JP2019044272A - 長尺フィルムの真空成膜方法及び真空成膜装置 - Google Patents
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Description
図1に示す真空成膜装置を用いて貫通孔を有する長尺フィルムFにスパッタ成膜を施した。なお、冷却ロール3には図2に示すガス放出機構付きの冷却ロールを用いたが、ガス供給ライン17にはガスを供給しないで運転した。長尺フィルムFには、前もってレーザーにて内径約0.05mmのスルーホール用の貫通孔を複数穿孔した、厚さ25μm、幅500mmのポリイミドフィルムを使用した。介在フィルムSには、厚さ約12μm、幅500mmのPETフィルムを使用した。
介在フィルムSを冷却ロール3の外周面とそこに巻き付く長尺フィルムFとの間に介在させなかった以外は実施例1と同様にして貫通孔を有する長尺フィルムFにスパッタ成膜を施した。その結果、長尺フィルムFにシワは生じなかったものの、冷却ロール3の外周面のうち、長尺フィルムFの貫通孔に対応する部位に点状に成膜跡が発生していた。
ガス放出機構付き冷却ロールのガス放出孔15からArガスを微量放出することで冷却ロール3の外周面とそこに巻き付く介在フィルムSとの間のギャップ部にArガスを充満させたことと、搬送速度を0.7m/分にした以外は実施例1と同様にして貫通孔を有する長尺フィルムFにスパッタ成膜を施した。その結果、長尺フィルムFにシワは生じておらず、連続的に成膜することができた。次に、搬送速度を徐々に上げて1.1m/分にしたところ、スパッタ成膜中に長尺フィルムFにシワが入った。
介在フィルムSとして、レーザーにて内径0.05mmの孔をあけたPETを使用したことと、搬送速度を2m/分にしたこと以外は実施例2と同様にして貫通孔を有する長尺フィルムFにスパッタ成膜を施した。その結果、スパッタ成膜中に長尺フィルムFにシワが生じなかった。なお、介在フィルムSの貫通孔と長尺フィルムFの貫通孔の位置は、互いに幅方向にずれた位置となるように穿孔しておいたので、スパッタ成膜時に冷却ロール3の外周面上でこれら貫通孔の位置が一致することはなかった。
S 介在フィルム
1 巻出ロール
2 巻取ロール
3 冷却ロール
4、5 フィードロール
6 第2巻出ロール
7 第2巻取ロール
11 円筒ロール
12 内筒部
12a 冷媒循環路
13 2重管
14 ガス導入路
15 ガス放出孔
16 ガスロータリージョイント
17 ガス供給ライン
21 第3巻出ロール
22 第3巻取ロール
23 穿孔装置
Claims (5)
- 予め穿孔されたスルーホール用の複数の貫通孔を有する長尺フィルムを真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送する搬送機構と、該長尺フィルムに対して熱負荷の掛かる成膜処理を施す成膜処理手段と、内部に冷媒循環路を有し且つ該長尺フィルムを巻き付けて冷却する外周面を有する冷却ロールと、該冷却ロールの外周面とそこに巻き付けられる該長尺フィルムとの間に介在する長尺の介在フィルムをロールツーロールで搬送する第2の搬送機構とを備えた、両面めっき基板用の長尺フィルムの真空成膜装置であって、前記介在フィルムは前記長尺フィルムと同じ幅を有することを特徴とする長尺フィルムの真空成膜装置。
- 前記冷却ロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路を有しており、これら複数のガス導入路の各々は該冷却ロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス導入孔を有していることを特徴とする、請求項1に記載の長尺フィルムの真空成膜装置。
- 前記介在フィルムは、内径0.03〜1mmの複数の貫通孔を有する膜か、あるいはガス透過性のある材質からなることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺フィルムの真空成膜装置。
- 前記長尺フィルム及び前記介在フィルムの搬送張力をそれぞれ個別の調整する2つの張力調整機構を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の長尺フィルムの真空成膜装置。
- 予め穿孔されたスルーホール用の複数の貫通孔を有しロールツーロールで搬送される長尺フィルムを、内部に冷媒循環路を備えた冷却ロールの外周面に巻き付けながら熱負荷の掛かる成膜処理を施す両面めっき基板用の長尺フィルムの真空成膜方法であって、該冷却ロールの外周面とそこに巻き付けられる長尺フィルムとの間に、前記長尺フィルムと同じ幅を有し且つロールツーロールで搬送される長尺の介在フィルムを介在させることを特徴とする長尺フィルムの真空成膜方法。
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