JP2019034392A - 摺動部材 - Google Patents
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Abstract
Description
エンドレスの基材層と、この基材層に粘着される粘着層と、この粘着層に着脱自在に粘着されて基板を包囲する樹脂シート層とを含み、この樹脂シート層を、摺動特性、機械的特性、耐熱性、耐薬品性に優れるポリアリーレンエーテルケトン樹脂に着目し、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂製の樹脂シートを、押出成形されたポリアリーレンエーテルケトン樹脂含有の樹脂シートとしてその厚さを100μm以上1000μm以下としたことを特徴としている。
また、基材層を包囲する略中空の研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの内部に設けられるメンブレンシート層と、このメンブレンシート層に粘着される基板用の固定シート層とを含み、メンブレンシート層に、固定シート層を包囲する基材層を取り付けることができる。
また、樹脂シート層を、ポリエーテルエーテルケトン樹脂製あるいはポリエーテルケトンケトン樹脂製の樹脂シートとし、この樹脂シートの相対結晶化度を80%以上とすることが可能である。
さらに、メンブレンシート層を、ポリエーテルエーテルケトン樹脂製あるいはポリエーテルケトンケトン樹脂製の樹脂シートとすることが可能となる。
請求項3記載の発明によれば、研磨ヘッドのメンブレンシート層に摺動部材の基材層を取り付ければ、基板を機械・化学的鏡面研磨する際、摺動部材により、基板の周縁部の損傷を防いだり、基板の水平方向への位置ずれを防止することができる。
請求項7記載の発明によれば、メンブレンシート層がポリエーテルエーテルケトン樹脂製の樹脂シートあるいはポリエーテルケトンケトン樹脂製の樹脂シートの場合には、メンブレンシート層に優れた機械的特性、耐薬品性や耐熱性等を付与し、損傷、破断、変形や割れを抑制することが可能になる。
ここで、ΔHcは樹脂シート5の再結晶化ピークの熱量(J/g)を表し、ΔHmは樹脂シート5の結晶融解ピークの熱量(J/g)を表す。
2 基材層
3 粘着層
4 樹脂シート層
5 樹脂シート
10 研磨ヘッド
12 装着フランジ
13 メンブレンシート層
15 固定シート層
16 定盤
17 研磨パッド
18 アルカリ液
W 基板
Claims (7)
- 基板を研磨する場合に基板の周縁部にセットされるエンドレスの摺動部材であって、
エンドレスの基材層と、この基材層に粘着される粘着層と、この粘着層に着脱自在に粘着されて基板を包囲する樹脂シート層とを含み、この樹脂シート層を、押出成形されたポリアリーレンエーテルケトン樹脂含有の樹脂シートとしてその厚さを100μm以上1000μm以下としたことを特徴とする摺動部材。 - 基板を、研磨装置の回転可能な定盤の研磨パッドに押し付けられる基板とし、この基板が定盤の研磨パッドに押し付けられる場合に、定盤の研磨パッドに樹脂シート層が押し付けられる請求項1記載の摺動部材。
- 基材層を包囲する略中空の研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの内部に設けられるメンブレンシート層と、このメンブレンシート層に粘着される基板用の固定シート層とを含み、メンブレンシート層に、固定シート層を包囲する基材層を取り付けた請求項2記載の摺動部材。
- 基材層を、金属材料あるいは樹脂含有の成形材料により平面略リング形に形成し、樹脂シート層を平面略リング形に形成した請求項1、2、又は3記載の摺動部材。
- 樹脂シート層を、ポリエーテルエーテルケトン樹脂製あるいはポリエーテルケトンケトン樹脂製の樹脂シートとし、この樹脂シートの相対結晶化度を80%以上とした請求項1ないし4のいずれかに記載の摺動部材。
- 樹脂シートの厚さ公差を平均値±10%以下の範囲内とした請求項1ないし5のいずれかに記載の摺動部材。
- メンブレンシート層を、ポリエーテルエーテルケトン樹脂製あるいはポリエーテルケトンケトン樹脂製の樹脂シートとした請求項3ないし6のいずれかに記載の摺動部材。
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