JP2019057337A - 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気ヘッドは、磁極と、第1シールドと、前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。前記積層体は、非磁性の第1層と、前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、含む。前記第3層は、第1磁性領域と、前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、を含む。前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置に関する。
磁気ヘッドを用いて、HDD(Hard Disk Drive)などの磁気記憶媒体に情報が記録される。磁気ヘッド及び磁気記録再生装置において、記録密度の向上が望まれる。
特開2014−081981号公報
本発明の実施形態は、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、磁気ヘッドは、磁極と、第1シールドと、前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。前記積層体は、非磁性の第1層と、前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、含む。前記第3層は、第1磁性領域と、前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、を含む。前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図2は、第1実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。 図3は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図4は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図5は、磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。 図6は、第1実施形態に係る別の磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図7は、第2実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図8は、磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。 図9は、第2実施形態に係る別の磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 図10は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図11は、実施形態に係る磁気記録再生装置を例示する模式的斜視図である。 図12(a)及び図12(b)は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1実施形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図1(b)は、図1(a)の一部の拡大図である。
図1(a)に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド110は、磁極30と、第1シールド31と、積層体20と、を含む。この例では、第2シールド32及びコイル30cがさらに設けられている。
第1シールド31と第2シールド32との間に、磁極30が位置する。コイル30cの少なくとも一部は、磁極30と第1シールド31との間に位置する。この例では、コイル30cの一部は、磁極30と第2シールド32との間に位置する。
コイル30cに記録用電気回路(第2電気回路30D)が電気的に接続される。記録用電気回路からコイル30cに記録電流が供給され、磁極30から記録電流に応じた磁界(記録磁界)が生じる。記録磁界が磁気記録媒体80に加わり、磁気記録媒体80に情報が記録される。このように、記録用電気回路(第2電気回路30D)は、記録される情報に対応した電流(記録電流)をコイル30cに供給可能である。
積層体20は、磁極30と第1シールド31との間に設けられる。
磁極30、第1シールド31、第2シールド32、コイル30c及び積層体20の周りに、絶縁部30iが設けられる。
磁極30の端30eに、第1面30Fが設けられる。第1面30Fは、例えば、媒体対向面である。第1面30Fは、磁気ヘッド110のABSに沿う。第1面30Fが磁気記録媒体80に対向する。
第1面30Fに対して垂直な方向をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
Z軸方向は、例えば、ハイト方向である。X軸方向は、例えば、ダウントラック方向である。Y軸方向は、クロストラック方向である。
第1シールド31は、第1面30Fに沿う第1方向D1に沿って、磁極30から離れる。この例では、第1方向D1は、X軸方向に沿う。
例えば、第1面30Fの近傍において、第1シールド31は、X軸方向に沿って、磁極30から離れる。例えば、第1面30Fの近傍において、磁極30は、X軸方向に沿って第2シールド32から離れる。例えば、第1シールド31の一部は、X軸方向に沿って、磁極30の一部から離れる。例えば、磁極30の一部は、X軸方向に沿って第2シールド32の一部から離れる。X軸方向に実質的に沿って、磁気ヘッド110と磁気記録媒体80とが、相対的に移動する。これにより、磁気記録媒体80の任意の位置に、情報が記録される。
磁極30は、例えば、主磁極である。第1シールド31は、例えば、補助磁極である。第1シールド31は、磁極30とともに、磁気コアを形成可能である。磁気ヘッド110は、例えば、サイドシールドなどの他のシールドをさらに含んでも良い。
図1(b)に示すように、積層体20は、第1層21、第2層22及び第3層23を含む。
第1層21は、非磁性層を含む。第1層21は、導電性である。第1層21は、磁極30と第1シールド31との間に設けられる。
第2層22は、第1層21と第1シールド31との間に設けられる。第2層22は、非磁性層を含む。第2層22は、導電性である。
磁気ヘッド110において、第1層21は、例えば、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む。一方、第2層22は、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む。
第3層23は、第1層21と第2層22との間において、第1層21及び第2層22と接する。第3層23は、磁性層である。第2層23は、導電性である。第3層23は、第1層21及び第2層22と電気的に接続される。
第3層23は、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bを含む。第2磁性領域23bは、第1磁性領域23aと第2層22との間に設けられる。第2磁性領域23bは、第1磁性領域23aと接する。第1磁性領域23aは、例えば、第1層21と接する。第2磁性領域23bは、第2層22と接する。
実施形態において、第2磁性領域23bの飽和磁化(第2飽和磁化)は、第1磁性領域23aの飽和磁化(第1飽和磁化)よりも大きい。
例えば、第2磁性領域23bは、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を含む。例えば、第2磁性領域23bは、第1元素を第1組成比で含む。一方、第1磁性領域23aは、第1元素を含まない、または、第1磁性領域23aは、第1組成比よりも低い第2組成比で第1元素を含む。例えば、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bにFeCoを用いた場合において、組成比率を変化させることで、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも大きくすることができる。
例えば、第2磁性領域23bは、FeCo、Fe、または、Coなどを含む。一方、第1磁性領域23aは、Ni、または、FeNiなどを含む。これにより、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも大きくなる。例えば、第1磁性領域23aおよび第2磁性領域23bにおいて、各種材料、各種合金の組成比率、超格子膜の材料、及び、膜厚比率の少なくともいずれかによって、飽和磁化を調整することができる。
このように、実施形態においては、磁極30と第1シールド31との間に設けられる積層体20に、上記の第3層23が設けられる。第3層23において、飽和磁化が変化する。例えば、飽和磁化の異なる第1磁性領域23aと第2磁性領域23bが設けられる。これにより、後述するように、記録密度が向上できる。
第1シールド31は、第1シールド面31aを有する。第1シールド面31aは、第2層22と対向する。第1シールド面31aは、第2層22と接触する。
この例では、第1シールド面31aは、第1面30F(例えば、X−Y平面)に対して傾斜している。磁極30の第1面30Fの近傍において、発生する記録磁界を強めることができる。高密度の記録が安定して可能になる。
磁気ヘッド110において、例えば、第1配線W1及び第2配線W2が設けられる。これらの配線により、積層体20に電流Icを供給可能である。
この例では、第1配線W1は、磁極30と電気的に接続されている。第2配線W2は第1シールド31と電気的に接続されている。第1配線W1が第1層21と電気的に接続されても良い。第2配線W2が、第2層22と電気的に接続されても良い。第1配線W1及び第2配線W2は、第1電気回路20Dに電気的に接続される。第1電気回路20Dは、電流Icを積層体20に供給可能である。
例えば、後述するように、この電流Icは、例えば、第1層21から第2層22への向きを有する。この電流Icが供給された場合、電子流は、第2層22から第1層21へ向かって流れる。
第1層21の厚さt1は、例えば、0.5nm(ナノメートル)以上5nm以下である。第2層22の厚さt2は、例えば、0.5nm以上5nm以下である。第1磁性領域23aの厚さtaは、例えば、1nm以上10nm以下である。第2磁性領域23bの厚さtbは、例えば、4nm以上15nm以下である。これらの厚さは、積層体20の積層方向Dsに沿った長さである。積層方向Dsは、例えば、第1シールド面31aに対して垂直である。
磁極30は、第1方向D1(X軸方向)において積層体20と重なる第1部分P1を含む。一方、第1シールド31は、第1方向D1において積層体20と重なる第2部分P2を含む。第1部分P1と第2部分P2との間の第1方向D1に沿った距離が、ライトギャップWGに対応する。実施形態において、ライトギャップWGは、例えば、15nm以上30nm以下である。
既に説明したように、磁気ヘッド110においては、電流Icを積層体20に供給可能な配線(例えば、第1配線W1及び第2配線W2)を設けることができる。以下に説明するように、電流Icを積層体20に流すことにより、磁極30から生じる磁界(記録磁界)を磁気記録媒体80に有効に印加することが容易になる。
図2は、第1実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。
コイル30cに記録電流を流すことにより、磁極30から第1シールド31に向かう成分を有する磁界が生じる。積層体20を設けない第1参考例においては、磁極30から出た磁界の一部は、磁気記録媒体80に向かわずに、直接、第1シールド31に入る。このため、磁界は、磁気記録媒体80に印加され難い。このとき、図2に示すように、磁気ヘッド110においては、積層体20に電流Icを流すことで第3層23の磁化は、磁極30から出た磁界H2の向きとは逆向きの成分を有している。このため、磁極30から出た磁界H2は、第3層23を通過し難い。磁界H2の多くが、磁気記録媒体80を通過して、第1シールド31に入る。このため、磁界H2は、磁気記録媒体80に印加され易い。ライトギャップを小さくしたときにおいても、磁界H2は、磁気記録媒体80に印加される。
このように、実施形態においては、ライトギャップを小さくしたときにおいても、磁極30から出た磁界H2が直接的に第1シールド31に向かうことが抑制される。その結果、磁極30から出た磁界H2の多くが磁気記録媒体80に向かい、有効な記録磁界が磁気記録媒体80に加わる。これにより、記録密度の向上が可能になる。
一方、磁極30と第1シールド31との間に、スピントルクオシレータ(STO)を設ける第2参考例がある。STOは、2つの磁性層とその間に設けられた非磁性層とを含む。STOから発生する高周波磁界が磁気記録媒体80に印加され、磁気記録媒体80の磁化が局所的に変化しやすくなる。この効果を用いて、高周波アシスト書き込みが行われる。
これに対して、本実施形態においては、磁極30と第1シールド31との間に設けられる積層体20は、1つの第3層23を含む。実施形態においては、積層体20から発生する高周波磁界を利用するのではない。実施形態においては、積層体20の第3層23の磁化23mを利用して、磁極30から出た磁界H2を有効に磁気記録媒体80に向かわせる。
実施形態においては、第3層23の磁化23mは、例えば、積層体20を流れる電流Icによるスピントルクにより、磁極30から生じる磁界H2とは逆向きの成分を有する。
以下、磁気ヘッドの特性の例について説明する。
磁気ヘッドの特性について、シミュレーションが行われる。シミュレーションにおいては、LLG(Landau-Lifshitz-Gilbert)方程式に基づいた、マイクロマグネティックシミュレーションが行われる。
第1構成の構成を有する磁気ヘッド110は、図1(a)及び図1(b)に関して説明構成を有する。各層のパラメータは以下である。第1磁性領域23aにおいて、第1飽和磁化Ms1は、0.5T(テスラ)である。第1磁性領域23aの厚さtaは、2nmである。第1磁性領域23aにおける磁気ボリューム(Ms1・ta)は、1nmTである。第2磁性領域23bにおいて、第2飽和磁化Ms2は、1.5Tである。第2磁性領域23bの厚さtbは、8nmである。第2磁性領域23bにおける磁気ボリューム(Ms2・tb)は、12nmTである。ダンピング定数αは、各磁性領域において、0.02である。第1層21の厚さt1は、2nmである。第1層21の物性値として、Cuの値が用いられる。Cuにおいては、例えば、スピン緩和長が長い。第2層22の厚さt2は、2nmである。第2層22の物性値として、Taの値が用いられる。Taにおいては、例えば、スピン緩和長が短い。第2層22と第2磁性領域23bとの界面には、スピントルクが作用しないものとされる。
一方、第2構成を有する磁気ヘッド119は、第3層23において、飽和磁化は一定である。第3層23において、飽和磁化Msは、1.3Tである。第3層23の厚さは、10nmである。第3層23における磁気ボリューム(Ms・t)は、13nmTである。磁気ヘッド119の第3層23における平均の磁気ボリュームは、磁気ヘッド110の第3層23における平均の磁気ボリュームと同じである。
図3は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図3の横軸は、積層体20に流れる電流密度J(A/cm)である。縦軸は、第3層23の磁化M1である。磁化M1は、規格化されている。磁化M1が負のとき、磁化M1は、ライトギャップ内に本来発生する磁界に対して反平行の成分を有する。図3には、磁気ヘッド110における特性と、磁気ヘッド119における特性が示されている。
図3から分かるように、磁気ヘッド110においては、磁気ヘッド119に比べて、低い電流密度Jにおいて、磁化M1が反転する。
さらに、磁気ヘッド110及び119のそれぞれの構成において、第3層23の磁気ボリュームを変更して、反転電流密度がシミュレーションされる。このシミュレーションにおいて、磁気ヘッド110においては、積層体20の厚さが10nmに固定され、ta:tbが1:4〜3:2の範囲で変化させられる。一方、磁気ヘッド119において、第3層23の飽和磁化は一様である。
図4は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図4の横軸は、磁気ボリュームMs・t(nmT)である。縦軸は、磁化が反転する反転電流密度J0(A/cm)である。反転電流密度J0のときに、磁化M1が0となり、それよりも高い電流密度を与えることで、磁化M1は反転する。
図4から分かるように、磁気ヘッド110においては、磁気ヘッド119に比べて、反転電流密度J0の絶対値が小さい。
このように、磁気ヘッド110の構成(飽和磁化が第3層23内で異なる)においては、磁気ヘッド119の構成(飽和磁化が第3層23内で同じ)に比べて、反転電流密度J0を小さくできる。
このように、磁気ヘッド110の構成において、反転電流密度J0を小さくできるのは、第3層23において、飽和磁化が小さい第1磁性領域23aが設けられることに起因する。
以下、実施形態に係る磁気ヘッド110の動作の例について説明する。
図5は、磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。
図5に示すように、磁極30と第1シールド31との間に積層体20が設けられる。積層体20において、第1層21、第2層22及び第3層23が設けられる。
磁極30のコイル30cに、第2電気回路30D(図1(a)参照)から、記録電流が供給される。これにより、磁極30から磁界が発生する。この磁界は、磁気記録媒体80に向かう。それと共に、積層体20にギャップ磁界Hg1が印加される。ギャップ磁界Hg1の方向は、記録電流の極性に依存して変化する。例えば、図5においては、磁極30から第1シールド31に向かう成分を有する。
例えば、磁極30の磁化30mは、磁極30から第1シールド31に向かう。第1シールド31の磁化31mも、磁極30から第1シールド31に向かう。そして、積層体20に電流Icが流れていないとき、積層体20の第3層23において、磁化23mは、磁極30から第1シールド31に向かう。
このとき、第1電気回路20Dから積層体20に電流Icが供給される。この例では、第1シールド31及び磁極30を介して、電流Icが積層体20に供給される。電流Icは、第1層21から第2層22に向かって流れる。このとき、電子流Jeが流れる。電子流Jeは、第2層22から第1層21に向かって流れる。
電子流Jeにより、第1層21と第3層23との間の界面において、スピントルク21spが生じる。このスピントルク21spは、反射型である。一方、電子流Jeにより、第3層23と第2層22との間の界面において、スピントルク22spが生じる。スピントルク22spは、透過型である。このようなスピントルクにより、第3層23の磁化23mは反転する。すなわち、磁化23mは、第1シールド31から磁極30に向かう。
このように、実施形態においては、第3層23の磁化23mが、磁極30から生じる磁界(ギャップ磁界Hg1)とは反対の向きを有する。このような磁化の向きにより、磁極30から発生する磁界を、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。
実施形態においては、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bが設けられる。第1磁性領域23aと第1層21との界面において、第3層23の磁化23mを反転させる方向に作用するスピントルクが供給される。第2磁性領域23bと第2層22との界面においては、第2層22がスピン緩和長の短い材料を含むことで、第3層23の磁化反転を抑制する方向に作用するスピントルクが抑制される。第3層23において飽和磁化の異なる第1磁性領域23aおよび第2磁性領域23bを設けることで、第1磁性領域23aと第1層21との界面に作用するスピントルクの影響が顕著となる。このため、第3層23の磁化23mが反転しやすくなる。
実施形態においては、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bが設けられることで、反転電流密度J0を低くできる。例えば、小さい電流Icにより、第3層23の磁化23mを制御できる。小さい電流Icにより、磁気記録媒体80に記録磁界を有効に印加することができる。
図5においては、磁極30から第1シールド31に向かう方向の成分を有する磁界(ギャップ磁界Hg1)が磁極30から出る。既に説明したように、第1電気回路20Dは、第1層21から第2層22への向きの電流Icを、積層体20に供給する。このとき、磁化23mは、ギャップ磁界Hg1とは逆向きの成分を有する。一方、第1シールド31から磁極30に向かう方向の成分を有する磁界(ギャップ磁界Hg1)が磁極30から出るときにも、電流方向は、例えば、図5に例示した状態と同じとすることができる。磁極30の磁化30mの向き、第1シールド31の磁化31mの向き、及び、電流Icを通電しないときの第3層23の磁化23mの向きは、ギャップ磁界Hg1の向きに沿う。各界面に作用するスピントルクと、磁化と、の関係性は変化しない。
実施形態において、例えば、第1層21と第2層22との間(例えば、磁極30と第1シールド31との間)に電流Icを流したときに、第3層23の磁化23mは、磁極30から生じる磁界(ギャップ磁界Hg1)とは逆方向の成分を含む。
例えば、実施形態において、第1層21と第2層22との間に第1電流(電流Icでも良い)を流したときの磁極30と第2層22との間の電気抵抗は、第1層21と第2層22との間にその第1電流を流さないときの磁極30と第2層22との間の電気抵抗とは異なる。
例えば、実施形態において、第1層21と第2層22との間に第1電流を流したときの第1シールド31と第1層21との間の電気抵抗は、第1層21と第2層22との間にその第1電流を流さないときの第1シールド31と第1層21との間の電気抵抗とは異なる。
上記の電気抵抗の差は、例えば、磁気抵抗効果に基づく。例えば、このような効果を用いることで、電気的に第3層23の磁化23mの変化を測定することができる。
図6は、第1実施形態に係る別の磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図6に示すように、本実施形態に係る別の磁気ヘッド111も、上記の、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。磁気ヘッド111においても、積層体20は、上記の、第1層21、第2層22及び第3層23を含む。磁気ヘッド111においては、第3層23は、上記の第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bに加えて、中間領域23cを含む。磁気ヘッド111におけるこれ以外の構成は、例えば、磁気ヘッド110の構成と同様である。
第3層23において、第1磁性領域23aは、第1層21と第2層22との間に設けられる。第2磁性領域23bは、第1磁性領域23aと第2層22との間に設けられる。第1磁性領域23aは、例えば、第1層21と接する。第2磁性領域23bは、第2層22と接する。
中間領域23cは、第1磁性領域23aと第2磁性領域23bとの間に設けられる。中間領域23cは、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bと接する。中間領域23cは、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む。
磁気ヘッド111において、第2磁性領域23bの第2飽和磁化は、第1磁性領域23aの第1飽和磁化よりも大きい。
この場合も、例えば、第2磁性領域23bは、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含む。一方、第1磁性領域23aは、第1元素を含まない。または、第1磁性領域23aは、第1組成比よりも低い第2組成比で第1元素を含む。例えば、 第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bにFeCoを用いた場合、組成比率を変化させることで、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも大きくすることができる。
例えば、第2磁性領域23bは、FeCo、Fe、または、Coなどを含む。一方、第1磁性領域23aは、NiまたはFeNiなどを含む。これにより、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも大きくなる。例えば、第1磁性領域23aおよび第2磁性領域23bにおいて、各種材料、各種合金の組成比率、超格子膜の材料、及び、膜厚比率の少なくともいずれかによって、飽和磁化を調整することができる。
磁気ヘッド111においては、中間領域23cが、第1磁性領域23aと第2磁性領域23bとの間に設けられる。中間領域23cは、第1磁性領域23aと第2磁性領域23bとを適度に磁気結合させる。磁気ヘッド111においても、積層体20の第3層23の磁化23mを利用して、磁極30から出た磁界H2を有効に磁気記録媒体80に向かわせる。記録密度の向上が可能な磁気ヘッドを提供できる。
磁気ヘッド111において、中間領域23cの厚さtc(図6参照)は、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。例えば、中間領域23cがRuを含む場合、中間領域23cの厚さtcは、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。例えば、中間領域23cがIrを含む場合、中間領域23cの厚さtcは、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。このような厚さの中間領域23cを用いることで、適切に磁気結合を調整することができる。
磁気ヘッド111においても、第1電気回路20D(図6参照)が設けられても良い。第1電気回路20Dは、第1層21及び第2層22と電気的に接続される。第1電気回路20Dは、例えば、第1層21から第2層22への向きの電流Icを、積層体20に供給可能である。
磁気ヘッド111においても、磁極30から生じる磁界を、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。磁気ヘッド111においても、第1磁性領域23a及び第2磁性領域23bが設けられることで、反転電流密度J0を低くできる。例えば、小さい電流Icにより、第3層23の磁化23mを制御できる。小さい電流Icにより、磁気記録媒体80に記録磁界を有効に印加することができる。
(第2実施形態)
図7は、第2実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図7に示すように、第2実施形態に係る磁気ヘッド120も、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。磁気ヘッド120においても、積層体20は、上記の、第1層21A、第2層22A及び第3層23を含む。磁気ヘッド120においては、第3層23は、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qを含む。磁気ヘッド120におけるこれ以外の構成は、例えば、磁気ヘッド110の構成と同様である。
磁気ヘッド120において、積層体20は、非磁性の第1層21Aと、第1層21Aと第1シールド31との間に設けられた非磁性の第2層22Aと、第3層23と、を含む。第3層23は、第1層21Aと第2層22Aとの間に設けられる。第3層23は、第1層21A及び第2層22Aと接する。第3層23は、第1層21A及び第2層22Aと電気的に接続される。
第1層21Aは、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む。
第2層22Aは、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む。
第1層21Aの厚さt1は、0.5nm以上5.0nm以下である。第2層22Aの厚さt2は、例えば、0.5nm以上5.0nm以下である。
第3層23は、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qを含む。第2磁性領域23qは、第1磁性領域23pと第2層22Aとの間に設けられる。第2磁性領域23qは、第1磁性領域23aと接する。
磁気ヘッド120において、例えば、第1磁性領域23pの厚さtpは、第2磁性領域23qの厚さの0.5倍以上5倍以下である。例えば、第1磁性領域23pの厚さtpは、例えば、4nm以上15nm以下である。第2磁性領域23qの厚さtqは、例えば、1nm以上10nm以下である。
磁気ヘッド120においては、第2磁性領域23qの第2飽和磁化は、第1磁性領域23pの第1飽和磁化よりも小さい。
第1磁性領域23pは、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含む。一方、第2磁性領域23qは、上記の第1元素を含まない。または、第2磁性領域23qは、第1組成比よりも低い第2組成比で上記の第1元素を含む。例えば、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qにFeCoを用いた場合において、組成比率を変化させることで、第2飽和磁化を、第1飽和磁化よりも小さくすることができる。
例えば、第1磁性領域23pは、FeCo、Fe、または、Coなどを含む。一方、第2磁性領域23qは、Ni、または、FeNiなどを含む。これにより、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも小さくなる。例えば、第1磁性領域23pおよび第2磁性領域23qにおいて、各種材料、各種合金の組成比率、超格子膜の材料、及び、膜厚比率の少なくともいずれかによって、飽和磁化を調整することができる。
例えば、第1電気回路20Dが設けられる。第1電気回路20Dは、第1層21A及び第2層22Aと電気的に接続される。第2層22Aから第1層21Aへの向きの電流Icを積層体20に供給可能である。
磁気ヘッド120においても、電流Icを積層体20に流すことにより、磁極30から生じる磁界(記録磁界)を磁気記録媒体80に有効に印加することが容易になる。
磁気ヘッド120においても、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qが設けられることで、反転電流密度J0を低くできる。
以下、磁気ヘッド120の動作の例について説明する。
図8は、磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。
図8に示すように、磁極30と第1シールド31との間に積層体20が設けられる。積層体20において、第1層21A、第2層22A及び第3層23が設けられる。
磁極30のコイル30cに、第2電気回路30Dから、記録電流が供給される。磁極30からギャップ磁界Hg1(記録磁界)が発生する。ギャップ磁界Hg1は、積層体20に印加される。ギャップ磁界Hg1は、磁極30から第1シールド31に向かう成分を有する。
例えば、磁極30の磁化30mは、磁極30から第1シールド31に向かう。第1シールド31の磁化31mも、磁極30から第1シールド31に向かう。そして、積層体20に電流Icが流れていないとき、積層体20の第3層23において、磁化23mは、磁極30から第1シールド31に向かう。
このとき、第1電気回路20Dから積層体20に電流Icが供給される。この例では、第1シールド31及び磁極30を介して、電流Icが積層体20に供給される。電流Icは、第2層22Aから第1層21Aに向かって流れる。このとき、電子流Jeが流れる。電子流Jeは、第1層21Aから第2層22Aに向かって流れる。
電子流Jeにより、第3層23にスピントルク21sp(透過型のスピントルク)および22sp(反射型のスピントルク)が作用する。これらのスピントルクの作用により、第3層23の磁化23mが、磁極30から生じる磁界(ギャップ磁界Hg1)とは反対の向きを有する。このような磁化23mにより、磁極30から生じる磁界を、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。
磁気ヘッド120においては、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qが設けられる。第1磁性領域23pと第2層21Aとの界面において、第3層23には磁化23mの反転を抑制するスピントルクが作用する。第1層21Aがスピン緩和長の短い材料を含むことで、このスピントルクの作用が抑制される。第2磁性領域23qと第2層22Aとの界面において、磁化23mの反転を促すスピントルクが作用する。第3層23において飽和磁化の異なる第1磁性領域23pおよび第2磁性領域23qを設けることで、第2磁性領域23qと第1層21との界面に作用するスピントルクの影響が顕著となる。このため、第3層23の磁化23mが反転しやすくなる。
磁気ヘッド120においても、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qが設けられることで、反転電流密度J0を低くできる。例えば、小さい電流Icにより、第3層23の磁化23mを制御できる。小さい電流Icにより、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。
図8においては、磁極30から第1シールド31に向かう方向の成分を有する磁界(ギャップ磁界Hg1)が磁極30から出る。既に説明したように、第1電気回路20Dは、第2層22Aから第1層21Aへの向きの電流Icを、積層体20に供給する。このとき、磁化23mは、ギャップ磁界Hg1とは逆向きの成分を有する。一方、第1シールド31から磁極30に向かう方向の成分を有する磁界(ギャップ磁界Hg1)が磁極30から出たときにも、第1電気回路20Dは、第2層22Aから第1層21Aへの向きの電流Icを、積層体20に供給する。このときも、磁化23mは、ギャップ磁界Hg1とは逆向きの成分を有する。
例えば、磁気ヘッド120、第1層21Aと第2層22Aとの間に第1電流(電流Icでも良い)を流したときの磁極30と第2層22Aとの間の電気抵抗は、第1層21Aと第2層22Aとの間にその第1電流を流さないときの磁極30と第2層22Aとの間の電気抵抗とは異なる。
例えば、磁気ヘッド120において、第1層21Aと第2層22Aとの間に第1電流を流したときの第1シールド31と第1層21との間の電気抵抗は、第1層21と第2層22との間にその第1電流を流さないときの第1シールド31と第1層21Aとの間の電気抵抗とは異なる。
上記の電気抵抗の差は、例えば、磁気抵抗効果に基づく。例えば、このような効果を用いることで、電気的に第3層23の磁化23mの変化を測定することができる。
図9は、第2実施形態に係る別の磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図9に示すように、本実施形態に係る別の磁気ヘッド121も、上記の、磁極30、第1シールド31及び積層体20を含む。磁気ヘッド121においても、積層体20は、上記の、第1層21A、第2層22A及び第3層23を含む。磁気ヘッド121においては、第3層23は、上記の第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qに加えて、中間領域23rを含む。磁気ヘッド121におけるこれ以外の構成は、例えば、磁気ヘッド120の構成と同様である。
第3層23において、第1磁性領域23pは、第1層21Aと第2層22Aとの間に設けられる。第2磁性領域23qは、第1磁性領域23pと第2層22Aとの間に設けられる。第1磁性領域23pは、例えば、第1層21Aと接する。第2磁性領域23qは、第2層22Aと接する。
中間領域23rは、第1磁性領域23pと第2磁性領域23qとの間に設けられる。中間領域23rは、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qと接する。中間領域23rは、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む。
磁気ヘッド121において、第2磁性領域23qの第2飽和磁化は、第1磁性領域23pの第1飽和磁化よりも小さい。
この場合も、例えば、第1磁性領域23pは、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含む。一方、第2磁性領域23qは、第1元素を含まない。または、第2磁性領域23qは、第1組成比よりも低い第2組成比で第1元素を含む。例えば、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qにFeCoを用いた場合であっても、組成比率を変化させることで、第2飽和磁化を、第1飽和磁化よりも小さくすることができる。
例えば、第1磁性領域23pは、FeCo、Fe、または、Coなどを含む。一方、第2磁性領域23qは、Ni、または、FeNiなどを含む。これにより、第2飽和磁化は、第1飽和磁化よりも小さくなる。例えば、第1磁性領域23pおよび第2磁性領域23qにおいて、各種材料、各種合金の組成比率、超格子膜の材料、及び、膜厚比率の少なくともいずれかによって、飽和磁化を調整することができる。
磁気ヘッド121においては、中間領域23rが、第1磁性領域23pと第2磁性領域23qとの間に設けられる。中間領域23rは、第1磁性領域23pと第2磁性領域23qとを適度に磁気結合させる。磁気ヘッド121においても、積層体20の第3層23の磁化23mを利用して、磁極30から出た磁界H2を有効に磁気記録媒体80に向かわせる。記録密度の向上が可能な磁気ヘッドを提供できる。
磁気ヘッド121において、中間領域23rの厚さtrは、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。例えば、中間領域23rがRuを含む場合、中間領域23rの厚さtrは、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。例えば、中間領域23rがIrを含む場合、中間領域23rの厚さtcは、0.1nm以上5.0nm以下であることが好ましい。
磁気ヘッド121においても、第1電気回路20Dが設けられても良い。第1電気回路20Dは、第1層21A及び第2層22Aと電気的に接続される。第1電気回路20Dは、第2層22Aから第1層21Aへの向きの電流Icを、積層体20に供給可能である。
磁気ヘッド121においても、磁極30から生じる磁界を、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。磁気ヘッド121においても、第1磁性領域23p及び第2磁性領域23qが設けられることで、反転電流密度J0を低くできる。例えば、小さい電流Icにより、第3層23の磁化23mを制御できる。小さい電流Icにより、記録磁界を磁気記録媒体80に有効に印加することができる。
以下、本実施形態に係る磁気記録再生装置の例について説明する。
図10は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図10は、ヘッドスライダを例示している。
磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159に設けられる。ヘッドスライダ159は、例えばAl/TiCなどを含む。ヘッドスライダ159は、磁気記録媒体の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
ヘッドスライダ159は、例えば、空気流入側159A及び空気流出側159Bを有する。磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159の空気流出側159Bの側面などに配置される。これにより、磁気ヘッド110は、磁気記録媒体の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
図11は、実施形態に係る磁気記録再生装置を例示する模式的斜視図である。
図12(a)及び図12(b)は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図11に示すように、実施形態に係る磁気記録再生装置150においては、ロータリーアクチュエータが用いられる。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mに装着される。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mにより矢印ARの方向に回転する。スピンドルモータ180Mは、駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。磁気記録再生装置150は、記録媒体181を含んでもよい。記録媒体181は、例えば、SSD(Solid State Drive)である。記録媒体181には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。例えば、磁気記録再生装置150は、ハイブリッドHDD(Hard Disk Drive)でも良い。
ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180に記録する情報の、記録及び再生を行う。ヘッドスライダ159は、薄膜状のサスペンション154の先端に設けられる。ヘッドスライダ159の先端付近に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
記録用媒体ディスク180が回転すると、サスペンション154による押し付け圧力と、ヘッドスライダ159の媒体対向面(ABS)で発生する圧力と、がバランスする。ヘッドスライダ159の媒体対向面と、記録用媒体ディスク180の表面と、の間の距離が、所定の浮上量となる。実施形態において、ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180と接触しても良い。例えば、接触走行型が適用されても良い。
サスペンション154は、アーム155(例えばアクチュエータアーム)の一端に接続されている。アーム155は、例えば、ボビン部などを有する。ボビン部は、駆動コイルを保持する。アーム155の他端には、ボイスコイルモータ156が設けられる。ボイスコイルモータ156は、リニアモータの一種である。ボイスコイルモータ156は、例えば、駆動コイル及び磁気回路を含む。駆動コイルは、アーム155のボビン部に巻かれる。磁気回路は、永久磁石及び対向ヨークを含む。永久磁石と対向ヨークとの間に、駆動コイルが設けられる。サスペンション154は、一端と他端とを有する。磁気ヘッドは、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端に接続される。
アーム155は、ボールベアリングによって保持される。ボールベアリングは、軸受部157の上下の2箇所に設けられる。アーム155は、ボイスコイルモータ156により回転及びスライドが可能である。磁気ヘッドは、記録用媒体ディスク180の任意の位置に移動可能である。
図12(a)は、磁気記録再生装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ160の拡大斜視図である。
また、図12(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
図12(a)に示すように、ヘッドスタックアセンブリ160は、軸受部157と、ヘッドジンバルアセンブリ158と、支持フレーム161と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びる。支持フレーム161は、軸受部157から延びる。支持フレーム161の延びる方向は、ヘッドジンバルアセンブリ158の延びる方向とは逆である。支持フレーム161は、ボイスコイルモータ156のコイル162を支持する。
図12(b)に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びたアーム155と、アーム155から延びたサスペンション154と、を有している。
サスペンション154の先端には、ヘッドスライダ159が設けられる。ヘッドスライダ159に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ)158は、実施形態に係る磁気ヘッドと、磁気ヘッドが設けられたヘッドスライダ159と、サスペンション154と、アーム155と、を含む。ヘッドスライダ159は、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端と接続される。
サスペンション154は、例えば、信号の記録及び再生用のリード線(図示しない)を有する。サスペンション154は、例えば、浮上量調整のためのヒーター用のリード線(図示しない)を有しても良い。サスペンション154は、例えばスピントルク発振子用などのためのリード線(図示しない)を有しても良い。これらのリード線と、磁気ヘッドに設けられた複数の電極と、が電気的に接続される。
磁気記録再生装置150において、信号処理部190が設けられる。信号処理部190は、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。信号処理部190は、信号処理部190の入出力線は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158の電極パッドに接続され、磁気ヘッドと電気的に接続される。
本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドと、可動部と、位置制御部と、信号処理部と、を含む。可動部は、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを離間させ、または、接触させた状態で相対的に移動可能とする。位置制御部は、磁気ヘッドを磁気記録媒体の所定記録位置に位置合わせする信号処理部は、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。
例えば、上記の磁気記録媒体として、記録用媒体ディスク180が用いられる。上記の可動部は、例えば、ヘッドスライダ159を含む。上記の位置制御部は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158を含む。
本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリと、磁気ヘッドアセンブリに設けられた磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部と、を備える。
実施形態は、以下の構成(技術案)を含んでも良い。
(構成1)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
を含み、
前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい、磁気ヘッド。
(構成2)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
を含み、
前記第2磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
前記第1磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
(構成3)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
を含み、
前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい、磁気ヘッド。
(構成4)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
を含み、
前記第2磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
前記第1磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
(構成5)
前記中間領域の厚さは、0.1nm以上5.0nm以下である、構成3または4に記載の磁気ヘッド。
(構成6)
前記第2層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜5のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成7)
前記第1層は、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜6のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成8)
前記第1磁性領域の厚さは、前記第2磁性領域の厚さの0.2倍以上2.0倍以下である、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成9)
前記第1磁性領域の厚さは、1nm以上10nm以下であり、
前記第2磁性領域の厚さは、4nm以上15nm以下である、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成10)
構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
前記第1層及び前記第2層と電気的に接続され、前記第1層から前記第2層への向きの電流を前記積層体に供給可能な第1電気回路と、
を備えた磁気記録再生装置。
(構成11)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
を含み、
前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも小さい、磁気ヘッド。
(構成12)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
を含み、
前記第1磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
前記第2磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
(構成13)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
を含み、
前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも小さい、磁気ヘッド。
(構成14)
磁極と、
第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
非磁性の第1層と、
前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
含み、
前記第3層は、
第1磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
を含み、
前記第1磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
前記第2磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
(構成15)
前記中間領域の厚さは、0.1nm以上5.0nm以下である、構成13または14に記載の磁気ヘッド。
(構成16)
前記第1層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成11〜15のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成17)
前記第2層は、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成11〜16のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成18)
前記第2磁性領域の厚さは、前記第1磁性領域の厚さの0.2倍以上2.0倍以下である、構成11〜17のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成19)
前記第1磁性領域の厚さは、4nm以上15nm以下であり、
前記第2磁性領域の厚さは、1nm以上10nm以下である、構成1〜17のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成20)
構成11〜19のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
前記第1層及び前記第2層と電気的に接続され、前記第2層から前記第1層への向きの電流を前記積層体に供給可能な第1電気回路と、
を備えた磁気記録再生装置。
実施形態によれば、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置が提供できる。
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気ヘッドに含まれる磁極、第1シールド、第2シールド、積層体、磁性層、導電層及び配線などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気ヘッド及び磁気記録再生装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
20…積層体、 20D…第1電気回路、 21、21A…第1層、 21sp…スピントルク、 22、22A…第2層、 22sp…スピントルク、 23…第3層、 23a…第1磁性領域、 23b…第2磁性領域、 23c…中間領域、 23m…磁化、 23p…第1磁性領域、 23q…第2磁性領域、 23r…中間領域、 30…磁極、 30D…第2電気回路、 30F…第1面、 30c…コイル、 30e…端、 30i…絶縁部、 30m…磁化、 31…第1シールド、 31a…第1シールド面、 31m…磁化、 32…第2シールド、 80…磁気記録媒体、 110、111、119、120、121…磁気ヘッド、 150…磁気記録再生装置、 154…サスペンション、 155…アーム、 156…ボイスコイルモータ、 157…軸受部、 158…ヘッドジンバルアセンブリ、 159…ヘッドスライダ、 159A…空気流入側、 159B…空気流出側、 160…ヘッドスタックアセンブリ、 161…支持フレーム、 162…コイル、 180…記録用媒体ディスク、 180M…スピンドルモータ、 181…記録媒体、 190…信号処理部、 AR…矢印、 D1…第1方向、 Ds…積層方向、 H2…磁界、 Hg1…ギャップ磁界、 Ic…電流、 J…電流密度、 J0…反転電流密度、 Je…電子流、 M1…磁化、 P1、P2…第1、第2部分、 W1、W2…第1、第2配線、 WG…ライトギャップ、 t1、t2、ta、tb、tc、tp、tq、tr…厚さ

Claims (14)

  1. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい、磁気ヘッド。
  2. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
    前記第1磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
  3. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも大きい、磁気ヘッド。
  4. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
    前記第1磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
  5. 前記第2層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  6. 前記第1層は、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  7. 請求項1〜6のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
    前記第1層及び前記第2層と電気的に接続され、前記第1層から前記第2層への向きの電流を前記積層体に供給可能な第1電気回路と、
    を備えた磁気記録再生装置。
  8. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも小さい、磁気ヘッド。
  9. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2層との間に設けられ前記第1磁性領域と接する第2磁性領域と、
    を含み、
    前記第1磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
    前記第2磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
  10. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
    を含み、
    前記第2磁性領域の第2飽和磁化は、前記第1磁性領域の第1飽和磁化よりも小さい、磁気ヘッド。
  11. 磁極と、
    第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    非磁性の第1層と、
    前記第1層と前記第1シールドとの間に設けられた非磁性の第2層と、
    前記第1層と前記第2層との間に設けられ前記第1層及び前記第2層と接し、前記第1層及び前記第2層と電気的に接続された第3層と、
    含み、
    前記第3層は、
    第1磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第1シールドとの間に設けられた第2磁性領域と、
    前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に設けられ前記第1磁性領域及び前記第2磁性領域と接し、Ru、Ir及びRhからなる群から選択された少なくとも1つを含む中間領域と、
    を含み、
    前記第1磁性領域は、Fe及びCoの少なくとも1つの第1元素を第1組成比で含み、
    前記第2磁性領域は、前記第1元素を含まない、または、前記第1組成比よりも低い第2組成比で前記第1元素を含む、磁気ヘッド。
  12. 前記第1層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項8〜11のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  13. 前記第2層は、Cu、Ag、Au及びAlからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項8〜12のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  14. 請求項8〜13のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
    前記第1層及び前記第2層と電気的に接続され、前記第2層から前記第1層への向きの電流を前記積層体に供給可能な第1電気回路と、
    を備えた磁気記録再生装置。
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