JP2019039808A5 - - Google Patents

Description

本発明の一態様のパターン検査装置は、
電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から図形パターンの被検査画像を取得する画像取得機構と、
被検査画像に対応する参照画像を用いて、被検査画像と参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、当該参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算するサブ画素補間処理部と、
ずらし量毎に、補間処理された当該参照画像の画素値に対してずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理するフィルタ処理部と、
ずらし量毎に、被検査画像の各画素値とフィルタ処理された参照画像の対応する画素値との差分を演算する演算部と、
演算された差分の値が最小となるずらし量を用いて被検査画像と参照画像とを位置合わせした状態で、被検査画像と参照画像とを画素毎に比較する比較部と、
を備えたことを特徴とする。

本発明の他の態様のパターン検査装置は、
電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から図形パターンの被検査画像を取得する画像取得機構と、
被検査画像を記憶する第１の記憶装置と、
被検査画像に対応する参照画像を記憶する第２の記憶装置と、
被検査画像内の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う第１のスムージング処理部と、
参照画像の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う第２のスムージング処理部と、
スムージング処理が行われた被検査画像と参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、ずらし量毎に、スムージング処理が行われた参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する第１のサブ画素補間処理部と、
ずらし量毎に、被検査画像の各画素値と補間処理された参照画像の対応する画素値との差分を演算する演算部と、
第２の記憶装置からスムージング処理を行っていない参照画像を読み出し、スムージング処理を行っていない参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて差分が最小となるずらし量にて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する第２のサブ画素補間処理部と、
被検査画像とスムージング処理が成された状態で差分が最小となるずらし量にて補間処理された参照画像とを画素毎に比較する比較部と、
を備えたことを特徴とする。

また、差分が最小となるずらし量にて補間処理された参照画像に対してずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理するフィルタ処理部をさらに備えると好適である。

本発明の一態様のパターン検査方法は、
電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から図形パターンの被検査画像を取得する工程と、
被検査画像に対応する参照画像を用いて、被検査画像と参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、当該参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
ずらし量毎に、補間処理された当該参照画像の画素値に対してずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理する工程と、
ずらし量毎に、被検査画像の各画素値とフィルタ処理された参照画像の対応する画素値との差分を演算する工程と、
演算された差分の値が最小となるずらし量を用いて被検査画像と参照画像とを位置合わせした状態で、被検査画像と参照画像とを画素毎に比較する工程と、
を備えたことを特徴とする。

本発明の他の態様のパターン検査方法は、
電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から図形パターンの被検査画像を取得する工程と、
被検査画像を記憶する第１の記憶装置から被検査画像を読み出し、被検査画像内の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う工程と、
被検査画像に対応する参照画像を記憶する第２の記憶装置から参照画像を読み出し、参照画像の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う工程と、
スムージング処理が行われた被検査画像と参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、ずらし量毎に、スムージング処理が行われた参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
ずらし量毎に、被検査画像の各画素値と補間処理された参照画像の対応する画素値との差分を演算する工程と、
第２の記憶装置からスムージング処理を行っていない参照画像を読み出し、スムージング処理を行っていない参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて差分の値が最小となるずらし量にて補間処理することにより被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
被検査画像とスムージング処理が成された状態で差分の値が最小となるずらし量にて補間処理された参照画像とを画素毎に比較する工程と、
を備えたことを特徴とする。

Claims (7)

1. 電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から前記図形パターンの被検査画像を取得する画像取得機構と、
   前記被検査画像に対応する参照画像を用いて、前記被検査画像と前記参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、当該参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算するサブ画素補間処理部と、
   前記ずらし量毎に、補間処理された当該参照画像の画素値に対して前記ずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理するフィルタ処理部と、
   前記ずらし量毎に、前記被検査画像の各画素値と前記フィルタ処理された前記参照画像の対応する画素値との差分を演算する演算部と、
   演算された前記差分の値が最小となるずらし量を用いて前記被検査画像と前記参照画像とを位置合わせした状態で、前記被検査画像と前記参照画像とを比較する比較部と、
   を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
2. 前記被検査画像と前記参照画像とを相対的にずらす場合に、前記ずらし量の半分ずつ前記被検査画像と前記参照画像とをそれぞれずらすことを特徴とする請求項１記載のパターン検査装置。
3. 前記フィルタ関数は、前記参照画像に対する前記補間処理により生じたノイズレベルの変化を打ち消すように設定されることを特徴とする請求項１又は２記載のパターン検査装置。
4. 電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から前記図形パターンの被検査画像を取得する画像取得機構と、
   前記被検査画像を記憶する第１の記憶装置と、
   前記被検査画像に対応する参照画像を記憶する第２の記憶装置と、
   前記被検査画像内の前記図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う第１のスムージング処理部と、
   前記参照画像の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う第２のスムージング処理部と、
   スムージング処理が行われた前記被検査画像と前記参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、ずらし量毎に、スムージング処理が行われた前記参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する第１のサブ画素補間処理部と、
   前記ずらし量毎に、前記被検査画像の各画素値と前記補間処理された前記参照画像の対応する画素値との差分を演算する演算部と、
   前記第２の記憶装置からスムージング処理を行っていない前記参照画像を読み出し、前記スムージング処理を行っていない前記参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて前記差分が最小となるずらし量にて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する第２のサブ画素補間処理部と、
   前記被検査画像と前記スムージング処理が成された状態で前記差分が最小となるずらし量にて補間処理された前記参照画像とを比較する比較部と、
   を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
5. 前記差分が最小となるずらし量にて補間処理された前記参照画像に対して前記ずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理するフィルタ処理部をさらに備えたことを特徴とする請求項４記載のパターン検査装置。
6. 電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から前記図形パターンの被検査画像を取得する工程と、
   前記被検査画像に対応する参照画像を用いて、前記被検査画像と前記参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、当該参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
   前記ずらし量毎に、補間処理された当該参照画像の画素値に対して前記ずらし量に依存するノイズの影響を抑制するフィルタ関数を用いてフィルタ処理する工程と、
   前記ずらし量毎に、前記被検査画像の各画素値と前記フィルタ処理された前記参照画像の対応する画素値との差分を演算する工程と、
   演算された前記差分の値が最小となるずらし量を用いて前記被検査画像と前記参照画像とを位置合わせした状態で、前記被検査画像と前記参照画像とを比較する工程と、
   を備えたことを特徴とするパターン検査方法。
7. 電子ビームを用いて、図形パターンが形成された基板から前記図形パターンの被検査画像を取得する工程と、
   前記被検査画像を記憶する第１の記憶装置から前記被検査画像を読み出し、前記被検査画像内の前記図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う工程と、
   前記被検査画像に対応する参照画像を記憶する第２の記憶装置から前記参照画像を読み出し、前記参照画像の図形パターンに対してパターン端部をなめらかにするスムージング処理を行う工程と、
   スムージング処理が行われた前記被検査画像と前記参照画像とを相対的にサブ画素単位で可変にずらしながら、ずらし量毎に、スムージング処理が行われた前記参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
   前記ずらし量毎に、前記被検査画像の各画素値と前記補間処理された前記参照画像の対応する画素値との差分を演算する工程と、
   前記第２の記憶装置からスムージング処理を行っていない前記参照画像を読み出し、前記スムージング処理を行っていない前記参照画像の少なくとも１つの画素値を用いて前記差分の値が最小となるずらし量にて補間処理することにより前記被検査画像の各画素の位置に対応する当該参照画像の画素値を演算する工程と、
   前記被検査画像と前記スムージング処理が成された状態で前記差分の値が最小となるずらし量にて補間処理された前記参照画像とを比較する工程と、
   を備えたことを特徴とするパターン検査方法。