JP2019052934A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
Description
また、分光器は、入射スリット、回折格子、およびラインセンサの取り付け精度、温度や湿度に対する寸法や位置の安定性の確保等が必要であり、回折格子等の光学素子が高価であるのみならず組立、調整などの製造コストも高価である。
このように、特許文献1に記載の技術における共焦点変位計は、色収差の大きな対物レンズや分光器によってコストがアップしていた。また、特許文献1に記載の技術では、光源、色収差の大きな対物レンズ、波長を検出する分光器がそれぞれ独立しているため、変位計の小型化が難しいという課題もあった。
図1は、本実施形態に係る変位センサ10の構成例を示す図であり、z軸の+側から見た図である。なお、図1では、反射光を省略して示している。図2は、本実施形態に係る変位センサの構成例を示す図であり、y軸の−側から見た図である。
なお、本実施形態では、光源1、第1のシリンドリカルレンズ2、第2のシリンドリカルレンズ3、およびスリット4を線状光源100という。また、図1において、結像レンズ7の光軸方向をx軸方向、x軸方向に垂直な方向をy軸方向とする。また、xy平面に垂直な方向をz軸方向とする。なお、測定対象物9は、変位センサ10の光軸であり結像レンズ7の光軸であるx軸に対して垂直に置かれる。
光源1、第1のシリンドリカルレンズ2、第2のシリンドリカルレンズ3、およびスリット4で構成される線状光源100は、このように、線状の光を出射する。そして、結像レンズ7には、線状光源100が出射した線状の光が入射する。
図3において、符号1aは、光源1が出射した平行光のレーザー光である。レーザー光1aは、第1のシリンドリカルレンズ2によって、符号2aに示すようにz軸方向に線上に集光される。そして、位置2aの光は、第2のシリンドリカルレンズ3によって、y軸方向に線上に集光されてスリット領域41に集光される。
焦点の位置2aから広がった光束は、第2のシリンドリカルレンズ3に入射する。ここで、第2のシリンドリカルレンズ3とスリット4それぞれのx軸に対する傾きは14度である。この傾き角度は、長さ6mm、変位4mm(±2mm)のラインセンサ素子61で検出できるようにした角度であり、14.036度(=tan-1(4/16))に相当している。
スリット4は、第2のシリンドリカルレンズ3の焦点位置に配置されている。ここで、スリット領域41の大きさは、y軸方向が16mm、z軸方向が0.02mmの矩形開口である。このため、第2のシリンドリカルレンズ3からスリット4に入射した光線は、スリット領域41をほぼ透過することができる。
このようにして、結像レンズ7の光軸であるx軸に対して14度傾いた16mm×0.02mmの矩形のスリット光が形成される。
なお、上述した各サイズは一例であり、これに限られない。
スリット4を透過した光は、ビームスプリッター5を半分が透過し、半分が反射する。ビームスプリッター5の光源側に光源1の波長に合わせた反射防止膜が形成されているので、ビームスプリッター5の光源側での面の反射は無視できる。なお、反射光は図示していないが他の部品に反射してラインセンサ6に入射しないように、反射光が進む位置に図示しない反射防止機構、反射防止塗装が設けられていることが好ましい。
このように、本実施形態では、結像レンズ7が、線状光源と共役となる位置に線状光源の像を結像レンズ7の光軸の垂線に対して所定角度の傾きを有して形成している。ここで、共役とは、像を形成する対象と、レンズにより結像される像と、の結像関係である。
図4は、図1における反射光を示す図である。図4に示す例では、測定対象物9と像8との交点が点8aであったとする。
図4に示すように、測定対象物9によって反射した反射光は、結像レンズ7を透過し、ビームスプリッター5によって反射されてラインセンサ6に入射する。この場合、像8とラインセンサ素子61とは共焦点の関係にあり、像8における点8aとラインセンサ素子61における点6aとは、共焦点の関係にある。このため、像8のうち点8aの位置で結像した光は、ラインセンサ素子61の点6aの位置に結像する。像8において点8a以外の位置では焦点がずれているため反射光が弱いので、ラインセンサ素子61に入射する光量が点6aと比較して弱い。
このように、本実施形態では、ラインセンサ6が、結像レンズ7と5ビームスプリッターを介して、結像レンズ7によって形成させる像と共役となる位置に、結像レンズ7の光軸がビームスプリッター5で反射された光軸の垂線に対して所定角度の傾き有して配置されている。
次に、測定対象物9が結像レンズ7の光軸であるx軸に対して垂直ではない場合について、図5を用いて説明する。
図5は、本実施形態に係る測定対象物9が結像レンズ7の光軸であるx軸に対して垂直ではない場合を説明するための図である。図5に示す例では、測定対象物9aがy軸に対して角度がθ傾いている例である。図5において、角度φは、y軸に対する像8の傾きを表し、スリット4の傾きと同様であり、ここでは14度であるとする。
一方、図5に示したように測定対象物9aがx軸に垂直なy軸に対して、光軸との交点を中心に角度がθ傾いているため、像8と測定対象物9aとの交点は、点8bの位置となる。この場合、測定される基準位置Spと測定対象物9aとの変位は、hである。
次に、測定対象物9の表面が紙など繊維状の場合、潜り込みと呼ばれる現象が発生して測定結果に誤差が生じる場合がある。このような場合について、図6と図7を用いて説明する。図6は、潜り込みが発生した場合の反射光の光路例を説明する図である。なお、図6は、光線を測定対象物に照射して、測定対象物からの反射光の角度をラインセンサで測定して測定対象物と変位センサとの距離を測定する三角測量型変位センサの光学系を模式的に表したものである。また、図7は、潜り込みが発生した場合の光量の例を示す図である。図7において、横軸はラインセンサ6内の位置、縦軸は受光強度を表している。
第2変形例の変位センサ10Aの基本構成は、図1の変位センサ10と同様であるが、図8に示すように、ラインセンサ6の直前に第3のシリンドリカルレンズ62をさらに備える。また、スリット4Aのスリット領域41Aの形状は、y方向の幅が16mm、z方向の高さが0.5mm程度の矩形である。そして、スリット4Aの配置を第2のシリンドリカルレンズ3の焦点位置から遠ざけ、光束の大きさがスリット領域41Aの大きさより少し大きくなる位置に配置する。
測定対象物9による反射経路は、図4と同様である。ここで、第3のシリンドリカルレンズ62が無い場合、ラインセンサ素子61に戻ってくる反射光の像の大きさは、16mm×0.5mmであり、ラインセンサ素子61の検出範囲より大きい。ここで、ラインセンサ素子61の検出範囲は、16mm×0.008mmであるとする。
本実施形態では、ラインセンサ6のコントラストを変位センサ10に対して、さらに向上させる例を説明する。
図9は、本実施形態に係る変位センサ10Bの構成例を示す図であり、z軸の+側から見た図である。図9に示すように変位センサ10Bは、光源1、第1のシリンドリカルレンズ2、第2のシリンドリカルレンズ3、スリット4、ビームスプリッター5、ラインセンサ6、結像レンズ7、検出回路20、スリットホイール30、モータ31、およびモータ駆動部22を備える。また、ラインセンサ6は、ラインセンサ素子61を備える。なお、第1実施形態の変位センサ10と同じ機能を有する機能部には、同じ符号を用いて説明を省略する。
スリットホイール30は、複数の螺旋状スリットを備え、モータ31によって回転する。スリットホイール30は、例えば光学ガラスに光を透過しない金属等を蒸着したもので、エッチング等により光を透過する複数の螺旋状のスリットを備える。スリットホイール30は、モータ31の回転軸に取り付けられている。スリットホイール30とx軸とのなす角は、例えば14度である。なお、スリットホイール30の構造例については、図10を用いて後述する。
モータ31は、モータ駆動部22によって回転する。
図10は、本実施形態に係るスリットホイール30の構成例を示す図である。図10に示す例のスリットホイール30は、光を透過する4本の螺旋状スリット30a、30b、30c、30dの部分が形成されていている。
螺旋状スリット30a、30b、30c、30dのスリット幅は、スリット4のスリット領域41の開口の幅とほぼ同等の幅である。螺旋状スリット30a、30b、30c、30dの間隔は、例えば、スリット領域41の開口の長さの1/10になるように設定されている。
また、4本の螺旋状スリット30a、30b、30c、30dは、4回対象になっているので、90度回転するごとに30aが30bのあった位置に、30bが30cのあった位置に30cが30dのあった位置に、30dが30aのあった位置に重なるように形成されている。また、4本の螺旋状スリット30a、30b、30c、30dは、2.5回転で最内周から最外周に到達するように形成されている。
この10か所ある微少開口がスリット領域41の開口の1/10の長さを掃引するのにかかる時間は、スリットホイール30が1/4回転する時間に等しい。このため、ラインセンサ6の露光時間は、その時間の整数倍にするのが望ましい。これにより、微少開口がどこにあっても、露光時間が同一になり場所による輝度変化の発生を防止できる。この結果、本実施形態によれば、合焦点以外からのクロストロークを抑えることができるため、第1実施形態の変位センサ10と比べて大きなコントラストで測定することができる。
また、第2実施形態においても、変位を検出する検出器としてラインセンサ6に替えて、例えばCCD画像センサ、C−MOS画像センサであってもよい。
Claims (6)
- 測定対象物の変位を検出する変位センサであって、
線状の光線を出射する線状光源と、ビームスプリッターと、ラインセンサと、結像レンズとを備え、
前記線状光源は、前記結像レンズの光軸の垂線に対して所定角度の傾きを有して配置され、
前記結像レンズは、前記線状光源と共役となる位置に前記線状光源の像を前記結像レンズの光軸の垂線に対して所定角度の傾きを有して形成し、
前記ビームスプリッターは、前記線状光源と前記結像レンズの間に配置され、
前記ラインセンサは、前記結像レンズと前記ビームスプリッターを介して、前記結像レンズによって形成させる像と共役となる位置に、前記結像レンズの光軸が前記ビームスプリッターで反射された光軸の垂線に対して前記所定角度の傾き有して配置されている、
変位センサ。 - 前記線状光源は、
レーザーと、前記レーザーと前記ビームスプリッターとの間に、前記結像レンズの光軸に垂直に配置される第1のシリンドリカルレンズと、前記第1のシリンドリカルレンズと前記ビームスプリッターとの間に、前記結像レンズの光軸の垂線に対して前記所定角度の傾きを有して配置される第2のシリンドリカルレンズと、前記第2のシリンドリカルレンズと前記ビームスプリッターとの間に、前記前記ビームスプリッターと平行且つ前記結像レンズの光軸の垂線に対して前記所定角度の傾きを有して配置されるスリットと、をさらに備え、
前記レーザーから出射された光線を、前記第1のシリンドリカルレンズと前記第2のシリンドリカルレンズによって平行光を形成し、前記スリットを透過させることで前記線状の光を形成する、請求項1に記載の変位センサ。 - 前記測定対象物と当該変位センサの光軸である前記結像レンズの光軸との傾きを検出する傾斜センサと、
前記傾斜センサで検出した傾きに基づいて、当該変位センサで測定した変位を補正する検出回路と、とさらに備える、請求項1または請求項2に記載の変位センサ。 - 前記ビームスプリッターと前記ラインセンサとの間に、第3のシリンドリカルレンズ、をさらに備え、
前記第3のシリンドリカルレンズは、前記ラインセンサと平行かつ前面に配置される、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の変位センサ。 - 前記線状光源の直後に、複数のスリットが設けられ、前記結像レンズの光軸の垂線に対して前記所定角度の傾きを有して配置されたスリットホイールと、
前記スリットホイールを回転させるモータと、をさらに備え、
前記ラインセンサは、前記スリットホイールの回転による反射光に基づいて前記測定対象物の変位を測定する、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の変位センサ。 - 前記結像レンズは、倍率が1倍の両側テレセントリックレンズである、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の変位センサ。
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