JP2019046907A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 ウェハアライメントテーブル
11 半導体ウェハ
12 半導体ウェハチャック
13 半導体ウェハステージ
14 プローブカード
15 保持冶具
16 コンタクトユニット
20 試験テーブル
21 試験ステージ
22 温度制御ステージ
23 試験テーブル固定ステージ
30 測定装置
31 SMU
32 マルチプレクサリレー
33 電源
34 制御部
35 印加ケーブル
36 接続ユニット
41 可動ステージ
42 固定ステージ
43 位置決めピンの誘い込み穴
44 コンタクトプローブ
45 位置決めピン
46 高さ調整部
47 引き出し配線
R1〜Rn 電流制限用の抵抗
Claims (5)
- 半導体ウェハ上に形成された複数の半導体チップの各々に対応する複数のコンタクトプローブを有し前記半導体ウェハにコンタクトするプローブカードと、前記半導体ウェハ及び前記プローブカードをコンタクトした状態で保持する保持冶具と、からなるコンタクトユニットを複数個並置可能な試験テーブルと、
前記試験テーブルに並置された複数個の前記コンタクトユニットを並列接続可能に設けられた接続配線及び複数個の接続ユニットを有し、前記複数個の前記コンタクトユニットの各々に保持された前記半導体ウェハに対し、試験電圧を印加する電圧印加回路と、
前記試験電圧の印加に応じて、前記半導体ウェハに形成された前記複数の半導体チップの特性を測定する特性測定回路と、
を有することを特徴とする半導体試験装置。 - 前記複数個の接続ユニットの各々は、
前記複数のコンタクトプローブからの複数の引き出し配線を介して前記コンタクトユニットに接続され、
前記複数の引き出し配線に接続される複数の電流制限用の抵抗を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体試験装置。 - 前記半導体ウェハ及び前記プローブカードを位置調整しつつコンタクトさせ、前記保持冶具により保持し、前記コンタクトユニットを構成するウェハアライメントテーブルと、
前記ウェハアライメントテーブルにおいて構成された前記コンタクトユニットを前記試験テーブルに搬送する搬送装置と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体試験装置。 - 前記ウェハアライメントテーブルは、
前記半導体ウェハ及び前記プローブカードの位置調整を行う可動ステージと、
前記ウェハアライメントテーブルに着脱可能に構成され、位置調整された前記半導体ウェハを吸着固定する固定ステージと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体試験装置。 - 前記電圧印加回路は、前記特性測定回路の測定により前記半導体チップに不良特性があることが検出された場合には、当該不良特性が検出された半導体チップへの前記試験電圧の印加を停止することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載の半導体試験装置。
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