JP2005026329A

JP2005026329A - ステージ装置及び荷電粒子線露光装置

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Publication number: JP2005026329A
Application number: JP2003187904A
Authority: JP
Inventors: Hidekazu Takekoshi; 秀和竹越
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2003-06-30
Filing date: 2003-06-30
Publication date: 2005-01-27

Abstract

【課題】リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等を提供する。
【解決手段】本発明のステージ装置１０のリニアモータは、Ｘ方向にはステージ２５を挟んでＳ極とＮ極とが対向するように配置されており、磁石３０の極性が逆になっている。そのため、リニアモータの駆動時（制御電流の印加時）には、ステージ２５上面に向かう磁束Φ１と、ステージ２５下面に向かう磁束Φ２とが互いに打ち消し合うように働く。そして、ヒートパイプ４１は、リニアモータの駆動方向に電気的絶縁を断つ絶縁部４１ａを備えているため、リニアモータの駆動に伴って生じる渦電流がヒートパイプ４１中で流れにくくすることができる。したがって、磁界変動による電子線の軌道の乱れを低減し、ステージ２５上に載置されたウェハの描画精度の劣化も低減できる。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感応基板やパターン原版（マスク、レチクル）等を載置して移動・位置決めするためのステージ装置、及び、そのようなステージ装置を備える荷電粒子線露光装置に関する。特には、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等に関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体デバイスのリソグラフィに使用される投影露光装置内には、感応基板やパターン原版（マスク、レチクル）等を載置して移動・位置決めするためのステージ装置が備えられている。このようなステージ装置の駆動用アクチュエータとしては、高分解能位置決め線形制御が可能で高推力のリニアモータが広く用いられている。
【０００３】
リニアモータは、一般に、永久磁石と電磁コイルを有し、この電磁コイルへの印加電流を制御することで加速度等を制御する。リニアモータでは、通常、移動される側を移動子と呼び、固定される側を固定子と呼んでいる。ここで、ムービング・マグネット方式のリニアモータとは、移動子側に永久磁石が設けられ、固定子側に電磁コイルが設けられる方式をいう。ムービング・コイル方式のリニアモータとは、移動子側に電磁コイルが設けられ、固定子側に永久磁石が設けられる方式をいう。
【０００４】
リニアモータは、駆動時に電磁コイルに電流を印加するが、この電流に作用する抵抗に起因して、電磁コイルから熱が生じる。この熱を逃がすために、ヒートパイプと呼ばれる冷却用金属板を用いることがある。ヒートパイプを用いる場合、発熱体となる電磁コイルにヒートパイプを接触させて配置し、このヒートパイプの端部に冷却水ジャケットを接続した構成が広く採用されている。電磁コイルから生じた熱は、ヒートパイプを伝わって冷却水で冷却され、ステージ装置外へと放熱される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らによる開発の過程で、ムービング・コイル方式のリニアモータにおいて移動子の電磁コイルを冷却するのにヒートパイプを用い、このようなリニアモータを電子線露光装置のステージ装置に装備した場合、ヒートパイプ部材中に渦電流が発生する問題が見出された。
【０００６】
図７は、ステージ装置のリニアモータにおける渦電流の問題点を説明するための模式図である。
図７には、リニアモータの永久磁石（固定子）１、２の一部と、金属板からなるヒートパイプ（コイル冷却板）３とが模式的に描かれている。この図では、永久磁石１、２は上側の２つのみ描かれているが、実際にはヒートパイプ３を挟んで上下両側において、図中左右方向（移動方向）に沿って複数並んで配列されている。さらに、この図では描かれていないが、ヒートパイプ３の上下面には、リニアモータの電磁コイルが複数並んで配置されている。ヒートパイプ３は、電磁コイルとともに移動子を構成し、図中左右方向に移動可能となっている。
【０００７】
このリニアモータの永久磁石１、２の間には、強い磁界が形成される。この磁界の磁束Ｂは、Ｎ極から出てＳ極へと向かう方向に作用する。そこで、この磁界中で移動子が移動してヒートパイプ３が移動すると、ヒートパイプ３には、磁束Ｂを打ち消す方向に磁束Ｂ′を発生させるような渦電流Ｉが流れる。そして、電子線露光装置のステージ装置において、このような渦電流Ｉが生じて外乱磁場が起こると、電子線の軌道が乱れ、パターン形成精度の劣化等が引き起こされる。
【０００８】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置を提供することを目的とする。さらに、そのようなステージ装置を備える荷電粒子線露光装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の第１のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、を有し、該コイル冷却板に、該板内における前記移動方向への電気的接続を断つ絶縁部が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
このステージ装置は、コイル冷却板に電気的接続を断つ絶縁部が設けられているので、同冷却板内で移動方向に沿って電気的に不連続な部分が形成される。そのため、リニアモータの駆動に伴って生じる渦電流を、リニアモータの移動方向に断つことができ、外乱磁場を低減することができる。
【００１１】
本発明の第２のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、を有し、該コイル冷却板が、非導電性で高熱伝導性の素材からなることを特徴とする。
【００１２】
このステージ装置は、コイル冷却板が非導電性で高熱伝導性の素材（例えばセラミックス等）からなる。そのため、リニアモータの駆動に伴って生じる渦電流がコイル冷却板中で流れにくくすることができる。それとともに、コイル冷却板の高熱伝導性によって、コイルに生じる熱も外部へと逃がし易くなる。
【００１３】
本発明の第３のステージ装置は、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータが、前記ステージの移動軸を挟んで両側に配置されており、該リニアモータの移動子が、移動方向に沿って配列された複数のコイルと、該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、を有し、前記リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、前記ステージの移動軸を挟んで、前記両側のリニアモータの磁石の極性が逆になっていることを特徴とする。
【００１４】
このステージ装置は、ステージの移動軸を挟んで両側のリニアモータの磁石の極性が逆になっている。そのため、リニアモータの移動子のコイル冷却板に生じる渦電流が、前記両側から互いに打ち消し合う向きに生じ、これによって磁界変動を低減することができる。
【００１５】
本発明の荷電粒子線露光装置は、真空又は非空気雰囲気下で感応基板に荷電粒子線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、前記感応基板及び／又はパターン原版（マスク、レチクル）を移動・位置決めするための前記請求項１〜３いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする。
なお、前記荷電粒子線は、電子線、イオンビーム等である。また、露光の方式は特に限定されず、縮小投影露光や等倍近接転写、描画等であってよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
まず、図６を参照しつつ、本発明に係るステージ装置を搭載可能な電子線露光装置の例について説明する。
図６は、本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
図６の電子線露光装置１００の上部には、照明光学系鏡筒１０１が示されている。この照明光学系鏡筒１０１には真空ポンプ１０２が接続されており、同鏡筒１０１内を真空排気している。照明光学系鏡筒１０１の上部には、電子銃１０３が配置されており、下方に向けて電子線を放射する。電子銃１０３の下方には、コンデンサレンズ１０４ａや電子線偏向器１０４ｂが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１０４ａは一段であるが、実際の照明光学系には複数段のレンズやビーム成形開口等が設けられている。
【００１７】
照明光学系鏡筒１０１の下部には、定盤１１６上に載置されたレチクルチャンバ１１８が配置されている。このレチクルチャンバ１１８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。レチクルチャンバ１１８内において、定盤１１６上にはレチクルステージ１１１が配置されている。レチクルＲは、このレチクルステージ１１１に設けられたチャック１１０に静電吸着等により固定されている。レチクルステージ１１１には、図の左方に示す駆動装置１１２が接続されている。なお、実際の駆動装置１１２は、レチクルステージ１１１内に組み込まれている。この駆動装置１１２は、ドライバ１１４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００１８】
レチクルステージ１１１には、図の右方に示すレーザ干渉計１１３が付設されている。このレーザ干渉計１１３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１１３で計測されたレチクルステージ１１１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、レチクルステージ１１１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１１４に指令が送出され、駆動装置１１２が駆動される。その結果、レチクルステージ１１１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００１９】
照明光学系鏡筒１０１の電子銃１０３から放射された電子線は、コンデンサレンズ１０４ａによって収束される。続いて、偏向器１０４ｂにより図の横方向に順次走査（スキャン）され、レチクルチャンバ１１８内（光学系の視野内）のレチクルステージ１１１上に吸着されたレチクルＲの各小領域（サブフィールド）の照明が行われる。
【００２０】
定盤１１６の下面側には、投影光学系鏡筒１２１が配置されている。この投影光学系鏡筒１２１には真空ポンプ１２２が接続されており、同鏡筒１２１内を真空排気している。投影光学系鏡筒１２１内には、コンデンサレンズ（投影レンズ）１２４ａや偏向器１２４ｂ等を含む投影光学系１２４、及びウェハＷが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１２４ａは一段であるが、実際の投影光学系中には複数段のレンズや収差補正用のレンズやコイル等が設けられている。
【００２１】
投影光学系鏡筒１２１の下部には、定盤１３６上に載置されたウェハチャンバ１３８が配置されている。このウェハチャンバ１３８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。ウェハチャンバ１３８内において、定盤１３６上にはウェハステージ１３１が配置されている。ウェハＷは、このウェハステージ１３１の上部に設けられたチャック１３０に静電吸着等により固定されている。ウェハステージ１３１には、図の左方に示す駆動装置１３２が接続されている。なお、実際の駆動装置１３２は、ウェハステージ１３１内に組み込まれている。この駆動装置１３２は、ドライバ１３４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００２２】
ウェハステージ１３１には、図の右方に示すレーザ干渉計１３３が付設されている。このレーザ干渉計１３３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１３３で計測されたウェハステージ１３１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、ウェハステージ１３１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１３４に指令が出され、駆動装置１３２が駆動される。その結果、ウェハステージ１３１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２３】
レチクルチャンバ１１８内のレチクルステージ１１１上のレチクルＲを通過した電子線は、投影光学系鏡筒１２１内のコンデンサレンズ１２４ａにより収束される。このコンデンサレンズ１２４ａを通過した電子線は、偏向器１２４ｂにより偏向され、ウェハＷ上の所定の位置にレチクルＲの像が結像される。
【００２４】
次に、本発明の一実施の形態に係るステージ装置について説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
図２は、同ステージ装置の断面図（図１のＡ−Ａ線断面図）である。
図３は、同ステージ装置の駆動部（ムービング・コイル方式のリニアモータ）の構成を示す平面図である。
図４（Ａ）は同リニアモータの移動子の一部を示す平面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の側面断面図であり、図４（Ｃ）は同リニアモータの移動子のヒートパイプを示す平面図である。
以下の説明において、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向とは、図１〜図３に示す矢印方向を指すものとする。
【００２５】
このステージ装置１０は、図６の電子線露光装置におけるウェハステージ１３１に相当する。同ステージ装置１０のステージ２５は、図１中に矢印で示すＹ方向には精密な位置決めの必要な連続移動（スキャン）を行い、Ｘ方向には間欠的な移動・停止（ステップ）を行うよう構成されている（スキャン露光方式対応型のステージ装置）。
【００２６】
図１及び図２に示すステージ装置１０は、図６の電子線露光装置における定盤１３６上に配置されている。図１に示すように、このステージ装置１０の四隅には、定盤１３６上に立ち上げられたポスト１１ａ〜１１ｄが設けられている。ポスト１１ａと１１ｂ間、ならびに、ポスト１１ｃと１１ｄ間には、Ｙ方向に沿って互いに平行に延びるＹ固定ガイド（兼リニアモータ固定子）１３、１４がそれぞれ架け渡されて固定されている。
【００２７】
これらの各Ｙ固定ガイド１３（１４）は、図２に示すように、それぞれＺ方向上下のガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）を備えている。各Ｙ固定ガイド１３（１４）の両ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）はコ字状の断面を有し、内溝が外側（図２の左右）に向けて開口するように配置されている。これらガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）には、後に詳述する複数の永久磁石３０が埋め込まれている。これらガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）及び永久磁石３０により、ステージを駆動するリニアモータの固定子が構成される。
【００２８】
図２に示すように、上下のガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）間には、Ｙスライダ１７（１８）が係合している。各Ｙスライダ１７（１８）はコ字状の断面を有し、上下ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）の内溝に外側から差し込まれている。各Ｙスライダ１７（１８）は、ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）に沿ってＹ方向（スキャン方向）にスライド可能である。各Ｙスライダ１７（１８）には、後に詳述する複数の電磁コイル４０及びヒートパイプ４１が取り付けられている。これらＹスライダ１７（１８）及び電磁コイル４０により、ステージを駆動するリニアモータの移動子が構成される。
【００２９】
図２にわかり易く示すように、両Ｙスライダ１７、１８間には、Ｘガイド２１が架け渡されて固定されている。このＸガイド２１には、Ｘスライダ２３が係合している。このＸスライダ２３は、Ｘガイド２１に沿ってＸ方向（ステップ方向）にスライド可能である。Ｘスライダ２３の上面には、ステージ２５が取り付けられている。この例のステージ２５は円盤状であって、上面側にウェハを固定するための静電チャック（図示されず）が設けられている。ステージ２５は、Ｘスライダ２３とともにＸガイド２１に沿ってスライドする。
【００３０】
次に、前述したガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）及び永久磁石３０と、Ｙスライダ１７（１８）及び電磁コイル４０とで構成されるリニアモータについて説明する。
まず、ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）に設けられた永久磁石３０について説明する。
図２及び図３に示すように、ガイド部材１３Ａ、１３Ｂ（１４Ａ、１４Ｂ）の上下平板部には、Ｙ方向に沿って複数並んだタイル状の永久磁石３０が設けられている。
【００３１】
上側のガイド部材１３Ａ、１４Ａの各永久磁石３０は、Ｙ方向に沿ってＮ極・Ｓ極が交互になるように配置されている。これらの永久磁石３０は、上板部１３Ａ′（１４Ａ′）ではＳ極、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極・・・の順で配置されており、下板部１３Ａ″（１４Ａ″）ではＮ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極・・・の順で配置されている。そのため、各永久磁石３０は、Ｚ方向にはＮ極に対してＳ極が対向するように配置されている（図２参照）。さらに、上側のガイド部材１３Ａ、１４Ａの各永久磁石３０は、Ｘ方向にはステージ２５を挟んでＳ極とＮ極とが対向するように配置されている（図３参照）。
【００３２】
一方、下側のガイド部材１３Ｂ、１４Ｂの永久磁石３０も、上側のガイド部材１３Ａ、１４Ａの各永久磁石３０と同様に、上板部１３Ｂ′（１４Ｂ′）ではＳ極、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極・・・の順で配置され、下板部１３Ｂ″（１４Ｂ″）ではＮ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極・・・の順で配置されており、Ｚ方向にはＮ極に対してＳ極が対向している。そして、これら下側のガイド部材１３Ｂ、１４Ｂの永久磁石３０においても、Ｘ方向にはステージ２５を挟んでＳ極とＮ極とが対向している（図３参照）。
【００３３】
次に、Ｙスライダ１７（１８）に設けられた電磁コイル４０及びヒートパイプ４１について説明する。
図２、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、Ｙスライダ１７（１８）の上下板部１７′、１７″（１８′、１８″）のそれぞれには、ヒートパイプ４１が設けられている。このヒートパイプ４１は、厚さ数ｍｍのステンレス鋼板製等の導電材であって、内部に熱媒体の流通する細い流路が形成された熱移送部材である。ヒートパイプ４１の一辺は、図示せぬ冷却水ジャケットに接続されており、熱をステージ装置１０外部に逃がすことができるようになっている。
【００３４】
このヒートパイプ４１には、図４（Ｃ）に示すように、Ｙ方向に並んだ複数の絶縁部４１ａが設けられている（図４（Ａ）では図示省略）。これらの絶縁部４１ａは、詳しくは後述するが、ヒートパイプ４１に生じ得る渦電流（前述した図７参照）を断つ役割を果たす。各絶縁部４１ａは、複数並んだ電磁コイル（図４（Ａ）参照：図４（Ｃ）では図示省略）の中心に沿っている。絶縁部４１ａは、単なるスリット（ヒートパイプ４１に形成された切込み）でもよいし、それらのスリットにプラスチック等の非導電材を埋め込んだものでもよい。
【００３５】
なお、隣り合う絶縁部４１ａの間隔を前述の永久磁石３０の磁極ピッチ以下とすると、渦電流をより効果的に断つことが期待できる。
あるいは、ヒートパイプを導電性の材料ではなく、ＳｉＣ、ＡｌＮセラミックス等の非導電性で高熱伝導性の素材とすることもできる。この場合は、とり立てて絶縁部を設ける必要はない。
【００３６】
図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ヒートパイプ４１の上下面には、Ｙ方向（スキャン方向）に沿って複数並んだ小判状の電磁コイル４０が設けられている。各電磁コイル４０は、電源に繋がる導線（図４の符号４３）が接続されており、リニアモータの制御電流が印加されるようになっている。各電磁コイル４０の間の隙間には、モールド材が充填されている。
【００３７】
次に、前述の構成を有するステージ装置１０の作用について、図５に示す比較例と対比しつつ説明する。
図５は、比較例のステージ装置の駆動部（ムービング・コイル方式のリニアモータ）の構成を示す平面図である。
図５を図３と比較対照すると明らかなように、図５に示す比較例のステージ装置のリニアモータにおいては、各ガイド部材１３、１４の各永久磁石３０′は、Ｙ方向（リニアモータ駆動方向）に沿ってＮ極・Ｓ極が交互になるように並んでいるが、Ｘ方向にはステージ２５を挟んで同極同士が対向するように配置されている。これに対し、前述した図３に示すリニアモータ（本実施の形態に係るステージ装置のリニアモータ）においては、Ｘ方向にはステージ２５を挟んでＳ極とＮ極とが対向するように配置されている。
【００３８】
このように、図５の従来のステージ装置では、磁石３０′の極性が対向している。すると、リニアモータの駆動時（制御電流の印加時）には、図２に一点鎖線で示すように、ステージ２５に対して両側から磁束Φａ、Φｂが働き、図７を用いて前述した渦電流がヒートパイプ中で同じ向きに発生する。そのため、この渦電流に起因する磁界変動が起こり易く、磁界変動により電子線の軌道が乱れ、ステージ２５上に載置されたウェハの描画精度の劣化が引き起こされ易い。
【００３９】
一方、図３の本実施の形態に係るステージ装置１０では、磁石３０の極性が逆になっている。そのため、リニアモータの駆動時（制御電流の印加時）には、図２に点線で示すように、ステージ２５上面に向かう磁束Φ１（図２では左側のみ示す）と、ステージ２５下面に向かう磁束Φ２（図２では左側のみ示す）とが互いに打ち消し合うように働く。
【００４０】
さらに、本実施の形態のヒートパイプ４１は、リニアモータの駆動方向に電気的絶縁を断つ絶縁部４１ａを備えているため、リニアモータの駆動に伴って生じる渦電流がヒートパイプ４１中で流れにくくすることができる。したがって、磁界変動による電子線の軌道の乱れを低減し、ステージ２５上に載置されたウェハの描画精度の劣化も低減できる。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、リニアモータの駆動に伴う渦電流の発生により起こる外乱磁場を低減できるステージ装置等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
【図２】同ステージ装置の断面図（図１のＡ−Ａ線断面図）である。
【図３】同ステージ装置の駆動部（ムービング・コイル方式のリニアモータ）の構成を示す平面図である。
【図４】図４（Ａ）は同リニアモータの移動子の一部を示す平面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の側面断面図であり、図４（Ｃ）は同リニアモータの移動子のヒートパイプを示す平面図である。
【図５】比較例のステージ装置の駆動部（ムービング・コイル方式のリニアモータ）の構成を示す平面図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
【図７】ステージ装置のリニアモータにおける渦電流の問題点を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１０ステージ装置
１１ａ〜１１ｄポスト１３、１４Ｙ固定ガイド
１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂガイド部材
１３Ａ′、１４Ａ′ 上板部１３Ａ″、１４Ａ″ 下板部
１７、１８Ｙスライダ２１Ｘガイド
２３Ｘスライダ２５ステージ
３０永久磁石４０電磁コイル
４１ヒートパイプ４１ａ絶縁部
１３１ウェハステージ１３６定盤

Claims

ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、
前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、
該リニアモータの移動子が、
移動方向に沿って配列された複数のコイルと、
該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、
を有し、
該コイル冷却板に、該板内における前記移動方向への電気的接続を断つ絶縁部が設けられていることを特徴とするステージ装置。
ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、
前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータを具備し、
該リニアモータの移動子が、
移動方向に沿って配列された複数のコイルと、
該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、
を有し、
該コイル冷却板が、非導電性で高熱伝導性の素材からなることを特徴とするステージ装置。
ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、
前記ステージの駆動用アクチュエータとしてのリニアモータが、前記ステージの移動軸を挟んで両側に配置されており、
該リニアモータの移動子が、
移動方向に沿って配列された複数のコイルと、
該配列された複数のコイルに添うように配置されたコイル冷却板と、
を有し、
前記リニアモータの固定子が、移動方向に沿って配列された複数の磁石を有し、
前記ステージの移動軸を挟んで、前記両側のリニアモータの磁石の極性が逆になっていることを特徴とするステージ装置。
感応基板に荷電粒子線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
前記感応基板及び／又はパターン原版（マスク、レチクル）を移動・位置決めするための前記請求項１〜３いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする荷電粒子線露光装置。