JP5087253B2 - 干渉縞解析における位相接続方法 - Google Patents
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Description
I2(x,y)=I’(x,y)+I”(x,y,Δ)cos[φ(x,y)−α] …(2)
I3(x,y)=I’(x,y)+I”(x,y,Δ)cos[φ(x,y)] …(3)
I4(x,y)=I’(x,y)+I”(x,y,Δ)cos[φ(x,y)+α] …(4)
I5(x,y)=I’(x,y)+I”(x,y,Δ)cos[φ(x,y)+2α] …(5)
本発明における位相接続方法は、干渉縞画像より算出された2次元位相データ配列の任意の領域を起点として、任意の経路に従って、順番に周囲のデータを接続していくものである。
新たに位相接続をしようとする2次元画像上の対象画素の位置(x,y)において、位相接続判定に使用する必要がある周囲の関連画素の数量nと、その位置関係(xn,yn)を予め算出する。この算出方法については後述する。
新たに位相接続をしようとする対象画素における位相値φ(x,y)と、既に直前に位相接続されている、隣接する画素(以下、直前接続画素ともいう)の位相の値との差を取り、この絶対値が、数値π=3.141592・・・(ラジアン)以内になるように、位相接続をしようとする対象画素の位相の値φ(x,y)に対して、数値πを繰り返し加算あるいは減算して、オフセットを除去した値φM(x,y)を作る。
上の計算で得た値φM(x,y)について、次式に示すように、その値自身φM(x,y)と、更に数値πを加算した値φU(x,y)と、減算した値φL(x,y)の3つの値をそれぞれ中間、上位、下位の各候補値として設定し、位相接続後に置き換わる新たな位相値の候補として用意する。
φM(x,y) …(8)
φU(x,y)=φM(x,y)+π …(9)
(ステップ1)で算出した位相接続判定に使用する対象のn個の関連画素位置(xn,yn)の位相の値φ1(x1,y1)〜φn(xn,yn)それぞれに関して、(ステップ3)で算出したφL(x,y)、φM(x,y)、φU(x,y)の3つの候補値に対し、次の計算を行ない位相接続判定値EL(x,y)、EM(x,y)、EU(x,y)を算出する。
(ステップ4)で計算した3つの位相接続判定値EL(x,y)、EM(x,y)、EU(x,y)を比較し、最も小さい値が算出された式に使われていたφL(x,y)、φM(x,y)、φU(x,y)のうちの1つを選択し、位相接続の結果として最初の位相値φ(x,y)の代わりに置き換える。
次の画素の位相接続を行なうため、(ステップ1)に戻る。
次に、位相接続処理に入る前の処理について記す。
それでは、位相接続処理に関して具体的な実施形態について次に説明する。
図6に、反時計回りに螺旋状に接続していく時の、新たに位相接続される対象画素(黒で示す)の位置(x,y)の移動経路と、位相接続の判定を行なう際に使用する、既に位相が接続された関連画素の個数nと、その位置関係(xn,yn)を模式的に示す。なお、この図では、2次元画像の中心画素を起点として、該画素に隣接する1画素目から12画素目までの場合を例示している。
切断されている位相データの接続を繰り返し行なっていくと、位相接続の開始点から離れた画像周辺部においては、やがて次に接続しようとする残りのデータとの位相の値の差が、蓄積されてπ以上になってくる。
新たに位相接続をしようとする対象画素の位相値φ(x,y)の値に代わって、位相接続後に置き換わり得る3つの補償値として、前述した(8)式の中間のφM(x,y)と、これに数値πを加算した(9)式の値φU(x,y)と、逆に減算した(7)式の値φL(x,y)を作成する。
新たに位相接続をしようとする対象画素(x,y)に隣接して、位相接続判定の計算に関与する1又は複数個nの関連画素の位相値φ1(x1,y1)〜φn(xn,yn)それぞれに関して、φL(x,y)、φM(x,y)、φU(x,y)3つの場合の値に対し、前記(10)〜(12)式の計算をそれぞれ行ない、位相接続判定値EL(x,y)、EM(x,y)、EU(x,y)を求める。
前記(10)〜(12)式により求めた3つの値、EL(x,y)、EM(x,y)、EU(x,y)を比較して、φL(x,y)、φM(x,y)、φU(x,y)のうち、最も小さい値が算出されたものを、位相接続後の新たな位相の値として選択する。
2次元画像の解析範囲の終端まで来たかどうかを判定し、終端であれば位相接続を終了し、そうでなければ(1)に戻って次の対象画素についての処理を繰り返す。
以上詳述した本発明に係る一実施形態による位相接続手法を用いることにより、以下に示すように何ら規則性の無い干渉縞を有する干渉画像を用いても、比較的良好な位相接続結果を得ることが可能となる。
Claims (5)
- 干渉縞の2次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、
新たに位相接続処理を行なう対象領域に対する位相接続判定を、該対象領域の位相値と、それに±πした位相値と、既に画像内で位相接続されている複数の関連領域の位相情報の差に関する位相接続判定値に基づいて行ない、
この位相接続判定結果に基づいて位相接続処理を行なうことを特徴とする干渉縞解析における位相接続方法。 - 前記位相接続判定に使用する、既に位相接続されている関連領域の数が、接続経路上の位置に応じて変更されることを特徴とする請求項1に記載の干渉縞解析における位相接続方法。
- 前記位相接続処理における接続経路が、任意点を起点として、螺旋状に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の干渉縞解析における位相接続方法。
- 干渉縞の2次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、
新たに位相接続処理を行なう対象領域に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連領域の位相情報のみを用いて行ない、
この判定結果に基づいて位相接続処理を行なうに際して、
新たに位相接続処理をする対象領域の初めの位相値を基に、これに対して予め複数の候補値を算出しておき、この位相接続処理時の位相接続判定に使用する、既に位相接続されている関連領域の複数の位相情報を用いて、前記複数の候補値の中から最適な位相値を選択して、前記初めの位相値と置き換えて位相接続処理することを特徴とする干渉縞解析における位相接続方法。 - 前記複数の候補値を、対象領域の初めの位相値にπを1以上加減算して、直前に位相接続した領域の位相値との差がπ未満になる値を基準に設定することを特徴とする請求項4に記載の干渉縞解析における位相接続方法。
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