熱絶
縁部材２１から熱を奪う。さらに、空気供給路２７から
流入した空気は空気通路２５の中央部及び通路２６を介
して空気通路２４にその中央部から流入する。そして、
空気通路２４を流れて前後の流出口２４Ａから流出する
間にベース２０側より温度が高い周囲のベース２０の可
動子側部分及び熱絶縁部材２１から熱を奪い外部へ放出
する。

【００３６】この結果、熱絶縁部材２１自体の温度上昇
を小さく抑えることができ、可動子１３からビーム６の
ベース２０への熱伝導を僅かに抑えることができ、ビー
ム６のベース２０の熱変形（線膨張）を抑えることがで
き、さらに、空気供給手段からの空気をベース２０側の
溝２５から可動子１３側の溝２４へ流すことによって、
温度の低い空気が最初にベース２０側の溝に流れ、ベー
ス２０の温度を一層低く抑えることができ、ベース２０
の熱変形を極力抑えることができる。また、ベース２０
に支持部材４０を介して支持されたビーム本体レール３
３への熱伝導も僅かに抑えることができ、ビーム本体レ
ール３３の熱変形も極力小さくすることができる。さら
に、ベース２０の局部的な温度上昇を防止して熱変形を
回避できるので、電子部品装着時の位置決め精度を向上
することができる。

【００３７】また、各ベース２０及びビーム本体レール
３３の線膨張係数は可動子１３の線膨張係数より大きい
ので、温度が低い各ベース２０及びビーム本体レール３
３と温度が高い可動子１３との温度差によって発生する
各ベース２０及びビーム本体レール３３の熱変形を抑え
ることができる。

【００３８】また、部品装着運転に伴うＹ軸リニアモー
タ７の駆動により、可動子１３が発熱してこの熱により
対向した一対の固定子１２、１２の温度が上昇する。こ
のとき、固定子１２、１２の外側の面には、熱伝導部材
１６、１６が固定子１２、１２の長手方向、すなわち前
後方向ほぼ全幅にわたり設けられているので、固定子１
２、１２の熱は熱伝導部材１６、１６に伝わり、短時間
で熱伝導率が高い熱伝導部材１６、１６の全体に伝わり
放熱され、固定子１２、１２特にベース１４の局部的な
温度上昇、すなわち、装着装置１の運転時、ビーム６が
頻繁に移動する装置中央部に対応した固定子１２、１２
のベース１４の中央部の温度上昇（部分的温度上昇）を
抑制でき、固定子１２、１２全体をほぼ同じ温度に保つ
ことができる。この結果、固定子１２、特にベース１４
の部分的な熱変形を回避することができる。また、ガイ
ド８の熱も熱伝導部材１６、１６に伝わり、ガイド８の
部分的な温度上昇を極力防止することができ、部分的な
熱変形を回避することがきる。

【００３９】特に、可動子１３の左側に位置した固定子
１２及び側壁１０が可動子１３により部分的に加熱され
た場合にも、熱はガイド８の内側の側壁１０と内側の固
定子１２とに下部が挟まれた内側の熱伝導部材１６（図
３における左側の熱伝導部材）から長手方向全体に伝わ
り、固定子１２及び側壁１０の部分的な温度上昇を回避
でき、この結果、ガイド８の部分的な熱変形を防止する
ことができ、例えば側壁１０に長手方向に設けられたス
ケールに誤差が発生することを回避し、熱変形による電
子部品装着時の位置決め精度の低下を回避することがで
きる。

【００４０】また、固定子１４からの熱伝導あるいは可
動子１３からの輻射などによりガイド８に伝わった熱
は、ガイド８の底壁１１に設けられた熱伝導部材１８に
伝わり、さらに、可動子１３の近傍に位置した部分以外
の開放されている部分も含む熱伝導部材１８全体に短時
間で伝わり放熱される。このため、ガイド８の局部的な
温度上昇を抑制でき、ガイド８の熱変形を一層確実に回
避することができる。

【００４１】また、可動子１３で発生した熱は下面の放
熱部材２８に伝わり、この放熱部材２８から放熱され
る。このとき、放熱部材２８は複数のフィン２９を一体
に備えているので、放熱面積が増加して放熱量を増や
し、可動子１３の温度上昇を抑制することができるのは
もちろん、ビーム６のＹ方向の移動に伴い、フィン２９
の周囲、ガイド８の底壁１１及び熱伝導部材１８との間
の空間にて空気が流れ、放熱を一層促進することがで
き、この結果、可動子１３の温度上昇をさらに抑制する
ことができ、可動子１３の発熱によるガイド８の部分的
温度上昇及び部分的熱変形を極力抑え、電子部品装着時
の位置決め精度を向上することができる。

【００４２】さらに、ビーム６の移動時には、Ｘ軸リニ
アモータ４２の駆動により、可動子４７が発熱してこの
熱により対向した一対の固定子４３、４３の温度が上昇
する。このとき、固定子４３、４３の外側の面には、一
部がビーム本体レール３３との間に挟まれた熱伝導部材
４１、４１が固定子４３、４３の長手方向、すなわちビ
ーム６の左右方向ほぼ全幅にわたり設けられているの
で、固定子４３、４３の熱は熱伝導部材４１、４１に伝
わり、短時間で熱伝導率が高い熱伝導部材４１、４１の
全体に伝わり放熱され、固定子４３、４３の温度上昇を
抑制できると共に、局部的な温度上昇、すなわち、装着
装置１の運転時、装着ヘッド５７が頻繁に移動するビー
ム６の中央部に対応した固定子４３、４３の中央部の温
度上昇を抑制でき、固定子４３、４３全体をほぼ同じ温
度に保つことができる。この結果、固定子４３、４３、
特にベース４４、４４の熱変形を回避することができ
る。

【００４３】また、熱伝導部材４１、４１全体からの放
熱により、ビーム本体レール３３全体の温度上昇あるい
は局部的な温度上昇を抑制でき、ビーム本体レール３３
の熱変形を回避することができる。

【００４４】また、可動子４７で発生した熱は背面の放
熱部材４８に伝わり、この放熱部材４８から放熱され
る。このとき、放熱部材４８は複数のフィン４８Ｆを一
体に備えているので、放熱面積を増加させて放熱量を増
やし、可動子４７の温度上昇を抑制することができるの
はもちろん、装着ヘッド５７のＸ方向の移動に伴い、フ
ィン２９の周囲を空気が流れ、放熱を一層促進すること
ができ、この結果、可動子１３の温度上昇を極力抑制す
ることができる。また、フィン４８Ｆ周囲の温度上昇し
た空気は開口３９を介して外部へ流れるので、フィン４
８Ｆからの放熱が促進され、フィン４８Ｆの放熱効果を
一層向上することができ、可動子４７の発熱によるビー
ム本体レール３３の部分的温度上昇及び部分的熱変形を
極力抑え、電子部品装着時の位置決め精度を向上するこ
とができる。

【００４５】その他の実施形態 図３に破線にて示したように、ガイド８の側面長手方向
ほぼ全面にガイド８より熱伝導率が高い例えばアルミ、
銅などにより形成され、複数のフィンを有した放熱部材
７０を取り付ける。ガイド８の側面に放熱部材７０を設
けることにより、可動子１３からの輻射熱あるいは周囲
の温度上昇した空気によって温度上昇したガイド８の特
に中央部付近から放熱部材７０に伝わった熱は、放熱部
材７０から放熱され、さらに、放熱部材７０の全体に伝
わった熱は、放熱部材７０の全体から放熱される。この
ため、ガイド８の局部的な温度上昇を抑制することがで
き、ガイド８の部分的な熱変形を防止することができ
る。なお、放熱部材をガイドの内側の面にも設けること
により、ガイド８からの放熱を一層促進し、ガイド８の
局部的な温度上昇を一層抑制することができる。

【００４６】また、図７に破線にて示したように上記ガ
イド８と同様に、ビーム本体レール３３の上壁３４の上
面ほぼ全体に熱伝導が良好で複数のフィンを有した放熱
部材７４を取り付けた場合には、装着ヘッド５７の移動
に伴い可動子４７は発熱するが、この発熱により部分的
に温度上昇したビーム本体レール３３から放熱部材７４
に伝わった熱は、放熱部材７４から放熱され、さらに、
放熱部材７４の全体に伝わった熱は放熱部材７４の全体
から放熱される。このため、ビーム本体レール３３の局
部的な温度上昇を抑制することができ、ビーム本体レー
ル３３の部分的な熱変形を防止することができる。

【００４７】以上本発明の実施態様について説明した
が、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替
例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸
脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包
含するものである。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本願発明によれば、ビーム
を駆動するリニアモータの可動子の長手方向にわたり複
数のフィン有した放熱部材を設けたので、ビームの駆動
時に、リニアモータの可動子の熱は複数のフィンにより
放熱面積が増加した放熱部材から放熱され、可動子の温
度上昇を抑制することができ、ガイドの部分的な温度上
昇も抑制し、熱変形を極力小さくすることができ、この
結果、電子部品装着時の位置決め精度を向上することが
できる。

【００４９】また、ガイドとの間に隙間を存して設けら
れビームの移動方向に沿った複数のフィンを有した放熱
部材をビームを駆動するリニアモータの可動子の底面に
長手方向にわたり設けたので、ビームの駆動時に、フィ
ンの周囲、ガイドの底壁との間の空間に空気が流れ、放
熱を一層促進することができ、この結果、可動子の温度
上昇をさらに抑制することができ、ガイドの部分的温度
上昇及び部分的熱変形を極力抑え、電子部品装着時の位
置決め精度を向上することができる。

【００５０】また、ガイドの表面に複数のフィンを有し
た放熱部材を設けたので、可動子からの輻射熱あるいは
周囲の温度上昇した空気によって温度上昇したガイドか
ら放熱部材に伝わった熱は、放熱部材から放熱され、さ
らに、放熱部材の全体に伝わった熱は、放熱部材の全体
から放熱され、このため、ガイドの局部的な温度上昇を
さらに抑制することができ、ガイドの部分的な熱変形を
防止することができる。

【００５１】また、装着ヘッドに設けられたリニアモー
タの可動子に装着ヘッドの移動方向に沿った複数のフィ
ン有した放熱部材を設けたので、可動子で発生した熱は
複数のフィンを備えて放熱面積を増加させた放熱部材に
伝わり、この放熱部材から放熱され、可動子の温度上昇
を抑制することができ、ビームの部分的な温度上昇も抑
制し、熱変形を極力小さくすることができ、この結果、
電子部品装着時の位置決め精度を向上することができ
る。

【００５２】また、ビームは間隔を有してビームの長手
方向に平行に設けられて間に可動子が位置する上壁及び
下壁、これらの上壁と下壁を結び開口が形成された垂直
壁を備え、可動子は上壁と下壁との間の空間に垂直壁と
対向して設けられ、放熱部材は可動子の背面に垂直壁と
対向して設けられたので、装着ヘッドの移動に伴い、フ
ィンの周囲を空気が流れ、放熱を一層促進することがで
き、この結果、可動子の温度上昇を極力抑制することが
できる。また、フィン周囲の温度上昇した空気は開口か
ら外部へ流れ、フィンからの放熱がさらに促進され、フ
ィンの放熱効果を一層向上することができ、可動子の発
熱によるビームの部分的温度上昇及び部分的熱変形を極
力抑え、電子部品装着時の位置決め精度を向上すること
ができる。

【００５３】さらに、ビームの表面に長手方向にわたり
複数のフィン有した放熱部材を設けたので、ビームから
放熱部材に伝わった熱は、放熱部材から放熱され、さら
に、放熱部材の全体に伝わった熱は放熱部材の全体から
放熱されるため、ビームの局部的な温度上昇を抑制する
ことができ、ビームの部分的な熱変形を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子部品装着装置の平面図である。

【図２】図１に示した電子部品装着装置のＡ−Ａ概略断
面図である。

【図３】図２の要部拡大断面図（電子部品装着装置の右
側上部の断面図）である。

【図４】図１に示した電子部品装着装置のＢ−Ｂ概略断
面図である。

【図５】図４の要部拡大断面図である。

【図６】図１に示した電子部品装着装置のＣ−Ｃ概略断
面図である。

【図７】図６の要部拡大断面図である。

【図８】装着ヘッドの側面図である。

【符号の説明】

１ 電子部品装着装置 ３ 供給コンベア ５ 排出コンベア ６ ビーム ７ Ｙ軸リニアモータ ８ ガイド １１ 底壁 １２ 固定子 １３ 可動子 １６ 熱伝導部材 １９ 熱伝導部材 ２０ ベース ２８ 放熱部材 ２９ フィン ３３ ビーム本体レール ３４ 上壁 ３５ 下壁 ３６ 垂直壁 ４２ Ｙ軸リニアモータ ４３ 固定子 ４７ 可動子 ４８ 放熱部材 ４８Ｆ フィン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀬戸 勝幸 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5E313 AA01 AA11 CC01 EE01 EE22 FF24 FF28 FG10 5E322 AA01 BA01 BB10 EA11 FA04 FA06 5H609 BB08 PP02 PP05 PP06 PP07 QQ02 QQ11 QQ23 RR01 RR26 RR30 RR46 RR61 RR63 RR74 5H641 BB06 BB16 BB18 GG03 GG04 HH02 HH05 HH06 JA09 JB03 JB04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】間隔を存し相対向して設けられたガイド
   と、このガイドに沿って移動可能なビームと、このビー
   ムに設けられてこれに沿った方向に移動可能で電子部品
   をプリント基板上に装着するな装着ヘッドとを備えた電
   子部品装着装置において、前記ガイドに設けられた固定
   子及び前記ビームに設けられた可動子を有して前記ビー
   ムを駆動するリニアモータと、前記可動子の長手方向に
   わたり設けられ複数のフィン有した放熱部材とを備えた
   ことを特徴とする電子部品装着装置。
2. 【請求項２】 間隔を存し相対向して設けられたガイド
   と、このガイドに沿って移動可能なビームと。このビー
   ムに設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッ
   ドと、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着し
   てプリント基板上に装着する回転可能な吸着ノズルとを
   備えた電子部品装着装置において、側壁及び底壁を備え
   上面を開口したガイドと、このガイドの側壁上面に設け
   られた固定子及び前記ガイドの内側に前記固定子、側壁
   及び底壁と間隔を存して設けられ前記ビームに取り付け
   られた可動子を有して前記ビームを駆動するリニアモー
   タと、前記可動子の底面に長手方向にわたり設けられ、
   ガイドとの間に隙間を存しビームの移動方向に沿って設
   けられた複数のフィンを有した放熱部材を備えたことを
   特徴とする電子部品装着装置。
3. 【請求項３】 前記ガイドの表面に長手方向にわたり複
   数のフィン有した放熱部材を設けたことを特徴とする請
   求項１または請求項２に記載の電子部品装着装置。
4. 【請求項４】 間隔を存し相対向して設けられたガイド
   と、これらのガイドの間に渡されガイドに沿って移動可
   能なビームと、このビームに設けられてこれに沿った方
   向に移動可能で電子部品をプリント基板上に装着する装
   着ヘッドとを備えた電子部品装着装置において、前記ビ
   ームはその長手方向と直交する方向に往復移動しリニア
   モータの固定子を長手方向に備えと、前記装着ヘッドは
   前記ビームの長手方向に移動可能に設けられ前記リニア
   モータの固定子に対応したリニアモータの可動子を備
   え、可動子に装着ヘッドの移動方向に沿った複数のフィ
   ン有した放熱部材を設けたことを特徴とする電子部品装
   着装置。
5. 【請求項５】 前記ビームは間隔を有してビームの長手
   方向に平行に設けられて間に前記可動子が位置する上壁
   及び下壁、これらの上壁と下壁を結び開口が形成された
   垂直壁を備え、前記可動子は前記上壁と下壁との間の空
   間に垂直壁と対向して設けられ、前記放熱部材は可動子
   の背面に前記垂直壁と対向して設けられたことを特徴と
   する請求項５に記載の電子部品装着装置。
6. 【請求項６】 前記ビームの表面に長手方向にわたり複
   数のフィン有した放熱部材を設けたことを特徴とする請
   求項４または請求項５に記載の電子部品装着装置。