JP2019046919A - レーザ光合成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[1.第1実施形態]
[1−1.構成]
図1に示すレーザ光合成装置1は、被加工材を加工するために、エネルギー分布がガウシアン型の第1レーザ光とエネルギー分布がトップハット型又は環状型の第2レーザ光とを合成した合成レーザ光を生成する装置である。この合成レーザ光を用いた加工としては、切断、溶接、切削、穿孔等が挙げられる。
第1発振器2は、ガウシアン型のエネルギー分布を有するレーザ光を発生させる発振回路2Aと、発振回路2Aに電力を供給する電源2Bとを有する。第2発振器3は、第1発振器2と同様に、ガウシアン型のエネルギー分布を有するレーザ光を発生させる発振回路3Aと、発振回路3Aに電力を供給する電源3Bとを有する。
第1レーザ光伝送路4は、第1発振器2が生成したレーザ光を出力ヘッド6に伝送する。また、第2レーザ光伝送路5は、第2発振器3が生成したレーザ光を出力ヘッド6に伝送する。
出力ヘッド6は、第1レーザ光及び第2レーザ光を合成した合成レーザ光Lを被加工材W1,W2に照射し、溶接等の加工を行う。
第1コリメートレンズ6B及び第2コリメートレンズ6Cは、それぞれ、第1発振器2及び第2発振器3から発生したレーザ光を平行な光束に変換する。
変換部7は、第2発振器3から発生したレーザ光のエネルギー分布をトップハット型又は環状型に変換する。つまり、変換部7は、エネルギー分布がガウシアン型のレーザ光を第2レーザ光に変換する。
変換部7としては、例えば、ビームシェーパ、ディフューザ、ホモジナイザ等が使用できる。また、変換部7としてこれらを組み合わせたものを使用してもよい。
光学素子8は、複数のレーザ光を合成する。具体的には、光学素子8は、エネルギー分布がガウシアン型の第1レーザ光と、エネルギー分布がトップハット型又は環状型の第2レーザ光とを光軸Oが重なる(つまり、一致する)ように合成し、合成レーザ光Lを出力する。
以上詳述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1a)ガウシアン型の第1レーザ光と、トップハット型又は環状型の第2レーザ光との出力を個別に制御して最適化することで、真空チャンバを用いることなく、ポロシティ及びスパッタの発生を抑制しつつ、被加工材に対し深い加工点で小面積の溶融加工が可能なレーザ光を出力することができる。そのため、例えば溶接加工において、加工歪の低減と、小面積で板厚方向に深い溶融接合とを両立することができる。
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されることなく、種々の形態を採り得ることは言うまでもない。
例えば、光学素子8を筐体9内に配置し、筐体9内で合成レーザ光を生成してもよい。この場合、筐体9と出力ヘッド6とは、1つの適切なレーザ光伝送路で接続される。
3…第2発振器、3A…発振回路、3B…電源、4…第1レーザ光伝送路、
5…第2レーザ光伝送路、6…出力ヘッド、6A…集光レンズ、
6B…第1コリメートレンズ、6C…第2コリメートレンズ、7…変換部、
8…光学素子、9…筐体、10…カプラ。
Claims (8)
- レーザ加工用のレーザ光合成装置であって、
複数のレーザ光を合成する光学素子を備え、
前記光学素子は、エネルギー分布がガウシアン型の第1レーザ光と、エネルギー分布がトップハット型又は環状型の第2レーザ光とを光軸が重なるように合成する、レーザ光合成装置。 - 請求項1に記載のレーザ光合成装置であって、
前記光学素子により合成された合成レーザ光を集光する集光レンズを有する出力ヘッドをさらに備え、
前記光学素子は、前記出力ヘッドに格納される、レーザ光合成装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のレーザ光合成装置であって、
前記第2レーザ光は、エネルギー分布が環状型である、レーザ光合成装置。 - 請求項3に記載のレーザ光合成装置であって、
前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを、それぞれのエネルギー分布におけるピークエネルギーの50%以上のエネルギーを有する領域が重ならないように合成する、レーザ光合成装置。 - 請求項4に記載のレーザ光合成装置であって、
前記光学素子は無偏光ビームスプリッタである、レーザ光合成装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のレーザ光合成装置であって、
前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを波長合成する、レーザ光合成装置。 - 請求項6に記載のレーザ光合成装置であって、
前記光学素子はダイクロイックッミラーである、レーザ光合成装置。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のレーザ光合成装置であって、
エネルギー分布がガウシアン型のレーザ光を前記第2レーザ光に変換する変換部をさらに備える、レーザ光合成装置。
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