JP2019046513A - 磁気ヘッドおよびこれを備えるディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】再生信号品質の劣化を抑制し、高記録密度化が可能な磁気ヘッドおよびこれを備えたディスク装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気ヘッドは、主磁極６０と、主磁極とライトギャップＷＧを挟んで対向するライトシールド６２と、主磁極のトラック幅方向の両サイドにギャップを置いて配置されたサイドシールド６３と、ライトギャップ内で主磁極とライトシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第１層８０と、主磁極とサイドシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第２層８２と、を有している。第１層８０は、第２層８２の比透磁率よりも小さい比透磁率を有している。【選択図】図６

Description

この発明の実施形態は、磁気ヘッドおよびこれを備えるディスク装置に関する。

ディスク装置として、磁気ディスクドライブは、ケース内に配設されたディスク状の記録媒体、すなわち、磁気ディスクと、磁気ディスクに対して情報のリード／ライトを行う磁気ヘッドと、を備えている。磁気ヘッドは、例えば、記録ヘッドおよび再生ヘッド（再生素子）を含んでいる。記録ヘッドは、記録磁界を発生する主磁極と、主磁極のギャップを置いて対向するライトシールドおよびサイドシールドと、を有している。

このような記録ヘッドにおいて、記録分解能（記録密度）は、主磁極とシールドとの間の距離（ギャップ長）に大きく影響される。近年、高記録密度化に向けて、ギャップ長が小さくなる傾向にある。しかしながら、ギャップ長が小さくなると、主磁極から発生する磁界によライトシールドが磁気的に飽和してしまい、シールドとしての機能を果たせなくなる。この場合、逆に記録ヘッドの記録分解能、記録密度が劣化する。

特開平８−９６３２５号公報 米国特許出願公開第２０１１／０２６８９９１号明細書 米国特許出願公開第２０１１／００７５２９４号明細書

この発明の実施形態の課題は、シールドの飽和を抑制し、記録密度の向上を図ることが可能な磁気記録ヘッド、およびこれを備える磁気ディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、磁気ヘッドは、記録磁界を発生る主磁極と、前記主磁極とライトギャップを挟んで対向するライトシールドと、前記主磁極のトラック幅方向の両サイドにギャップを置いて配置されたサイドシールドと、前記ライトギャップ内で前記主磁極とライトシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第１層と、前記主磁極とサイドシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第２層と、を備えている。前記第１層は、前記第２層の比透磁率よりも小さい比透磁率を有している。

図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）を概略的に示すブロック図。 図２は、前記ＨＤＤにおける磁気ヘッド、サスペンション、磁気ディスクを示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドのヘッド部を拡大して示す断面図。 図４は、前記磁気ヘッドにおける記録ヘッドの主要構成要素を一部破断して示す斜視図。 図５は、前記記録ヘッドの先端部を拡大して示す断面図。 図６は、前記記録ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図７は、前記記録ヘッドおよび比較例に係る磁気ヘッドにおける、ギャップ長と記録密度との関係を示す図。 図８は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図９は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドをＡＢＳ側から見た平面図。 図１０は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドの先端部を拡大して示す断面図。

以下図面を参照しながら、実施形態に係るディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

（第１の実施形態）
ディスク装置として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤを概略的に示すブロック図、図２は、浮上状態の磁気ヘッドおよび磁気ディスクを示す側面図である。
図１に示すように、ＨＤＤ１０は、矩形状の筐体１１と、筐体１１内に配設された記録媒体としての磁気ディスク１２と、磁気ディスク１２を支持および回転するスピンドルモータ２１と、磁気ディスク１２に対してデータの書込み（ライト）、読出し（リード）を行う複数の磁気ヘッド１６と、を備えている。また、ＨＤＤ１０は、磁気ヘッド１６を磁気ディスク１２上の任意のトラック上に移動するとともに位置決めするヘッドアクチュエータ１８を備えている。ヘッドアクチュエータ１８は、磁気ヘッド１６を移動可能に支持するキャリッジアッセンブリ２０と、このキャリッジアッセンブリ２０を回動させるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２２とを含んでいる。

ＨＤＤ１０は、ヘッドアンプＩＣ３０と、メインコントローラ３２と、ドライバＩＣ３７と、を備えている。ヘッドアンプＩＣ３０は、例えば、キャリッジアッセンブリ２０に設けられ、磁気ヘッド１６に電気的に接続されている。メインコントローラ３２およびドライバＩＣ３７は、例えば、筐体１１の背面側に設けられた図示しない制御回路基板に構成されている。メインコントローラ３２は、Ｒ／Ｗチャネル３３と、ハードディスクコントローラ（ＨＤＣ）３４と、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）３６と、を備えている。メインコントローラ３２は、ヘッドアンプＩＣ３０を介して磁気ヘッド１６に電気的に接続されている。また、メインコントローラ３２は、ドライバＩＣ３７を介して、ＶＣＭ２２及びスピンドルモータ２１に電気的に接続されている。ＨＤＣ３４は、ホストコンピュータ３８に接続可能である。

図１および図２に示すように、磁気ディスク１２は、垂直磁気記録媒体として構成されている。磁気ディスク１２は、例えば、直径約２．５インチ（６．３５ｃｍ）の円板状に形成され非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の各表面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、その上層部に、磁気ディスク１２の表面に対して垂直方向に磁気異方性を有する垂直磁気記録層１０３と、保護膜１０４とが順次積層されている。磁気ディスク１２は、スピンドルモータ２１のハブに互いに同軸的に嵌合されている。磁気ディスク１２は、スピンドルモータ２１により所定の速度で矢印Ｂ方向に回転される。

キャリッジアッセンブリ２０は、筐体１１に回動自在に固定された軸受部２４と、軸受部２４から延出した複数のサスペンション２６と、を有している。図２に示すように、磁気ヘッド１６は、各サスペンション２６の延出端に支持されている。磁気ヘッド１６は、キャリッジアッセンブリ２０に設けられた配線部材２８を介して、ヘッドアンプＩＣ３０に電気的に接続されている。

図２に示すように、磁気ヘッド１６は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ４２と、スライダ４２の流出端（トレーリング）側の端部に形成された記録再生用のヘッド部４４とを有している。スライダ４２は、例えば、アルミナとチタンカーバイドの焼結体（アルチック）で形成されている。ヘッド部４４は複数の薄膜を積層することにより形成されている。磁気ヘッド１６は、サスペンション２６の先端部に設けられたジンバルばね４１に固定されている。

スライダ４２は、磁気ディスク１２の表面に対向する矩形状のディスク対向面（媒体対向面、空気支持面（ＡＢＳ））４３を有している。スライダ４２は、磁気ディスク１２の回転によってディスク表面とＡＢＳ４３との間に生じる空気流Ｃにより、磁気ディスク１２の表面から所定量浮上した状態に維持される。空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１２の回転方向Ｂと一致している。スライダ４２は、空気流Ｃの流入側に位置するリーディング端４２ａおよび空気流Ｃの流出側に位置するトレーリング端４２ｂを有している。磁気ディスク１２の回転に伴い、磁気ヘッド１６は、磁気ディスク１２に対して矢印Ａ方向（ヘッド走行方向）、すなわち、ディスクの回転方向Ｂと反対の方向、に走行する。

図３は、ヘッド部４４を拡大して示す断面図である。図３に示すように、ヘッド部４４は、スライダ４２のトレーリング端４２ｂに薄膜プロセスで形成された再生ヘッド（リードヘッド）５４および記録ヘッド５８を有し、分離型の磁気ヘッドとして形成されている。リードヘッド５４および記録ヘッド５８は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出する部分を除いて、非磁性の保護絶縁膜５３により覆われている。保護絶縁膜５３は、ヘッド部４４の外形を構成している。

リードヘッド５４は、磁気抵抗効果を示す磁性膜５５と、この磁性膜のトレーリング側およびリーディング側に磁性膜５５を挟むように配置されたシールド膜５６、５７と、で構成されている。これら磁性膜５５、シールド膜５６、５７の下端は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。

記録ヘッド５８は、リードヘッド５４に対して、スライダ４２のトレーリング端４２ｂ側に設けられている。図４は、記録ヘッドの主要構成要素を一部破断して示す斜視図、図５は、記録ヘッドの先端部を拡大して示す断面図、図６は、ＡＢＳ側から見た記録ヘッドを拡大して示す平面図である。
図３および図４に示すように、記録ヘッド５８は、高飽和磁束密度材料からなる主磁極６０と、軟磁性材料からなるトレーリングシールド（ライトシールド）６２と、一対のサイドシールド６３と、リーディングシールド６４と、を有している。主磁極６０は、磁気ディスク１２の表面に対して垂直方向の記録磁界を発生させる。トレーリングシールド６２は、主磁極６０のトレーリング側にライトギャップＷＧ（ダウントラック方向Ｄのギャップ長）を置いて配置され、主磁極６０直下の軟磁性層１０２を介して効率的に磁路を閉じるために設けられている。一対のサイドシールド６３は、主磁極６０のトラック幅方向ＴＷの両側にそれぞれサイドギャップＳＧを置いて対向配置されている。リーディングシールド６４は、主磁極６０のリーディング側にギャップを置いて配置されている。本実施形態において、サイドシールド６３およびリーディングシールド６４は、軟磁性材料により一体に形成してもよい。

トレーリングシールド６２は、ほぼＬ字形状に形成され、主磁極６０に接続される第１接続部５０を有している。第１接続部５０は非導電体５２を介して主磁極６０の上部、すなわち、ディスク対向面４３から離れた上部（バックギャップ）に接続されている。リーディングシールド６４は、磁気ディスク１２から離間した位置（バックギャップ）で非導電体（絶縁体）６９を介して主磁極６０に接合された第１接続部６８を有している。この第１接続部６８は、例えば、軟磁性体で形成され、主磁極６０およびリーディングシールド６４とともに磁気回路を形成している。また、第１接続部６８の位置で、主磁極６０とリーディングシールド６４とは絶縁体６９により電気的に絶縁されている。

記録ヘッド５８は、主磁極６０に磁束を流すための第１記録コイル７０および第２記録コイル７２を有している。第１記録コイル７０は、主磁極６０およびトレーリングシールド６２を含む第１磁気コアに巻き付くように配置され、第２記録コイル７２は、主磁極６０およびリーディングシールド６４を含む第２磁気コアに巻き付くように配置されている。第１記録コイル７０および第２記録コイル７２にはそれぞれ端子９５、９６が接続され、これらの端子９５、９６に記録電流回路９７が接続されている。第２記録コイル７２は、第１記録コイル７０と直列に接続されている。磁気ディスク１２に信号を書き込む際、記録電流回路９７から第１記録コイル７０および第２記録コイル７２に所定の電流が供給され、主磁極６０に磁束を流し磁界を発生させる。

図３ないし図６に示すように、主磁極６０は、磁気ディスク１２の表面およびＡＢＳ４３に対してほぼ垂直に延びている。主磁極６０のＡＢＳ４３側の先端部６０ａは、ＡＢＳ４３に向かって先細に（ロート状に）絞り込まれている。主磁極６０の先端部６０ａは、トレーリング端側に位置したトレーリング側端面６０ｃ、トレーリング側端面と対向してリーディング側端面６０ｄ、および両側面６０ｅを有している。主磁極６０の先端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部６０ａにおいて、トレーリング側端面６０ｃは、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対して、傾斜して延びている。両側面６０ｅは、主磁極６０の中心軸線に対して、すなわち、ダウントラック方向Ｄに対して、傾斜して延びている。

トレーリングシールド６２の先端部６２ａは、細長い矩形状に形成されている。トレーリングシールド６２の下端面は、スライダ４２のＡＢＳ４３に露出している。先端部６２ａのリーディング側端面（主磁極側端面）６２ｂは、トラック幅方向ＴＷに沿って延びている。リーディング側端面６２ｂは、ＡＢＳ４３に垂直な方向に対して、傾斜して延びている。リーディング側端面６２ｂは、主磁極６０の先端部６０ａにおいて、主磁極６０のトレーリング側端面６０ｃとライトギャップＷＧを置いてほぼ平行に対向している。なお、主磁極６０のトレーリング側端面６０ｃおよびトレーリングシールド６２のリーディング側端面６２ｂは、ＡＢＳ４３と垂直な方向に延在していてもよい。

本実施形態において、一対のサイドシールド６３は、軟磁性体によりリーディングシールド６４と一体に形成され、リーディングシールド６４からトレーリングシールド６２側に延出している。一対のサイドシールド６３は、主磁極６０のトラック幅方向ＴＷ両側に主磁極６０から物理的に分断し、かつ、リーディングシールド６４と磁気的かつ電気的に接続している。各サイドシールド６３の側面６３ｂは、主磁極６０の側面６０ｅにギャップＳＧを置いてほぼ平行に対向している。サイドシールド６３の先端面は、ＡＢＳ４３に露出している。

図５および図６に示すように、主磁極６０とトレーリングシールド６２の先端部６２ａとの間、主磁極６０とリーディングシールド６４との間、および主磁極６０とサイドシールド６３との間、のスペースには、非磁性の絶縁体、例えば、アルミナ、酸化シリコン等からなる保護絶縁膜７３が設けられている。
本実施形態では、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間のライトギャップＧＷに非磁性あるいは磁性の第１層８０が充填されている。主磁極６０と各サイドシールド６３との間のサイドギャップＳＧに、非磁性あるいは磁性の第２層８２が充填されている。第１層の比透磁率Ａは、第２層８２の比透磁率Ｂよりも小さく、Ａ＜Ｂの関係に設定されている。更に、第１層８０の比透磁率Ａと第２層８２の比透磁率Ｂとの差は、２以上であることが望ましい。第１層８０としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を用いることができる。第２層８２としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を用いることができる。

以上のように構成された磁気ヘッド１６によれば、記録ヘッド５８のシールド間に、比透磁率Ａ＜Ｂの関係を満たす第１層８０および第２層８２を設け、磁気記録時にサイドシールド６３側へ流れる磁束を調整することにより、すなわち、磁束をサイドシールド６３側へ積極的に流れるように調整している。これにより、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間のライトギャップＷＧを狭くしても、主磁極６０からライトシールド６２側に直接、流れる磁束を低減し、ライトシールド６２の磁気的飽和を抑制することができる。従って、ライトシールド６２のシールド機能を維持しつつ、記録密度の向上を図ることが可能となる。

図７は、本実施形態に係る磁気ヘッドおよび比較例に係る磁気ヘッドについて、ライトギャップＷＧの長さと、ダウントラック方向Ｄの記録密度（分解能）ＢＰＩとの関係を測定した結果を示している。なお、比較例の磁気ヘッドは、第１層８０および第２層８２を持たない磁気ヘッド、すなわち、主磁極とライトシールドとの間のギャップ全体に、保護絶縁膜が設けられている磁気ヘッドを用いている。
図に示すように、比較例の磁気ヘッドでは、主磁極とトレーリングシールドとの間の距離（ライトギャップＷＧ）を狭くしていくと、一定距離までは記録密度を改善することが可能であるが、トレーリングシールドが飽和する領域から記録密度を伸ばすことができなくなる。すなわち、ライトギャップＷＧを狭くし過ぎると、トレーリングシールドが磁気的に飽和し、記録密度が劣化する。

これに対して、本実施形態の磁気ヘッドでは、主磁極とトレーリングシールドとの間の距離（ライトギャップＷＧ）が狭くしても、その分だけ、記録密度が向上することが分かる。サイドシールドへ磁束を逃がすことができ、記録密度を改善することができる。
以上のことから、本実施形態によれば、シールドの飽和を抑制し、記録密度の向上を図ることが可能な磁気記録ヘッド、およびこれを備える磁気ディスク装置が得られる。
なお、記録ヘッドの第１層および第２層は、比透磁率Ａ＜Ｂの関係に設定されていればよく、上述した第１の実施形態に限らず、種々の材料を選択可能である。

次に、他の実施形態に係る磁気ヘッドおよびディスク装置について説明する。以下に説明する他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。

（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態に係る記録ヘッドの先端部をＡＢＳ側から見た記録ヘッドの平面図である。本実施形態では、記録ヘッド５８の主磁極６０とトレーリングシールド６２との間に充填された第１層８０は、周囲の保護絶縁膜７３と同層で形成され、その比透磁率Ａは、１としている。主磁極６０と各サイドシールド６３との間のサイドギャップＳＧに充填された第２層８２は、比透磁率Ｂが１よりも高い磁性層あるいは弱磁性層で形成されている。第２層８２としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉを用いることができる。第１層８０の比透磁率Ａと第２層８２の比透磁率Ｂとの差は、２以上であることが望ましい。第２の実施形態において、記録ヘッド５８の他の構成、および磁気ヘッドの他の構成は、前述した第１の実施形態と同様である。

以上のように構成された磁気ヘッドによれば、記録ヘッド５８のシールド間に、比透磁率Ａ＜Ｂの関係を満たす第１層８０および第２層８２を設け、磁気記録時にサイドシールド６３側へ流れる磁束を増加させている。これにより、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間のライトギャップＷＧを狭くしても、主磁極６０からライトシールド６２側に直接、流れる磁束を低減し、ライトシールド６２の磁気的飽和を抑制することができる。従って、ライトシールド６２のシールド機能を維持しつつ、記録密度の向上を図ることが可能となる。

（第３の実施形態）
図９は、第３の実施形態に係る記録ヘッドの先端部をＡＢＳ側から見た記録ヘッドの平面図、図１０は、第３の実施形態に係る記録ヘッドの先端部を示す断面図である。
第３の実施形態では、記録ヘッド５８の主磁極６０とトレーリングシールド６２との間のライトギャップＷＧに充填された第１層８０は、複数の導電層を積層して構成された磁束制御層を用いている。磁束制御層は、例えば、主磁極６０側からトレーリングシールド６２に向かって、順に積層された第１制御層８０ａ、第２制御層８０ｂ、第３制御層８０ｃを有している。第１制御層８０ａは、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｉｒ、ＮｉＡｌ合金などの金属相で、かつ、スピン伝導を妨げない物質を使うことができる。第２制御層８０ｂは、金属層を含み、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる磁性金属、およびそれらの少なくとも１つを含む軟磁性金属合金を用いることができる。第３制御層８０ｃは、非磁性金属で、かつスピン伝導を遮断する材料を用いることができる。具体的には、Ｔａ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｍｏから選ばれる少なくとも１つ、あるいは少なくとも１つを含む合金により形成することができる。第１制御層８０ａと第３制御層８０ｃの積層順番は逆でも構わない。
主磁極６０の先端部６０ａとトレーリングシールド６２の先端部６２ａとは、磁束制御層８０を介して電気的に導通している。
主磁極６０と各サイドシールド６３との間のサイドギャップＳＧに第２層８２が充填されている。第２層８２としては、例えば、アルミナ等を用いることができる。

図１０に示すように、主磁極６０およびトレーリングシールド６２に通電するための、接続端子９０、９１がそれぞれ主磁極６０およびトレーリングシールド６２に接続されている。ＨＤＤの制御部は、接続端子９０、９１に接続された電源９４を有している。接続端子９０、主磁極６０、磁束制御層８０、トレーリングシールド６２、接続端子９１を通して通電可能な電気回路を構成している。
電源９４から主磁極６０およびトレーリングシールド６２を介して磁束制御層８０に通電すると、磁束制御層８０は、主磁極６０からトレーリングシールド６２への磁束と逆向きに磁束を発生させる。その結果、磁束制御層８０の比透磁率Ａは、空気の比透磁率よりも低下し、実質的に第２層８２の比透磁率Ｂよりも低下する。従って、比透磁率は、Ａ＜Ｂの関係となる。

第３の実施形態において、記録ヘッド５８および磁気ヘッドの他の構成は、前述した第１の実施形態における磁気ヘッドおよび記録ヘッドと同様である。上記第３の実施形態においても、磁気記録時にサイドシールド６３側へ流れる磁束を増加させている。これにより、主磁極６０とトレーリングシールド６２との間のライトギャップＷＧを狭くしても、主磁極６０からライトシールド６２側に直接、流れる磁束を低減し、ライトシールド６２の磁気的飽和を抑制することができる。従って、ライトシールド６２のシールド機能を維持しつつ、記録密度の向上を図ることが可能となる。
なお、磁束制御層の形成材料は、上述した実施形態に限定されることなく、種々の導電層を選択可能である。磁束制御層は、３層に限定されることなく、２層あるいは４層以上としてもよい。

本発明は上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
例えば、磁気記録ヘッドにおいて、リーディングシールドは省略可能である。ディスク装置を構成する要素の材料、形状、大きさ等は、上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて種々変更可能である。

１０…磁気ディスク装置（ＨＤＤ）、 １２…磁気ディスク、１６…磁気ヘッド、
４２…スライダ、４３…空気支持面（ＡＢＳ）、４４…ヘッド部、５４…リードヘッド、
５８…記録ヘッド、６０…主磁極、６２…トレーリングシールド、
６３…サイドシールド、６４…リーディングシールド、７３…保護絶縁膜、
８０…第１層（磁束制御層）、８２…第２層、ＷＧ…ライトギャップ、
ＳＧ…サイドギャップ

Claims (9)

1. 記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極とライトギャップを挟んで対向するライトシールドと、前記主磁極のトラック幅方向の両サイドにギャップを置いて配置されたサイドシールドと、前記ライトギャップ内で前記主磁極とライトシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第１層と、前記主磁極とサイドシールドとの間に設けられた磁性あるいは非磁性の第２層と、を備え、
   前記第１層は、前記第２層の比透磁率よりも小さい比透磁率を有している磁気ヘッド。
2. 前記第１層の比透磁率と前記第２層の比透磁率との差は、２以上である請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 前記第１層は、非磁性層で形成され、前記第２層は、空気に対する比透磁率が１よりも大きい磁性層または弱磁性層で形成されている請求項１又は２に記載の磁気ヘッド。
4. 前記主磁極と前記ライトシールドとの間、および前記主磁極とサイドシールドとの間に充填された絶縁膜を更に備え、
   前記第１層は、前記絶縁膜により形成されている請求項１又は２に記載の磁気ヘッド。
5. 前記第１層は、複数の導電層を積層して形成された磁束制御層を有し、前記磁束制御層は、通電することにより、空気よりも小さい比透磁率を有する請求項１又は２に記載の磁気ヘッド。
6. 前記主磁極、前記磁束制御層、および前記ライトシールドを通して通電するための接続端子を更に備えている請求項５に記載の磁気ヘッド。
7. 前記磁束制御層は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉからなる群から選択された少なくとも１つの元素を含む第１制御層と、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕからなる群から選択された少なくとも１つの元素を含み、前記第１制御層に積層された第２制御層と、を有している請求項５に記載の磁気ヘッド。
8. ディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体に対して情報を記録する請求項１から７のいずれか１項に記載の磁気ヘッドと、
   を備えるディスク装置。
9. 前記記録媒体は、軟磁性層と、前記軟磁性層の上に設けられ、記録媒体面に対して垂直な磁気異方性を有する磁気記録層と、を備えている請求項８に記載のディスク装置。

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