JP2019035766A - ターニングベーン - Google Patents
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Abstract
Description
102 センサーハウジング
108 基部
110 段部
112 圧力変換器
120 流体流入口
130 流体流出口
140 質量流量センサー
142 バイパス
146 熱式流量センサー
A146A センサー流入口部分
B146B センサー流出口部分
C146C センサー測定部分
147 上流抵抗器
148 下流抵抗器
150 弁装置
158 電気導体
159 電気導体
160 閉ループシステム制御器
170 制御弁
200 ターニングベーン
202 平坦部
204 曲面
206 フローミキサー
700 ターニングベーン
710 メッシュ
720 バイパス
800 ターニングベーン
802 ベーン
804 ベーン
806 ベーン
810 フローミキサー
1000 ターニングベーン
1010 支持脚
なお、本発明は以下の特徴を以って実施することができる。
[特徴1]
流体の流量を制御する質量流量制御器であって、
前記流体を受け取る流入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記質量流量センサーに結合され流体の大部分が流れるバイパスと、
前記バイパスの上流に位置し、より均一な流体流量を生成するターニングベーンと、
該質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を調節する可変弁と、
バルブ制御信号を印加して前記可変弁を所望のバルブ位置に調整し、該質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を制御する制御器とを備える質量流量制御器。
[特徴2]
前記ターニングベーンはフローミキサーを備える特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴3]
前記フローミキサーは前記バイパスの流入口スクリーンに当接している特徴2に記載の質量流量制御器。
[特徴4]
ターニングベーンは、前記フローミキサーに当接している平坦部を有する特徴2に記載の質量流量制御器。
[特徴5]
前記ターニングベーンは複数のベーンを含む特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴6]
前記ターニングベーンの前記複数のベーンのうちの各ベーンの曲面の角度は、最下のベーンから最上のベーンにかけて次第に増加する特徴5に記載の質量流量制御器。
[特徴7]
前記ターニングベーンは単一のベーンを含む特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴8]
前記単一のベーンの湾曲部の一部が真っ直ぐに延び、前記ターニングベーンを通る部分的な流体の流れを可能にする特徴7に記載の質量流量制御器。
[特徴9]
前記ターニングベーンは支持構造体を備える特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴10]
前記ターニングベーンは前記バイパスの流入口スクリーンに当接している特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴11]
流量制御器及び流量計のうちの少なくとも一方のバイパスの上流に位置するように構成され、より均一な流体流量を生成するターニングベーン。
[特徴12]
フローミキサーを更に備える特徴11に記載の質量流量制御器。
[特徴13]
前記フローミキサーは前記バイパスの流入口スクリーンに当接しているように構成されている特徴12に記載の質量流量制御器。
[特徴14]
前記フローミキサーに当接している平坦部を有する特徴12に記載の質量流量制御器。
[特徴15]
複数のベーンを含む特徴11に記載の質量流量制御器。
[特徴16]
前記ターニングベーンの前記複数のベーンのうちの各ベーンの曲面の角度が、最下のベーンから最上のベーンにかけて次第に増加する特徴15に記載の質量流量制御器。
[特徴17]
単一のベーンを含む特徴11に記載の質量流量制御器。
[特徴18]
前記単一のベーンの湾曲部の一部が真っ直ぐに延び、前記ターニングベーンを通る部分的な流体の流れを可能にする特徴17に記載の質量流量制御器。
[特徴19]
支持構造体を備える特徴1に記載の質量流量制御器。
[特徴20]
流体の流量を測定する質量流量計であって、
前記流体を受け取る流入口と、
該質量流量計を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記質量流量センサーに結合され流体の大部分が流れるバイパスと、
前記バイパスの上流に位置し、より均一な流体流量を生成するターニングベーンとを備える質量流量計。
Claims (20)
- 流体の流量を制御する質量流量制御器であって、
前記流体を受け取る流入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記質量流量センサーに結合され流体の大部分が流れるバイパスと、
前記バイパスの上流に位置し、より均一な流体流量を生成するターニングベーンと、
該質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を調節する可変弁と、
バルブ制御信号を印加して前記可変弁を所望のバルブ位置に調整し、該質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を制御する制御器とを備える質量流量制御器。 - 前記ターニングベーンはフローミキサーを備える請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記フローミキサーは前記バイパスの流入口スクリーンに当接している請求項2に記載の質量流量制御器。
- ターニングベーンは、前記フローミキサーに当接している平坦部を有する請求項2に記載の質量流量制御器。
- 前記ターニングベーンは複数のベーンを含む請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記ターニングベーンの前記複数のベーンのうちの各ベーンの曲面の角度は、最下のベーンから最上のベーンにかけて次第に増加する請求項5に記載の質量流量制御器。
- 前記ターニングベーンは単一のベーンを含む請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記単一のベーンの湾曲部の一部が真っ直ぐに延び、前記ターニングベーンを通る部分的な流体の流れを可能にする請求項7に記載の質量流量制御器。
- 前記ターニングベーンは支持構造体を備える請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記ターニングベーンは前記バイパスの流入口スクリーンに当接している請求項1に記載の質量流量制御器。
- 流量制御器及び流量計のうちの少なくとも一方のバイパスの上流に位置するように構成され、より均一な流体流量を生成するターニングベーン。
- フローミキサーを更に備える請求項11に記載のターニングベーン。
- 前記フローミキサーは前記バイパスの流入口スクリーンに当接しているように構成されている請求項12に記載のターニングベーン。
- 前記フローミキサーに当接している平坦部を有する請求項12に記載のターニングベーン。
- 複数のベーンを含む請求項11に記載のターニングベーン。
- 前記ターニングベーンの前記複数のベーンのうちの各ベーンの曲面の角度が、最下のベーンから最上のベーンにかけて次第に増加する請求項15に記載のターニングベーン。
- 単一のベーンを含む請求項11に記載のターニングベーン。
- 前記単一のベーンの湾曲部の一部が真っ直ぐに延び、前記ターニングベーンを通る部分的な流体の流れを可能にする請求項17に記載のターニングベーン。
- 支持構造体を備える請求項1に記載のターニングベーン。
- 流体の流量を測定する質量流量計であって、
前記流体を受け取る流入口と、
該質量流量計を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記質量流量センサーに結合され流体の大部分が流れるバイパスと、
前記バイパスの上流に位置し、より均一な流体流量を生成するターニングベーンとを備える質量流量計。
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