JP2019033299A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1−5(J)を参照すれば、本発明の好ましい第1の実施の形態の半導体装置1は、半導体シリコン基板10と、酸化シリコン膜12と、TiN膜14と、Al膜16と、貫通孔20と、CVD酸化膜22と、シードメタル層24と、Cuめっき層26と、Cuめっき層30と、ソルダーレジスト32とを備えている。
図6−4(I)を参照すれば、本発明の好ましい第2の実施の形態の半導体装置2は、半導体シリコン基板10と、酸化シリコン膜12と、TiN膜14と、Al膜16と、貫通孔20と、CVD酸化膜22と、シードメタル層24と、Cuめっき層30と、ソルダーレジスト32とを備えている。
12 酸化シリコン膜
14 TiN膜
16 Al膜
20 貫通孔
22 CVD酸化膜
24 シードメタル層
26 Cuめっき層
28 ドライフィルム
30 Cuめっき層
32 ソルダーレジスト
Claims (1)
- 第1の導電層と、
前記第1の導電層上に設けられ、一主面、該一主面とは反対側の他の主面、及び該一主面と該他の主面とに亘って設けられ前記第1の導電層を露出する貫通孔を備えた半導体基板と、
前記貫通孔の側面を被覆し、前記一主面まで延在すると共に、前記第1の導電層と接続される接続部が前記半導体基板の厚さ方向に対して垂直方向に突出する突起部を有する第2の導電層と、
を備えた半導体装置。
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JP2018223317A JP2019033299A (ja) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 半導体装置 |
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JP2018223317A JP2019033299A (ja) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 半導体装置 |
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