JP2018045739A - 磁気記録ヘッド、およびこれを備えたディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】記録密度の向上を図ることが可能な磁気記録ヘッドおよびこれを備えたディスク装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、磁気記録ヘッドは、空気支持面４３と、空気支持面まで延びる先端部を有し、垂直方向の記録磁界を発生する主磁極６０と、主磁極の先端部にライトギャップＷＧを置いて対向し、主磁極とともに磁気コアを構成するライトシールド６２と、主磁極に形成された第１導電層６５ａと、ライトギャップ内で第１導電層に積層され、鉄、コバルト、ニッケルから選ばれる少なくとも１つを含む磁性金属で形成された調整層６５ｂと、調整層とライトシールドとを電気的に接続する第２導電層６５ｃと、を有し、調整層におけるスピントルクによりライトギャップ内の磁化の向きを反転する透磁率調整素子６５と、主磁極、透磁率調整素子、ライトシールドを通して電流を印加するための配線と、を備えている。
【選択図】図５

Description

この発明の実施形態は、磁気記録ヘッド、およびこの磁気記録ヘッドを備えたディスク装置に関する。

近年、ディスク装置として、磁気ディスク装置の高記録密度化、大容量化あるいは小型化を図るため、垂直磁気記録用の磁気ヘッドが提案されている。このような磁気ヘッドにおいて、記録ヘッドは、垂直方向磁界を発生させる主磁極と、この主磁極にライトギャップを挟んで対向配置されたライトシールド磁極と、主磁極に磁束を流すためのコイルとを有している。このような記録ヘッドにおいて、記録分解能を向上するためには、主磁極とライトシールドとの間のライトギャップを狭くしていくことが望ましい。

しかしながら、ライトギャップを狭くしていくと、主磁極からの磁束がライトシールド磁極に吸収されるため、記録媒体（磁気ディスク）に到達する磁界の強度が弱くなる。これを解決するため、主磁極とライトシールド磁極との対向部の面積を小さくする構造（ライトシールド磁極の位置を低くする）が提案されている。しかし、この場合、主磁極からの磁界でライトシールド磁極の磁化が飽和し、ライトシールド磁極のシールドとしての機能が著しく低下する。

米国特許第８，５６４，９０３号明細書 米国公開２００９／０３１０２４４Ａ１号明細書 米国特許第８，９５３，２８２号明細書 米国公開２０１５／０００２９６３Ａ１号明細書

この発明の実施形態の課題は、記録密度の向上を図ることが可能な磁気記録ヘッドおよびディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、磁気記録ヘッドは、空気支持面と、前記空気支持面まで延びる先端部を有し、垂直方向の記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極の前記先端部にライトギャップを置いて対向し、前記主磁極とともに磁気コアを構成するライトシールドと、
前記主磁極に形成された第１導電層と、前記ライトギャップ内で前記第１導電層に積層され、鉄、コバルト、ニッケルから選ばれる少なくとも１つを含む磁性金属で形成された調整層と、前記調整層とライトシールドとを電気的に接続する第２導電層と、を有し、前記調整層におけるスピントルクにより前記ライトギャップ内の磁化の向きを反転する透磁率調整素子と、
前記主磁極、透磁率調整素子、およびライトシールドを通して電流を印加するための配線と、を備えている。

図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤ）を示す斜視図。 図２は、前記ＨＤＤにおける磁気ヘッドおよびサスペンションを示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドのヘッド部を拡大して示す断面図。 図４は、前記磁気ヘッドの記録ヘッドを模式的に示す斜視図。 図５は、前記記録ヘッドのＡＢＳ側端部を拡大して示すトラックセンターに沿った断面図。 図６は、前記記録ヘッドの発生磁界を模式的に示す図。 図７は、前記記録ヘッドの透磁率調整素子の高さＴ１と記録磁界強度との関係を示す図。 図８は、第１変形例に係るＨＤＤの記録ヘッドのＡＢＳ側端部を拡大して示すトラックセンターに沿った断面図。

以下図面を参照しながら、実施形態に係るディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

（第１の実施形態）
図１は、ディスク装置として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）のトップカバーを取り外して内部構造を示し、図２は、浮上状態の磁気ヘッドを示している。図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、複数のねじによりベース１２にねじ止めされてベース１２の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁の周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有している。トップカバーは、複数のねじによりベース１２にねじ止めされ、ベース１２の上端開口を閉塞する。

筐体１０内には、記録媒体として、例えば２枚の磁気ディスク１６、および磁気ディスク１６を支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ１８が設けられている。スピンドルモータ１８は、底壁１２ａ上に配設されている。各磁気ディスク１６は、上面および下面に磁気記録層を有している。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２７によりクランプされ、ハブに固定されている。これにより、磁気ディスク１６は、ベース１２の底壁１２ａと平行に位置した状態に支持されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８により所定の速度で回転される。

筐体１０内に、磁気ディスク１６に対して情報の記録、再生を行なう複数の磁気ヘッド１７、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ２２が設けられている。また、筐体１０内に、キャリッジアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１６の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、キャリッジアッセンブリ２２を退避位置に保持するラッチ機構２６、および変換コネクタ等の電子部品が実装されたフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）ユニット２１が設けられている。
ベース１２の外面には、図示しない制御回路基板がねじ止めされ、底壁１２ａと対向して位置している。制御回路基板は、スピンドルモータ１８の動作を制御するとともに、ＦＰＣユニット２１を介してＶＣＭ２４、および磁気ヘッド１７の動作を制御する。

キャリッジアッセンブリ２２は、ベース１２の底壁１２ａ上に固定された軸受部２８と、軸受部２８から延出した複数のアーム３２と、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３４と、を備えている。サスペンション３４は、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム３２の先端に固定され、アーム３２から延出している。各サスペンション３４の延出端に磁気ヘッド１７が支持されている。これらのサスペンション３４および磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６を間に挟んで互いに向かい合っている。

図２に示すように、各磁気ヘッド１７は、浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体形状のスライダ４２とこのスライダ４２の流出端（トレーリング端）に設けられた記録再生用のヘッド部４４とを有している。磁気ヘッド１７は、サスペンション３４の先端部に設けられたジンバルばね４１に固定されている。各磁気ヘッド１７は、サスペンション３４の弾性により、磁気ディスク１６の表面に向かうヘッド荷重Ｌが印加されている。図１および図２に示すように、各磁気ヘッド１７は、サスペンション３４およびアーム３２上に固定された配線部材３５、および中継ＦＰＣ３７を介してＦＰＣユニット２１に電気的に接続されている。

次に、磁気ディスク１６および磁気ヘッド１７の構成について詳細に説明する。図３は、磁気ヘッド１７のヘッド部４４および磁気ディスク１６を拡大して示す断面図である。
図１ないし図３に示すように、磁気ディスク１６は、例えば、直径約２．５インチ（６．３５ｃｍ）の円板状に形成され非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の各表面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、その上層部に、ディスク面に対して垂直方向に磁気異方性を有する磁気記録層１０３と、その上層部に保護膜層１０４とが順に積層されている。

図２および図３に示すように、磁気ヘッド１７のスライダ４２は、例えば、アルミナとチタンカーバイドの焼結体（アルチック）で形成され、ヘッド部４４は薄膜を積層することにより形成されている。スライダ４２は、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状のディスク対向面（空気支持面（ＡＢＳ））４３を有している。スライダ４２は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とＡＢＳ４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ｂと一致している。スライダ４２は、磁気ディスク１６の表面に対し、ＡＢＳ４３の長手方向が空気流Ｃの方向とほぼ一致するように配置されている。

スライダ４２は、空気流Ｃの流入側に位置するリーディング端４２ａおよび空気流Ｃの流出側に位置するトレーリング端４２ｂを有している。スライダ４２のＡＢＳ４３には、図示しないリーディングステップ、トレーリングステップ、サイドステップ、負圧キャビティ等が形成されている。
図３に示すように、ヘッド部４４は、スライダ４２のトレーリング端４２ｂに薄膜プロセスで形成された再生ヘッド５４および記録ヘッド（磁気記録ヘッド）５８を有し、分離型の磁気ヘッドとして形成されている。再生ヘッド５４および記録ヘッド５８は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出する部分を除いて、保護絶縁膜７６により覆われている。保護絶縁膜７６は、ヘッド部４４の外形を構成している。

再生ヘッド５４は、磁気抵抗効果を示す磁性膜５５と、この磁性膜５５のトレーリング側およびリーディング側に磁性膜５５を挟むように配置されたシールド膜５６、５７と、で構成されている。これら磁性膜５５、シールド膜５６、５７の下端は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。記録ヘッド５８は、再生ヘッド５４に対して、スライダ４２のトレーリング端４２ｂ側に設けられている。

図４は、記録ヘッド５８および磁気ディスク１６を模式的に示す斜視図、図５は、記録ヘッド５８の磁気ディスク１６側の端部を拡大して示すトラックセンターに沿った断面図である。
図３ないし図５に示すように、記録ヘッド５８は、磁気ディスク１６の表面に対して垂直方向の記録磁界を発生させる高飽和磁化材料からなる主磁極６０と、主磁極６０のトレーリング側に配置され、主磁極６０直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられた軟磁性材料からなるトレーリングシールド（ライトシールド磁極）６２と、磁気ディスク１６に信号を書き込む際、主磁極６０に磁束を流すために主磁極６０およびトレーリングシールド６２を含む磁気コア（磁気回路）に巻きつくように配置された記録コイル６４と、主磁極６０のＡＢＳ４３側の先端部６０ａとトレーリングシールド６２との間で、かつ、ＡＢＳ４３から離間して配置された透磁率調整素子６５と、を有している。

軟磁性材料で形成された主磁極６０は、磁気ディスク１６の表面およびＡＢＳ４３に対してほぼ垂直に延びている。主磁極６０のＡＢＳ４３側の下端部は、ＡＢＳ４３に向かって先細に、かつ、トラック幅方向にロート状に絞り込まれた絞込み部６０ｂと、この絞込み部６０ｂから磁気ディスク側に延出する所定幅の先端部６０ａと、を有している。先端部６０ａの先端、つまり、下端は、磁気ヘッドのＡＢＳ４３に露出している。先端部６０ａのトラック幅方向の幅は、磁気ディスク１６におけるトラックの幅ＴＷにほぼ対応している。また、主磁極６０は、ＡＢＳ４３に対してほぼ垂直に延び、トレーリング側を向いた、シールド側端面６０ｃを有している。一例では、シールド側端面６０ｃのＡＢＳ４３側の端部は、ＡＢＳ４３に対しシールド側（トレーリング側）に傾斜して延びている。

軟磁性材料で形成されたトレーリングシールド６２は、ほぼＬ字形状に形成されている。トレーリングシールド６２は、主磁極６０の先端部６０ａにライトギャップＷＧを置いて対向する先端部６２ａと、ＡＢＳ４３から離間しているとともに主磁極６０に接続される接続部（バックギャップ部）５０とを有している。接続部５０は非導電体５２を介して主磁極６０の上部、すなわち、ＡＢＳ４３から奥側あるいは上方に離れた上部、に接続されている。

トレーリングシールド６２の先端部６２ａは、細長い矩形状に形成されている。トレーリングシールド６２の下端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部６２ａのリーディング側端面（主磁極側端面）６２ｂは、磁気ディスク１６のトラックの幅方向に沿って延びているとともに、ＡＢＳ４３に対してトレーリング側に傾斜している。このリーディング側端面６２ｂは、主磁極６０の下端部（先端部６０ａおよび絞込み部６０ａの一部）において、主磁極６０のシールド側端面６０ｃとライトギャップＷＧを置いてほぼ平行に対向している。

図５に示すように、透磁率調整素子６５は、ライトギャップＷＧ内において、主磁極６０の先端部６０ａとトレーリングシールド６２との間に設けられ、更に、ＡＢＳ４３から高さＴ１だけ離間して、すなわち、ＡＢＳ４３よりも高い位置に設けられている。透磁率調整素子６５は、主磁極６０からトレーリングシールド６２への磁束の流入のみを抑制する、すなわち、実効的にライトギャップＷＧの透磁率が負になるようスピントルクを発振する機能を有している。

詳細には、透磁率調整素子６５は、導電性を有する中間層（第１非磁性導電層）６５ａと、調整層６５ｂと、導電性を有する伝導キャップ層（第２非磁性導電層）６５ｃと、を有し、これらの層を主磁極６０側からトレーリングシールド６２側に順に積層して、すなわち、磁気ヘッドの走行方向Ｄに沿って順に積層して、構成されている。中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃは、それぞれ主磁極６０のシールド側端面６０ｃと平行な、すなわち、ＡＢＳ４３と交差する方向に延びる膜面をそれぞれ有している。
なお、中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃの積層方向は、上記に限らず、逆向きに、すなわち、トレーリングシールド６２側から主磁極６０側に積層してもよい。

中間層６５ａは、例えば、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｉｒ、ＮｉＡｌ合金、などの金属層で、かつ、スピン伝導を妨げない材料により形成することができる。中間層６５ａは、主磁極６０のシールド側端面６０ｃ上に直接、形成されている。調整層６５ｂは、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる磁性金属、およびそれらの少なくとも一つを含む軟磁性金属合金により形成することができる。伝導キャップ層６５ｃは、非磁性金属で、かつスピン伝導を遮断する材料を用いることができる。伝導キャップ層６５ｃは、例えば、Ｔａ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｍｏから選ばれる少なくとも一つ、あるいは少なくとも一つを含む合金により形成することができる。伝導キャップ層６５ｃは、トレーリングシールド６２のリーディング側端面６２ｂ上に直接、形成される。

中間層６５ａは、主磁極６０からのスピントルクを伝達しつつ、交換相互作用が十分弱くなる程度の膜厚、例えば、１〜５ｎｍの膜厚に形成されている。伝導キャップ層６５ｃは、トレーリングシールド６２からのスピントルクを遮断しつつ、かつ、交換相互作用が十分弱くなる程度の膜厚、例えば、１ｎｍ以上の膜厚があればよい。

調整層６５ｂは、主磁極６０からのスピントルクにより、磁化の向きが磁場と逆向きになる必要があるため、調整層６５ｂの飽和磁束密度は小さいほうがよい。その反面、調整層６５ｂにより磁束を実効的に遮蔽するためには、調整層６５ｂの飽和磁束密度は大きいほうがよい。ライトギャップＷＧ間の磁界は１０〜１５ｋＯｅ程度であるため、調整層６５ｂの飽和磁束密度を１．５Ｔ程度以上としても改善効果は向上しにくい。これらのことから、調整層６５ｂの飽和磁束密度は、１．５Ｔ以下であることが望ましく、より具体的には、調整層６５ｂの膜厚と飽和磁束密度との積が２０ｎｍＴ以下となるように形成することが望ましい。

また、透磁率調整素子６５の調整層６５ｂは、主磁極６０とトレーリングシールド６２の間（ライトギャップＷＧ）において、任意の場所に形成することができる。しかしながら、調整層６５ｂをスライダのＡＢＳ４３の近傍に形成すると、記録磁界に影響を与えてしまうため、透磁率調整素子６５は、ライトギャップＷＧ内において、ＡＢＳ４３から上方に離れた位置に設けられていることが望ましい。より具体的には、透磁率調整素子６５の調整層６５ｂのＡＢＳ４３側の端とＡＢＳ４３との距離（高さＴ１）が、磁気ヘッドの走行方向Ｄに沿ったライトギャップの幅ＷＧよりも長くなる位置（Ｔ１＞ＷＧ）に設けられていることが望ましい。

中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃの膜面に垂直な方向に電流が集中して流れるようにするため、透磁率調整素子６５の周囲は、主磁極６０およびトレーリングシールド６２に接触している部分を除いて、絶縁層、例えば、保護絶縁膜７６で覆われている。これにより、透磁率調整素子６５とＡＢＳ４３との間にも保護絶縁膜７６ａが設けられ、この保護絶縁膜７６ａの下面はＡＢＳ４３の一部を構成している。

主磁極６０は、Ｆｅ-Ｃｏ合金を主成分とする軟磁性金属合金で形成することができる。この主磁極６０は、中間層６５ａに電流を印加するための電極としての機能を兼ね備えている。トレーリングシールド６２は、Ｆｅ-Ｃｏ合金を主成分とする軟磁性金属合金で形成することができる。このトレーリングシールド６２は、伝導キャップ層６５ｃに電流を印加するための電極としての機能を兼ね備えている。
図３に示すように、主磁極６０およびトレーリングシールド６２は、それぞれ配線６６、給電端子７０、７２、および配線を介して電源７４に接続され、この電源７４から配線６６、主磁極６０、透磁率調整素子６５、トレーリングシールド６２を通して電流Ｉｏｐを直列に通電する電流回路が構成されている。

記録コイル６４は、例えば、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間で、接続部５０の回りに巻付けられている。記録コイル６４は配線７７を介して端子７８に接続され、この端子７８に第２電源８０が接続されている。第２電源８０から記録コイル６４に供給する記録電流Ｉｗは、ＨＤＤの制御部によって制御される。磁気ディスク１６に信号を書き込む際、第２電源８０から記録コイル６４に所定の記録電流Ｉｗが供給され、主磁極６０に磁束を流し記録磁界を発生させる。

以上のように構成されたＨＤＤによれば、ＶＣＭ２４を駆動することにより、キャリッジアッセンブリ２２が回動し、磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動され、位置決めされる。また、図２に示すように、磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とＡＢＳ４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。ＨＤＤの動作時、スライダ４２のＡＢＳ４３はディスク表面に対し隙間を保って対向している。この状態で、磁気ディスク１６に対して、再生ヘッド５４により記録情報の読み出しを行うとともに、記録ヘッド５８により情報の書き込みを行う。

図６は、透磁率調整素子６５が機能している状態での、ライトギャップＷＧ内の磁化状態を模式的に示している。
上記情報の書き込みにおいては、図３および図６に示すように、電源８０から記録コイル６４に交流電流を流すことにより、記録コイル６４により主磁極６０を励磁し、この主磁極６０から直下の磁気ディスク１６の記録層１０３に垂直方向の記録磁界を印加する。これにより、磁気記録層１０３に所望のトラック幅にて情報を記録する。

また、磁気ディスク１６に記録磁界を印加する際、電源７４から配線６６、主磁極６０、透磁率調整素子６５、トレーリングシールド６２を通して電流Ｉｏｐが印加される。この電流印加により、透磁率調整素子６５の調整層６５ｂに対して主磁極６０からスピントルクが作用し、調整層６５ｂの磁化の向きは、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間に生じる磁界（ギャップ磁界）Ｈｇａｐの向きと反対方向に向けられる。この磁化反転により、調整層６５ｂは、主磁極６０からトレーリングシールド６２に直接的に流れる磁束（ギャップ磁界Ｈｇａｐ）を遮蔽する効果が生じる。結果として、主磁極６０からライトギャップＷＧに漏れ出る磁界が低減し、主磁極６０の先端部６０ａから磁気ディスク１６の磁気記録層１０３に向かう磁束の収束度が向上する。これにより、記録磁界の分解能が向上し、記録線密度の増大を図ることができる。

図７は、透磁率調整素子６５とＡＢＳ４３との間の距離（高さＴ１）と、記録磁界強度との関係を示す図である。図７では、透磁率調整素子が設けられていない場合の記録磁界Ｃを基準として、調整層６５ｂと主磁極６０の磁化の向きが同じ場合の記録磁界Ａ、および調整層６５ｂと主磁極６０の磁化の向きが逆向きの場合（本実施形態）の記録磁界Ｂの変化を示している。この図から、調整層６５ｂと主磁極６０の磁化の向きが同じ場合、記録磁界Ａは、透磁率調整素子６５の高さＴ１に係わらず、基準記録磁界Ｃよりも小さいことが分る。これに対して、本実施形態にように、調整層６５ｂと主磁極６０の磁化の向きが逆向きの場合、透磁率調整素子６５の配設位置を高さ方向に移動させて行くと、すなわち、ＡＢＳからの距離（高さＴ１）を大きくしていくと、記録磁界Ｂの改善が増大していく。一方、距離（高さＴ１）がトレーリングシールド６２と主磁極６０との間の距離を超えると、記録磁界への寄与が大きい主磁極の先端部６０ａへの影響が減少するため、記録磁界Ｂが減少した。このことから、透磁率調整素子６５の配設位置の高さＴ１は、ライトギャップＷＧの幅とほぼ同等であることが望ましい。しかし、図７から、いずれの高さ位置においても、記録磁界Ｂが基準の記録磁界Ｃよりも増大し、改善していることが解る。

以上のように構成された第１の実施形態によれば、記録ヘッド５８において、ライトギャップＷＧに設けられた透磁率調整素子６５は、主磁極６０からトレーリングシールド６２への磁束の直接的な流入を抑制する、実効的にギャップの透磁率が負になるよう作用する。具体的には、透磁率調整素子６５は、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間に設けられ、スピントルクにより磁化の向きがギャップ磁界と逆に向くように構成されている。これにより、ライトギャップＷＧを狭く保ったまま、主磁極６０からトレーリングシールド６２に流失する磁束を、磁気ディスク（記録媒体）１６に向けることができる。従って、第１の実施形態によれば、記録密度の向上を図ることが可能な磁気記録ヘッドおよびディスク装置を得ることができる。

次に、変形例に係るＨＤＤの磁気記録ヘッドについて説明する。なお、以下に説明する変形例において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。
（第１変形例）
図８は、第１変形例に係るＨＤＤの記録ヘッドのＡＢＳ側端部を拡大して示すトラックセンターに沿った断面図。透磁率調整素子６５の中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃの積層順は、前述した第１の実施形態と逆でもよい。図９に示すように、第１変形例によれば、透磁率調整素子６５の中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃは、トレーリングシールド６２側から主磁極６０側に順に積層されている。中間層６５ａは、トレーリングシールド６２のリーディング側端面６２ｂ上に直接、形成される。伝導キャップ層６５ｃは、主磁極６０のシールド側端面６０ｃ上に直接、形成されている。中間層６５ａ、調整層６５ｂ、伝導キャップ層６５ｃの形成材料、膜厚等は、前述した第１の実施形態と同様である。
このように構成された第１変形例においても、前述した第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

本発明は上記実施形態あるいは変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
例えば、ヘッド部を構成する要素の材料、形状、大きさ等は、必要に応じて変更可能である。また、磁気ディスク装置において、磁気ディスクおよび磁気ヘッドの数は、必要に応じて増加可能であり、磁気ディスクのサイズも種々選択可能である。

１０…筺体、１２…ベース、１６…磁気ディスク、１８…スピンドルモータ、
２２…キャリッジアッセンブリ、４２…スライダ、４３…空気支持面（ＡＢＳ）、
４４…ヘッド部、５４…再生ヘッド、５８…記録ヘッド、６０…主磁極、
６０ｃ…シールド側端面、６２…トレーリングシールド（ライトシールド）、
６２ｂ…リーディング側端面、６４…記録コイル、６５…透磁率調整素子、
６５ａ…中間層、６５ｂ…調整層、６５ｃ…キャップ層

Claims (7)

1. 空気支持面と、
   前記空気支持面まで延びる先端部を有し、垂直方向の記録磁界を発生する主磁極と、
   前記主磁極の前記先端部にライトギャップを置いて対向し、前記主磁極とともに磁気コアを構成するライトシールドと、
   前記主磁極に形成された第１導電層と、前記ライトギャップ内で前記第１導電層に積層され、鉄、コバルト、ニッケルから選ばれる少なくとも１つを含む磁性金属で形成された調整層と、前記調整層とライトシールドとを電気的に接続する第２導電層と、を有し、前記調整層におけるスピントルクにより前記ライトギャップ内の磁化の向きを反転する透磁率調整素子と、
   前記主磁極、透磁率調整素子、およびライトシールドを通して電流を印加するための配線と、
   を備える磁気記録ヘッド。
2. 前記調整層は、前記ライトギャップ内で前記空気支持面から離間して設けられ、前記調整層と空気支持面との間に絶縁層が設けられている請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
3. 前記空気支持面と前記調整層との間隔は、ヘッド走行方向に沿った前記ライトギャップの幅と等しい請求項２に記載の磁気記録ヘッド。
4. 前記第１導電層は、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｉｒ、ＮｉＡｌ合金から選ばれる少なくとも１つを含む金属層で形成された中間層を含み、
   前記第２導電層は、Ｔａ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｍｏから選ばれる少なくとも一つ、あるいは少なくとも一つを含む合金により形成されたキャップ層を含んでいる請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気記録ヘッド。
5. 前記第１導電層は、Ｔａ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｍｏから選ばれる少なくとも一つ、あるいは少なくとも一つを含む合金により形成されたキャップ層を含み、
   前記第２導電層は、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｉｒ、ＮｉＡｌ合金から選ばれる少なくとも１つを含む金属層で形成された中間層を含んでいる請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気記録ヘッド。
6. 前記調整層の膜厚は１から５ｎｍであり、
   前記調整層の膜厚と飽和磁束密度との積が２０ｎｍＴ以下である請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気記録ヘッド。
7. 磁気記録層を有する回転自在なディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体に対し情報を記録する請求項１から６のいずれか１項に記載の磁気記録ヘッドと、
   を備えるディスク装置。

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